KR0134381B1 - 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Description

수직 자기 기록 장치용 자기 헤드 및 그 제조 방법

제1도는 본 발명에 따라 형성된 수직 자기 기록 매체용 자기 헤드의 개략적 정면도.

제2도는 자성 매체 상에 위치되는 슬라이더에 통합된 본 발명의 자기 헤드의 사시도.

제3a 및 3b도는 본 발명의 자기 헤드(3A)와 종래 자기 헤드(3B)를 나타내는 개략적 정면도.

제3c 및 3d도는 본 발명의 프로브 팁(3C)과 Gatzen 출원에 개시된 프로브 칩(3D)의 비교를 위하여 제공된 도면.

제4도는 본 발명에 따른 자기 헤드를 형성하는 기본 단계를 나타내는 흐름도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 헤드 12 : 자기 기록 매체

20 : 박막 자극 22 : 프로브 자극 팁

24 : 자극 팁 단부 26 : 가늘고 긴 부재

30 : 코일 32, 64, 94 : 백 바

34, 68 : 제1다리 36, 70 : 제2다리

38, 76 : 갭 39 : 슬라이더

74 : 스텝 96 : 페라이트 바

본 발명은 일반적으로 수직 기록 장치용 자기 헤드, 좀더 특별하게는 양면/2층 디스크나 매체에 기록하기에 특히 적합한 박막 자기 헤드와 이 헤드를 형성하기 위한 방법에 관한 것이다.

통상의 자기 기록 매체에서 데이터는 상기 매체의 자성층을 그 매체와 그 매체에 인접해 위치되는 변환기 또는 헤드 사이의 상대 운동의 방향과 평행한 길이 방향으로 자화시킴으로써 기록된다. 수직 기록에서는 매체 표면에 수직한 방향으로 자성층을 자화시킴으로써 데이터가 기록된다.

자기 기록 변환기는 일반적으로 2가지로 구분된다; 자로를 한정하며 데이터의 위치를 한정하기 위한 갭을 갖는 링(고리)의 형태로 자성 재료를 형성한 링 타입 헤드, 헤드에 의해 감지된 자속과 바람직하게 결합된 코일을 연결하는 가늘고 긴 하나의 스트립 형태로 된 고포화 자속 밀도 재료를 이용하는 단편 자극 헤드, 상기에서 지적된 바와 같이, 링 타입 헤드에서는 그 헤드의 분해능이 갭 길이의 함수인 반면에 단편 자극 헤드에서 분해능은 그 헤드의 팁에 있는 자극 두께의 함수이다.

링 타입 헤드는 길이 방향 기록에 오래 사용되어 왔고, 수직 기록에 사용하기 위해서도 제안되었다. 그러나, 수직 기록의 중요 이점이 고밀도로 데이터를 판독 및 기입하기 위한 능력에 있으므로 수직 기록에 링 타입 헤드를 사용하는 것은 링 타입 헤드로 얻어지는 펄스폭이 고밀도에서 피크 시프트 문제를 야기하는 경향이 있기 때문에 이점을 가질 수 없었다. 또한, 링 타입 헤드는 종종 비대칭 펄스 형태를 제공하고, 일반적으로 극고밀도의 판독 및 기입에 어려움이 있다. 공지된 바와 같은 링 타입 헤드는 모든 수직 기록 매체와 사용될 수 없다.

단편 자극 헤드는 자극이 박막 적층 기술에 의해 만들어질 경우 고분해능의 이점을 제공한다. 박막 적층으로 두께가 1미크론보다 작은 자극이 얻어질 수 있으며, 이것은 헤드가 매우 높은 밀도로 기억된 정보를 판독하게 할 것이다. 그러나, 수직 기록을 위한 다량의 박막 자극 헤드를 제조 및 사용하는 상업적으로 가능한 방법이 아직 개발되지 않았다.

