KR20070014876A - 반도체 제조 설비의 리드 힌지구조 - Google Patents

반도체 제조 설비의 리드 힌지구조 Download PDF

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Abstract

반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 제공한다. 상기 리드 힌지구조는 공정챔버와, 상기 공정챔버에 장착된 리드와, 상기 리드를 상하로 개폐되도록 안내하는 회전개폐부 및 상기 리드의 상하로의 개폐위치를 고정하도록 하는 고정핀과 같은 위치고정수단을 구비할 수 있다.

Description

반도체 제조 설비의 리드 힌지구조{LID HINGE STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}
도 1은 종래의 리드 힌지구조를 갖는 반도체 제조 설비를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 보여주는 부분사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 화살표 I 방향을 따르는 정면도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호설명 **
200 : 공정챔버
280 : 제 1연결부
282 : 위치고정홀
282a : 고정핀
300 : 리드
310 : 리드몸체
320 : 제 2연결부
323 : 고정홀
본 발명은 반도체 제조설비용 리드 힌지구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버를 개폐하는 리드의 개폐위치를 고정할 수 있도록 한 반도체 제조설비용 리드 힌지구조에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조설비는 식각 또는 확산과 같은 공정을 수행하기 위해 웨이퍼가 로딩/언로딩되는 공정챔버를 구비한다. 그리고, 공정챔버는 공정챔버의 내부공간을 개폐할 수 있는 리드를 구비한다.
도 1은 종래의 리드 힌지구조를 갖는 반도체 제조 설비를 보여주는 사시도이다.
도 1을 참조로 하면, 종래의 리드(100)는 리드몸체(110)와, 상기 리드몸체(110)의 상면부에 장착된 손잡이(120)를 구비한다.
그리고, 공정챔버(200)의 일측부와 상기 리드(100)는 연결된다. 상기 공정챔버(200)의 일측부에는 상기 리드(100)의 상하로의 회전을 지지할 수 있는 한조의 연결부(250)가 마련되고, 상기 리드몸체(110)의 일측부는 상기 한 조의 연결부(250)의 사이에 끼워지도록 된다.
그리고, 이와같이 끼워진 상기 리드몸체(110)의 일측부와 상기 한 조의 연결부(250)에는 각각 홀이 마련되고, 상기 홀에 지지핀(251)이 끼워져 상기 리드(100)의 상하로의 회전을 지지한다.
상기의 구성을 갖는 종래의 리드 힌지구조에 있어서, 상기 공정챔버(200)에 대한 정기점검작업을 수행하는 경우, 작업자는 상기 리드(100)의 손잡이(120)를 잡고 상측으로 들어올려 상기 공정챔버(200)의 내부를 개방한다.
이때, 작업자의 실수로 상기 손잡이(120)를 놓친다던가, 상기 리드(100)의 자체 중량으로 인해 상측으로 회전된 상기 리드(100)가 하측으로 회전하여 상기 공정챔버(200)의 내부를 밀폐하는 경우가 발생한다. 이에 따라, 정기점검작업을 수행하는 도중에 작업자의 신체 일부가 상기 리드몸체(110)와 상기 공정챔버(200)의 사이에 끼어 안전사고가 발생하는 문제점이 있다. 또한, 정기점검작업중에 상기 리드몸체(110)가 강제적으로 상기와 같이 상기 공정챔버(200)의 내부를 밀폐하므로, 정상적인 정기점검작업을 수행하지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 발명의 목적은 상기 공정챔버의 내부를 개방하기 위하여 상기 리드를 상측으로 들러올려 개방할 경우에, 상기 리드의 개폐위치를 고정하여 작업자의 안전과, 정상적인 정기점검작업을 수행할 수 있도록 한 반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 제공함에 있다.
본 발명은 반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 제공한다.
상기 리드 힌지구조는 공정챔버와, 상기 공정챔버에 장착된 리드와, 상기 리드를 상하로 개폐되도록 안내하는 회전개폐부 및 상기 리드의 상하로의 개폐위치를 고정하도록 하는 위치고정수단을 포함한다.
상기 일 실시예에 있어서, 상기 회전개폐부는 상기 공정챔버의 일단부에 나란하게 마련된 한 조의 제 1연결부와, 상기 리드에 마련되며, 상기 한 조의 연결부의 사이에 연결되는 제 2연결부를 구비할 수 있다.
