JP2590010B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 （産業上の利用分野） 本発明は、ウエハプローバ等の検査装置に関するもの
である。

（従来の技術） 通常、半導体ウエハ等の検査装置は、１つのステージ
部と１つのローダ部より構成され、ウエハは、ローダ部
によって１枚毎にステージ部に搬送されて良品と不良品
の検査を行うものである。

最近、２つのステージ部と１つのローダ部からなる検
査装置が提案されているが、これは、１つのステージ部
と１つのローダ部をもつ検査装置に比較して、床専有面
積が小さく、１キャリアに対するスループットが向上す
ると共に、１枚のウエハに対し２種類のテストができる
等の理由から提案されている（特開昭62−35212号、特
開昭57−68043号、特開昭57−115843号、特開昭60−496
42号、特開昭61−168236号、特開昭61−220349号、特開
昭63−129640号公報参照）。

（発明が解決しようとする課題） このように、２つのステージ部と１つのローダ部から
なる検査装置ではあるが、実際に２つのステージ部に対
するウエハプローバを実用上有益な構成が要求されてい
た。

本発明は、上記の問題点に鑑みて提案されたもので、
その目的とするところは、複数の測定ステージを有する
装置の使用上問題なく高効率に使用できる検査装置を提
供することにある。

発明の構成 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、被検査体を検
査するための複数のステージ部と１つのマイクロスコー
プをアーム機構に取付けた検査装置において、前記マイ
クロスコープを退避機構を介して一定の位置から退避す
るように設けると共に、この退避の有無を検出してアー
ム機構の揺動をロックするためのロック機構を設けた検
査装置である。

（作 用） 従って、本発明によると、マイクロスコープを取付け
たアーム機構を非回転支柱に揺動自在に設け、この非回
転支柱の上部に、１つのCRTを一方向に向けて配置し共
用しているため、一方のステージ部に被検査体をローダ
機構を介して搬送又は搬入している際に、他方のステー
ジ部において被検査体をアライメントや検査状態をCRT
に表示することができると共に、このCRTは、非回転支
柱の上部に一方向に向けて配置したので、検査装置のス
ペースを有効に利用することができる。

また、マイクロスコープを退避機構を介して一定の位
置から退避するように設け、この退避の有無を検出して
アーム機構の揺動をロックするためのロック機構を設け
たから、マイクロスコープを共用して使用する際にアー
ム機構を介して揺動させるが、このときキャリアやロー
ダ機構にマイクロスコープ等が不用意に接触することな
く安全に操作することができる。

（実施例） 以下、本発明における検査装置の一実施例をウエハプ
ローバに適用した例を図面を参照しながら詳述する。

第１図は、半導体ウエハの検査装置を示したもので、
この検査装置は、ウエハを検査するための複数のステー
ジ例えば二つのステージ部１、２とこのステージ部１、
２の中間部に設けたローダ部３の奥部上面に筒形状の非
回転支柱４を立設する。この非回転支柱４の外周部にア
ーム機構５の回動部６を回転自在に設けてアーム機構５
を揺動させるように構成し、このアーム機構５の先端部
に取付けた一つのマイクロスコープ７を揺動自在に設け
てマイクロスコープ７を各ステージ部１、２に共用する
ようにする。非回転支柱４の上部に載置部材８を固着
し、この載置部材８上にボルト8a等を介して、１つのCR
T9を一方向に向けて配置している。

また、ローダ部３は、ステージ部１、２にウエハを搬
送、搬入するものであり、ステージ部１、２は、ローダ
部３から搬送されたウエハにプローブ針を接触させて外
部テスタと導通させ外部テスタの判断でウエハに形成さ
れたチップを検査するものである。また、各ステージ部
１、２には、吸着機構を有するチャックトップとこのチ
ャックトップを駆動させてアライメントするための駆動
機構（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θの駆動機構）が内蔵されている。

また、マイクロスコープ７を揺動させる際に、退避機
構10を介して一定の位置から退避するように設け、この
退避の有無を検出してアーム機構５の揺動をロックする
ためのロック機構11を設ている。

