JP2768407B2 - 垂直磁気記録システムの磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録システムの磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JP2768407B2 JP2768407B2 JP63275954A JP27595488A JP2768407B2 JP 2768407 B2 JP2768407 B2 JP 2768407B2 JP 63275954 A JP63275954 A JP 63275954A JP 27595488 A JP27595488 A JP 27595488A JP 2768407 B2 JP2768407 B2 JP 2768407B2
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- head
- leg
- elongated
- pole
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一般に、垂直記録システムのための磁気ヘ
ッドに係り、より詳細には、両面／二層ディスク又は媒
体に記録をするのに特に用いられる薄膜磁気ヘッド及び
該ヘッドを製造する方法に係る。
ッドに係り、より詳細には、両面／二層ディスク又は媒
体に記録をするのに特に用いられる薄膜磁気ヘッド及び
該ヘッドを製造する方法に係る。
従来の技術 従来の磁気記録媒体においては、磁気媒体と該媒体の
付近に配置されたトランスジューサ即ちヘッドとの間の
相対的な移動方向に対して平行な長手方向に媒体の磁気
層を磁化することによってデータが記録される。垂直記
録においては、媒体の表面に垂直な方向に磁気記録層を
磁気することによってデータが記録される。
付近に配置されたトランスジューサ即ちヘッドとの間の
相対的な移動方向に対して平行な長手方向に媒体の磁気
層を磁化することによってデータが記録される。垂直記
録においては、媒体の表面に垂直な方向に磁気記録層を
磁気することによってデータが記録される。
磁気記録トランスジューサは、一般に、リング型ヘッ
ドと、単磁極片ヘッドとの２つの分類に分けられる。リ
ング型ヘッドは、磁路を画成するために一般にリングの
形態の磁気材料を使用しており、一方、単磁極片ヘッド
は、作動結合されたコイルを有するヘッドによって感知
される磁束をリンクするために飽和磁束密度の高い材料
の細長いストリップを使用している。リング型ヘッドに
おいては、上記したように、ヘッドの分解能がギャップ
の長さの関数となり、一方、単磁極片ヘッドにおいて
は、その分解能が磁極片のチップの厚みの関数となる。
ドと、単磁極片ヘッドとの２つの分類に分けられる。リ
ング型ヘッドは、磁路を画成するために一般にリングの
形態の磁気材料を使用しており、一方、単磁極片ヘッド
は、作動結合されたコイルを有するヘッドによって感知
される磁束をリンクするために飽和磁束密度の高い材料
の細長いストリップを使用している。リング型ヘッドに
おいては、上記したように、ヘッドの分解能がギャップ
の長さの関数となり、一方、単磁極片ヘッドにおいて
は、その分解能が磁極片のチップの厚みの関数となる。
発明が解決しようとする課題 リング型ヘッドは、これまでずっと長手方向記録に使
用されており、又、垂直記録に使用するものも提案され
ている。然し乍ら、垂直記録の主たる利点は、高い密度
でデータを読み取ったり書き込んだりできることである
から、垂直記録にリング型ヘッドを使用することは効果
的であるとは考えられない。なぜならば、リング型ヘッ
ドで得られるパルス巾が高い密度においてピークシフト
の問題を招く傾向があるからである。更に、リング型ヘ
ッドはしばしば非対称のパルス形状を与え、一般に、超
高密度での読み取り及び書き込みに問題を生じさせる。
現在知られているリング型ヘッドは、全ての垂直記録媒
体に使用することができない。
用されており、又、垂直記録に使用するものも提案され
ている。然し乍ら、垂直記録の主たる利点は、高い密度
でデータを読み取ったり書き込んだりできることである
から、垂直記録にリング型ヘッドを使用することは効果
的であるとは考えられない。なぜならば、リング型ヘッ
ドで得られるパルス巾が高い密度においてピークシフト
の問題を招く傾向があるからである。更に、リング型ヘ
ッドはしばしば非対称のパルス形状を与え、一般に、超
高密度での読み取り及び書き込みに問題を生じさせる。
現在知られているリング型ヘッドは、全ての垂直記録媒
体に使用することができない。
単磁極片ヘッドは、薄膜付着技術によって磁極片を形
成した場合に高い分解能が得られるという効果をもたら
す。薄膜付着においては、厚みが１μ未満の磁極片を得
ることができ、非常に高い密度密度で記憶された情報を
ヘッドで読み取ることができるようになる。然し乍ら、
垂直記録のための大体積の薄膜単磁極片ヘッドを形成し
て使用する商業的に受け入れられる方法はまだ開発され
ていない。
成した場合に高い分解能が得られるという効果をもたら
す。薄膜付着においては、厚みが１μ未満の磁極片を得
ることができ、非常に高い密度密度で記憶された情報を
ヘッドで読み取ることができるようになる。然し乍ら、
垂直記録のための大体積の薄膜単磁極片ヘッドを形成し
て使用する商業的に受け入れられる方法はまだ開発され
ていない。
そこで、本発明の目的は、垂直の磁気記録に使用する
のに適した改良された磁気ヘッドを提供することであ
る。
のに適した改良された磁気ヘッドを提供することであ
る。
本発明の更に別の目的は、垂直の磁気記録に適したヘ
ッドであって実際的で且つ確実に製造するように比較簡
単であるヘッドを提供することである。
ッドであって実際的で且つ確実に製造するように比較簡
単であるヘッドを提供することである。
本発明の更に別の目的は、特殊な予防手段なしに通常
