JPH09191041A - パーティクルの測定装置および測定方法 - Google Patents

パーティクルの測定装置および測定方法

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JPH09191041A
JPH09191041A JP8351235A JP35123596A JPH09191041A JP H09191041 A JPH09191041 A JP H09191041A JP 8351235 A JP8351235 A JP 8351235A JP 35123596 A JP35123596 A JP 35123596A JP H09191041 A JPH09191041 A JP H09191041A
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永 晧 李
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尚 奎 咸
Eikei Rin
永 奎 林
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炳 ▲そる▼ 安
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハのパーティクル測定過程をオペレー
タが容易に認識できるように表示させるとともに、ウェ
ーハの測定完了までカセットをホールドできるパーティ
クル測定装置および測定方法を提供する。 【解決手段】 測定装置の本体に装着したスタートスイ
ッチ１１の作動によりシステムコントローラ１２が駆動
し周辺装置に制御信号を出力し、この制御信号によりカ
セット２０を固定する第１、２ロケータ１９Ａ、１９Ｂ
と、制御信号により作動するロボット作動制御部１３が
ロボットアーム１４を駆動させウェーハをローディング
しフラットゾンの位置修正を行うアライナ１６と、ウェ
ーハに付着したパーティクルを測定するパーティクル測
定部１７と、この測定データを走査しディスプレイする
モニタ１８と、ウェーハの搬送過程を表示する表示手段
２２とを設けることによりウェーハの処理段階を視覚的
に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はパーティクルの測定
装置および測定方法に係り、より詳しくは、カセットホ
ールディング装置とウェーハに付着したパーティクル測
定過程を表示する表示部とを設けたパーティクルの測定
装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェーハの製造工程では製
造工程中にパーティクルなどがウェーハの表面に付着し
歩留りが大きく低下していしまうため極めて清浄である
ことが要求される。特に、最近では半導体産業において
集積度が非常に高いためパーティクルが生産歩留りに与
える影響は極めて大きい。このような問題を解決するた
め、従来パーティクル測定装置などを使用し突発的なパ
ーティクル汚染状況を検知し歩留りの低下を防止してい
る。この種の装置としては、たとえば特願平８−３７１
７７５号公報、特願平５−２８８６６９号公報特、また
は願昭６３−１７５７５１号公報などに記載がある。図
４は、従来のパーティクル測定装置の主要部を示す構成
図であり、図４（ａ）は装置の正面図を、図４（ｂ）は
装置のロボット作動制御部の詳細を示す平面図を各々示
している。
【０００３】図４に示すように、従来のパーティクル測
定装置は略箱状のシステムコントローラ２とロボット作
動制御部３とにより構成されている。ロボット作動制御
部３には、略中央にウェーハ５をロディングするロボッ
トアーム４が設けてあり、このロボットアーム４は回転
可能に設けられている。ロボットアーム４の周囲には、
複数のウェーハ５を収納したカセット１０を設置する第
１ロケータ９Ａと、測定後のウェーハ５を収納するカセ
ット１０が設置されている第２ロケータ９Ｂとが設けて
ある。第１ロケータ９Ａに対向する側面には、ロボット
アーム４によりウェーハ５をロディングしフラットゾン
の位置補正を行うアライナ６が設けられている。さらに
ロボット作動制御部３には、ロボットアーム４の下部に
ウェーハ５の表面に付着したパーティクルを測定するパ
ーティクル測定部７が設けてある。システムコントロー
ラ２は、パーティクル測定部７で測定されたパーティク
ルの測定データを受信し結果をディスプレイするモニタ
８が設けられている。またモニタ８の下部には、パーテ
ィクル測定装置を駆動させるスタートスイッチ１が設け
てある。
【０００４】このような構成による従来のパーティクル
測定装置を使用する場合には、オペレータがウェーハ５
を複数枚収納したカセット１０を第１ロケータ９Ａに設
置し、さらに第２ロケータ９Ａにウェーハ５が収納され
てないカセット１０を設置させスタートスイッチ１を作
動させる。スタートスイッチ１を作動するとシステムコ
ントローラ２は、ロボット作動制御部３に作動制御信号