다른 실시예에 있어서, 상기 제 1연결부는 상기 리드의 회전각도에 따라 균등간격으로 배치되어 천공된 복수개의 위치고정홀을 구비하며, 상기 제 2연결부는 상기 위치고정홀들 중 적어도 어느 하나와 일치되도록 천공된 고정홀을 구비할 수 있다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 위치고정수단은 상기 위치고정홀들 중 어느 하나와 상기 고정홀에 끼워져 상기 제 2연결부의 상하로의 회전개폐위치를 고정하는 고정핀일 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 설명하도록 한다.
먼저, 본 발명에 따르는 상기 리드 힌지구조의 구성을 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 반도체 제조설비의 리드 힌지구조를 보여주는 부분사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 화살표 I 방향을 따르는 정면도이다.
도 2를 참조로 하면, 본 발명에 따르는 리드 힌지구조는 공정챔버(200)와, 상기 공정챔버(200)의 내부를 개폐할 수 있도록 상기 공정챔버(200)에 장착되는 리드(300)와, 상기 리드(300)가 상기 공정챔버(200)의 내부를 개폐하되, 상하로 회전 하여 개폐할 수 있도록 안내하는 회전개폐부와, 상기 리드(300)의 상하로의 회전개폐의 위치를 고정할 수 있는 위치고정수단을 구비한다.
상기 리드(300)는 상기 공정챔버(200)의 내부를 개폐할 수 있을 정도의 크기를 갖는 리드몸체(310)와, 상기 리드몸체(310)에 장착되어 상기 공정챔버(200)의 내부로 소정의 공정가스를 제공할 수 있는 가스공급부(130)로 구성될 수 있다.
상기 회전개폐부는 상기 공정챔버(200)의 일단부에 마련된 제 1연결부(280)와, 상기 제1연결부(280)에 연결되도록 상기 리드몸체(310)의 일단부에 연장되며, 상기 리드(300)를 상하로 회전개폐를 안내하는 제 2연결부(320)로 구성될 수 있다.
여기서, 상기 제 1연결부(280)는 상기 공정챔버(200)의 상면부의 일단부에 나란하도록 배치되며, 한 조로 구성될 수 있다. 상기 한 조로 구성된 상기 제 1연결부(280)에는 중앙위치에 홀(281)이 각각 천공될 수 있다.
그리고, 상기 제 2연결부(320)는 상기 리드몸체(310)의 일단부에 연장되도록 마련되되, 상기 한 조의 제 1연결부(280)의 사이에 끼워지도록 될 수 있다. 상기 제 2연결부(320)에는 상기 제 1연결부(280)의 홀(281)과 동일 위치에 홀(321)이 천공될 수 있다.
또한, 상기 회전개폐부는 상기 제 1,2연결부(280, 320)의 홀(281, 321)에 끼워지는 회전지지핀(323a)을 더 구비할 수 있으며, 상기 제 1연결부(280)의 홀(281)의 외부로 돌출된 상기 회전지지핀(323a)의 양단부에 끼워져 체결되는 체결너트(323b)를 구비할 수 있다.
한편, 상기 한 조의 제 1연결부(280)에는 각각 상기 리드몸체(310)의 상하로 의 회전각도에 따라 균등간격으로 배치되어 천공된 복수개의 위치고정홀(282)이 마련될 수 있다.
상기 제 2연결부(320)에는 상기 복수개의 위치고정홀들(282) 중 어느 하나에 일치되도록 천공된 고정홀(323)이 마련될 수 있다. 상기 고정홀(323)은 상기 제 2연결부(320)를 관통하도록 천공될 수 있다.
그리고, 상기 위치고정수단은 상기 위치고정홀들(282) 중 어느 하나와 상기 고정홀(323)에 끼워져 상기 리드몸체(310)의 상하로의 회전개폐위치를 고정하는 고정핀(282a)일 수 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따르는 리드 힌지구조의 작용 및 효과를 설명하도록 한다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 리드(300)가 상기 공정챔버(200)의 내부를 밀폐하고 있는 경우, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제 2연결부(320)에 천공된 고정홀(323)은 상기 제 1연결부(280)에 천공된 복수개의 위치고정홀들(282) 중에 A위치의 위치고정홀(282)과 동일한 위치가 될 수 있다. 그리고, 고정핀(282a)은 상기 위치고정홀(282)과 상기 고정홀(323)을 관통하여 상기 리드몸체(310)를 상기 공정챔버(200)로부터 회동할 수 없도록 지지할 수 있다.
이와 같은 상태에서, 상기 공정챔버(200)에 대한 정기점검작업을 수행할 경우, 상기 리드(300)를 상측으로 회전개방함으로써, 상기 공정챔버(200)의 내부를 개방할 수 있다.
