KR20060036848A - 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로봇암의 선단에 결합되어 수평 및 회전이동이 가능하게 구비되는 한 쌍의 로봇 블레이드의 사이에 인입시켜 상기 로봇 블레이드의 수평도를 유지시키는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그에 있어서,
상기 수평지그는 상기 상부 로봇 블레이드의 하면과 하부 로봇 블레이드의 상면을 지지하는 한 쌍의 지지부와, 상기 한 쌍의 지지부 사이를 연결하는 연결부와, 상기 연결부에 설치되어 상기 수평지그의 수평도를 확인하는 수준기가 포함되는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그{Level Jig for Robot Blade of Wafer Transfer Robot}
도 1은 일반적인 웨이퍼 이송로봇이 설치된 반도체 제조설비의 일예를 도시한 개념도.
도 2는 도 1에 도시한 반도체 제조설비 중 본 발명의 웨이퍼 이송로봇이 설치된 트랜스퍼챔버를 도시한 사시도.
도 3은 도 1 내지 도 2에 도시된 A부분을 도시한 평면도.
도 4는 로봇 블레이드의 사이에 인입된 수평지그를 개략적으로 도시한 측면도.
도 5는 도 4의 수평지그를 개략적으로 도시한 평면도.
<주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 로드락챔버
130 : 쿨링챔버
150 : 얼라인챔버
170 : 프로세스챔버
180 : 트랜스퍼챔버
190 : 웨이퍼 이송로봇
191 : 로봇몸체
192 : 로봇암
193 : 로봇 블레이드
194 : 웨이퍼흡착부
200 : 수평지그
210 : 지지부
220 : 연결부
230 : 수준기
본 발명은 수평지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드의 수평도를 측정하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 이송설비는 웨이퍼를 안착하는 로봇 블레이드를 구비한 로봇 암(arm)과 상기 로봇암을 구동시키는 로봇몸체로 구성되어 웨이퍼를 이송하게 된다.
이 웨이퍼 이송 설비에 투입된 캐리어 박스에서 웨이퍼를 한 장씩 꺼내어 반응챔버로 이송시키고, 공정이 완료된 후에는 반응챔버에서 웨이퍼를 꺼내어 캐리어 박스로 재이송시킨다.
여기서, 한 쌍으로 설치되는 로봇블레이드는 로봇몸체와 로봇암의 상승, 하강, 회전, 신축 등의 동작에 따라 웨이퍼를 직접 이송시키는 역할을 하는 바, 웨이퍼가 안착되어 웨이퍼를 이동시키는 로봇 블레이드는 수평을 이루었는지에 대한 확인을 거쳐야 한다.
왜냐하면, 웨이퍼를 이송하는 도중에 로봇 블레이드가 수평이 되지 않을 때는 다음으로 이어지는 공정에서 웨이퍼를 제대로 된 위치로 안착할 수 없으며, 이동 시 카세트나 보트의 부딪힘에 의한 작업사고로 웨이퍼의 긁힘이나 깨짐현상이 발생된다.
그러므로, 로봇 블레이드가 수평을 이루었는지에 대하여 확인하고 수평도를 조절하는 것은 매우 중요하다. 이를 위해 수평기와 같은 수평감지수단을 이용하여 수평도를 확인한 후 로봇암과 로봇블레이드의 결합부분의 스크류를 조절하여 로봇 블레이드의 수평도를 조절한다.
그러나, 수평기를 이용하여 로봇 블레이드의 수평도의 확인 시 수평기의 무게로 인해 로봇 블레이드의 수평상태가 변화되어 정확한 수평도를 측정하지 못하는 문제점이 있으며, 로봇 블레이드에 놓는 수평기의 위치에 따라 수평도의 기준이 틀어지게 됨으로 정확한 수평을 이루지 못하여 전술한 작업사고로 인한 웨이퍼의 긁힘이나 깨짐 현상이 발생되는 문제점이 있고, 작업자마다 스크류조절의 기준이 달라 수평도의 일률적인 조정이 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 로봇 블레이드의 수평도를 확인하는 수평지그를 제작하여 이를 이용하여 로봇 블레이드의 수평도를 조절하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명은 로봇암의 선단에 결합되어 수평 및 회전이동이 가능하게 구비되는 한 쌍의 로봇 블레이드의 사이에 인입시켜 상기 로봇 블레이드의 수평도를 조절하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그에 있어서,
상기 수평지그는 상기 상부 로봇 블레이드의 하면과 하부 로봇 블레이드의 상면을 지지하는 한 쌍의 지지부와, 상기 한 쌍의 지지부 사이를 연결하는 연결부와, 상기 연결부에 설치되어 상기 수평지그의 수평도를 확인하는 수준기가 포함되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 지지부의 높이는 상기 한 쌍의 로봇 블레이드의 간격과 동일하게 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지부의 상면과 하면 및 상기 연결부는 평행을 이루는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명 반도체 제조설비용 웨이퍼 이송로봇의 바람직한 일실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일실시예인 웨이퍼 이송로봇이 설치된 반도체 제조설비의 일예를 도시한 개념도이고, 도 2는 도 1에 도시한 반도체 제조설비 중 본 발명의 웨이퍼 이송로봇이 설치된 트랜스퍼챔버를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1 내지 도 2에 도시된 A부분을 도시한 평면도이고, 도 4는 로봇 블레이드의 사이에 인입된 수평지그를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 5는 도 4의 수평지그를 개략적으로 도시한 평면도이다.
한편, 이해의 편의를 위하여 비록 다른 도면에 속하더라도 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 부여하였음을 주의해야 한다.
먼저, 도 1을 참조하여 본 발명 웨이퍼 이송로봇(190)이 설치되는 반도체 제조설비(100)의 일실시예를 구체적으로 설명하면, 본 발명에 따른 반도체 제조설비(100)는 웨이퍼(90) 상에 소정 프로세스(Process)가 진행되는 다수의 프로세스챔버(170)와, 이러한 다수의 프로세스챔버(170)에서 소정 프로세스를 진행 받을 수 있도록 선행공정을 수행한 웨이퍼(90)가 대기되는 로드락챔버(110)와, 로드락챔버(110)의 웨이퍼(90)가 프로세스챔버(170)로 이송되기전 미리 정렬되어지는 얼라인챔버(Align chamber,150)와, 프로세스챔버(170)에서 소정 프로세스를 진행 받은 웨이퍼(90)를 일정온도로 냉각시켜주는 쿨링챔버(Cooling chamber,130) 및 이러한 제반 챔버(110,130,150,170)에 각각 연결되도록 제반 챔버(110,130,150,170)의 중앙에 마련되며 공정진행에 따라 웨이퍼(90)를 일 챔버에서 타 챔버로 각각 이송시켜주도록 웨이퍼 이송로봇(190)이 설치된 트랜스퍼챔버(180)로 구성된다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송로봇(190)은 전체적으로 보아 상승, 하강 및 회전되는 로봇몸체(191)와, 로봇몸체(191)에 장착되며 공정진행에 따라 소정거리 신축되는 로봇암(192) 및, 로봇암(192)의 끝단부에 결합되며 로봇몸 체(191)와 로봇암(192)의 동작에 따라 웨이퍼(90)를 이송시켜주는 로봇블레이드(193,195)로 구성되며, 전술한 바와 같이 트랜스퍼챔버(180)의 중앙부분에 설치되어 공정진행에 따라 웨이퍼(90)를 일 챔버에서 타 챔버로 각각 이송시켜주는 역할을 한다.
이때, 로봇암(192) 및 이에 결합되는 로봇 블레이드(193,195)는 도시된 바와 같이 각각 별도로 구동되는 한쌍으로 이루어진다.
구체적으로, 트랜스퍼챔버(180)와 트랜스퍼챔버(180) 주변의 챔버들(110,130,150,170)은 모두 슬릿밸브(Slit valve,도 1의 181)에 의해 상호 연통 되는 바, 웨이퍼 이송로봇(190)은 공정진행에 따라 상승, 하강, 회전, 신축 등의 동작으로 동작되면서 이 슬릿밸브(181)를 통해 일 챔버에 위치한 웨이퍼(90)를 타 챔버로 이송시켜주게 된다.
한편, 도 3을 참조하면, 한 쌍의 로봇 블레이드(193,195)는 로봇몸체(191)와 로봇암(192)의 상승, 하강, 회전, 신축 등의 동작에 따라 웨이퍼(90)를 직접 이송시키는 역할을 하는 바, 한 쌍의 로봇 블레이드(193,195)의 끝단부 곧, 로봇암(192)에 결합되지 않은 한 쌍의 로봇 블레이드(193,195)의 끝단부에는 웨이퍼(90)를 지지 및 흡착하도록 '엔드 이펙터'라 불리는 웨이퍼흡착부(194)가 마련된다.