그러므로, 본 발명의 목적은 수직 자기 기록에 사용하기에 적당한 개선된 자기 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 실용적이며, 확실하게 제조하기에 비교적 간단하며, 수직 자기 기록에 적당한 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은, 특별한 주의 없이 정상 상태에서 조작 및 사용될 수 있는 수직 자기 기록 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은, 기록 매체 상의 액세스될 위치에 정확히 놓여질 수 있는 수직 자기 기록 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은, 디스크 드라이브 기술에 이미 공지되어 있고, 이 기술로 개발된 타입의 슬라이더에 수직 기록 헤드를 지지함으로써 디스크 드라이브 속에 비교적 쉽게 통합되는 수직 자기 기록 헤드를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은, 다량의 헤드가 제조될 수 있도록 확실한 대량 생산 기술에 적합하게 될 수 있는 박막 자극편을 통합한 수직 자기 기록 헤드를 제공하는데 있다.

상기 및 기타의 목적은, 수직 자기 기록 매체상에서 데이터를 판독하고 상기 매체 상에 데이터를 기록하는데 사용하기 위한 판독/기입 헤드를 지지하는 비자성 슬라이더를 통합한 디스크 드라이브에 성취되는 바, 상기 헤드는 표면을 따라 길이 방향으로 연장하는 박막 자극을 갖는 자성 재료로 된 제1가늘고 긴 부재를 포함하고, 상기 자극은 상기 가늘고 긴 부재의 끝에서 끝이 나고, 헤드가 정보를 기록 또는 액세스하는데 사용될 경우 상기 헤드가 분해능을 가지도록 하는데 이용가능한 폭 및 두께를 갖는 자극 팁 단부에 의해 기록 매체에 근접해 있으며, 상기 헤드는 또한 하나의 기본 부재와 2개의 다리를 갖는 제2 U자형 부재를 포함하고, 상기 다리중 하나는 가늘고 긴 자성 부재의 상단에 고정되고, 제2단부는 박막 자극의 자극팁 단부로부터 간격을 두고 위치되며, 상기 U자형 부재의 다리는 자속 콜렉터로서 작용하고, 그리고 자극 팁 단부로부터의 간격은 기록 갭을 한정한다.

자기 헤드의 구성을 용이하게 하기 위해, 상기 U자형 부재는 최초에 박막 적층 기술로 적층되는 스텝(step) 또는 스페이서를 통합한 하부 다리 일부와 함께 형성되며, 상기 스텝 또는 스페이서는 자극 팁 단부 역할을 하는 박막 영역 아래에 고정될 수 있다. 방법의 선택은 헤드의 특정 응용을 위해 요구되는 갭의 치수에 의존한다. 가늘고 긴 부재의 바닥 부분, 이것이 받치고 있는 박막 자극 및 전체 스텝 부분을 포함한 U자형 부재의 하부 다리를 랩핑(lapping)함으로써, 편평한 바닥 표면을 갖고 가늘고 긴 자성 부재에 의해 지지되며, 헤드의 U자형 부재의 자속을 모으는 팁으로부터 일정한 거리로 간격을 가진 자극 팁이 확실히 형성된다.

제1도를 참조하면, 헤드(10)는 단단한 수직 자성층(14), 연한 자성층(16), 및 이 2개의 자성층을 지지하는 기판(18)으로 이루어지는 자기 기록 매체(12) 위에 위치되어 있음을 알 수 있다.

상기 자기 기록 매체(12) 위에 바람직한 실시예의 단면도로 도시된 헤드(10)는 자성 재료로 된 박막으로 구성되며, 기록 매체(12)의 상부면 상에 위치할 수 있는 프로브 팁 또는 프로브 자극 팁(22)에서 끝나는 박막 주자극(20)을 포함한다. 이 자극 팁(22)의 유효 길이 및 폭은 비트를 기록 매체 상에 패킹할 수 있는 효율을 결정할 것이다. 그러므로, 편평한 팁 단부(24)가 기록 동안 팁 구역에서 자기적으로 포화하여 박막 자극이 자극/갭 구역에서 단지 높은 투자율 재료로 되는 편평한 팁 단부(24)의 치수가 본 발명의 목적 및 중요한 이점이다. 정확한 치수로 된 상기 팁 단부(24)의 사용과 정확한 기입 전류는 수직 기록 장치에서 길이 방향, 즉 임계 기록 방향으로 매우 높은 비트 패킹 밀도를 제공한다.