の状態のもとで取り扱い及び使用することのできる垂直
の磁気記録ヘッドを提供することである。
の状態のもとで取り扱い及び使用することのできる垂直
の磁気記録ヘッドを提供することである。
本発明の更に別の目的は、記憶媒体上のアクセスされ
るべき位置の上に正確に位置設定することのできる垂直
の磁気記録ヘッドを提供することである。
るべき位置の上に正確に位置設定することのできる垂直
の磁気記録ヘッドを提供することである。
本発明の別の目的は、主磁極が読み取り／書き込み磁
極片として磁性材料の薄膜層を含んでいて、各記録ビッ
トの水平の広がりが著しく制限されるように比較的薄い
主磁極を形成し、これにより、記録データの密度を最大
に上げるような垂直の磁気記録ヘッドを提供することで
ある。
極片として磁性材料の薄膜層を含んでいて、各記録ビッ
トの水平の広がりが著しく制限されるように比較的薄い
主磁極を形成し、これにより、記録データの密度を最大
に上げるような垂直の磁気記録ヘッドを提供することで
ある。
本発明の更に別の目的は、ディスクドライブの分野で
既に知られていて開発されている形式のスライダ上に支
持することによってディスクドライブに比較的容易に組
み込むことのできる垂直の磁気記録ヘッドを提供するこ
とである。
既に知られていて開発されている形式のスライダ上に支
持することによってディスクドライブに比較的容易に組
み込むことのできる垂直の磁気記録ヘッドを提供するこ
とである。
本発明の更に別の目的は、著しい量のヘッドを製造で
きるように信頼性の高い大量生産技術に適用することの
できる薄膜磁極片を組み込んだ垂直磁気記録ヘッドを提
供することである。
きるように信頼性の高い大量生産技術に適用することの
できる薄膜磁極片を組み込んだ垂直磁気記録ヘッドを提
供することである。
これら及び他の目的は、垂直記録媒体上にデータを記
録したり読み取ったりするのに用いる読み取り／書き込
みヘッドを製造する方法において、膜保持面を有する磁
性材料の基体を形成する工程、上記基体に、上記膜保持
面に対して鋭角を成し且つ隣接する空間に非磁性材料が
後で充填される傾斜面を形成する工程、透磁率が非常に
高く且つ飽和密度が高い材料の薄膜主磁極を上記膜保持
面上に敷設して、上記膜保持面に磁極片を有する細長い
部材を形成する工程、第１の脚部材及び第２の脚部材と
ベース部材とを備えたＵ字型部材を形成し、第２の脚部
材は、上記Ｕ字型部材及び上記薄膜主磁極との間に所望
の最終ギャップ長を決める突出部及び溝を含んでいて、
該突出部を含む上記第２の脚部材の部分のみが上記第１
の脚部材と同じ長さであるようにされる工程、上記第２
の脚部材の上記突出部を含む上記Ｕ字型部材の上記第１
及び第２の脚部材を上記基体の上に敷設された上記薄膜
主磁極に固定して一体的な磁性部材を画成し、この磁性
部材は、上記薄膜主磁極と上記第２の脚部材の上記溝と
の間でギャップを形成する工程、上記磁性部材をラッピ
ング処理して、上記磁性材料の基体の領域、上記薄膜主
磁極、及び上記突出部を含む上記第２の脚部分を切断
し、これにより、上記薄膜主磁極と上記第２の脚部材と
の間に画成されたギャップを有する磁性部材を形成し、
上記磁性片が上記磁性材料の基体の上記ラッピング処理
された領域と略同一平面の平らな面を有するようにする
工程、上記薄膜主磁極及び上記第２の脚部材との間に上
記画成されたギャップを有する複数の磁気ヘッドを形成
するために、上記磁性材料を切断する工程、上記薄膜主
磁極と上記第２の脚部材との間の上記ギャップに、ガラ
スを充填し、上記磁極片と上記第２の脚部材との間の空
間分離された距離を固定する工程、及び上記細長い部材
の、上記薄膜主磁極に鋭角な上記傾斜面に隣接する空間
に非磁性材料を充填する工程、から構成され、上記磁気
ヘッドが記録媒体のデータの読み取り又は書き込みを行
ためのシステムで使用され、上記磁極片の上記平らな面
が上記記録媒体に平行であることを特徴とする方法、及
び 垂直記録媒体上にデータを記録したり読み取ったりす
るのに用いる読み取り／書き込みヘッドにおいて、細長
い磁性部材と、ベース材料及び２つの脚部材を有するＵ
字型部材とを具備し、上記ベース部材は、上記細長い部
材と平行であり、上記脚部材は、上記ベース部材によっ
て支持され且つ一体化され、そして上記細長い磁性部材
の第１の面に延びており、上記脚部材の一つは、上記脚
部材の他のより短いものよりも長く、上記細長い磁性部
材及び上記Ｕ字型部材は、上記Ｕ字型部材の他のより短
いものと上記細長い磁性部材との間に間隙ギャップ部分
が画成されるように、互いに固定されていて、上記ギャ
ップ部分が上記読み取り／書き込みヘッドの使用中に上
記記録媒体に接近されるようにされており、上記細長い
磁性部材は、透磁率が高く且つ飽和密度が高い磁性材料
の細長い薄膜主磁性層を有する磁性部材を含み、上記細
長い薄膜主磁性層は、上記細長い磁性部材の上記第１の
面に支持されてそれに沿って長手方向に延び、磁極片の
端部を含む磁極片において上記細長い磁性部材と略同一
平面で終端しており、上記細長い磁性部材が、上記磁極
片に向かって部分的に傾斜されたより細い端部を有する
領域内で終端しており、そして上記ヘッドが記録媒体上
にデータを書き込みし且つ読み取るために使用される時
に、上記磁極片の端部がヘッドの分解能を定める幅及び
厚さを有しており、上記ヘッドが書き込み電流によって
駆動される時、上記細長い磁性部材の上記より細い端部
が磁気的に飽和し、上記磁極片の端部が上記ヘッドの唯
一の有効記録面として残され、上記ヘッドの分解能が決
められることを特徴とする読み取り／書き込みヘッドに
よって達成される。
録したり読み取ったりするのに用いる読み取り／書き込
みヘッドを製造する方法において、膜保持面を有する磁
性材料の基体を形成する工程、上記基体に、上記膜保持
面に対して鋭角を成し且つ隣接する空間に非磁性材料が
