KR100192961B1 - 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그작동방법 - Google Patents

카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그작동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼 카세트를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부 하단에 장착되어 안착된 웨이퍼 카세트의 하단 부위를 걸어 고정할 수 있도록 걸림턱을 구비하는 고정부와, 상기 고정부에 고정된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼를 측정하는 측정부와, 상기 측정부에서 측정된 데이터를 나타내는 모니터부와, 상기의 진행 단계를 여러 색의 빛으로 나타내는 램프를 구비하는 발광부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
한편 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 작동 방법은 웨이퍼 카세트를 안착부에 안착시키고 작동 스위치를 누르는 제1 스텝과, 스위치의 접속에 의해 웨이퍼 카세트를 고정하고 그 완료를 작업자에게 알리는 제2 스텝과, 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 꺼내어 사전 조정한 후 측정부로 이송하는 제3 스텝과, 측정부에서 측정이 완료된 웨이퍼의 측정 데이터를 출력하고 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하는 제4 스텝과, 상기의 과정을 반복하여 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 그 종료를 작업자에게 알리는 제5 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.

Description

카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법
본 발명은 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있고, 측정의 진행 단계를 작업자가 용이하게 인식할 수 있는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법에 관한 것이다.
제1도는 선행 기술에 의한 웨이퍼 측정 장치를 개략적으로 도시한 정면도이고, 제2도는 선행 기술에 의한 웨이퍼 측정 장치의 로봇 아암 작동부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
제1도 및 제2도를 참조하면, 웨이퍼 측정 장치(10)는 크게 로봇 아암 작동부(2), 측정부(4), 모니터(6)로 구성되어 있는데, 상세히 살펴보면 다음과 같다.
사각 형상의 로봇 아암 작동부(2)는, 중앙에 설치되어 사방으로 운동할 수 있는 로봇 아암(2a)과, 양측변 중앙 부위에 각각 장착되어 웨이퍼 카세트를 안착하는 로케이터(2b)와, 일측변 중앙에 설치되어 로봇 아암에 로딩된 웨이퍼를 조정하는 얼라이너(2c)로 구성되어 있고, 측정부(4)는 상기 로봇 아암 작동부(2) 옆에 위치하여 로봇 아암(2a)에 로딩된 웨이퍼를 측정하며, 모니터(6)는 상기 측정부(4)에서 측정된 데이터를 나타낸다.
상기의 구성에 의한 웨이퍼 측정 장치(10)의 작동 과정을 살펴보면, 먼저 웨이퍼 카세트를 원하는 로케이터(2b)에 안착하고 스타트 버튼을 누르면 로봇 아암(2a)이 웨이퍼를 로딩하여 얼라이너(2c)에서 조정을 한다. 이 후 조정이 끝난 웨이퍼를 로봇 아암(2a)이 측정부(4)로 이송하여 웨이퍼를 측정하게 되고 모니터는 측정 결과를 나타낸다. 이 후 측정이 끝난 웨이퍼를 로봇 아암이 로딩하여 웨이퍼 카세트에 로딩한다. 이 후 복수 개의 다른 웨이퍼를 상기의 과정을 거쳐 모두 측정하고 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 작업자가 웨이퍼 카세트를 들어내어 작업을 종료한다.
그러나 대부분의 작업자는 바로 옆에 있는 로케이터(2b)에 웨이퍼 카세트를 올려놓는데 이 경우에는 웨이퍼 카세트 앞부분이 작업자가 보는 방향과 일치하게 되어 로봇 아암(2a)이 웨이퍼를 로딩/언로딩 하는 모습을 정확히 확인할 수 없는 문제점이 있었다.
또한 로봇 아암(2a)의 움직임 보다 데이터의 처리 및 디스플레이가 먼저 되기 때문에 모니터(6)를 통해 데이터를 확인하자마자 즉 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 완전히 들어오지 않았을 때 웨이퍼 카세트를 들어내어 웨이퍼가 파손되는 문제점도 있었다.
상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 창출된 본 발명은 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있고, 측정의 진행 단계를 작업자가 용이하게 인식할 수 있는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
제1도는 선행 기술에 의한 웨이퍼 측정 장치를 개략적으로 도시한 정면도.
제2도는 선행 기술에 의한 웨이퍼 측정 장치의 로봇 아암 작동부를 개략적으로 도시한 평면도.
제3도는 본 발명에 의한 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치를 개략적으로 도시한 정면도.
제4도는 본 발명에 의한 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 로롯 아암 작동부를 개략적으로 도시한 평면도.
제5도는 본 발명에 의한 카세트 잠금기를 개략적으로 도시한 정 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20 : 로봇 아암 작동부 22 : 로봇 아암
24 : 로케이터 26 : 얼라이너
40 : 측정부 60 : 모니터
80 : 전동축 82 : 걸림턱
90 : 타워 램프 100 : 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치는 웨이퍼 카세트를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부 하단에 장착되어 안착된 웨이퍼 카세트의 하단 부위를 걸어 고정할 수 있도록 걸림턱을 구비하는 고정부와, 상기 고정부에 고정된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼를 측정하는 측정부와, 상기 측정부에서 측정된 데이터를 나타내는 모니터부와, 상기의 진행 단계를 여러 색의 빛으로 나타내는 램프를 구비하는 발광부를 포함하여 구성됨를 특징으로 한다.