を出力する。作動制御信号を受信したロボット作動制御
部３は、ロボットアーム４を駆動させカセット１０に収
納されている複数枚のウェーハ５から１枚ピックアップ
してアライナ６へ搬送する。アライナ６に搬送されたウ
ェーハ５は、フラットゾンの位置補正を実行した後、パ
ーティクル測定部７に搬送される。パーティクル測定部
７に搬送されたウェーハ５は、パーティクルの付着を測
定した測定データをシステムコントローラ２に出力する
とともにモニタ８に測定結果をディスプレイする。モニ
タ８に測定データがディスプレイされると、測定を終え
たウェーハ５をロボットアーム４がローディングし第２
ロケータ９Ｂに搬送しカセット１０に収納する。
【０００５】また、システムコントローラ２では、第１
ロケータ９Ａのカセット１０に収納されていたウェーハ
数を予めカウントし、この数の全てのウェーハが測定さ
れたか検知している。この結果、全てのウェーハが測定
されるとロボットアーム４の動作が停止する。また、全
てのウェーハが測定されていないとロボットアーム４
は、再び第１ロケータ９Ａのカセット１０から残りのウ
ェーハ５をローディングし上述の工程を繰り返す。この
ように全てのウェーハが測定されロボットアーム４が停
止すると、作業者がロケータ９Ａ、９Ｂに設置したウェ
ーハカセット１０を入替え再び前記工程を実行する。こ
のように測定過程をモニタ８にディスプレイさせ、この
データをオペレータが確認ながら実行していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パーティクル測定装置では測定が終了後、ロボットアー
ム４がロケータ９Ｂのカセット１０にウェーハ５を収納
する前に測定されたデータをモニタ８にディスプレイす
るため、最後のウェーハがロケータ９Ａから測定されモ
ニタ８にディスプレイされると、このデータを確認した
オペレータはロケータ９Ａ、９Ｂに設置されたカセット
１０の入替えを開始する。この時オペレータはカセット
１０によりロボットアーム４の動作を最後まで目視でき
ないためモニタ８のデータのみで判断しセット１０の入
替えを実行する。従って、ロボットアーム４が最後のウ
ェーハをロケータ９Ｂのカセット１０に収納する前にカ
セット１０をオペレータが入替えてしまうためウェーハ
を破損してしまい製造歩留りを低下させてしまう不具合
があった。本発明はこのような従来技術の問題を解決
し、ウェーハのパーティクル測定過程をオペレータが容
易に認識できるように表示させるとともに、ウェーハの
測定完了までカセットをホールドできるパーティクル測
定装置および測定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、測定装置の本体に装着されているスター
トスイッチを作動しパーティクル測定部から出力される
データを走査してモニタにディスブレイするとともに周
辺装置の作動を制御し所定の制御信号を出力するシステ
ムコントローラと、このシステムコントローラから出力
される制御信号によってロボットアームを駆動させるロ
ボット作動制御手段と、システムコントローラから出力
される制御信号に応して設置されたカセットを保持する
ロケータと、ロボット作動制御手段によって作動される
ロボットアームにより搬送しウェーハのフラットゾンを
位置補正するアライナと、ロボット作動制御手段により
駆動するロボットアームによってウェーハがローディン
グまたはアンローディングする過程を表示する表示手段
とを設ける。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明の
実施形態によるパーティクルの測定装置および測定方法
を詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態によるパ
ーティクル測定装置の主要部を示す構成図であり、図１
（ａ）は装置の正面図を、図１（ｂ）は装置のロボット
作動制御部の詳細を示す平面図を各々示している。図１
に示すように、本発明の実施形態によるパーティクル測
定装置は、略箱状のシステムコントローラ１２と、ロボ
ット作動制御部１３とにより構成されている。ロボット
作動制御部１３は、略中央にウェーハ１５をロディング
するロボットアーム１４が設けてあり、このロボットア
ーム１４は回転可能に設けられている。ロボットアーム
１４の周囲には、複数のウェーハ１５を収納したカセッ
ト２０を設置する第１ロケータ１９Ａと、測定後のウェ
ーハ５を収納するカセット１０が設置されている第２ロ
ケータ１９Ｂとが設けてある。
【０００９】図２は、図１に示す装置のロケータのホー
ルド手段と制御回路とを示した構成図である。図２に示
すように、第１、第２ロケータ１９Ａ、１９Ｂにはカセ
ットをホールドするホルダ４０が設けられてあり、この
ホルダ４０はシステムコントローラ１２から出力される
所定の駆動信号によって駆動するホルダ回転手段３５の
回転軸３０に回動可能に装着されている。またシステム
コントローラ１２には、モニタ１８と、パーティクル測