後で充填される傾斜面を形成する工程、透磁率が非常に
高く且つ飽和密度が高い材料の薄膜主磁極を上記膜保持
面上に敷設して、上記膜保持面に磁極片を有する細長い
部材を形成する工程、第１の脚部材及び第２の脚部材と
ベース部材とを備えたＵ字型部材を形成し、第２の脚部
材は、上記Ｕ字型部材及び上記薄膜主磁極との間に所望
の最終ギャップ長を決める突出部及び溝を含んでいて、
該突出部を含む上記第２の脚部材の部分のみが上記第１
の脚部材と同じ長さであるようにされる工程、上記第２
の脚部材の上記突出部を含む上記Ｕ字型部材の上記第１
及び第２の脚部材を上記基体の上に敷設された上記薄膜
主磁極に固定して一体的な磁性部材を画成し、この磁性
部材は、上記薄膜主磁極と上記第２の脚部材の上記溝と
の間でギャップを形成する工程、上記磁性部材をラッピ
ング処理して、上記磁性材料の基体の領域、上記薄膜主
磁極、及び上記突出部を含む上記第２の脚部分を切断
し、これにより、上記薄膜主磁極と上記第２の脚部材と
の間に画成されたギャップを有する磁性部材を形成し、
上記磁性片が上記磁性材料の基体の上記ラッピング処理
された領域と略同一平面の平らな面を有するようにする
工程、上記薄膜主磁極及び上記第２の脚部材との間に上
記画成されたギャップを有する複数の磁気ヘッドを形成
するために、上記磁性材料を切断する工程、上記薄膜主
磁極と上記第２の脚部材との間の上記ギャップに、ガラ
スを充填し、上記磁極片と上記第２の脚部材との間の空
間分離された距離を固定する工程、及び上記細長い部材
の、上記薄膜主磁極に鋭角な上記傾斜面に隣接する空間
に非磁性材料を充填する工程、から構成され、上記磁気
ヘッドが記録媒体のデータの読み取り又は書き込みを行
ためのシステムで使用され、上記磁極片の上記平らな面
が上記記録媒体に平行であることを特徴とする方法、及
び 垂直記録媒体上にデータを記録したり読み取ったりす
るのに用いる読み取り／書き込みヘッドにおいて、細長
い磁性部材と、ベース材料及び２つの脚部材を有するＵ
字型部材とを具備し、上記ベース部材は、上記細長い部
材と平行であり、上記脚部材は、上記ベース部材によっ
て支持され且つ一体化され、そして上記細長い磁性部材
の第１の面に延びており、上記脚部材の一つは、上記脚
部材の他のより短いものよりも長く、上記細長い磁性部
材及び上記Ｕ字型部材は、上記Ｕ字型部材の他のより短
いものと上記細長い磁性部材との間に間隙ギャップ部分
が画成されるように、互いに固定されていて、上記ギャ
ップ部分が上記読み取り／書き込みヘッドの使用中に上
記記録媒体に接近されるようにされており、上記細長い
磁性部材は、透磁率が高く且つ飽和密度が高い磁性材料
の細長い薄膜主磁性層を有する磁性部材を含み、上記細
長い薄膜主磁性層は、上記細長い磁性部材の上記第１の
面に支持されてそれに沿って長手方向に延び、磁極片の
端部を含む磁極片において上記細長い磁性部材と略同一
平面で終端しており、上記細長い磁性部材が、上記磁極
片に向かって部分的に傾斜されたより細い端部を有する
領域内で終端しており、そして上記ヘッドが記録媒体上
にデータを書き込みし且つ読み取るために使用される時
に、上記磁極片の端部がヘッドの分解能を定める幅及び
厚さを有しており、上記ヘッドが書き込み電流によって
駆動される時、上記細長い磁性部材の上記より細い端部
が磁気的に飽和し、上記磁極片の端部が上記ヘッドの唯
一の有効記録面として残され、上記ヘッドの分解能が決
められることを特徴とする読み取り／書き込みヘッドに
よって達成される。
実施例 第１図には、ヘッド10が磁気記録媒体12の上に配置さ
れたところが示されており、磁気記録媒体12は、垂直配
向の硬磁性磁気層14と、軟磁性下地層16と、これら２つ
の層を支持する基体18とを備えている。
れたところが示されており、磁気記録媒体12は、垂直配
向の硬磁性磁気層14と、軟磁性下地層16と、これら２つ
の層を支持する基体18とを備えている。
磁気媒体12上に好ましい実施例の縦断面で示されたヘ
ッド10は、磁性材料の薄膜より成る薄膜主磁極20を備え
ており、これは、記録媒体12の上面の上に配置すること
のできる磁極片22で終わっている。この磁極片22の有効
長さ及び巾は、記録媒体上にビットを詰め込むことので
きる効率を決定する。本発明の目的及び重要な効果は、
平らな磁極片の端部24が、記録プロセス中にチップ領域
が磁気的に飽和する大ききさを有しており、薄膜磁極の
みが磁極／ギャップ領域における唯一の高透磁率材料と
なることにある。正しく大きさが決められたこのチップ
24が使用され且つ正しい書き込み電流が使用されると、
垂直記録システムの重要な記録方向である長手方向にお
いて非常に高いビットパッキング密度が与えられる。
ッド10は、磁性材料の薄膜より成る薄膜主磁極20を備え
ており、これは、記録媒体12の上面の上に配置すること
のできる磁極片22で終わっている。この磁極片22の有効
長さ及び巾は、記録媒体上にビットを詰め込むことので
きる効率を決定する。本発明の目的及び重要な効果は、
平らな磁極片の端部24が、記録プロセス中にチップ領域
が磁気的に飽和する大ききさを有しており、薄膜磁極の
みが磁極／ギャップ領域における唯一の高透磁率材料と
なることにある。正しく大きさが決められたこのチップ
24が使用され且つ正しい書き込み電流が使用されると、
垂直記録システムの重要な記録方向である長手方向にお
いて非常に高いビットパッキング密度が与えられる。
薄膜主磁極20は、磁性材料の細長い片26に支持され
る。この細長い片26は、フェライト等で形成され、磁路
を完成すると共に薄膜主磁極を支持するように設けられ
ている。付勢コイル30は、この細長い磁極片26に取り付
けられるか後部バー32に取り付けられる。細長い磁性部
片26は、磁路を閉じるのに加えて、磁極片22まで磁束を
搬送し、多量の磁束をこの磁極チップに集中させ、そし