박막 주자극(20)은 자성 재료로 된 가늘고 긴 부재(26)에 지지된다. 페라이트 등으로 만들어지는 이 가늘고 긴 부재(26)는 자로를 완성할 뿐만 아니라 박막 주자극을 지지하기 위해 제공된다. 여자 코일(30)은 상기 가늘고 긴 자성 부재(26)나 백 바(back bar)(32)상에 장치될 수 있다. 가늘고 긴 부재(26)는 자로를 형성할 뿐만 아니라 자속을 자극 팁(22)으로 전달하여, 이 자극 팁에 다량의 자속을 집중시켜 기록 매체 상에 데이터의 확실한 기록 및 판독을 제공한다.

자로는 제1다리(34), 백 바(32) 및 하부 다리(36)로 이루어지는 요크를 통해 완성된다. 자기 헤드를 형성하기 위한 방법을 논의한 가운데에서 잘 알 수 있는 바와 같이, 여기에 기술되어 있는 방법은 하부 다리(36)를 주자극 팁(22)으로부터 매우 좁은 갭(38)을 통해 확실히 간격을 가지게 할 수 있다. 이것으로 이 분야의 선행 기술에서 통상적으로 나타났던 넓은 펄스폭이 나타남이 없이 매우 높은 분해능을 갖는 데이터 기록 헤드가 제공된다. 사용시, 즉, 기입 동안은 팁 단부(24)에 자속을 집중시키는 구역(22,37)을 포화시키는 것이 목적이다. 그 결과 자성층 상에 고분해능 비트를 기입하는 프로브와 같은 효과를 가진다. 판독을 위해서는 상기 구역이 포화되지 않고 헤드는 좁은 갭 링 헤드와 같이 작용한다.

제1도에 도시된 헤드(10)는 윈체스터 디스크 드라이브에 사용하기 위한, 제2도에 도시된 슬라이더(39)에 장치되기에 적합하다. 이 슬라이더(39)는 이미 공지되어 있는 타입으로서, 그것의 구성에 대해서는 여기서 자세히 논의할 필요가 없다. 자기 헤드가 장치되는 것을 예시하기 위해 오른쪽 하부 부분이 잘려져 도시되어 있는 슬라이더는 헤드(10) 및 헤드(10)의 기록 프로브 팁(22)이 윈체스터 하드 디스크의 표면 바로 위를 비행하도록 하기 위한 공기 보유 표면(40,42)을 포함한다. 자기 헤드의 주코어는 제2도의 오른쪽에 도시된 바와 같이, 코일(30)이 헤드(10)에 의해 한정되는 자로를 자화하기 위해 장치될 수 있도록 노출된 뒷부분 또는 백 바(32)를 갖고서 어느 하나의 공기 보유 표면(42)이 꼬리 부분에 바람직하게 장치될 수 있다.

상기 타입의 자기 헤드를 제조하기 위한 방법이 H. Gatzen에 의한 출원에 자세히 기술되어 있다. 물론 본 명세서에서 기술되는 특정 헤드를 만들기 위해서는 상기 방법을 약간 변경할 필요는 있다. 본 발명의 헤드를 만들기 위한 방법의 개요가 제4도를 참고로 제시된다. 본 발명의 헤드를 형성하기 위해 사용되는 방법과 H. Gatzen 출원의 제4a도 및 제4b도에 도시된 타입의 헤드를 형성하기 위해 사용되는 방법의 주 차이점은 제3a도(본 발명의 헤드)와 제3b도(H. Gatzen 출원에서 제조된 타입의 헤드)의 비교로 나타난다. 상기 방법은 자성 기판을 가공 및 랩핑한 다음(단계 50), 그 기판위에 프로브 막, 예컨대 알페실(Alfesil)을 적층(단계 52)하는 것으로 시작한다. 이것은 본 발명의 디자인과 H. Gatzen 출원에 기술되어 있는 디자인 사이의 차이점 중 하나를 나타낸다. Gatzen 출원에서 프로브는 절단/그라인딩 공정의 최적화를 매우 어렵게 만드는 비자성 세라믹 상에 지지된다. 본 발명에서는 프로브가 페라이트 재료에 지지되게 함으로써 동일한 절단/그라인딩 작업이 수월해지게 된다.

