JP3591677B2 - Ic搬送用制御装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はIC試験装置に利用することができるIC搬送用制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3にこの発明によるIC搬送用制御装置を適用して好適なIC搬送装置の一例を示す。このIC搬送装置はベースとなる架台1の一辺側1Aに沿ってICを格納するためのトレー群2が配置される。トレー群2Aはローダ部に積み重ねられて配置されたトレー群を示す。ローダ部に積み重ねられて配置されたトレー群2Aにはこれから試験しようとするICが格納されている。
【0003】
トレー群2Aの最上段のトレーからX−Y搬送アーム3が真空吸着ヘッドによりICを1個乃至2個ずつ搬出してソークステージと呼ばれるIC搬送架台4に搬送する。IC搬送架台4にはICを受け取るための位置を規定するために、正方形の4辺が上向きの傾斜面で囲まれた位置決装置5が等角間隔に形成され、IC搬送架台4が例えば図の例では時計廻り方向に位置決装置5の配列ピッチずつ回動するごとに、X−Y搬送アーム3は各位置決装置5にICを1個或いは2個ずつ落とし込む。
【0004】
6はIC搬送架台4で運ばれて来たICをテスト部7に送り込むコンタクトアームを示す。コンタクトアーム6はIC搬送架台4に設けた各位置決装置5からICを真空吸着ヘッドによって吸着して取り出し、そのICをテスト部7に搬送する。コンタクトアーム6は3つのアームを有し、その3つのアームが回転して順次ICをテスト部7に送り込む動作と、テスト部7でテストが終了したICを出口側の搬送アーム8に引き渡す動作を行う。IC搬送架台4とコンタクトアーム6及びテスト部7はチャンバ9内に収納され、チャンバ9内が高温または低温の適当な温度に制御され、被試験ICに熱ストレスを加えることができる構造とされる。
【0005】
出口側の搬送アーム8で取り出されたICは試験の結果に応じてX−Y搬送アーム10によりトレー群2C,2D,2Eのいずれかに分別されて格納される。例えば不良のICはトレー群2Eのトレーに格納し、良品のICはトレー群2Dのトレーに格納し、再試験が必要なICはトレー群2Cのトレーに格納する。なお、トレー群2Bはローダ部で空になったトレーを積み重ねた空のトレー群を示す。この空のトレー群はトレー群2C,2D,2Eに積み重ねられたトレーの最上段のトレーが満杯になると、そのトレー群の上に運ばれてICの格納に利用される。
【0006】
図3に示したIC搬送装置において、X−Y搬送アーム3及びコンタクトアーム6、搬送アーム8、X−Y搬送アーム10のそれぞれに真空吸着ヘッドが搭載され、真空吸着ヘッドによってICを吸着して目的の位置にICを搬送している。
真空吸着ヘッドはICの吸着面に空気の吸引孔を有し、この空気の吸引孔から空気を吸引し、その吸引力によってICを吸着保持するように動作する。従って、特にICを吸着しようとする場合、ICの高さが規定より低くなっている場合、或いはICの姿勢不良の場合等に吸着が不可能になる不都合がある。従って時としてICを吸着しないまま、真空吸着ヘッドだけが次のステージに移動してしまう事故が起きる。このようにワーク(この場合IC)を搬送しないで機構部だけが移動する事故を一般にジャムと称している。
【0007】
従来より各真空吸着ヘッドにはICの吸着の有無を検出する手段が設けられ、このICの吸着の有無を検出してジャムの発生を検出し、装置を停止させる方法が採られている。
ジャムの発生位置が恒温槽9の外側であった場合は、操作員は試験装置を一旦停止させジャムが発生したICを除去し、又は搬送すべき位置に手で移動させることができ、ジャムの解除処理を簡単に行なうことができる。
【0008】
しかしながら、恒温槽9の内部でジャムが発生した場合には、恒温槽9のドアを開いてジャムの状態を解除しなければならない。恒温槽9のドアを開けると、恒温槽9の内部の温度が急変し、再び元の温度に戻るまでに時間が掛る不都合が生じ、その間試験を中断しなければならないから試験の効率が著しく悪くなる欠点が生じる。
【0009】
この不都合を解消するために、従来より、図4に示すように恒温槽9の外壁9Aに必要に応じて取り外すことができる部材をビス等で固定して取り付けておき、この部材を取り外すことにより孔11を形成し、この孔11からパイプ12Aの先に真空吸着ヘッド12Bを装備した操作棒12を操作員が挿入し、操作棒12でジャム状態にあるICを除去する方法を採っている。尚、パイプ12Aには特に図示しないが、ホースが接続され真空ポンプに接続される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この方法で除去できるICは例えばIC搬送架台4上で位置決装置5に正しく位置決めされない状態で載せられたIC或はコンタクトアーム6が回転中に落下させたIC等である。