て磁気基体に対してデータを確実に記録したり読み取っ
たりするように働く。
る。この細長い片26は、フェライト等で形成され、磁路
を完成すると共に薄膜主磁極を支持するように設けられ
ている。付勢コイル30は、この細長い磁極片26に取り付
けられるか後部バー32に取り付けられる。細長い磁性部
片26は、磁路を閉じるのに加えて、磁極片22まで磁束を
搬送し、多量の磁束をこの磁極チップに集中させ、そし
て磁気基体に対してデータを確実に記録したり読み取っ
たりするように働く。
磁路は、第１脚34、後部バー即ちベース部材32及び下
部脚36より成るヨークを経て完成される。この磁気ヘッ
ドを形成するのに用いるプロセスの説明において明らか
なように、ここに述べる方法では、下部脚36を主磁極片
22から非常に狭いギャップ38をおいて確実に離間するこ
とができる。このようにして、この分野での公知の努力
に典型的に関連した広いパルス巾を伴うことなく、非常
に高い分解能のデータ記録ヘッドが提供される。使用に
際し、書き込み中の目的とするところは、磁極片の端部
24に磁束を集中させる領域22、37を飽和させることであ
る。これにより、プローブ状の作用が得られ、非常に分
解能の高いビットが磁気層に書き込まれる。読み取りに
ついては、領域の飽和はなく、ヘッドは狭ギャップのリ
ングヘッドのように働く。
部脚36より成るヨークを経て完成される。この磁気ヘッ
ドを形成するのに用いるプロセスの説明において明らか
なように、ここに述べる方法では、下部脚36を主磁極片
22から非常に狭いギャップ38をおいて確実に離間するこ
とができる。このようにして、この分野での公知の努力
に典型的に関連した広いパルス巾を伴うことなく、非常
に高い分解能のデータ記録ヘッドが提供される。使用に
際し、書き込み中の目的とするところは、磁極片の端部
24に磁束を集中させる領域22、37を飽和させることであ
る。これにより、プローブ状の作用が得られ、非常に分
解能の高いビットが磁気層に書き込まれる。読み取りに
ついては、領域の飽和はなく、ヘッドは狭ギャップのリ
ングヘッドのように働く。
第１図に示したヘッド10は、ウィンチェスター型ディ
スクドライブに使用するために第２図に示されたスライ
ダ39に取り付けられる。このスライダ39は、この技術で
既に知られた形式のものであり、その構造細部について
はここに詳細に説明する必要がなかろう。このスライダ
（磁気ヘッドの取り付けを示すために右側部分を破断し
て示してある）は、ヘッド10及びその記録プローブチッ
プ22がウィンチェスター型ハードディスクの表面のすぐ
上を飛行するようにさせるための空気支持面40、42を含
んでいる。磁気ヘッドの主コアは、第２図の右側に示す
ように、一方の空気支持面42の後部に取り付けできるの
が好ましい。後部バー即ちベース部材32は、ヘッド10に
よって画成された磁路を付勢するためのコイル30を取り
付けられるように露出されている。
スクドライブに使用するために第２図に示されたスライ
ダ39に取り付けられる。このスライダ39は、この技術で
既に知られた形式のものであり、その構造細部について
はここに詳細に説明する必要がなかろう。このスライダ
（磁気ヘッドの取り付けを示すために右側部分を破断し
て示してある）は、ヘッド10及びその記録プローブチッ
プ22がウィンチェスター型ハードディスクの表面のすぐ
上を飛行するようにさせるための空気支持面40、42を含
んでいる。磁気ヘッドの主コアは、第２図の右側に示す
ように、一方の空気支持面42の後部に取り付けできるの
が好ましい。後部バー即ちベース部材32は、ヘッド10に
よって画成された磁路を付勢するためのコイル30を取り
付けられるように露出されている。
この形式の磁気ヘッドを製造するための処理技術は、
ハンズ・ガッツェン氏の「垂直磁気記録システムのため
の磁気ヘッド」と題する1987年７月31日出願の米国特許
出願第080,063号に詳細に開示されているが、ここに開
示する本発明の特定のヘッドを形成するためにはその処
理技術を若干変更する必要がある。本発明のヘッドを製
造する方法は、第４図を参照して説明する。本発明のヘ
ッドを形成するのに用いるプロセスと、ガッツェン氏の
上記特許出願の第4A図及び第4B図に示された形式のヘッ
ドを形成するプロセスとの主たる相違は、第3A図（本発
明のヘッドを示す）と、第3B図（ガッツェン氏の特許出
願で製造される形式のヘッドを示している）とを比較す
ることによって明らかである。このプロセスは、磁気基
体54を加工しそしてラッピングすることによって開始さ
れ、次いで、この磁気基体54の上に薄膜主磁極（例え
ば、アルフェシル（Alfesil））が付着される。これ
は、本発明の構成と、前記ガッツェン氏の特許出願に開
示された構成との主たる相違の１つである。ガッツェン
氏の特許出願においては、薄膜主磁極が非磁性セラミッ
ク上に支持され、これは最適な切削／研磨工程を非常に
困難なものにする。本発明は、薄膜主磁極をフェライト
材料上に支持するようにし、これにより、同じ切削／研
磨作業をフェライトのみに対して最適に行なえるように
する。
ハンズ・ガッツェン氏の「垂直磁気記録システムのため
の磁気ヘッド」と題する1987年７月31日出願の米国特許
出願第080,063号に詳細に開示されているが、ここに開
示する本発明の特定のヘッドを形成するためにはその処
理技術を若干変更する必要がある。本発明のヘッドを製
造する方法は、第４図を参照して説明する。本発明のヘ
ッドを形成するのに用いるプロセスと、ガッツェン氏の
上記特許出願の第4A図及び第4B図に示された形式のヘッ
ドを形成するプロセスとの主たる相違は、第3A図（本発
明のヘッドを示す）と、第3B図（ガッツェン氏の特許出
願で製造される形式のヘッドを示している）とを比較す
ることによって明らかである。このプロセスは、磁気基
体54を加工しそしてラッピングすることによって開始さ
