JPH08102162A - 磁気ヘッド用サスペンション - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気ヘッドサスペンションの中心線に対する熱
変形によるねじれを防ぎ、スライダ浮上特性を悪化させ
ないこと及び高速転送を実現すること。 【構成】サスペンション本体１のバネ部１ｃにおいて、
サスペンション中心線４に対して、略左右対称に有効配
線３及びダミー配線パターン２からなる配線パターンを
形成・配置する。配線パターンはマイクロストリップ線
路構造となっている。 【効果】配線パターンを形成している導体・樹脂とサス
ペンション材の熱膨張係数の違いによって、磁気ディス
ク装置内の温度変化に伴ってバイメタル効果がバネ部の
中心線に略左右対称に発生し、ジンバル部に生じるねじ
れを防ぐことができる。これによって、スライダは安定
に浮上することができ、リード・ライト特性が悪化する
ことを防ぐことができる。また、良好な伝送特性を提供
し、磁気ディスク装置の高速データ転送を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に関
し、特に、磁気ディスク装置の磁気ディスク媒体に情報
を読み書きするための磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを
支持するバネ体と、上記磁気ヘッドに対する配線体とか
らなる磁気ヘッド用サスペンションに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッド用サスペンションにおいて、
磁気ヘッドに対する配線を、サスペンション本体である
バネ体上に形成した回路配線パターンにより行うことは
公知である。

【０００３】例えば、特開平５−３６０４８号公報に開
示されている磁気ヘッド用ジンバル配線体では、サスペ
ンション本体であるジンバルが、記録媒体と相対する面
の背面に絶縁性皮膜を介して回路配線パターンを備え、
磁気ヘッド素子に対する接続端子構造をフィンガーリー
ド状に構成し、このフィンガーリード状接続端子を磁気
ヘッドの所定の電極に接続できるように構成されてい
る。この際、回路配線パターンは、ジンバルの先端部か
らバネ部の手前まで直線的にパターン化され、バネ部に
おいてほぼ直角に曲げられ、サスペンション本体の長手
方向中心線に関して非対称構成で接着されている。回路
配線パターンは、さらに、その先、サスペンション本体
のマウント部近くで、サスペンション本体と分離構成さ
れている。

【０００４】また、特開平１−１６２２１２号公報に開
示されているように、可撓性回路を備えたフィルムが接
着剤でサスペンション本体のほぼ全表面に接着された磁
気ヘッド用サスペンションも公知である。この従来例に
おいても、配線パターンフィルムはバネ部において、サ
スペンション本体の長手方向中心線に対して非対称構成
で接着されており、さらにマウント部付近で、ロードビ
ームと分かれて構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、磁気ディスク装
置において小型化、高密度記録が進み、これに伴い、磁
気ヘッドの安定浮上・低浮上が要求されている。磁気デ
ィスク装置においては、使用状態において、装置内の温
度が、室温の摂氏２０度から、６０度ないし８０度にま
で上昇する。このような大きな温度変化ある状況下にお
いては、上記したサスペンション本体に配線パターンを
形成した磁気ヘッド用サスペンションにあっては、配線
パターン形成用の樹脂材又はフィルム材と、サスペンシ
ョン本体材との熱膨張係数の違いによってバイメタル効
果が現れ、変形を生じる。このとき、従来の磁気ヘッド
は、前記した従来例にみられるように、樹脂又はフィル
ム等によりバネ部に接着される配線パターンは、バネ部
に非対称に配線されており、上記熱変形が、サスペンシ
ョン本体のねじれとなって現れる。このねじれによっ
て、サスペンション先端部であるジンバル部に大きなね
じれが生じ、スライダの浮上姿勢に悪影響を及ぼす。そ
の結果として、磁気ディスク装置のリード・ライト特性
あるいは、磁気ディスク又は磁気ヘッドの耐久性が悪化
するという問題を生じる。

【０００６】したがって、本発明の一つの課題は、装置
使用時の広範囲の温度変化に対しても、サスペンション
のねじれが無視し得るほど小さく、したがって、磁気ヘ
ッドに対して安定した浮動姿勢、浮動特性を与え得る磁
気ヘッド用サスペンションを提供することである。