上述した操作棒によって除去できない状態のICがある。このICはコンタクトアーム6がIC搬送架台4からICを吸着できなかった場合、或はテスト部7からコンタクトアーム6に吸着されるべきICが吸着できなかった場合に発生する。つまり、位置決装置5からICを吸着してテスト部7に移動させる場合、或はテスト部7で試験が終了し、コンタクトアーム6がICを吸着して搬送アーム8に引き渡す場合に、位置決装置5又はテスト部7の上に載置されたICを吸着できなかったとすると、コンタクトアーム6はジャムの発生を検知してその位置で停止する。この結果、コンタクトアーム6の真空吸着ヘッドは吸着し損なったICの上を塞いだ状態で停止してしまうから、この状況では操作棒12を挿入してもICを位置決装置5又はテスト部7の上から取り出すことができない不都合が生じる。
【0011】
従ってこの場合には恒温槽9のドアを開き、コンタクトアーム6を手動で回転させ、ジャムの状態にあるICの上部を解放させてICを除去しなければならない。よって、この場合には恒温槽9の温度が大きく変化してしまい、温度が元に戻るまで待たなくてはならない不都合が生じる。
この発明の目的は真空吸着ヘッドがICを吸着し損なってジャムが発生した場合でも恒温槽のドアを開けなくて済むIC搬送用制御装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明では、真空吸着ヘッドがICの吸着に失敗してジャムが発生したことを検出すると、ジャム検出手段によりIC搬送装置の動作を一時停止させると共に、真空吸着ヘッドをジャムが発生した位置から離れた位置まで移動させて停止させる移動制御手段を設けた構成を特徴とするものである。
【0013】
この発明の構成によれば真空吸着ヘッドがICの吸着に失敗してジャムが発生しても、真空吸着ヘッドはその位置で一時停止した後、ジャムの発生位置から離れた位置まで移動して停止し、ジャムの発生位置の上部を解放させる。ジャム発生位置の上部が解放されることにより上述した操作棒によって恒温槽の外からICを除去することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明の一実施例を示す。20はこの発明によるIC搬送用制御装置を示す。この発明によるとIC搬送用制御装置20はマイクロコンピュータによって構成することができる。マイクロコンピュータは周知のように、中央演算処理装置21と、この中央演算処理装置21を所定の順序で動作させるためのプログラムを格納したメモリ22と、外部からのデータ等を一時記憶する読み出し、書き込み可能なメモリ(以下RAMと称す)23と、入力ポート24、出力ポート25とによって構成される。
【0015】
メモリ22にはプログラムによって構成されるシーケンス制御手段22Aが設けられ、このシーケンス制御手段22Aによって図3に示したIC搬送装置の各部が動作し、ICを搬送し試験を実行する。30はシーケンス制御手段22Aによって制御されるパルスモータ、エアーシリンダ等の各被制御機器群を示す。31はこの被制御機器群30の中で特にコンタクトアーム6を駆動するためのパルスモータを具体的に示す。
【0016】
メモリ22にはシーケンス制御手段22Aの他に、ジャム検出手段22Bが設けられている。このジャム検出手段22Bは例えば各真空吸着ヘッドに設けた光学検知スイッチ32の検知信号とシーケンス制御手段22Aの制御状態とによってジャムの発生を検出する。
この例ではコンタクトアーム6をジャム検出対象とした場合について説明する。コンタクトアーム6には図3の例では各アームのそれぞれに2個を1組として3組の真空吸着ヘッドが設けられる。各真空吸着ヘッドの組に光学検知スイッチ32A,32B,32Cが設けられる。各光学検知スイッチ32A〜32Cは各真空吸着ヘッドにICが吸着されていれば例えば「1」論理の検知信号を出力し、ICを吸着していない状態では「0」論理の検知信号を出力する。
【0017】
コンタクトアーム6の一つのアームがIC搬送架台4の位置決装置5からICを吸着してテスト部7に搬送すべき状況、及びテスト部7からICを吸着して搬送アーム8に引き渡す状況において、ICを吸着して上昇動作に入った時点で例えば光学検知スイッチ32Aと32Bの検知信号が「1」論理であればICを吸着している状態であるから、そのままコンタクトアーム6は回転を始め、テスト部7及び搬送アーム8にICを運ぶことができる。