定部１７と、表示手段２２と、ホルダ回転手段３５とに
接続されており制御信号を出力し周辺装置を制御してい
る。
【００１０】また図１に示すように、第１ロケータ１９
Ａに対向する側面には、ロボットアーム１４によりウェ
ーハ１５をロディングしフラットゾンの位置補正を行う
アライナ１６が設けられている。さらに、ロボットアー
ム１４の下部にはウェーハ１５の表面に付着したパーテ
ィクルを測定するパーティクル測定部１７が設けてあ
る。システムコントローラ１２には、パーティクル測定
部１７で測定されたパーティクルの測定データを受信
し、結果をディスプレイするモニタ１８が設けられてい
る。また、モニタ１８の下部には、パーティクル測定装
置を駆動させるスタートスイッチ１１が設けてある。こ
のスタートスイッチ１１を駆動させることでロボット作
動制御部１３が駆動しロボットアーム１４を設定された
ブログラムに応じて動作するよう設けてある。また、シ
ステムコントローラ１２の上部には表示手段２２が設け
てあり、この表示手段２２には複数個の発光素子ＬＥＤ
１、ＬＥＤ２、ＬＥＤ３が設けられている。この発光素
子ＬＥＤ１、ＬＥＤ２、ＬＥＤ３は、パーティクル測定
の段階を表示しオペレータが容易に目視できるように設
けてある。
【００１１】次に、このような構成からなる本発明の実
施形態によるパーティクル測定装置の動作を図３を参照
し詳しく説明する。図３は、本発明の実施形態によるパ
ーティクル測定装置の動作を示すフロー図である。図３
に示すように、本発明の実施形態による装置を使用する
場合、まず複数枚のウェーハが収納されたカセットを第
１ロケータ１９Ａに設置するとともに、測定後のウェー
ハ５を収納するカセットを第２ロケータ１９Ｂに設置す
ることによりステップＳ１を実行する。ステップＳ１を
実行した後に、オペレータが測定装置のスタートスイッ
チ１を作動させ周辺装置に電源を供給するステップＳ２
を実行する。スタートスイッチ１により電源が供給され
ると、システムコントローラ１２は一定の間（ホルダが
カセットを保持する所要時間）制御信号をホルダ回転手
段３５に出力しホルダ回転手段３５を回転させる。この
ホルダ回転手段３５が回転すると回転軸３０に装着され
たホルダ４０が第１、２ロケータ９Ａ、９Ｂに設置され
たカセット２０を固定することによりステップＳ３を実
行する。
【００１２】ステップＳ３によりカセット２０がホルダ
４０によって固定されると、システムコントローラ１２
は表示手段２２の第１発光素子ＬＥＤ１を点灯させる。
このときシステムコントローラ１２から駆動手段２５に
制御信号を供給することによって第１発光素子ＬＥＤ１
が点灯されオペレータがカセット２０にホールドされた
状態を視覚的に目視することができる。このように第１
発光素子ＬＥＤ１を点灯しオペレータに目視させるステ
ップＳ４を実行する。ステップＳ４が実行され第１発光
素子ＬＥＤ１が点灯されると、システムコントローラ１
２はロボット作動制御手段１３を駆動させてカセット２
０に装着されている複数枚のウェーハの中から１枚ロー
ディングしアライナ１６に搬送するとともにウェーハの
フラットゾンを位置補正するステッブＳ５を実行する。
【００１３】ステップＳ５によりフラットゾンを位置補
正されたウェーハ１５は、ロボットアーム１４によって
パーティクル測定部１７に搬送されパーティクルの測定
を実行する。この測定データをシステムコントローラ１
２に出力することによりステッブＳ６が実行される。ス
テッブＳ６により測定されたデータがシステムコントロ
ーラ１２に入力されると、測定されたデータをモニタ１
８にディスプレイするステッブＳ７が実行される。ステ
ップＳ７を実行した後、パーティクル測定部１７で測定
後のウェーハを第２ロケータ１９Ｂに固定されたカセッ
ト２０にアンローディングするステッブＳ８を実行す
る。
【００１４】ステッブＳ８の測定を実行すると、これと
同時に第２ロケータ１９Ｂのカセット２０内にアンロー
ディングした枚数と、第１ロケータ９Ａのカセット２０
内に収納されていたウェーハの枚数とが一致し、全ての
パーティクル測定が完了されたか否かを判断し、この結
果をシステムコントローラ１２に出力するステップＳ９
を実行する。このときステップＳ９での判断結果が、全
てのウェーハがパーティクル測定されていない場合、ス
テップＳ５の戻り前述した工程を繰り返し全てのウェー
ハを測定し完了するまで実行する。またステップＳ９の
判断結果が、全てのウェーハをパーティクル測定し完了
している場合、表示手段２２の第２発光素子ＬＥＤ２を
一定時間だけ点灯させオペレータが第１ロケータ９Ａの
カセット１０に収納されたウェーハのパーティクル測定
が全て完了したことを視覚的に目視させる。このように
第２発光素子ＬＥＤ２を点灯しオペレータに目視させる
ステップＳ１０を実行する。
【００１５】ステップＳ１０を実行した後、表示手段２
２の第２発光素子ＬＥＤ２が一定時間点灯すると、オペ
レータはカセットを入替えるため終了スイッチ（図示せ
ず）によりホルダ４０のカセットの固定状態を解除しロ
ケータからカセットを入替え作業を行う。また、パーテ