제3a도를 통해 잘 알 수 있는 바와 같이, 기판(54)을 형성하기 위해 페라이트 기판을 가공하는 단계(50)는 가늘고 긴 부재(54)의 밑동 구역(58)을 프로브 막(56)과 함께 예각으로 잘라 내는 것을 포함한다. 그 다음, 이 밑동 구역(58)은 필요로 되는 최종 부재보다 더 긴 가늘고 긴 블록(59)을 형성하기 위해 비자성 재료로 채워진다. 그 다음, 프로브 막(56)이 상기 가늘고 긴 블록의 전 길이에 걸쳐 적층된다(단계 52).

자성 재료로 된 별개의 부재와 함께 시작하는 공정 단계들의 연속에서, MZ페라이트와 같은 자성 재료로 된 바(Bar)가 가공(단계 60)되고 프로파일링 및 절단(단계 62)되어 완성 헤드(제3a도)의 백 바(64)를 형성한다. 자성 재료이며 일반적으로 U자형인 상기 백 바(64)는, 통상적으로 코일을 지지하기 위해 사용될 기초 부재(66)와 제1 및 제2다리(68 및 70)를 포함한다는 것을 알 수 있을 것이다. 상기 다리중 하나(70)는 주자극(24)으로부터 갭 사이에 위치되어 자속 콜렉터로서 이용될 밑동(71)을 갖는다. 이 다리(70)는 스텝(74)과 함께 형성되며, 상기 스텝은 백 바(64)와 가늘고 긴 부재 및 프로브 자극(56) 사이의 적정 완성 갭 길이와 동일한 길이를 벗어나 연장한다. 또한, 상기 다리(70)의 밑면은 완성 갭을 한정하도록 유리로 채워질 비스텝 부분을 포함한다.

다음 단계(단계 78)에서 백 바(64)는 가늘고 긴 바(54)에 접착되어, 결과적으로 다수의 헤드로 잘려질 블록을 형성한다. 그 다음, 다리(70)의 밑면과 가늘고 긴 페라이트 바, 그리고 특별하게는 프로브 막(56) 및 프로브 팁 사이의 갭 길이를 고정시키기 위해 갭(76) 속으로 유리가 삽입된다. 어닐링은 온도에 의존하기 때문에, 바람직한 온도에 도달되는 경우 그때에 어닐링이 이루어진다. 이때, 구역(61)도 접착 유리로 채워질 수 있다. 바를 여러 개의 코어로 분리(단계 82)한 후, 각각의 코어는 제1도에 도시된 타입의 다수의 헤드 중 하나로 잘려져 접착(단계 84)된다. 그후 H. Gatzen 출원에 도시되어 있는 방법으로 자극 폭을 한정하기 위해 그것이 랩핑된다.

상기 절단 단계 동안에, 절단은 제3a도의 완성 표면(86)으로 표시된 라인을 따라 이루어진다. 이렇게 하여, 프로브 자극(22)은 매우 미세한 치수를 갖는 제1도의 부호 24로 표시된 편평한 표면으로 제조된다. 이 프로브 자극 팁(24)은 완성된 헤드의 비트 기록 밀도를 한정할 것이다. 또한, 프로브 자극용 페라이트 백 바(54) 역시 짧고 편평한 표면(86)을 포함할 수 있다(제3c도).

프로브 자극 팁 단부(24)에 자로의 자속을 집중하기 위해, 단부(87)는 실제 동작시 자기적으로 포화해서 프로브 팁의 자기 길이를 효과적으로 한정할 것이다.