【0018】
これに対し、真空吸着ヘッドを上昇させるシーケンスに入った時点で光学検知スイッチ例えば32Aと32Bの何れか一方又は双方の検知信号が「0」論理であった場合には、ICを吸着していないからジャム検出手段22Bはジャムの発生を検出し、シーケンス制御手段22Aにジャム検出信号を送り、搬送装置の全体を停止させる。
【0019】
この発明ではメモリ22に移動制御手段22Cを設けた構成を特徴とするものである。この移動制御手段22Cはジャム検出手段22Bがジャムの発生を検出し、シーケンス制御手段22AがIC搬送装置の全体を停止させた後に起動され、コンタクトアーム6をジャム発生位置から離れた位置まで移動させる制御を行なう。
【0020】
このためには、移動制御手段22Cが起動されると、コンタクトアーム6を駆動するためのパルスモータ31に所定個数の駆動パルスを与える。駆動パルスの個数はコンタクトアーム6をこの例では約60°程度回動させるに要する個数に選定しておけばよい。
移動制御手段22Cがコンタクトアーム6を約60°回動させると、駆動パルスの供給が断たれコンタクトアーム6は停止状態となる。この状態でIC搬送架台4上の位置決装置5(ICが取り残された位置決装置)とテスト部7の上部からコンタクトアーム6のアームが除去された状態にあるから、図4に示したように恒温槽9の外壁に孔11を開け、この孔11を通じて操作棒12を挿入し、IC搬送架台4上の位置決装置5又はテスト部7に取り残されたICを取り除くことができる。
【0021】
ジャム状態にあるICを取り除いた後、操作者は解除スイッチ33をオンに操作し、解除信号をIC搬送用制御装置20に入力する。この解除信号が入力されることによってメモリ22に設けた解除手段22Dが起動され、解除手段22DによってIC搬送用制御装置20が再起動され、シーケンス制御手段22Aの制御状態に戻される。つまり、コンタクトアーム6は正規の停止位置A,B,Cにアームを停止した姿勢に戻され、通常の動作状態に戻される。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればIC搬送装置にジャムが発生すると、IC搬送装置はその動作を一時停止し、その停止状態で移動制御手段22Cが起動されてコンタクトアーム6を所定量移動させ、ジャム発生位置の上部を解放させる。従って、真空吸着ヘッドがICを吸着し損なって発生したジャムであっても恒温槽9のドアを開くことなく、ジャム状態にあるICを除去することができる。この結果恒温槽9の温度を変動させることなくジャムの状態を解除できるから、ジャムが発生したとしても、短時間に元の試験状態に戻すことができる。よって試験を効率よく行なうことができる利点が得られる。
【0023】
尚、上述ではICをコンタクトアーム6でテスト部7に送り込む構造のIC搬送装置に応用した場合を示すが、この発明はこの形式のIC搬送装置に限らず、真空吸着ヘッドをX−Y方向に移動させて、ICをトレーからICテスト部に送り込む形式のIC搬送装置或は汎用のトレーからテスト用トレーにICを積み替え、テストトレーをテスト部に移動させ、テストトレーにICを搭載した状態のままICを試験する形式のIC搬送装置にもこの発明を適用できることは容易に理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を説明するためのブロック図。
【図2】この発明の要部の動作を説明するための平面図。
【図3】この発明を適用して好適なIC搬送装置の一例を説明するための平面図。
【図4】恒温槽の外側からジャム状態にあるICを除去する方法を説明するための断面図。
【符号の説明】
3 X−Y搬送アーム
4 IC搬送架台
5 位置決装置
6 コンタクトアーム
7 テスト部
8 搬送アーム
9 恒温槽
9A 外壁
11 孔
12 操作棒
20 IC搬送用制御装置
21 中央演算処理装置
22 メモリ
22A シーケンス制御手段
22B ジャム検出手段
22C 移動制御手段
22D 解除手段
【発明の属する技術分野】
この発明はIC試験装置に利用することができるIC搬送用制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3にこの発明によるIC搬送用制御装置を適用して好適なIC搬送装置の一例を示す。このIC搬送装置はベースとなる架台1の一辺側1Aに沿ってICを格納するためのトレー群2が配置される。トレー群2Aはローダ部に積み重ねられて配置されたトレー群を示す。ローダ部に積み重ねられて配置されたトレー群2Aにはこれから試験しようとするICが格納されている。