그리고, 상기 로봇 블레이드(193,195)는 로봇암(192)과 스크류(미도시)에 의해 결합되어, 스크류조정에 의해 로봇암(192)과 분리될 수 있으며, 로봇 블레이드(193,195)의 수평도를 조절할 수 있다.
한편, 상기 한 쌍의 로봇 블레이드(193,195)에 흡착되어 일챔버에서 타챔버 로 이송되는 웨이퍼(90)는 상기 로봇 블레이드(193,195)가 수평을 유지해야 타챔버에 웨이퍼가 불완전하게 안착되는 것을 방지하므로 수평도 유지가 필요하다.
로봇 블레이드의 수평도 조절에 대하여 도 4를 참조하여 살펴보면, 도시된 바와 같이 본 발명에서는 상기 한 쌍의 로봇 블레이드(193,195)의 사이에 인출입이 가능한 수평지그(200)를 이용하여 각 로봇 블레이드(193,195)의 수평도를 조절한다.
그리고, 상기 로봇 블레이드(193,195)의 사이에 상기 수평지그(200)를 인입시켜 수평도를 유지하기 위해서는, 상기 수평지그(200)의 높이는 각 로봇 블레이드(193,195)의 사이 간격과 동일하게 형성하여야 한다.
한편, 상기 수평지그(200)는 상부 로봇 블레이드(193)의 하면과 하부 로봇 블레이드(195)의 상면을 지지하는 한 쌍의 지지부(210)와 상기 지지부(210)의 사이를 연결하는 연결부(220)로 구성되고, 상기 연결부(220)의 상면에는 수준기(230)가 설치된다.
또한, 상기 지지부(210)의 상면과 하면 및 상기 연결부(220)는 서로 평행되게 설치되며, 이로 인해 지지부(210)에 의해 지지되는 로봇 블레이드(193,195)의 수평도를 연결부(220)에 설치된 수준기(230)에 의해 확인할 수있게 된다.
한편, 도면을 참조하여 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드의 수평지그의 작용 및 효과를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 수평지그(200)를 상부 로봇 블레이드(193)의 하면과 하부 로봇 블레이드(195)의 상면의 사이에 인입시킨다.
이후, 로봇 블레이드(193,195)의 사이에 인입된 수평지그(200)의 지지부(210)는 각 로봇 블레이드(193,195)에 면밀착하여 상기 로봇 블레이드(193,195)를 평행으로 유지시킨다. 그 다음으로 연결부(220)에 설치된 수준기(230)를 확인하여 상기 로봇 블레이드(193,195)의 수평을 확인한다.
이후, 수준기(230)를 이용하여 수평도를 확인해가면서 작업자는 먼저 상부 로봇 블레이드(195)를 로봇암(192)에 결합되도록 체결된 스크류를 조정하여 정밀한 수평도를 조절하고, 하부 로봇 블레이드(195)의 수평도를 마찬가지로 스크류를 조정하여 조절한다.
이때, 상기 하부 로봇 블레이드(195)는 지지부(210)에 의해 상부 로봇 블레이드(195)와 평행을 이루므로 지지부(210)에 밀착시켜 스크류를 조정하면 하부 로봇 블레이드(195)는 수평을 이루게 된다.
이후, 수평지그(200)를 로봇 블레이드(193,195)의 사이에서 인출시키면 로봇 블레이드(193,195)의 수평도 조절을 완료하게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 수평지그를 이용하여 한 쌍의 로봇 블레이드의 수평도를 측정하고 조절함으로써, 로봇 블레이드에 의해 이송되는 웨이퍼의 손상을 방지하며, 수평에 대한 기준을 제시함으로써 작업시간을 단축하는 효과가 있다.
이상, 본 발명은 도시된 특정 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (3)

  1. 로봇암의 선단에 결합되어 수평 및 회전이동이 가능하게 구비되는 한 쌍의 로봇 블레이드의 사이에 인입시켜 상기 로봇 블레이드의 수평도를 조절하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그에 있어서,
    상기 수평지그는 상기 상부 로봇 블레이드의 하면과 하부 로봇 블레이드의 상면을 지지하는 한 쌍의 지지부와, 상기 한 쌍의 지지부 사이를 연결하는 연결부와, 상기 연결부에 설치되어 상기 수평지그의 수평도를 확인하는 수준기가 포함되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 지지부의 높이는 상기 한 쌍의 로봇 블레이드의 간격과 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 지지부의 상면과 하면 및 상기 연결부는 평행을 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송로봇의 로봇 블레이드용 수평지그.
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