【０００７】また、近年、磁気ディスク装置においてデ
ータの高速転送化がますます進み、１００ＭＨｚを越え
る高周波数の信号伝送が行われる。このような状況下に
おいて、磁気ヘッド用サスペンションの配線にも伝送線
路としての役割を強く要求されるようになってきた。し
かし、前記した従来のいずれの磁気ヘッド用サスペンシ
ョンにおいても、回路配線パターンは、サスペンション
本体のマウント部付近で、サスペンション本体と分離さ
れ、プリント配線による空中引き回しが行われている。
このような配線引き回しは、インピーダンスを考慮した
電気的な設計が困難となる。なぜなら、サスペンション
本体は、一般に、導体であるステンレス鋼で構成される
から、上記回路配線パターンは導体上にあることにな
り、マイクロストリップ線路構造であるが、マウント部
付近から、サスペンション本体と回路配線パターンとは
分離構成されることによって、空中配線構造となり、高
周波においては浮遊容量の影響を受け、規定表示の定数
を示さなくなる。空中配線構造は、また、信号線に対
し、グランド面が規定できないため、特性インピーダン
スが計算できない。よって、従来の配線構造では、仕様
通りの性能の装置が設計できない欠点があった。

【０００８】したがって、本発明の他の課題は、回路配
線パターン全体に亘って、特性インピーダンスを考慮し
た電気的な配線設計が可能になり、高周波信号伝送特性
が良好な、すなわち、高速転送が可能な磁気ディスク装
置を提供することである。

【０００９】さらに、磁気ディスク装置の伝送特性にお
けるノイズ分を低減するために、配線の電気抵抗値を下
げる必要があるが、回路配線パターンによる場合は、導
体パターン部分の幅又は厚みを大きくして、断面積を大
にする必要がある。上記従来の技術においては、この点
については何ら配慮されていないが、磁気ヘッド浮上姿
勢、浮上特性に影響を与えることなく回路配線パターン
の電気抵抗値を低くする工夫が要求される。回路配線パ
ターンの電気抵抗値を低くすることは、例えば、導体パ
ターンの厚みを全体的に厚くすることによっても実現で
きるが、ジンバル部のピッチ剛性及びロール剛性が高く
なり、良好な磁気ヘッド浮上特性が得られなくなる。

【００１０】したがって、本発明のさらに他の課題は、
磁気ヘッドの浮上特性が良好でかつ回路配線パターンに
よる信号伝送路の電気抵抗値の低い、磁気ヘッド用サス
ペンションを提供することである。

【００１１】さらに、また、最近、磁気ディスク装置に
おいて、高記録密度化、磁気ヘッドの低浮上化のため
に、情報書込み（ライト）用の磁気誘導型（ＭＩ）ヘッ
ドと、情報読み出し（リード）用の磁気抵抗効果型（Ｍ
Ｒ）素子ヘッドとの２種類の磁気ヘッドを備えた複合磁
気ヘッドが注目されている。この複合磁気ヘッドにおい
ては、端子数、したがって、配線数が２倍の４となるの
で、上記諸課題を解決するのに特有の工夫が必要にな
る。

【００１２】したがって、本発明のさらに他の課題は、
２つの磁気ヘッドを有する複合磁気ヘッドに対しても、
電気的、機械的、磁気的に良好な特性を実現し得る、磁
気ヘッド用サスペンションを提供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記した本発明の諸課題
は以下に述べる諸特徴により達成される。

【００１４】本発明の一つの特徴は、一体成形されたベ
ース部、バネ部、ロードビーム部及びジンバル部からな
るサスペンション本体と、上記ジンバル部に搭載された
磁気ヘッドと、上記サスペンション本体上に形成された
配線パターンとからなる磁気ヘッド用サスペンションに
おいて、上記配線パターンを、上記サスペンション本体
に対し、バネ部において、サスペンション本体の長手方
向中心線に関して、物理特性的にほぼ対称になるように
配置形成したことである。より具体的には、バネ部に設
けた配線パターンの熱膨張係数、縦弾性係数又は厚さ等
が、サスペンション本体の長手方向中心線に関してほぼ
左右対称に配置するか、実質的に左右対称にするための
ダミー配線パターンを配置することである。