上記の退避機構10とロック機構11を第２図乃至第４図
に従って説明すると、退避機構10は、マイクロスコープ
取付台12をステージ部１、２の面と接近又は離反させる
ガイド部材13と、マイクロスコープ７を上方向に付勢さ
せている引張ばね部材14と、マイクロスコープ７と連動
した操作支杆15と、マイクロスコープ取付台12に設けた
突起部16により構成されている。

また、ロック機構11は、突起部16が上部に移動したと
きに係合して押し上げる押上部材17とこの押上部材17に
連動したワイヤ18と、このワイヤ18によって上下するロ
ック棒19と、このロック棒19が下方に位置しているとき
に係止する係止溝20、21により構成されている。

なお、ロック機構11は、上記の例に限定されることな
く、退避機構10に連動してマイクロスコープ７が下方に
位置しているときに揺動しないようなロック機構であれ
ば良い。

次に上記実施例の作用を説明する。

マイクロスコープ７を取付けたアーム機構５を非回転
支柱４に揺動自在に設け、この非回転支柱４の上部に、
１つのCRT9を一方向に向けて配置することにより、一方
のステージ部に第２の半導体ウエハをローダ機構を介し
て搬送又は搬入している際に、他方のステージ部におい
てはすでに搬入されている第１のウエハをアライメント
する。この状態をCRT9に表示する。このCRT9は、非回転
支柱４の上部に設けた載置部材８に一方向に向けて配置
したので、ウエハプローバのスペースを有効に利用する
ことができ、しかも、中央位置に安定感を持って確実に
配置できる。

また、マイクロスコープ７を退避機構10を介して一定
の位置から退避するように設け、この退避の有無を検出
してアーム機構５の揺動をロックするためのロック機構
11を設けたから、仮にマイクロスコープ７が下方位置に
あるときにアーム機構５を揺動させると、ロック棒19が
第２図に示す位置にあり、従って、第３図においてアー
ム機構５を時計回り方向に揺動させると、ロック棒19が
係止溝20に係止してロックされるので、アーム機構５は
揺動できなくなるので、キャリア22やローダ機構（図示
せず）にマイクロスコープ等が不用意に接触することを
確実に防止することができる。

このようにして、アライメントが終了した後、ウエハ
のプロービング検査を実行する。この検査期間第２のウ
エハのアライメントを採り、検査が終了すると、次の第
３のウエハを搬入すると共に第２のウエハの検査を開始
する。このようにして一工程分タイミングをシフトする
ことにより、一台のアライメント機構で複数台の測定系
のアライメントを採ることができる。

発明の効果 以上のことから明らかなように、本発明によると、次
のような優れた効果がある。

即ち、ウエハ等の被検査体をアライメントする機構を
複数のステージに共用し、実質的に作業効率の低下が最
小限で済むばかりでなく、付属機構の利用効率が高いと
いう効果がある。

更に、マイクロスコープをアーム機構を介して揺動操
作をする際に、キャリアやローダ機構等の検査部材にマ
イクロスコープ等が不用意に接触することなく、安全に
操作することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明における検査装置の一実施例を示したもの
で、第１図は、ウエハプローバを示した斜視図、第２図
は、同上のCRT部分を示した部分拡大側面図、第３図
は、同上のアーム機構部分を示した部分拡大平面図、第
４図は、同上の退避機構部分を示した部分拡大断面図で
ある。 １、２……ステージ部、３……ローダ部 ４……非回転支柱、５……アーム機構 ７……マイクロスコープ、８……載置部材 ９……CRT、10……退避機構 11……ロック機構

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査体を検査するための複数のステージ
   部と１つのマイクロスコープをアーム機構に取付けた検
   査装置において、前記マイクロスコープを退避機構を介
   して一定の位置から退避するように設けると共に、この
   退避の有無を検出してアーム機構の揺動をロックするた
   めのロック機構を設けたことを特徴とする検査装置。