한편 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 작동 방법은 웨이퍼 카세트를 안착부에 안착시키고 작동 스위치를 누르는 제1 스텝과, 작동 스위치의 접속에 의해 웨이퍼 카세트를 고정하고 그 완료를 작업자에게 알리는 제2 스텝과, 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 꺼내어 사전 조정한 후 측정부로 이송하는 제3 스텝과, 측정부에서 측정이 완료된 웨이퍼의 측정 데이터를 출력하고 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하는 제4 스텝과, 상기의 과정을 반복하여 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 그 종료를 작업자에게 알리는 제5스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 예시된 도면 제3도 내지 제5도를 참조하여 본 발명에 의한 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법을 상세히 설명한다.
카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치(100)는 크게 로봇 아암 작동부(20), 측정부(40), 모니터(60)로 구성되어 있는데 상세히 살펴보면 다음과 같다.
로봇 아암 작동부(20)는, 로봇 아암(22)이 웨이퍼를 로딩하여 사방으로 운동할 수 있도록 중앙에 장착되어 있고, 로케이터(24)는 양측변 중앙에 2개가 장착되어 웨이퍼 카세트를 안착하도록 되어 있으며, 얼라이너(26)는 일측변 중앙에 장착되어 로봇 아암(22)에 로딩된 웨이퍼를 조정한다. 특히, 로케이터(24)에는 안착된 웨이퍼 카세트의 하단을 걸어 고정할 수 있도록 걸림턱(82)이 로봇 아암 작동부(20) 바닥 아래에 있는 전동축(80)에 결합되어 있고, 그 회전 범위가 일정한 각도로 제한되어 웨이퍼 카세트를 고정 또는 풀 수 있도록 되어 있다. 측정부(40)는 로봇 아암 작동부(20) 옆에 위치하여 로봇 아암(22)에 로딩된 웨이퍼를 측정한다. 모니터(60)는 상기 측정부(40)에서 측정된 데이터를 나타내며, 특히 모니터(60) 상부에는 파란색, 오렌지색, 빨강 색의 빛을 발하는 타워 램프(90)가 장착되어 작업자가 측정의 진행 단계를 용히하게 알 수 있도록 한다.
상기와 같은 실시예를 가진 본 발명에 의한 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치(100) 및 그 작동 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 웨이퍼 카세트를 로케이터(24)의 상단에 올려놓고 스타트 버튼을 누르면 로케이터(24)에 장착된 걸림턱(82)이 회전하여 웨이퍼 카세트 하단을 걸어서 고정한다. 이때 타워 램프(90)에서는 파란색의 빛을 발산하여 웨이퍼 카세트의 고정을 표시한다. 이 후 로봇 아암(22)은 웨이퍼를 로딩하여 얼라이너(26)로 이송하여 조정을 한 후 측정부(40)로 웨이퍼를 이송하여 측정을 한다. 이 후 측정부(40)에서는 측정된 웨이퍼의 데이터를 모니터(60)에 나타낸다. 상기의 과정을 반복하여 로봇 아암(22)이 마지막 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하면 걸림턱(82)이 회전하여 웨이퍼 카세트의 잠금 상태를 푼다. 이때 타워 램프(90)에서는 오렌지색의 빛을 발산하여 잠금 해제를 표시한다. 이 후 작업자가 로케이터(24)에서 웨이퍼 카세트에서 들어내면 타워 램프에서는 빨강 색의 빛을 발산하여 작업의 완료를 표시한다.
즉, 작업자는 로봇 아암(22)의 움직임을 확인하지 않고 단지 타워 램프(90)의 빛만을 확인하여 작업의 진행 과정을 파악할 수 있는 이점이 있고, 작업자가 상기와 같이 진행 과정을 확인하지 않고 웨이퍼 카세트를 들어올리려고 하여도 웨이퍼 카세트가 걸림턱(82)에 고정되어 있어 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼 측정 장치에 타워 램프와 걸림턱을 장착함으로써 측정의 편리성 및 측정의 효율성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 웨이퍼 카세트를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부 하단에 장착되어 안착된 웨이퍼 카세트의 하단 부위를 걸어 고정할 수 있도록 걸림턱을 구비하는 고정부와, 상기 고정부에 고정된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼를 측정하는 측정부와, 상기 측정부에서 측정된 데이터를 나타내는 모니터부와, 상기의 진행 단계를 여러 색의 빛으로 나타내는 램프를 구비하는 발광부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 걸림턱은 일정한 각도로 제한된 회전 범위 내에서 작동하여 웨이퍼 카세트를 잠그고 풀 수 있도록 구비되어 있음을 특징으로 하는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 램프는 웨이퍼 카세트가 안착부에 고정된 후, 측정된 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩된 후, 웨이퍼 카세트가 제거된 후, 장비가 다운이 된 직후에 작동됨을 특징으로 하는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치.
  4. 웨이퍼 카세트를 안착부에 안착시키고 작동 스위치를 누르는 제1스텝과, 작동 스위치의 접속에 의해 웨이퍼 카세트를 고정하고 그 완료를 작업자에게 알리는 제2스텝과, 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 꺼내어 사전 조정한 후 측정부로 이송하는 제3스텝과, 측정부에서 측정이 완료된 웨이퍼의 측정 데이터를 출력하고 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하는 제4스텝과, 상기의 과정을 반복하여 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 그 종료를 작업자에게 알리는 제5스텝으로 구성됨을 특징으로 하는 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 작동 방법.
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