위에서 언급된 Gatzen 출원에서는, 제3d도에 도시된 제품의 제조시, 비자성 백 바(92)에 지지되는 프로브 막의 팁에 자속을 적당히 집중하기 위해 부호 90으로 표시되는 뽀족한 끝부분과 페라이트 상에서 30°각이 형성되어야 하는데, 이는 제조되기가 극히 어렵지만, 본 발명의 프로브에서는 그러한 뾰족한 끝부분이 형성되지 않는다는 것이다. 또한, 백 바(94), 페라이트 바(96) 및 지지체(92)의 적당한 정렬은 페라이트 바(96)에서의 뾰족한 끝부분(90)의 가공과 더불어 매우 어렵다는 것이 제3b도로부터 명백하다. 본 발명의 제품에서는 완성된 헤드를 형성하기 위해 사용되는 랩핑 단계 때문에 정렬이 그다지 어렵지는 않다.

끝으로, 제3d도의 디자인에 의해 제공되는 종래 기술의 제품에서는, 팁(90)의 단부와 프로브 막에 의해 한정되는 프로브 자극의 단부 사이에 약간의 자속 손실이 있을 것으로 예상된다; 그러나 본원 발명에 따른 제3c도에서는 그러한 손실이 예상되지 않는다. 따라서, 실제 사용시 기입은 매우 정확하게 된다.

본 발명의 기타의 변경은 본 발명을 연구한 당업자에게 명백하게 될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 범위는 청구벙위에 의해서만 제한된다.

Claims (11)

1. 수직 기록 매체(12) 상의 데이터를 기록하고 판독하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드에 있어서, 제1가늘고 긴 자성 부재(20,26)와 하나의 기본 부재(32) 및 2개의 다리 부재(34,36)를 갖는 제2U자형 부재(32,34,36)를 포함하며; 상기 기본 부재(32)는 상기 가늘고 긴 부재(20,26)에 평행하고, 상기 다른 부재(34,36)는 상기 기본 부재에 의하여 지지되고 상기 기본 부재와 통합되고 상기 가늘고 긴 부재의 제1표면으로 연장하며; 상기 다리 부재중 하나(34)는 짧은 다리 다리 부재(36) 보다 길며, 상기 제1가늘고 긴 자성 부재 및 제2U자형 부재는 상기 제2U자형 부재의 상기 짧은 다리 부재(36) 및 상기 제1가늘고 긴 자성 부재 사이에 한정되는 개방된 갭 부분(38)과 함께 고정되며; 상기 갭 부분(38)은 상기 헤드 사용시 상기 기록 매체(12)에 근접하며, 상기 제1가늘고 긴 부재(20,26)는 고투자율 자성 재료로된 가늘고 긴 박막층(2)을 가진 자성 부재(26)를 포함하며, 상기 박막층(20)은 상기 자성 부재(26)에 지지되고 상기 자성 부재(26)의 상기 제1표면을 따라 길이 방향으로 연장하고, 자극 팁 단부(24)를 포함하는 자극 팁(22)에서 상기 기록 매체에 근접한 상기 자성 부재(26)와 같은 높이에서 끝나며, 상기 제1가늘고 긴 자성 부재(26)는 상기 자극 팁(22) 쪽으로 부분적으로 경사진 단부(87)를 가지며; 상기 자극 팁 단부(24)는 상기 헤드가 상기 데이터를 액세스할 때 상기 헤드가 분해능을 가지도록 하는 폭과 두께를 가지며, 기입 전류에 의하여 구동될 때, 상기 제1가늘고 긴 자성 부재(20,26)의 단부(87)는 자기적으로 포화되어 상기 자극 팁 단부(24)만이 상기 헤드의 유효 기록 표면이 되도록 하여 상기 헤드가 분해능을 가지도록 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.
2. 제1항에 있어서, 상기 자극 팁 단부(24)는 수직 기록 매체(12)의 표면에 평행한 편평한 표면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.
3. 제2항에 있어서, 상기 가늘고 긴 자성 부재(26)의 바닥 표면은 수직 기록 매체(12)의 표면으로부터 멀리 위로 경사진 표면에서 끝나는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.
4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 U자형 부재(32,34,36)는 자성 재료로 이루어지고, 기록 매체 상의 데이터를 액세스하기 위한 자로는 상기 U자형 부재, 상기 가늘고 긴 부재(20,26), 상기 자극 팁단부(24) 및 자기 기록 매체(12)를 통해 완성되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1가늘고 긴 부재(20,26)와 제2U자형 부재(32,34,36)는 기록 매체에 인접한 상기 제1 및 제2부재를 분리하는 좁은 갭을 한정하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 헤드.
6. 제5항에 있어서, 상기 위로 경사진 표면에 의해 한정되는 헤드의 코너는 비자성 재료(58)로 채워져 상기 헤드가 판독/기입 시스템으로 이용될 때 기록 매체 표면에 근접한 상기 가늘고 긴 부재(20)의 단부(22)가 기계적으로 보호되고 공기 보유 표면에서의 틈을 없애는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.
7. 수직 기록 매체상의 데이터를 기록 및 판독하기 위한 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드를 제조하는 방법에 있어서, 박막 보유 표면을 가진 자성 재료로 된 기판(54)을 형성하는 단계; 박막 보유 표면과 예각으로 형성된 표면을 상기 기판(54)에 형성하고, 비자성 재료(58)와 인접한 공간을 채우는 단계; 자성 재료로된 상기 기판의 상기 박막 보유 표면 위에 자극을 형성하는 고투자율 고포화 밀도 재료로 된 프로브 막을 배치하는 단계; 제1(68) 및 제2(70)다리 부재 및 기본 부재(66)를 포함하는 U자형 부재를 형성하는 단계를 포함하는데, 상기 제2다리 부재는 상기 U자형 부재(64) 및 상기 프로브 막(56) 사이에 완성 갭 길이를 한정하는 스텝 부분(74)과 비스텝 부분(76)을 포함하여 상기 스텝 부분(74)을 포함한 상기 제2다리 부재 부분만이 상기 제1다리 부재와 동일한 길이로 되며; 통합된 자기 부재를 한정하도록 자성 재료인 상기 기판 위에 배치된 상기 프로브 막에 상기 제2다리의 스텝 부분을 포함한 제2부재(64)의 다리들을 고정하는 단계를 포함하는데, 상기 자성 부재는 상기 프로브 막(56) 및 상기 제2다리 부재의 상기 비스텝 부분(76) 사이에 갭을 한정하며; 상기 프로브 막 및 상기 제2다리 부재 사이에 형성된 상기 갭을 가진 자성 부재를 형성하도록 자성 재료(54)된 상기 기판 영역, 프로브 막 및 상기 스텝 부분을 가진 제2다리 부재를 절단하도록 상기 자성 부재를 랩핑하는 단계를 포함하는데, 상기 자극 팁(22)은 자성 재료로된 기판의 상기 랩핑된 영역(86)과 동일 높이인 평탄한 표면을 가지며; 및 상기 자성 부재를 상기 프로브 막(56) 및 상기 제2다리 부재 사이에 형성된 상기 갭을 가진 다수의 자기 헤드로 절단하는 단계를 포함하며, 상기 자기 헤드는 기록 매체에 대하여 데이터를 판독 또는 기입하는 시스템에 이용되며, 상기 자극 팁(22)의 편평한 표면은 상기 기록 매체와 평행한 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드의 제조 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 자극 팁과 다리의 배열 간격을 고정하기 위해 상기 프로브막(56)과 제2다리(70) 사이의 갭을 유리로 채우는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 기록 장치용 자기 헤드의 제조 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 프로브 막(56)의 표면과 예각을 형성하는 각진 면을 갖는 제1가늘고 긴 부재(20,26)를 형성하고, 상기 각진 면에 인접한 공간을 비자성 재료로 채우는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드의 제조 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 기록 매체 표면과 평행한 상기 기판의 평탄한 표면(86) 및 상기 자극 팁(24)의 평탄한 표면을 형성하도록 상기 랩핑 단계는 자성 재료(54)로된 기판의 상기 각진 표면 영역 일부를 절단하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드의 제조 방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 자극 팁 단부는 1미크론 이하의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 장치용 자기 헤드.

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