れ、次いで、この磁気基体54の上に薄膜主磁極（例え
ば、アルフェシル（Alfesil））が付着される。これ
は、本発明の構成と、前記ガッツェン氏の特許出願に開
示された構成との主たる相違の１つである。ガッツェン
氏の特許出願においては、薄膜主磁極が非磁性セラミッ
ク上に支持され、これは最適な切削／研磨工程を非常に
困難なものにする。本発明は、薄膜主磁極をフェライト
材料上に支持するようにし、これにより、同じ切削／研
磨作業をフェライトのみに対して最適に行なえるように
する。
第3A図から明らかなように、フェライト基体を加工し
て基体54を形成するための段階50は、細長い部材54の脚
領域58を薄膜主磁極56に対して鋭角に切り込むことを含
む。この脚領域58には非磁性材料が充填され、必要とさ
れる仕上げ部材よりも長い細長いブロック59が設けられ
る。次いで、薄膜主磁極56がこの細長いブロックの全長
にわたって付着される（段階52）。
て基体54を形成するための段階50は、細長い部材54の脚
領域58を薄膜主磁極56に対して鋭角に切り込むことを含
む。この脚領域58には非磁性材料が充填され、必要とさ
れる仕上げ部材よりも長い細長いブロック59が設けられ
る。次いで、薄膜主磁極56がこの細長いブロックの全長
にわたって付着される（段階52）。
磁性材料の個々の部片でスタートする一連の段階にお
いて、MZフェライトのような磁性材料のバーが加工され
（段階60）、形状が定められて切断され（段階62）、仕
上げられたヘッド（第3A図に示す）のＵ字型部材64が形
成される。この一般的にＵ字型の磁性材料のＵ字型部材
64は、コイルと第１及び第２の脚68、70とを支持するた
めに典型的に使用されるベース部材66を備えていること
が明らかである。一方の脚70は、主磁極24からギャップ
を横切って配置された磁束収集手段として働く脚部71を
有している。この脚70には突出部74が形成され、このス
テップは、Ｕ字型部材64と、細長い部材及び薄膜主磁極
56との間の所望の最終ギャップ長さに等しい距離だけ延
びている。又、脚70は、溝76も含んでおり、これにはガ
ラスが充填されて最終ギャップを画成する。
いて、MZフェライトのような磁性材料のバーが加工され
（段階60）、形状が定められて切断され（段階62）、仕
上げられたヘッド（第3A図に示す）のＵ字型部材64が形
成される。この一般的にＵ字型の磁性材料のＵ字型部材
64は、コイルと第１及び第２の脚68、70とを支持するた
めに典型的に使用されるベース部材66を備えていること
が明らかである。一方の脚70は、主磁極24からギャップ
を横切って配置された磁束収集手段として働く脚部71を
有している。この脚70には突出部74が形成され、このス
テップは、Ｕ字型部材64と、細長い部材及び薄膜主磁極
56との間の所望の最終ギャップ長さに等しい距離だけ延
びている。又、脚70は、溝76も含んでおり、これにはガ
ラスが充填されて最終ギャップを画成する。
次の段階（段階78）として、Ｕ字型部材64が細長いバ
ー54に接合され、最終的に複数のヘッドに切断されるブ
ロックが形成される。次いで、ガラスがギャップ76に流
し込まれ、脚70と、細長いフェライトバー、より詳細に
は、薄膜主磁極56との間のギャップ長さが固定される。
アニール作業は温度に依存するものであるから、このと
きに所望の温度に達すれば、これも行なわれる。又、こ
のとき、領域61にボンディングガラスを充填することも
できる。バーをコアへと分離した（段階82）後、各コア
を切断及び接合し（段階84）、第１図に示す形式の複数
のヘッドの１つを形成し、その後、ラッピング処理を施
して、ガッツェン氏の特許出願に示されたように磁極の
巾を画成する。
ー54に接合され、最終的に複数のヘッドに切断されるブ
ロックが形成される。次いで、ガラスがギャップ76に流
し込まれ、脚70と、細長いフェライトバー、より詳細に
は、薄膜主磁極56との間のギャップ長さが固定される。
アニール作業は温度に依存するものであるから、このと
きに所望の温度に達すれば、これも行なわれる。又、こ
のとき、領域61にボンディングガラスを充填することも
できる。バーをコアへと分離した（段階82）後、各コア
を切断及び接合し（段階84）、第１図に示す形式の複数
のヘッドの１つを形成し、その後、ラッピング処理を施
して、ガッツェン氏の特許出願に示されたように磁極の
巾を画成する。
この切断工程中に、第3A図の「仕上げ面」86と称する
線を横切って切断が行なわれる。このように、磁極片22
は、第１図に24で示された非常に微細な寸法の平らな表
面を有するように形成される。この磁極片の端部24は、
出来上がったヘッドのビット記録密度を画成する。又、
この磁極片フェライト基体54は、短い平らな面86（第3C
図）を含んでもよい。
線を横切って切断が行なわれる。このように、磁極片22
は、第１図に24で示された非常に微細な寸法の平らな表
面を有するように形成される。この磁極片の端部24は、
出来上がったヘッドのビット記録密度を画成する。又、
この磁極片フェライト基体54は、短い平らな面86（第3C
図）を含んでもよい。
磁路の磁束を磁極片の端部24に集中するために、領域
87は実際の動作において磁気的に飽和し、磁極片の磁気
長さを効果的に定める。
87は実際の動作において磁気的に飽和し、磁極片の磁気
長さを効果的に定める。
上記したガッツェン氏の特許出願に開示された方法に
勝る本発明のヘッドの効果は次の通りである。第3D図に
示す製品を製造する場合、非磁性のバー92に支持された
薄膜主磁極のチップに磁束を適切に集中させるために参
照番号90で一般的に示された鋭い点をもつようにフェラ
イトに30゜の角度を形成しなければならないが、これは
非常に困難である。これに対し、本発明のヘッドにはこ
のような鋭い点が形成されない。又、第3B図から明らか