ィクルを測定する途中に装置が誤動作するとシステムコ
ントローラ１２は表示手段２２の第３の発光素子ＬＥＤ
３を点灯させてオペレータに異常を知らせ誤動作を回避
させる。このように、オペレータは、表示手段２２によ
りパーティクル測定の過程を視覚的に目視し上述の工程
を繰り返し実行する。
【００１６】
【発明の効果】このように本発明の実施形態によるパー
ティクルの測定装置および測定方法によれば、表示手段
を用いてパーティクルの測定過程を表示することでオペ
レータは表示手段のみで全ての動作を把握でき生産工程
での生産効率を向上することができる。
【００１７】また、万一動作途中でカセットを入替えよ
うとしてもホルダに固定されているため、ウェーハとカ
セットとが衝突し破壊してしまうことを末然に防止する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態によるパーティクル測定装置
の主要部を示す構成図。
【図２】図１に示す装置のロケータのホールド手段と制
御回路とを示した構成図。
【図３】本発明の実施形態によるパーティクル測定装置
の動作を示すフロー図。
【図４】従来のパーティクル測定装置の主要部を示す構
成図。
【符号の説明】
１１ スタートスイッチ １２ システムコントローラ １３ ロボット作動制御手段 １４ ロボットアーム １５ ウェーハ １６ アライナ １７ パーティクル測定部 １８ モニタ １９Ａ 第１ロケータ １９Ｂ 第２ロケータ ２０ ウェーハカセット ２２ 表示手段 ２５ 駆動手段 ３０ 回転軸 ３５ ホルダ回転手段 ４０ ホルダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安 炳 ▲ソル▼ 大韓民国京畿道水原市八達区池洞123−30

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定装置の本体に装着したスタートスイ
    ッチを作動させパーティクル測定部から出力される測定
    データを走査しモニタにディスプレイするとともに、周
    辺装置の動作を制御し所定の制御信号を出力するシステ
    ムコントローラと、 前記システムコントローラから出力される制御信号によ
    りロボットアームを駆動させるロボット作動制御手段
    と、 前記システムコントローラから出力される制御信号によ
    りカセットを保持し固定する複数のロケータと、 前記ロボット作動制御手段によって駆動するロボットア
    ームによりウェーハを搬送しフラットゾンの位置補正を
    行うアライナと、 前記ロボット作動制御手段によって駆動するロボットア
    ームがウェーハをローディングまたはアンローディング
    する過程を表示する表示手段とからなることを特徴とす
    るパーティクルの測定装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載のパーティクルの測走装
    置において、 前記複数のロケータに前記システムコントローラから出
    力される所定の制御信号により駆動するホルダ回転手段
    を設け前記ホルダ回転手段の回転軸に装着し回転するこ
    とによりカセットを固定するホルダ部材を設けたことを
    特徴とするパーティクルの測走装置。
  3. 【請求項３】 複数枚のウェーハが収納されるカセット
    を第１、２ロケータに設置し測定を開始することにより
    第１、２ロケータに設置したカセットを保持し固定する
    ホールディング工程と、 前記ホールディング工程によりカセットを固定すると第
    １発光素子を一定時間点灯させ表示する第１表示工程
    と、 前記第１表示工程により第１発光素子が点灯すると第１
    ロケータに設置したカセットからウェーハをピックアッ
    プしフラットゾンの位置補正を行うウェーハフラットゾ
    ン補正工程と、 前記ウェーハフラットゾン補正工程によりフラットゾン
    の位置補正後、パーティクル測定部でウェーハに付着し
    たパーティクルを走査し測定するパーティクルスキャン
    ニングズ工程と、 前記パーティクルスキャンニング工程で算出された測定
    データをモニタにディスプレイするディスブレイ工程
    と、 前記パーティクルスキヤンニング工程で走査後のウェー
    ハを第２ロケータのカセットに搬送する移動工程と、 前記移動工程で搬送したウェーハの枚数と前記第１ロケ
    ータのカセットに収納されてたウェーハの数とが同じで
    あるか否かを判断する判断工程と、 前記判断工程で判断した結果が搬送したウェーハの数と
    第１ロケータのカセットに収納されてたウェーハの数と
    が同じであれば第２発光素子を一定の時間だけ点灯させ
    表示する第２表示工程とからなることを特徴とするパー
    ティクルの測定方法。
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