【0003】
トレー群2Aの最上段のトレーからX−Y搬送アーム3が真空吸着ヘッドによりICを1個乃至2個ずつ搬出してソークステージと呼ばれるIC搬送架台4に搬送する。IC搬送架台4にはICを受け取るための位置を規定するために、正方形の4辺が上向きの傾斜面で囲まれた位置決装置5が等角間隔に形成され、IC搬送架台4が例えば図の例では時計廻り方向に位置決装置5の配列ピッチずつ回動するごとに、X−Y搬送アーム3は各位置決装置5にICを1個或いは2個ずつ落とし込む。
【0004】
6はIC搬送架台4で運ばれて来たICをテスト部7に送り込むコンタクトアームを示す。コンタクトアーム6はIC搬送架台4に設けた各位置決装置5からICを真空吸着ヘッドによって吸着して取り出し、そのICをテスト部7に搬送する。コンタクトアーム6は3つのアームを有し、その3つのアームが回転して順次ICをテスト部7に送り込む動作と、テスト部7でテストが終了したICを出口側の搬送アーム8に引き渡す動作を行う。IC搬送架台4とコンタクトアーム6及びテスト部7はチャンバ9内に収納され、チャンバ9内が高温または低温の適当な温度に制御され、被試験ICに熱ストレスを加えることができる構造とされる。
【0005】
出口側の搬送アーム8で取り出されたICは試験の結果に応じてX−Y搬送アーム10によりトレー群2C,2D,2Eのいずれかに分別されて格納される。例えば不良のICはトレー群2Eのトレーに格納し、良品のICはトレー群2Dのトレーに格納し、再試験が必要なICはトレー群2Cのトレーに格納する。なお、トレー群2Bはローダ部で空になったトレーを積み重ねた空のトレー群を示す。この空のトレー群はトレー群2C,2D,2Eに積み重ねられたトレーの最上段のトレーが満杯になると、そのトレー群の上に運ばれてICの格納に利用される。
【0006】
図3に示したIC搬送装置において、X−Y搬送アーム3及びコンタクトアーム6、搬送アーム8、X−Y搬送アーム10のそれぞれに真空吸着ヘッドが搭載され、真空吸着ヘッドによってICを吸着して目的の位置にICを搬送している。
真空吸着ヘッドはICの吸着面に空気の吸引孔を有し、この空気の吸引孔から空気を吸引し、その吸引力によってICを吸着保持するように動作する。従って、特にICを吸着しようとする場合、ICの高さが規定より低くなっている場合、或いはICの姿勢不良の場合等に吸着が不可能になる不都合がある。従って時としてICを吸着しないまま、真空吸着ヘッドだけが次のステージに移動してしまう事故が起きる。このようにワーク(この場合IC)を搬送しないで機構部だけが移動する事故を一般にジャムと称している。
【0007】
従来より各真空吸着ヘッドにはICの吸着の有無を検出する手段が設けられ、このICの吸着の有無を検出してジャムの発生を検出し、装置を停止させる方法が採られている。
ジャムの発生位置が恒温槽9の外側であった場合は、操作員は試験装置を一旦停止させジャムが発生したICを除去し、又は搬送すべき位置に手で移動させることができ、ジャムの解除処理を簡単に行なうことができる。
【0008】
しかしながら、恒温槽9の内部でジャムが発生した場合には、恒温槽9のドアを開いてジャムの状態を解除しなければならない。恒温槽9のドアを開けると、恒温槽9の内部の温度が急変し、再び元の温度に戻るまでに時間が掛る不都合が生じ、その間試験を中断しなければならないから試験の効率が著しく悪くなる欠点が生じる。
【0009】
この不都合を解消するために、従来より、図4に示すように恒温槽9の外壁9Aに必要に応じて取り外すことができる部材をビス等で固定して取り付けておき、この部材を取り外すことにより孔11を形成し、この孔11からパイプ12Aの先に真空吸着ヘッド12Bを装備した操作棒12を操作員が挿入し、操作棒12でジャム状態にあるICを除去する方法を採っている。尚、パイプ12Aには特に図示しないが、ホースが接続され真空ポンプに接続される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この方法で除去できるICは例えばIC搬送架台4上で位置決装置5に正しく位置決めされない状態で載せられたIC或はコンタクトアーム6が回転中に落下させたIC等である。