なように、Ｕ字型部材94、フェライトバー96及び支持体
92を適切に整列させると共に、フェライトバー96に鋭い
点90を加工することが全て非常に重要であることが明ら
かであろう。本発明においては、ラッピング工程を用い
て最終的なヘッドを形成するために、整列はあまり重要
ではない。
勝る本発明のヘッドの効果は次の通りである。第3D図に
示す製品を製造する場合、非磁性のバー92に支持された
薄膜主磁極のチップに磁束を適切に集中させるために参
照番号90で一般的に示された鋭い点をもつようにフェラ
イトに30゜の角度を形成しなければならないが、これは
非常に困難である。これに対し、本発明のヘッドにはこ
のような鋭い点が形成されない。又、第3B図から明らか
なように、Ｕ字型部材94、フェライトバー96及び支持体
92を適切に整列させると共に、フェライトバー96に鋭い
点90を加工することが全て非常に重要であることが明ら
かであろう。本発明においては、ラッピング工程を用い
て最終的なヘッドを形成するために、整列はあまり重要
ではない。
最後に、第3D図の設計によって与えられる最終的な構
成においては、磁路片90の端と、薄膜磁極によって定め
られた主磁極の端との間で或る程度の磁束ロスが生じる
ことが予想されたが、第3C図の構成では、このようなロ
スは予想されない。従って、実際の用途においては、書
き込みプロセスが非常に正確なものとなる。
成においては、磁路片90の端と、薄膜磁極によって定め
られた主磁極の端との間で或る程度の磁束ロスが生じる
ことが予想されたが、第3C図の構成では、このようなロ
スは予想されない。従って、実際の用途においては、書
き込みプロセスが非常に正確なものとなる。
上記の説明から、本発明の別の変更が当業者に明らか
となろう。それ故、本発明の範囲は、特許請求の範囲の
みによって限定されるものとする。
となろう。それ故、本発明の範囲は、特許請求の範囲の
みによって限定されるものとする。
第１図は、本発明によって形成された垂直記録媒体用の
磁気ヘッドを示す概略平面図、 第２図は、磁気媒体上に位置設定するためのスライダに
組み込まれた本発明の磁気ヘッドの斜視図、 第3A図は、本発明の磁気ヘッドを形成するプロセスの段
階を示す図、 第3B図は、磁気ヘッドを形成する公知プロセスの段階を
示す図、 第3C図及び第3D図は、各々、第3A図及び第3B図の一部分
を詳細に示す図、そして 第４図は、本発明による磁気ヘッドを形成する基本的な
段階を示すフローチャートである。 10……ヘッド 12……磁気記録媒体 14……硬磁性磁気層 16……軟磁性下地層 20……薄膜主磁極 22……磁極片 24……平らな磁極片の端部 26……磁性材料の細長い部片 30……コイル、32……後部バー即ちベース部材 34、36……脚、38……ギャップ 39……スライダ 40、42……空気支持面 54……磁気基体 56……薄膜主磁極 58……脚領域、59……ブロック
磁気ヘッドを示す概略平面図、 第２図は、磁気媒体上に位置設定するためのスライダに
組み込まれた本発明の磁気ヘッドの斜視図、 第3A図は、本発明の磁気ヘッドを形成するプロセスの段
階を示す図、 第3B図は、磁気ヘッドを形成する公知プロセスの段階を
示す図、 第3C図及び第3D図は、各々、第3A図及び第3B図の一部分
を詳細に示す図、そして 第４図は、本発明による磁気ヘッドを形成する基本的な
段階を示すフローチャートである。 10……ヘッド 12……磁気記録媒体 14……硬磁性磁気層 16……軟磁性下地層 20……薄膜主磁極 22……磁極片 24……平らな磁極片の端部 26……磁性材料の細長い部片 30……コイル、32……後部バー即ちベース部材 34、36……脚、38……ギャップ 39……スライダ 40、42……空気支持面 54……磁気基体 56……薄膜主磁極 58……脚領域、59……ブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−210415（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−258312（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−192016（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−112204（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−192117（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255
Claims (5)
- 【請求項１】垂直記録媒体上にデータを記憶したり読み
取ったりするのに用いる読み取り／書き込みヘッドを製
造する方法において、 膜保持面を有する磁性材料の基体（54）を形成する工
程、 上記基体（54）に、上記膜保持面に対して鋭角を成し且
つ隣接する空間に非磁性材料（58）が後で充填される傾
斜面を形成する工程、 透磁率が非常に高く且つ飽和密度が高い材料の薄膜主磁
極（56）を上記膜保持面上に敷設して、上記膜保持面に
磁極片を有する細長い部材（20、26）を形成する工程、 第１の脚部材（68）及び第２の脚部材（70）とベース部
材（66）とを備えたＵ字型部材（64）を形成し、第２の
脚部材（70）は、上記Ｕ字型部材（64）及び上記薄膜主
磁極（56）との間に所望の最終ギャップ長を決める突出
部（74）及び溝（76）を含んでいて、該突出部（74）を
含む上記第２の脚部材の部分のみが上記第１の脚部材と
同じ長さであるようにされる工程、 上記第２の脚部材（70）の上記突出部（74）を含む上記
Ｕ字型部材（64）の上記第１及び第２の脚部材を上記基
体の上に敷設された上記薄膜主磁極に固定して一体的な
磁性部材を画成し、この磁性部材は、上記薄膜主磁極