필요에 따라, 상기 리드몸체(310)를 상기 공정챔버(200)의 상부면으로부터 45도 정도로 상측으로 개방하여, 상기 공정챔버(200)의 내부를 개방할 수 있다.
이때, 상기 제 2연결부(320)에 천공된 고정홀(323)은 상기 제 1연결부(280)에 천공된 복수개의 위치고정홀들(282) 중에 B위치의 위치고정홀(282)과 동일한 위치가 될 수 있다.
그리고, 고정핀(282a)은 상기 B위치의 위치고정홀(282)과 상기 고정홀(323)을 관통하여 상기 리드몸체(310)를 상기 공정챔버(200)의 상면부로부터 45도 정도의 상측으로 경사진 상태를 유지할 수 있다.
또한, 상기 리드몸체(310)를 상기 공정챔버(200)의 상면부로부터 직각이되도록 상측으로 회전시켜, 상기 공정챔버(200)의 내부를 완전하게 개방할 수 있다.
이때, 상기 제 2연결부(320)에 천공된 고정홀(323)은 상기 제 1연결부(280)에 천공된 복수개의 위치고정홀들(282) 중에 C위치의 위치고정홀(282)과 동일한 위치가 될 수 있다.
그리고, 고정핀(282a)은 상기 C위치의 위치고정홀(282)과 상기 고정홀(323)을 관통하여 상기 리드몸체(310)를 상기 공정챔버(200)의 상면부로부터 직각이되도록 상측으로 경사진 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 상기 고정핀(282a)과 같은 위치고정수단은 상기 리드몸체(310)가 이와 같은 상태에서 회동할 수 없도록 지지할 수 있다.
그러므로, 상기 공정챔버(200)의 내부를 개방하기 위해, 상기 리드(300)를 상기 공정챔버(200)의 상면부로부터 상측으로 회전시켜 들어올릴 경우, 상기 제 2 연결부(320)의 고정홀(323)을 상기 복수개의 위치고정홀들(282) 중 원하는 위치고정홀(282)에 위치를 맞추고, 상기 고정핀(282a)을 사용하여 상기 리드몸체(310)의 회전개폐위치를 고정함으로써 상기 공정챔버(200)에 대한 정기점검작업을 안전하게 수행할 수 있다.
본 발명에 의하면, 상기 공정챔버와 상기 리드를 연결하는 회전개폐부에 상기 리드를 상측으로 회전시켜 개방할 경우, 상기 리드의 개방위치를 고정할 수 있도록 함으로써, 상기 공정챔버에 대한 정기점검작업 도중 상기 리드가 갑자기 닫혀지는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 작업자의 신체 일부가 상기 공정챔버와 상기 리드사이에 끼어 발생하는 안전사고를 미연에 방지할 수 있다.
또한, 정기점검작업시 상기 리드를 원하는 개방위치에서 고정할 수 있으므로 상기 공정챔버에 대한 정기점검작업을 정상적으로 수행할 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 공정챔버;
    상기 공정챔버에 장착된 리드;
    상기 리드를 상하로 개폐되도록 안내하는 회전개폐부; 및
    상기 리드의 상하로의 개폐위치를 고정하도록 하는 위치고정수단을 포함하는 반도체 제조설비의 리드 힌지구조.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 회전개폐부는 상기 공정챔버의 일단부에 나란하게 마련된 한 조의 제 1연결부와, 상기 리드에 마련되며, 상기 한 조의 연결부의 사이에 연결되는 제 2연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리드힌지구조.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1연결부는 상기 리드의 회전각도에 따라 균등간격으로 배치되어 천공된 복수개의 위치고정홀을 구비하며, 상기 제 2연결부는 상기 위치고정홀들 중 적어도 어느 하나와 일치되도록 천공된 고정홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리드힌지구조.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 위치고정수단은 상기 위치고정홀들 중 어느 하나와 상기 고정홀에 끼워져 상기 제 2연결부의 상하로의 회전개폐위치를 고정하는 고정핀인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 리드힌지구조.
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CN112735979A (zh) * 2020-12-24 2021-04-30 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺腔室

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