【００１５】これにより、磁気ディスク装置内の温度上
昇時に熱変形が生じてもサスペンションの中心線に対し
て左右の均衡を保ち、バネ部及びサスペンション先端部
にねじれが生じるのを防ぐことができる。配線パターン
の左右対称形成はサスペンションのバネ部のみならずロ
ードビーム部、さらには先端のジンバル部を含め、サス
ペンション本体全体に亘ることが望ましいが、ねじれに
対してはバネ部の変形が、もっとも影響が大きいので、
バネ部での配線パターンの左右対称形成は必須である。

【００１６】また、本発明の他の特徴は、一体成形され
たベース部、バネ部、ロードビーム部及びジンバル部か
らなるサスペンション本体と、上記ジンバル部に搭載さ
れた磁気ヘッドと、上記サスペンション本体上に形成さ
れた配線パターンとからなる磁気ヘッド用サスペンショ
ンにおいて、上記サスペンション本体のマウント部はジ
ンバル部と反対方向に伸びたストリップ部を有し、上記
配線パターンは上記ジンバル部、ロードビーム部、バネ
部、マウント部から上記ストリップ部に連続して形成さ
れていることである。磁気ヘッド用サスペンションの材
料としては、従来からステンレス鋼が用いられ、導体で
あるステンレス鋼を基板として、回路配線を構成すれ
ば、伝送線路として良く知られた、マイクロストリップ
線路となり、信号線としての性能が向上する。

【００１７】これにより、上記配線パターンは、マウン
ト部から、ジンバル部と反対方向に伸びた部分も含め
て、全長に亘り、伝送線として高性能であるマイクロス
トリップ線路となり、磁気ヘッドと利用回路との間で、
１００ＭＨｚをこえるような高速データの転送つまり、
高周波の信号伝送が可能な磁気ディスク装置の設計及び
実用化ができる。

【００１８】本発明のさらに他の特徴は、一体成形され
たベース部、バネ部、ロードビーム部及びジンバル部か
らなるサスペンション本体と、上記ジンバル部に搭載さ
れた磁気ヘッドと、上記サスペンション本体上に形成さ
れた配線パターンとからなる磁気ヘッド用サスペンショ
ンにおいて、上記配線パターンのうちロードビーム部に
対応する部分の導体パターンを、他の部分より巾広に形
成したことである。

【００１９】ロードビーム部は、バネ部及びジンバル部
に比し剛性が高いので、配線パターンとサスペンション
材との熱膨張係数の違いによるサスペンション本体のね
じれ変形への影響度合いが小さく、また、面積も大きい
ので、この部分で配線パターンを巾広にすることにより
磁気ヘッドの浮上特性に影響を与えることなく、配線パ
ターンの電気抵抗を効果的に減少させることができる。

【００２０】本発明のさらに他の特徴は、一体成形され
たベース部、バネ部、ロードビーム部及びジンバル部か
らなるサスペンション本体と、上記ジンバル部に搭載さ
れた磁気ヘッドと、上記サスペンション本体上に形成さ
れた配線パターンとからなる磁気ヘッド用サスペンショ
ンにおいて、ジンバル腕部に対応する位置に、上記導体
パターンの剛性軽減手段を設けたことである。上記導体
パターンの剛性軽減手段としては、ジンバル腕部に対応
する位置で配線パターンを浮かせるように構成すること
によって、又は、ジンバル腕部に穴又はスリットを形成
することによって、実現できる。

【００２１】上記導体パターンの剛性軽減手段により、
ピッチ剛性及びロール剛性を支配するジンバル部のジン
バル腕部と、このジンバル腕部に対応する配線パターン
部とがある程度独立的に運動できるので、導体部の影響
が浮上特性に及ぶのを防ぐことを可能としている。

【００２２】本発明のさらに他の特徴は、一体成形され
たベース部、バネ部、ロードビーム部及びジンバル部か
らなるサスペンション本体と、上記ジンバル部に搭載さ
れた磁気ヘッドと、上記サスペンション本体上に形成さ
れた配線パターンとからなる磁気ヘッド用サスペンショ
ンにおいて、上記磁気ヘッドは２つの磁気ヘッドからな
る複合ヘッドであり、上記配線パターンは上記ロードビ
ーム部上に、上記中心線に関して、左右の端部に、それ
ぞれ１対づつの導体パターンを含む沿道配線パターンと
中心線を直角に横切る１対の導体パターンを含む横断配
線パターンとからなることである。ここで、上記ロード
ビーム部の左右の端部に１つづつ設けられた沿道配線パ
ターンは、それぞれが上記２つのヘッドの一方及び他方
に対応していることが望ましい。さらに、上記各沿道配
線パターンは、ジンバル部内のほぼ等間隔で配線形成さ
れた、対の導体パターンを含む配線パターンを経由して
上記複合ヘッドの対応ヘッド端子に至っていることが望
ましい。

【００２３】上記特徴により、２つの磁気ヘッドからな
る複合磁気ヘッドに対して、物理的特性及び電気的特性
が優れたサスペンションを提供できる。

【００２４】

【作用】上記したように、本発明による磁気ヘッド用サ
スペンションは、磁気ディスク装置内の温度が上昇した
際、回路配線パターン用樹脂又はフィルムとサスペンシ
ョン材の熱膨張係数の違いによってバイメタル効果をバ
ネ部において、中心線に対称に均等に発生させることに
よって、ジンバル部に生じるねじれを防ぐことができ
る。このねじれ変形を防ぐことによって、スライダは安
定に浮上することができ、リード・ライト特性が悪化す
ることを防ぐことができる。

【００２５】また、本発明による磁気ヘッド用サスペン
ションは、サスペンション外部配線も含めて、全体に亘
って、マイクロストリップ線路構造となり、特性インピ
ーダンスを考慮した電気的な配線設計が可能になり、リ
ード・ライトデータの高速転送つまり高周波信号伝送特
性の改善が可能となる。

【００２６】さらに、本発明による磁気ヘッド用サスペ
ンションは、サスペンションの、ロードビーム部上の配
線パターンを巾広導体パターンにより、また、ジンバル
部上の配線パターンを導体パターンにより、それぞれ形
成することにより、磁気ヘッドの浮上特性に影響を与え
ることなく、配線パターンの電気抵抗を効果的に減少さ
せることができる。

【００２７】さらに、本発明による磁気ヘッド用サスペ
ンションは、複合磁気ヘッドの２対の配線をサスペンシ
ョンのロードビーム部及びジンバル部に、中心線に関し
て対称的に配置形成したので、複合磁気ヘッドについて
優れた浮上特性及び浮上姿勢が得られるとともに、低ノ
イズのリード・ライト特性が得られる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明を図に示す実施例により具体的
に説明する。なお、以下に説明する実施例は、全て、磁
気誘導型（ＭＩ）ヘッドと磁気抵抗効果型（ＭＲ）ヘッ
ドとの複合磁気ヘッド用のサスペンションである。

【００２９】図１は、本発明による配線パターンを形成
した磁気ヘッド用サスペンションの第１の実施例を示し
ている。図１において、１は、ステンレス鋼などのバネ
材で成形されたサスペンション本体であり、大きくは、
ベース部１ａ、荷重を発生させるためのバネ部１ｂ、上
記荷重を伝えるためのロードビーム部１ｃ及び磁気ヘッ
ドを搭載するジンバル部１ｄの、４つの部分から構成さ
れている。ベース部１ａは、サスペンション本体１を、
ベースプレート９により図４に破線で示すアクチュエー
タアーム５に固定するための部分である。２は、ベース
部１ａからバネ部１ｂにかけて形成したダミー配線パタ
ーン、３は、ベース部１ａの装置側接続用端子８から、
バネ部１ｂ、ロードビーム部１ｃを経て、ジンバル部１
ｄの磁気ヘッドスライダ側接続用端子７にかけて形成さ
れた有効配線パターンである。これら両配線パターン
２、３において、斜線で示すのは絶縁膜及び保護膜で、
実線で示すのが上記絶縁膜及び保護膜の間に形成された
導体パターンである。導体パターンは、ＭＩヘッド用に
１対、ＭＲヘッド用に１対の、計２対、４本の線から構
成される。

【００３０】ダミー配線パターン２及び（有効）配線パ
ターン３は、サスペンション本体１のベース部１ａの一
部を含め、バネ部１ｂにおいて、４本の導体パターンで
形成され、サスペンションの長手方向の中心線４に関し
てほぼ対称の配置になるように形成されている。配線パ
ターン３のうち、ロードビーム部１ｃに対応する部分
は、上記２対の導体パターンが対毎に分離され、中心線
４に関してほぼ対称の配置になるように、上記ロードビ
ーム１ｃの両側縁部にそって形成された沿道配線パター
ン部３ａ、３ｂと、バネ部１ｂ寄りでロードビーム部１
ｃを横切る横断配線パターン部３ｃとからなっている。
配線パターン３の、ジンバル部１ｄに対応する部分も中
心線４に関して対称になるように形成されている。

【００３１】次に、配線パターン２、３の形成プロセス
について説明する。本実施例におけるサスペンション本
体１は、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）を用い、その上
に、絶縁膜としてポリイミド樹脂を５μｍの厚さで形成
し、その上に、銅を用いて導体パターンによる配線パタ
ーン３を形成する。この際、ダミー配線パターン２も銅
及びポリイミドによって配線パターン３と同等の物理的
特性を持つように形成する。配線パターン３及びダミー
配線パターン２の上には、さらに、保護膜としてポリイ
ミド樹脂を２μｍ厚さで形成している。ダミー配線パタ
ーン２は、バネ部１ｂにおいて、サスペンション本体１
の長手方向の中心線４に関して、配線パターン３と物理
的特性が左右ほぼ対称になるように配置・形成されてい
る。

【００３２】図２は、図１のサスペンションと、比較例
としての従来の磁気ヘッド用サスペンションについて、
温度を２０度から８０度まで６０度上昇させた時のジン
バル部１ｄの中心線に対するねじれ角の絶対値を示して
いる。本測定は、「精密工学会誌」第５８巻第９号に見
られるようなホログラフィ干渉法を利用した熱変形計測
によって、変形量を求め、ねじれ角を算出したものであ
る。図２から明らかなとおり、従来のものは、３０分の
ねじれ角を生じたのに対して、本発明の実施例のもの
は、ねじれ角が０であった。ジンバル部１ｄにおけるね
じれ角３０分はスライダの浮上姿勢を変え、浮上量が変
動する。したがって、本発明は従来構造のものに比べ、
良好な浮上特性を確保することがわかる。

【００３３】図３は、図１の実施例に対して、配線パタ
ーン３の、サスペンション本体１のロードビーム部１ｃ
内にある部分３ａ、３ｂ、３ｃの導体パターン巾を、他
の部分の導体パターン巾より、約１０倍大きい巾で形成
した、本発明による磁気ヘッド用サスペンションの第２
の実施例を示すものである。本実施例によれば、配線パ
ターン全体の電気抵抗を大巾に低減することができ、磁
気ディスク装置の伝送特性におけるノイズ分を低減する
ことができる。

【００３４】図４は、サスペンション本体１の配線パタ
ーン３に対する装置側配線をマイクロストリップ線路に
より行えるようにした本発明の第３の実施例を示すもの
である。すなわち、図４に示すように、サスペンション
本体１のベース部１ａの後方を一部、ジンバル部１ｄと
反対側に伸ばした構造でストリップ部１ｅを形成し、こ
のストリップ部１ｅ上に、ベース１ａ上の配線パターン
３の延長として、装置側配線パターン１１を形成したも
のとなっている。図５に、装置側配線パターン１１の詳
細断面を示す。サスペンション本体１の延長部であるス
トリップ部１ｅの上に、絶縁膜１４としてポリイミドを
コーティングし、その上に導体１３がニッケル蒸着およ
び銅メッキによって形成され、さらに、保護膜１２とし
て、ポリイミドがその上にコーティングされている。

【００３５】図４、図５に示す構成により、サスペンシ
ョン本体１の磁気ヘッドスライダ側端子７から装置接続
用のＦＰＣ側端子８までの配線を一貫して、図５に示す
ような断面構造のマイクロストリップ配線とすることが
できる。マイクロストリップ線路にすることによって、
伝送線路としての設計が可能となる。

【００３６】なお、図４の実施例では、装置側配線パタ
ーン１１のスライダ端子側部１１ａ及びＦＰＣ端子側部
１１ｂが、図示しないＦＰＣ配線の便宜のためにほぼ直
角をなすように形成されている。このような構造を生産
上効率良く得るには、図６に示すように、ストリップ部
１ｅに予め、曲げ加工予定部２０を形成しておき、多数
のサスペンションにつき、装置側配線パターン１１を、
エッチングシートにおいて同一平面上に形成し、その
後、個々のサスペンション毎に上記曲げ加工予定部２０
の部分を９０゜曲げ加工する方法を採るのが望ましい。

【００３７】次に、ジンバル部１ｄにおける配線パター
ンの構成に関する実施例について説明する。図７は、本
発明による第４の実施例を示している。この実施例にお
いては、ジンバルの腕部１６において、配線パターン３
がサスペンション本体１から浮いた状態にあり、ジンバ
ル腕部１６において配線パターン３の微小部分がサスペ
ンション本体１のステンレスと相対運動できるような構
造になっている。このような構造にすることによって、
電気抵抗を下げるために配線パターン３の導体をジンバ
ル部１ｄ上において、厚くしても、その部分の配線パタ
ーンの剛性がジンバルのピッチ剛性及びロール剛性に影
響を与えることはほとんどない。

【００３８】また、図８は、本発明による第５の実施例
を示すもので、ジンバルの腕部１６に穴１７を設けるこ
とによって、配線パターン３による剛性上昇を腕部１６
の剛性低減によって防いでいる。これによって、導体を
厚くしても全体のピッチ剛性及びロール剛性は増大しな
い構造とすることができる。

【００３９】さらに、図９は、本発明による第６の実施
例を示すもので、磁気ヘッドのスライダ端子とサスペン
ションのジンバル部１ｄの配線側端子との間に、スリッ
ト１８があり、端子間接続を行なったときに生ずる応力
を緩和し、スライダの浮上特性に影響を及ぼすのを防ぐ
ようにしたものである。

【００４０】図１０は、本発明による第７の実施例を示
すものである。図１１は、図１０のジンバル部１ｄを拡
大したものである。磁気ヘッドのスライダの４端子のう
ち、内側２端子７ｂ１、７ｂ２と外側２端子７ａ１、７
ａ２から出た配線導体は、それぞれ、対７ｂ１−７ａ１
及び対７ｂ２−７ａ２を成して、配線パターン１９−１
および１９−２として、スライダ側接続端子近傍からＦ
ＰＣ側接続端子近傍まで、ほぼ一定間隔で平行な導体パ
ターンとして配線されている。なお、図１０における
２、並びに、図１１における２ａ、２ｂ及び２ｃは、そ
れぞれ、サスペンション本体１の物理的バランスを実現
するためのダミー配線パターンである。このような構造
にすることにより、ジンバル部において配線によってル
ープを形成することなく、伝送特性のノイズ分を低減す
ることが可能となる。

【００４１】

【発明の効果】本発明は、磁気ヘッド用サスペンション
において、有効配線パターン及びダミー配線パターンか
らなる配線パターンを、サスペンションの長手方向中心
線に対して左右対称に形成・配置しているので、磁気デ
ィスク装置内の温度変化に対して、ジンバル部にねじれ
変形を生じることがなく、スライダ浮上姿勢に悪影響を
及ぼさない。

【００４２】また、外部配線となる装置側配線も含めて
線路特性が確定しうるマイクロストリップ線路構造とし
たので高速データ転送に対応する磁気ディスク装置に好
適な配線構造を提供することができるさらに、配線パタ
ーンの導体パターンを、サスペンションのロードビーム
部対応位置では巾広に形成することにより、ジンバル部
では剛性軽減手段を設けることにより、磁気ヘッドの浮
上特性を損なうことなく、磁気ディスク装置の信号伝送
特性におけるノイズ分を低減できる。

【００４３】本発明は、ＭＩヘッドとＭＲヘッドとの複
合磁気ヘッド用のサスペンションに適用した場合に、構
造面において合理的であり、ヘッドの浮上姿勢・浮動特
性などの物理的特性や、リード・ライト時のデータ転送
速度、耐ノイズ性などの電気的特性において、特に顕著
な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図。