（56）と上記第２の脚部材の上記溝（76）との間でギャ
ップを形成する工程、 上記磁性部材をラッピング処理して、上記磁性材料の基
体（54）の領域、上記薄膜主磁極（56）、及び上記突出
部（74）を含む上記第２の脚部分を切断し、これによ
り、上記薄膜主磁極と上記第２の脚部材との間に画成さ
れたギャップを有する磁性部材を形成し、上記磁性片
（24）が上記磁性材料の基体（54）の上記ラッピング処
理された領域（86）と略同一平面の平らな面を有するよ
うにする工程、 上記薄膜主磁極（56）及び上記第２の脚部材との間に上
記画成されたギャップを有する複数の磁気ヘッドを形成
するために、上記磁性材料を切断する工程、 上記薄膜主磁極（56）と上記第２の脚部材（70）との間
の上記ギャップに、ガラスを充填し、上記磁極片と上記
第２の脚部材（70）との間の空間分離された距離を固定
する工程、及び 上記細長い部材（20、26）の、上記薄膜主磁極（56）に
鋭角な上記傾斜面に隣接する空間に非磁性材料を充填す
る工程、から構成され、 上記磁気ヘッドが記録媒体（12）のデータの読み取り又
は書き込みを行なうためのシステムで使用され、上記磁
極片（24）の上記平らな面が上記記録媒体に平行である
ことを特徴とする方法。 - 【請求項２】上記ラッピング処理する工程が、上記磁性
材料の基体の上記鋭角な傾斜面浄域の一部を切断して、
上記記録媒体（12）の面に平行な上記基体の平らな面
（86）及び上記磁極片（24）の上記平らな面を形成する
工程を含む請求項１記載の方法。 - 【請求項３】垂直記録媒体（12）上にデータを記録した
り読み取ったりするのに用いる読み取り／書き込みヘッ
ドにおいて、 細長い磁性部材（20、26）と、ベース材料（32）及び２
つの脚部材（34、36）を有するＵ字型部材（32、34、3
6）とを具備し、 上記ベース部材（32）は、上記細長い磁性部材と平行で
あり、上記脚部材（34、36）は、上記ベース部材によっ
て支持され且つ一体化され、そして上記細長い磁性部材
の第１の面に延びており、 上記脚部材の一つ（34）は、上記脚部材の他のより短い
もの（36）よりも長く、上記細長い磁性部材及び上記Ｕ
字型部材は、上記脚部材の他のより短いものと上記細長
い磁性部材との間に間隙ギャップ部分（38）が画成され
るように、互いに固定されていて、 上記ギャップ部分（38）が上記読み取り／書き込みヘッ
ドの使用中に上記記録媒体（12）に接近されるようにさ
れており、 上記細長い磁性部材（20、26）は、透磁率が高く且つ飽
和密度が高い磁性材料の細長い薄膜主磁性層（20）を有
する磁性部材（26）を含み、上記細長い薄膜主磁性層
は、上記細長い磁性部材（26）の上記第１の面に支持さ
れてそれに沿って長手方向に延び、磁性片の端部（24）
を含む磁性片（22）において上記細長い磁性部材と略同
一平面で終端しており、 上記細長い磁性部材が、上記磁性片（22）に向かって部
分的に傾斜されたより細い端部（87）を有する領域内で
終端しており、そして 上記ヘッドが記録媒体上にデータを書き込みし且つ読み
取るために使用される時に、上記磁極片の端部がヘッド
の分解能を定める幅及び厚さを有しており、上記ヘッド
が書き込み電流によって駆動される時、上記細長い磁性
部材（20、26）の上記より細い端部（87）が磁気的に飽
和し、上記磁極片の端部（24）が上記ヘッドの唯一の有
効記録面として残され、上記ヘッドの分解能が決められ
ることを特徴とする読み取り／書き込みヘッド。 - 【請求項４】上記磁極片の端部（24）が、上記垂直記録
媒体（12）の表面に平行な平らな表面からなり、 上記記録媒体（12）の上記細長い磁性部材（26）の端部
の面が、上記細長い磁性部材の厚さが、上記端部の上記
面が上記記録媒体（12）に近接する時に、より薄くなる
ように傾斜しており、 上記媒体のデータにアクセスするための磁路が、上記Ｕ
字型部材、上記細長い磁性部材（20、26）、上記磁極片
の端部（24）、及び上記磁性記録媒体（12）を通して完
成するように、上記Ｕ字型部材（32、34、36）が、磁性
材料からなり、 上記細長い磁性部材（20、26）及び上記Ｕ字型部材（3
2、34、26）が、上記記録媒体に隣接して、上記細長い
部材と上記Ｕ字型部材とを分離する狭いギャップが画成
しており、 上記より薄くなるように傾斜している面によって画成さ
れた上記ヘッドの隅には、非磁性材料（58）が充填され
ていて、記録面の付近にある上記細長い磁性部材（20、
26）の端（22）が機械的に保護されるようにされ、上記
ヘッドが読み取り／書き込みシステムで使用される時、
空気支持面に凹所ができないようにされた請求項３に記
載の読み取り／書き込みヘッド。 - 【請求項５】上記薄膜主磁性層がアルフェシル（Alfesi
l）から形成される請求項４記載の読み取り／書き込み
ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11542387A | 1987-10-30 | 1987-10-30 | |
| US115423 | 1987-10-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01302504A JPH01302504A (ja) | 1989-12-06 |
| JP2768407B2 true JP2768407B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=22361308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63275954A Expired - Fee Related JP2768407B2 (ja) | 1987-10-30 | 1988-10-31 | 垂直磁気記録システムの磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0315361B1 (ja) |