上述した操作棒によって除去できない状態のICがある。このICはコンタクトアーム6がIC搬送架台4からICを吸着できなかった場合、或はテスト部7からコンタクトアーム6に吸着されるべきICが吸着できなかった場合に発生する。つまり、位置決装置5からICを吸着してテスト部7に移動させる場合、或はテスト部7で試験が終了し、コンタクトアーム6がICを吸着して搬送アーム8に引き渡す場合に、位置決装置5又はテスト部7の上に載置されたICを吸着できなかったとすると、コンタクトアーム6はジャムの発生を検知してその位置で停止する。この結果、コンタクトアーム6の真空吸着ヘッドは吸着し損なったICの上を塞いだ状態で停止してしまうから、この状況では操作棒12を挿入してもICを位置決装置5又はテスト部7の上から取り出すことができない不都合が生じる。
【0011】
従ってこの場合には恒温槽9のドアを開き、コンタクトアーム6を手動で回転させ、ジャムの状態にあるICの上部を解放させてICを除去しなければならない。よって、この場合には恒温槽9の温度が大きく変化してしまい、温度が元に戻るまで待たなくてはならない不都合が生じる。
この発明の目的は真空吸着ヘッドがICを吸着し損なってジャムが発生した場合でも恒温槽のドアを開けなくて済むIC搬送用制御装置を提供しようとするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明では、真空吸着ヘッドがICの吸着に失敗してジャムが発生したことを検出すると、ジャム検出手段によりIC搬送装置の動作を一時停止させると共に、真空吸着ヘッドをジャムが発生した位置から離れた位置まで移動させて停止させる移動制御手段を設けた構成を特徴とするものである。
【0013】
この発明の構成によれば真空吸着ヘッドがICの吸着に失敗してジャムが発生しても、真空吸着ヘッドはその位置で一時停止した後、ジャムの発生位置から離れた位置まで移動して停止し、ジャムの発生位置の上部を解放させる。ジャム発生位置の上部が解放されることにより上述した操作棒によって恒温槽の外からICを除去することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明の一実施例を示す。20はこの発明によるIC搬送用制御装置を示す。この発明によるとIC搬送用制御装置20はマイクロコンピュータによって構成することができる。マイクロコンピュータは周知のように、中央演算処理装置21と、この中央演算処理装置21を所定の順序で動作させるためのプログラムを格納したメモリ22と、外部からのデータ等を一時記憶する読み出し、書き込み可能なメモリ(以下RAMと称す)23と、入力ポート24、出力ポート25とによって構成される。
【0015】
メモリ22にはプログラムによって構成されるシーケンス制御手段22Aが設けられ、このシーケンス制御手段22Aによって図3に示したIC搬送装置の各部が動作し、ICを搬送し試験を実行する。30はシーケンス制御手段22Aによって制御されるパルスモータ、エアーシリンダ等の各被制御機器群を示す。31はこの被制御機器群30の中で特にコンタクトアーム6を駆動するためのパルスモータを具体的に示す。
【0016】
メモリ22にはシーケンス制御手段22Aの他に、ジャム検出手段22Bが設けられている。このジャム検出手段22Bは例えば各真空吸着ヘッドに設けた光学検知スイッチ32の検知信号とシーケンス制御手段22Aの制御状態とによってジャムの発生を検出する。
この例ではコンタクトアーム6をジャム検出対象とした場合について説明する。コンタクトアーム6には図3の例では各アームのそれぞれに2個を1組として3組の真空吸着ヘッドが設けられる。各真空吸着ヘッドの組に光学検知スイッチ32A,32B,32Cが設けられる。各光学検知スイッチ32A〜32Cは各真空吸着ヘッドにICが吸着されていれば例えば「1」論理の検知信号を出力し、ICを吸着していない状態では「0」論理の検知信号を出力する。
【0017】
コンタクトアーム6の一つのアームがIC搬送架台4の位置決装置5からICを吸着してテスト部7に搬送すべき状況、及びテスト部7からICを吸着して搬送アーム8に引き渡す状況において、ICを吸着して上昇動作に入った時点で例えば光学検知スイッチ32Aと32Bの検知信号が「1」論理であればICを吸着している状態であるから、そのままコンタクトアーム6は回転を始め、テスト部7及び搬送アーム8にICを運ぶことができる。
【0018】
これに対し、真空吸着ヘッドを上昇させるシーケンスに入った時点で光学検知スイッチ例えば32Aと32Bの何れか一方又は双方の検知信号が「0」論理であった場合には、ICを吸着していないからジャム検出手段22Bはジャムの発生を検出し、シーケンス制御手段22Aにジャム検出信号を送り、搬送装置の全体を停止させる。
【0019】
この発明ではメモリ22に移動制御手段22Cを設けた構成を特徴とするものである。この移動制御手段22Cはジャム検出手段22Bがジャムの発生を検出し、シーケンス制御手段22AがIC搬送装置の全体を停止させた後に起動され、コンタクトアーム6をジャム発生位置から離れた位置まで移動させる制御を行なう。
【0020】
このためには、移動制御手段22Cが起動されると、コンタクトアーム6を駆動するためのパルスモータ31に所定個数の駆動パルスを与える。駆動パルスの個数はコンタクトアーム6をこの例では約60°程度回動させるに要する個数に選定しておけばよい。
移動制御手段22Cがコンタクトアーム6を約60°回動させると、駆動パルスの供給が断たれコンタクトアーム6は停止状態となる。この状態でIC搬送架台4上の位置決装置5(ICが取り残された位置決装置)とテスト部7の上部からコンタクトアーム6のアームが除去された状態にあるから、図4に示したように恒温槽9の外壁に孔11を開け、この孔11を通じて操作棒12を挿入し、IC搬送架台4上の位置決装置5又はテスト部7に取り残されたICを取り除くことができる。
【0021】
ジャム状態にあるICを取り除いた後、操作者は解除スイッチ33をオンに操作し、解除信号をIC搬送用制御装置20に入力する。この解除信号が入力されることによってメモリ22に設けた解除手段22Dが起動され、解除手段22DによってIC搬送用制御装置20が再起動され、シーケンス制御手段22Aの制御状態に戻される。つまり、コンタクトアーム6は正規の停止位置A,B,Cにアームを停止した姿勢に戻され、通常の動作状態に戻される。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によればIC搬送装置にジャムが発生すると、IC搬送装置はその動作を一時停止し、その停止状態で移動制御手段22Cが起動されてコンタクトアーム6を所定量移動させ、ジャム発生位置の上部を解放させる。従って、真空吸着ヘッドがICを吸着し損なって発生したジャムであっても恒温槽9のドアを開くことなく、ジャム状態にあるICを除去することができる。この結果恒温槽9の温度を変動させることなくジャムの状態を解除できるから、ジャムが発生したとしても、短時間に元の試験状態に戻すことができる。よって試験を効率よく行なうことができる利点が得られる。
【0023】
尚、上述ではICをコンタクトアーム6でテスト部7に送り込む構造のIC搬送装置に応用した場合を示すが、この発明はこの形式のIC搬送装置に限らず、真空吸着ヘッドをX−Y方向に移動させて、ICをトレーからICテスト部に送り込む形式のIC搬送装置或は汎用のトレーからテスト用トレーにICを積み替え、テストトレーをテスト部に移動させ、テストトレーにICを搭載した状態のままICを試験する形式のIC搬送装置にもこの発明を適用できることは容易に理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を説明するためのブロック図。
【図2】この発明の要部の動作を説明するための平面図。
【図3】この発明を適用して好適なIC搬送装置の一例を説明するための平面図。
【図4】恒温槽の外側からジャム状態にあるICを除去する方法を説明するための断面図。
【符号の説明】
3 X−Y搬送アーム
4 IC搬送架台
5 位置決装置
6 コンタクトアーム
7 テスト部
8 搬送アーム
9 恒温槽
9A 外壁
11 孔
12 操作棒
20 IC搬送用制御装置
21 中央演算処理装置
22 メモリ
22A シーケンス制御手段
22B ジャム検出手段
22C 移動制御手段
22D 解除手段
Claims (1)
- 恒温槽内部において真空吸着ヘッドを移動させ、真空吸着ヘッドに収着したICをIC搬送架台からテスト部へ、テスト部からIC搬送架台へ移動させ設定された温度条件下においてICを試験するIC試験装置に用いるIC搬送用制御装置において、
A.上記テスト部に搭載したICにジャムが発生したことを検出し、真空吸着ヘッドの動作を停止させるジャム検出手段と、
B.このジャム検出手段の検出信号によって上記真空吸着ヘッドを上記テスト部の上部から離れた位置まで移動させる移動制御手段と、
C.解除信号の入力により上記ジャム検出手段の停止制御状態を解除する解除手段と、
を設けたことを特徴とするIC搬送用制御装置。
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