【図２】第１の実施例と従来の磁気ヘッド用サスペンシ
ョン温度変化によるジンバル部のねじれ角変化を示す
図。

【図３】第２の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図。

【図４】第３の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
斜視図。

【図５】第３の実施例のマイクロストリップ線路構造を
示す断面図。

【図６】第４の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
平面図。

【図７】第５の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
拡大斜視図。

【図８】第６の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
拡大斜視図。

【図９】第７の実施例の磁気ヘッド用サスペンションの
拡大斜視図。

【図１０】第８の実施例の磁気ヘッド用サスペンション
の平面図。

【図１１】図１０におけるジンバル部の拡大平面図。

【符号の説明】

１…サスペンション本体 １ａ…ベース部
１ｂ…バネ部 １ｃ…ロードビーム部 １ｄ…ジンバル部
１ｅ…ストリップ部 ２…ダミー配線パターン ３…有効配線パターン ４…中心線 ５…アクチュエータアー
ム ７…磁気ヘッドスライダ側接続用端子
８…装置側接続用端子 ９…ベースプレート １１…装置側配線パター
ン １２…保護膜 １３…導体パターン
１４…絶縁膜 １６…相対運動できるジンバルの腕部 １７…穴を有するジンバルの腕部 １８…スリット部 ２０…曲げ加工部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 利彦 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 松本 真明 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 時末 裕充 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会社 日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一体成形されたベース部、バネ部、ロード
   ビーム部及びジンバル部からなるサスペンション本体
   と、上記ジンバル部に搭載された磁気ヘッドと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターンとからな
   る磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上記配線パタ
   ーンを、上記サスペンション本体に対し、バネ部におい
   て、サスペンション本体の長手方向中心線に関して物理
   特性的に実質的に対称になるように配置形成したことを
   特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
2. 【請求項２】一体成形されたベース部、バネ部、ロード
   ビーム部及びジンバル部からなるサスペンション本体
   と、上記ジンバル部に搭載された磁気ヘッドと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターンとからな
   る磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上記サスペン
   ション本体のベース部はジンバル部と反対方向に伸びた
   ストリップ部を有し、上記配線パターンは、上記ジンバ
   ル部、ロードビーム部、バネ部、ベース部から上記スト
   リップ部に連続して形成されていることを特徴とする磁
   気ヘッド用サスペンション。
3. 【請求項３】ストリップ部の自由端側の配線パターン面
   と、ベース部上の配線パターン面とがほぼ直角の交差関
   係にあることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド用
   サスペンション。
4. 【請求項４】一体成形されたベース部、バネ部、ロード
   ビーム部及びジンバル部からなるサスペンション本体
   と、上記ジンバル部に搭載された磁気ヘッドと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターンとからな
   る磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上記配線パタ
   ーンのうちロードビーム部に対応する部分の導体パター
   ンを、他の部分より巾広に形成したことを特徴とする磁
   気ヘッド用サスペンション。
5. 【請求項５】一体成形されたベース部、バネ部、ロード
   ビーム部及びジンバル部からなるサスペンション本体
   と、上記ジンバル部に搭載された磁気ヘッドと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターンとからな
   る磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上記ジンバル
   部のジンバル腕部に対応する位置に、上記肉厚導体パタ
   ーンの剛性軽減手段を設けたことを特徴とする磁気ヘッ
   ド用サスペンション。
6. 【請求項６】一体成形されたベース部、バネ部、ロード
   ビーム部及びジンバル部からなるサスペンション本体
   と、上記ジンバル部に搭載された磁気ヘッドと、上記サ
   スペンション本体上に形成された配線パターンとからな
   る磁気ヘッド用サスペンションにおいて、上記磁気ヘッ
   ドは２つの磁気ヘッドからなる複合磁気ヘッドであり、
   上記配線パターンは上記ロードビーム部上に、上記中心
   線に関して、左右の端部に、それぞれ１対づつの導体パ
   ターンを含む沿道配線パターンと中心線を直角に横切る
   １対の導体パターンを含む横断配線パターンとからなる
   ことを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
7. 【請求項７】左右の端部に１つづつ設けられた沿道配線
   パターンは、それぞれが２つのヘッドの一方及び他方に
   対応していることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘ
   ッド用サスペンション。
8. 【請求項８】各沿道配線パターンは、ジンバル部内のほ
   ぼ等間隔で配線形成された、対の導体パターンを含む配
   線パターンを経由して複合磁気ヘッドの対応するヘッド
   端子に至っていることを特徴とする請求項６に記載の磁
   気ヘッド用サスペンション。