| JP (1) | JP2768407B2 (ja) |
| KR (1) | KR0134381B1 (ja) |
| AT (1) | ATE100962T1 (ja) |
| AU (1) | AU2435988A (ja) |
| DE (1) | DE3887448T2 (ja) |
| HK (1) | HK169995A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2933841B2 (ja) * | 1994-12-22 | 1999-08-16 | 沖電気工業株式会社 | 情報記録媒体、情報記録・再生方法および情報記録・再生装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57210415A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
| JPS60209906A (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-22 | Nec Corp | 垂直磁化記録用リングヘツド |
| JPS60192117U (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-20 | アルプス電気株式会社 | 浮動式磁気ヘツド |
| JPS61258312A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | 垂直磁気ヘツド |
| JPS6257110A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド及び磁気記録方法 |
| JPS62112204A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Tohoku Metal Ind Ltd | 消去用磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS62117113A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-28 | Victor Co Of Japan Ltd | 複合型磁気ヘツド |
| EP0232505A1 (de) * | 1985-12-20 | 1987-08-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetische Speichereinrichtung mit einem senkrecht zu magnetisierenden Aufzeichnungsmedium |
| JPS62192015A (ja) * | 1986-02-19 | 1987-08-22 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| JPS62192016A (ja) * | 1986-02-19 | 1987-08-22 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| JPS62222410A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-30 | Nec Corp | 垂直磁気ヘツド |
-
1988
- 1988-10-26 EP EP88310067A patent/EP0315361B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-26 DE DE88310067T patent/DE3887448T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-10-26 AU AU24359/88A patent/AU2435988A/en not_active Abandoned
- 1988-10-26 AT AT88310067T patent/ATE100962T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-10-29 KR KR1019880014243A patent/KR0134381B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-10-31 JP JP63275954A patent/JP2768407B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-11-02 HK HK169995A patent/HK169995A/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| EP0315361A2 (en) | 1989-05-10 |
| KR890007223A (ko) | 1989-06-19 |
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| KR0134381B1 (ko) | 1998-04-22 |
| JPH01302504A (ja) | 1989-12-06 |
| DE3887448T2 (de) | 1994-05-11 |
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| EP0315361A3 (en) | 1991-01-09 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |