JPS62192015A - 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS62192015A JPS62192015A JP61034116A JP3411686A JPS62192015A JP S62192015 A JPS62192015 A JP S62192015A JP 61034116 A JP61034116 A JP 61034116A JP 3411686 A JP3411686 A JP 3411686A JP S62192015 A JPS62192015 A JP S62192015A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法
に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッド
およびその製造方法に関する。
に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッド
およびその製造方法に関する。
従来のこの種の垂直磁気記録用る■気ヘッドとしては、
例えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−
５８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
例えば特開昭６０−１３６００４号公報、特公昭５７−
５８７３０号公報等に開示されたものが知られている。
特開昭６０−１３６００４号公報に開示された垂直（ｆ
ｉ気気記録磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対し
てその一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基
板を表面を重ねるようにして接着し、接着された両店板
の隣合う面について非磁性セラミック基板側の面には磁
気記録用の主磁極の先端部分が磁性フェライト基板側の
面には磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように
主磁極を形成し、両店板の主磁極形成面を主磁極部を残
して溝が露出するまで切除するとともに非磁性セラミッ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とする研磨
加工等を施し、磁性フェライ１一基板の溝を通して主磁
極にコイルを施して形成される。
ｉ気気記録磁気ヘッドは、非磁性セラミック基板に対し
てその一表面に幅方向の溝を形成した磁性フェライト基
板を表面を重ねるようにして接着し、接着された両店板
の隣合う面について非磁性セラミック基板側の面には磁
気記録用の主磁極の先端部分が磁性フェライト基板側の
面には磁気記録用の主磁極の基端部分が位置するように
主磁極を形成し、両店板の主磁極形成面を主磁極部を残
して溝が露出するまで切除するとともに非磁性セラミッ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とする研磨
加工等を施し、磁性フェライ１一基板の溝を通して主磁
極にコイルを施して形成される。
また、特公昭５７−５８７３０号公報に開示された磁気
記録用磁気ヘッドは、ル１１性材料によるスライダ部基
体および巻線部基体とこれら両法体表面側の非磁性材料
によるギヤツブ部基体とからなるへ、ドブロック構造体
を設けるとともに、このヘッドブロック構造体の表面所
定位置に７１１性祠料の７Ｍ着またはスパッタリングな
どによって選択的にスライダ部、トラック部およびギャ
ップ部を薄膜形成させるようにしたものである。
記録用磁気ヘッドは、ル１１性材料によるスライダ部基
体および巻線部基体とこれら両法体表面側の非磁性材料
によるギヤツブ部基体とからなるへ、ドブロック構造体
を設けるとともに、このヘッドブロック構造体の表面所
定位置に７１１性祠料の７Ｍ着またはスパッタリングな
どによって選択的にスライダ部、トラック部およびギャ
ップ部を薄膜形成させるようにしたものである。
しかし、これら従来の垂直磁気記録用磁気へノドはいず
れも構造が複雑であり、したがって製造方法も複雑で寸
法精度の確保が困難であるという問題点があった。
れも構造が複雑であり、したがって製造方法も複雑で寸
法精度の確保が困難であるという問題点があった。
また、寸法精度の確保が困難なことにより、十分高い再
生出力を得ることができないという問題点があった。
生出力を得ることができないという問題点があった。
本発明の目的は、上述の点に鑑み、構造が簡単で寸法精
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供するこ
とにある。
度の確保が容易なことにより高再生出力を得ることがで
きるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供するこ
とにある。
また、本発明の他の目的は、製造が容易で寸法精度を出
しやすい垂直磁気記録用磁気へノドの製造方法を提供す
ることにある。
しやすい垂直磁気記録用磁気へノドの製造方法を提供す
ることにある。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、主磁極励磁型の
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体でなる巻線
用コアと、この巻線用コアの上面に形成された非磁性体
と、上記巻線用コアおよび上記非磁性体の側面に形成さ
れた主磁極膜と、この主磁極膜を被覆するように形成さ
れた保護膜とを備える。
垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体でなる巻線
用コアと、この巻線用コアの上面に形成された非磁性体
と、上記巻線用コアおよび上記非磁性体の側面に形成さ
れた主磁極膜と、この主磁極膜を被覆するように形成さ
れた保護膜とを備える。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、主磁極励
磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体でな
る巻線用コアと、この巻線用コアの上面に形成された非
磁性体と、スライダの側面に形成された保護膜と、この
保護膜上に形成された主磁極膜と、この主磁極）１りと
上記巻線用コアおよび」−記非磁性体とが対向するよう
に上記巻線用コアを上記スライダに固着する接着材とを
備える。
磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、磁性体でな
る巻線用コアと、この巻線用コアの上面に形成された非
磁性体と、スライダの側面に形成された保護膜と、この
保護膜上に形成された主磁極膜と、この主磁極）１りと
上記巻線用コアおよび」−記非磁性体とが対向するよう
に上記巻線用コアを上記スライダに固着する接着材とを
備える。
本発明の垂直磁気記録用磁気へノドの製造方法は、巻線
用コア上に非磁性体を形成する工程と、上記巻線用コア
および上記非磁性体の側面に主磁極膜を形成する工程と
、上記主磁極膜を所定の幅を有するストライプ状のパタ
ーンに加工する工程と、上記基板および上記主磁極膜上
に保護膜を形成する工程と、上記巻線用コアを所望の寸
法となるように切断する工程と、スライダに上記巻線用
コアの両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
用コア上に非磁性体を形成する工程と、上記巻線用コア
および上記非磁性体の側面に主磁極膜を形成する工程と
、上記主磁極膜を所定の幅を有するストライプ状のパタ
ーンに加工する工程と、上記基板および上記主磁極膜上
に保護膜を形成する工程と、上記巻線用コアを所望の寸
法となるように切断する工程と、スライダに上記巻線用
コアの両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法は
、スライダの側面に保護膜を形成する工程と、上記保護
膜上に主磁極膜を形成する工程と、巻線用コア上に非磁
性体を形成する工程と、上記スライダに上記巻線用コア
の両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
、スライダの側面に保護膜を形成する工程と、上記保護
膜上に主磁極膜を形成する工程と、巻線用コア上に非磁
性体を形成する工程と、上記スライダに上記巻線用コア
の両端部を接着材を介して接着する工程とを含む。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘットでは、巻、線用コア
および非磁性体の側面に形成された主磁極膜が垂直磁気
記録媒体に記録された磁気信号をピックアップし、巻線
用コアおよびスライダを含む閉磁路をＪじてコイルに再
生電圧を発生させる。
および非磁性体の側面に形成された主磁極膜が垂直磁気
記録媒体に記録された磁気信号をピックアップし、巻線
用コアおよびスライダを含む閉磁路をＪじてコイルに再
生電圧を発生させる。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドでは、スライ
ダの側面に保ｉｔ ＩＩＱを介して形成された主ｂｊ！
極膜が垂直磁気記録媒体に記録された磁気１３号をピッ
クアップし、巻線用コアおよびスライダを含む閉磁路を
通じてコイルに再生電圧を発生させる。
ダの側面に保ｉｔ ＩＩＱを介して形成された主ｂｊ！
極膜が垂直磁気記録媒体に記録された磁気１３号をピッ
クアップし、巻線用コアおよびスライダを含む閉磁路を
通じてコイルに再生電圧を発生させる。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法では、主
ＩＪｉ膜が巻線用コアと磁路を形成するように巻線用コ
アおよび巻線用コアの上面に形成された非磁性体の側面
に主磁極膜が形成される。
ＩＪｉ膜が巻線用コアと磁路を形成するように巻線用コ
アおよび巻線用コアの上面に形成された非磁性体の側面
に主磁極膜が形成される。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法で
は、主磁極膜が巻線用コアと磁路を形成するようにスラ
イダの側面に保護膜を介して主磁極膜が形成され、この
主磁極膜に巻線用コアの一端部が対向するように巻線用
コアが接着材を介してスライダに固着される。
は、主磁極膜が巻線用コアと磁路を形成するようにスラ
イダの側面に保護膜を介して主磁極膜が形成され、この
主磁極膜に巻線用コアの一端部が対向するように巻線用
コアが接着材を介してスライダに固着される。
第１図は本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録用磁
気ヘッドは、コイル（図示せず）を巻装する、ための巻
線用コア７と、この巻線用コア７の」二面に設けられた
非磁性体１と、巻線用コア７と非磁性体１との側面に形
成された主磁極膜２ （第２図参照）と、この主磁極膜
２上に被覆された保護膜３と、スライダ５に巻線用コア
７を固着する接着材４と、スライダ５とから構成されて
いる。
ッドを示す斜視図である。本実施例の垂直磁気記録用磁
気ヘッドは、コイル（図示せず）を巻装する、ための巻
線用コア７と、この巻線用コア７の」二面に設けられた
非磁性体１と、巻線用コア７と非磁性体１との側面に形
成された主磁極膜２ （第２図参照）と、この主磁極膜
２上に被覆された保護膜３と、スライダ５に巻線用コア
７を固着する接着材４と、スライダ５とから構成されて
いる。
次に、このように構成された本実施例の垂直磁気記録用
磁気ヘッドの製造方法について説明する。
磁気ヘッドの製造方法について説明する。
まず、第３図に示すように、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎ
１−Ｚｎフェライト、アモルファス金属等によって断
面Ｃ字状に形成された巻線用コア７の上面上にガラス、
結晶化ガラス、フェライト、セラミック、Ａｆｆｉ、○
＊ 、Ａ Ｉｔ ｔｏ ｘ−Ｔ ｉ Ｃ等の非磁性材を
スパッタリングして非磁性体ｌを形成する。次に、巻線
用コア７および非磁性体１の側面上に、パーマロイ、セ
ンダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｈｆ−Ｔａ等のア
モルファス金属等をスパッタリングすることによって薄
膜状の主ｔ■橿膜２を形成する。このとき形成される主
磁極膜２の膜厚によって、記録線密度が決定される。続
いて、主磁極膜２をウェットエンチングあるいはドライ
エツチングすることによって所定の幅を有するストライ
プ状のパターンに加工する。このとき形成されるパター
ン幅がトラック幅となり、トラック密度を決定する。次
に、主磁極膜２上にＳｉＯ□、Ａ１！０１等の非磁性材
をスパンクリングすることによって保護膜３を形成する
。続いて、主磁極膜２等が形成された巻線用コア７を図
中の一点鎖線に沿って切断して所望の形状の巻線用コア
７を得る。
１−Ｚｎフェライト、アモルファス金属等によって断
面Ｃ字状に形成された巻線用コア７の上面上にガラス、
結晶化ガラス、フェライト、セラミック、Ａｆｆｉ、○
＊ 、Ａ Ｉｔ ｔｏ ｘ−Ｔ ｉ Ｃ等の非磁性材を
スパッタリングして非磁性体ｌを形成する。次に、巻線
用コア７および非磁性体１の側面上に、パーマロイ、セ
ンダスト、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｈｆ−Ｔａ等のア
モルファス金属等をスパッタリングすることによって薄
膜状の主ｔ■橿膜２を形成する。このとき形成される主
磁極膜２の膜厚によって、記録線密度が決定される。続
いて、主磁極膜２をウェットエンチングあるいはドライ
エツチングすることによって所定の幅を有するストライ
プ状のパターンに加工する。このとき形成されるパター
ン幅がトラック幅となり、トラック密度を決定する。次
に、主磁極膜２上にＳｉＯ□、Ａ１！０１等の非磁性材
をスパンクリングすることによって保護膜３を形成する
。続いて、主磁極膜２等が形成された巻線用コア７を図
中の一点鎖線に沿って切断して所望の形状の巻線用コア
７を得る。
このようにして形成された巻線用コア７の両端部をＭｎ
−７，ｎフェライト、Ｎ １−Ｚｎフェライト、アモル
ファス金属等からなる第４図に示すような断面コの字型
のスライダ５の前端面の右側部寄りにガラス、樹脂等か
らなる接着材４で固着する。
−７，ｎフェライト、Ｎ １−Ｚｎフェライト、アモル
ファス金属等からなる第４図に示すような断面コの字型
のスライダ５の前端面の右側部寄りにガラス、樹脂等か
らなる接着材４で固着する。
この後、第１図に示すように、スライダ５の上面部を研
削加工して、エアグループ５ａおよびパッド面５ｂを形
成する。
削加工して、エアグループ５ａおよびパッド面５ｂを形
成する。
しかる後に、巻線用コア７にコイルを巻装することによ
り、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが製造される
。
り、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが製造される
。
なお、上記垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法におい
ては、非磁性体１、主磁極膜２および保護膜３をスパッ
タリングで形成するようにしたが、これらは蒸着、メッ
キ、イオンブレーティング等の他の方法によって形成す
ることもできる。
ては、非磁性体１、主磁極膜２および保護膜３をスパッ
タリングで形成するようにしたが、これらは蒸着、メッ
キ、イオンブレーティング等の他の方法によって形成す
ることもできる。
また、巻線用コア７を固着した後にスライダ５の上面部
を研削加工してエアグループ５ａおよびパッド面５ｂを
形成したが、これらは巻線用コア７を固着する前に事前
に形成しておいてもよい。
を研削加工してエアグループ５ａおよびパッド面５ｂを
形成したが、これらは巻線用コア７を固着する前に事前
に形成しておいてもよい。
次に、このようにして製造された本実施例の磁気ヘッド
を用いて垂直磁気記録媒体に記録および再生を行うには
、スライダ５のパッド面５ｂ上に垂直磁気記録媒体を＠
置し、コイルに信号電流を通電しながら垂直磁気記録媒
体を移動させる。すると、コイルに膜厚された磁束が巻
線用コア７および極めて薄い主班ＪＪｉ膜２を介して高
磁束密度となって垂直磁気記録媒体に作用し、正直６ｆ
ｔ気記録層を厚み方向に磁化して信号の記録が行われる
。
を用いて垂直磁気記録媒体に記録および再生を行うには
、スライダ５のパッド面５ｂ上に垂直磁気記録媒体を＠
置し、コイルに信号電流を通電しながら垂直磁気記録媒
体を移動させる。すると、コイルに膜厚された磁束が巻
線用コア７および極めて薄い主班ＪＪｉ膜２を介して高
磁束密度となって垂直磁気記録媒体に作用し、正直６ｆ
ｔ気記録層を厚み方向に磁化して信号の記録が行われる
。
また、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドを用いて垂
直磁気記録媒体から記録信号を再生するには、垂直磁気
記録媒体に残留磁気の形で記録された信号を主磁極膜２
でピックアップすることにより、コイルに誘導電圧とし
て再生出力を取り出す。
直磁気記録媒体から記録信号を再生するには、垂直磁気
記録媒体に残留磁気の形で記録された信号を主磁極膜２
でピックアップすることにより、コイルに誘導電圧とし
て再生出力を取り出す。
第５図は、本発明の他の実施例を示す垂直磁気記録用磁
気ヘッドの要部拡大断面図である。本実施例の垂直磁気
記録用磁気ヘッドは、スライダ５の側面に保Ｘ！膜３お
よび主磁極膜２を順次積層し、非磁性体ｌおよび巻線用
コア７の側面が主磁極膜２に対応するように巻線用コア
７をスライダ５に接着材４によって固着したものである
。
気ヘッドの要部拡大断面図である。本実施例の垂直磁気
記録用磁気ヘッドは、スライダ５の側面に保Ｘ！膜３お
よび主磁極膜２を順次積層し、非磁性体ｌおよび巻線用
コア７の側面が主磁極膜２に対応するように巻線用コア
７をスライダ５に接着材４によって固着したものである
。
このように構成された本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘ
ッドでも、第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気
ヘッドと同様の作用および効果が得られることはいうま
でもない。
ッドでも、第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気
ヘッドと同様の作用および効果が得られることはいうま
でもない。
第６図および第７図は、本発明のさらに他の実施例を示
す垂直磁気記録用磁気ヘッドの側面図および要部拡大断
面図である。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、
第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが側
面が垂直なスライダ５とＣ字型の巻線用コア７とを使用
していたのに対して、側面の上下端部が突出したスライ
ダ５および杆状の巻線用コア７を使用するようにしたも
のである。なお、符号６はコイルを示す。
す垂直磁気記録用磁気ヘッドの側面図および要部拡大断
面図である。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、
第１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが側
面が垂直なスライダ５とＣ字型の巻線用コア７とを使用
していたのに対して、側面の上下端部が突出したスライ
ダ５および杆状の巻線用コア７を使用するようにしたも
のである。なお、符号６はコイルを示す。
このような本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドも、第
１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドと同様
に製造され、同様の作用および効果が得られることはい
うまでもない。
１図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドと同様
に製造され、同様の作用および効果が得られることはい
うまでもない。
第８図および第９図は、本発明の別の実施例を示す垂直
磁気記録用磁気ヘッドの側面図および要部拡大断面図で
ある。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、第５図
に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが側面が垂
直なスライダ５とＣ字型の巻線用コア７とを使用してい
たのに対して、側面の上下端部が突出したスライダ５お
よび杆状の巻線用コア７を使用するようにしたものであ
る。
磁気記録用磁気ヘッドの側面図および要部拡大断面図で
ある。本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、第５図
に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドが側面が垂
直なスライダ５とＣ字型の巻線用コア７とを使用してい
たのに対して、側面の上下端部が突出したスライダ５お
よび杆状の巻線用コア７を使用するようにしたものであ
る。
このような本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドも、第
５図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドと同様
に製造され、同様の作用および効果が得られることはい
うまでもない。
５図に示した実施例の垂直磁気記録用磁気ヘッドと同様
に製造され、同様の作用および効果が得られることはい
うまでもない。
以上説明したように、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッ
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トラツク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信頬性が高い記録を行うことができる、 ■ 構造が前車なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間の機械的信転性が高い、 等の効果がある。
ドによれば、 ■ 高出力のコア構造により、高トラツク密度の記録を
行うことができる、 ■ 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得られるの
で、データの信頬性が高い記録を行うことができる、 ■ 構造が前車なので、垂直磁気記録媒体と垂直磁気記
録用磁気ヘッドとの間の機械的信転性が高い、 等の効果がある。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法に
よれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極１１りが得られるの
で、量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、情度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
よれば、 ■ １回の成膜工程で多数の主磁極１１りが得られるの
で、量産性が高い、 ■ 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパッタリン
グ装置の成膜時間で決まるので、高精度である、 ■ トラック加工をエツチングで行えるので、情度がよ
く量産性が高い、 等の効果がある。
第１図は、本発明の一実施例に係る垂直磁気記録用磁気
ヘッドの斜視図、 第２図は、第１図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
要部拡大断面図、 第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製造工程を示
す斜視図、 第４図は、第１図中に示したスライダの製造工程を示す
斜視図、 第５図は、本発明の他の実施例に係る垂直磁気記録用磁
気ヘッドの要部拡大断面図、 第６図は、本発明のさらに他の実施例に係る垂直Ｉｆ！
気記録用もｉｌ気ヘッドの側面図、第７図は、第６図に
示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの要部拡大断面図、 第８図は、本発明の別の実施例に係る垂直磁気記録用磁
気ヘッドの側面図、 第９図は、第８図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
要部拡大断面図である。 図において、 ｌ・・・・・非磁性体、 ２・・・・・主磁極膜、 ３・ ・ ・ ・ ・保護１模、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・スライダ、 ５ａ・・・・エアグループ、 ５ｂ・・・ ・パッド面、 ６・・・・・コイル、 ７・・・・・巻線用コアである。 第１図 第２図 第３図 第４図 第６図 ？ 第８図 手Ｖｔ補正書（自発） 昭和６１年３４７９日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 特願昭６７−３’−１−／／乙 号２
、発明 の名称 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびそ
の製造方法 ３、補正をする者 ５、補正の内容 明細書第８頁第１５行に「非６１１性材をスパッタリン
グして」とあるのを、「非磁性材をスバ・７タリング、
貼り付は等の方法により」と、（３１ °′°−パ。
ヘッドの斜視図、 第２図は、第１図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
要部拡大断面図、 第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製造工程を示
す斜視図、 第４図は、第１図中に示したスライダの製造工程を示す
斜視図、 第５図は、本発明の他の実施例に係る垂直磁気記録用磁
気ヘッドの要部拡大断面図、 第６図は、本発明のさらに他の実施例に係る垂直Ｉｆ！
気記録用もｉｌ気ヘッドの側面図、第７図は、第６図に
示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの要部拡大断面図、 第８図は、本発明の別の実施例に係る垂直磁気記録用磁
気ヘッドの側面図、 第９図は、第８図に示した垂直磁気記録用磁気ヘッドの
要部拡大断面図である。 図において、 ｌ・・・・・非磁性体、 ２・・・・・主磁極膜、 ３・ ・ ・ ・ ・保護１模、 ４・・・・・接着材、 ５・・・・・スライダ、 ５ａ・・・・エアグループ、 ５ｂ・・・ ・パッド面、 ６・・・・・コイル、 ７・・・・・巻線用コアである。 第１図 第２図 第３図 第４図 第６図 ？ 第８図 手Ｖｔ補正書（自発） 昭和６１年３４７９日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 特願昭６７−３’−１−／／乙 号２
、発明 の名称 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびそ
の製造方法 ３、補正をする者 ５、補正の内容 明細書第８頁第１５行に「非６１１性材をスパッタリン
グして」とあるのを、「非磁性材をスバ・７タリング、
貼り付は等の方法により」と、（３１ °′°−パ。
Claims (4)
- （１）主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、 磁性体でなる巻線用コアと、この巻線用コアの上面に形
成された非磁性体と、上記巻線用コアおよび上記非磁性
体の側面に形成された主磁極膜と、この主磁極膜を被覆
するように形成された保護膜とを備えることを特徴とす
る垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - （２）主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、 磁性体でなる巻線用コアと、この巻線用コアの上面に形
成された非磁性体と、スライダの側面に形成された保護
膜と、この保護膜上に形成された主磁極膜と、この主磁
極膜と上記巻線用コアおよび上記非磁性体とが対向する
ように上記巻線用コアを上記スライダに固着する接着材
とを備えることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド
。 - （３）巻線用コア上に非磁性体を形成する工程と、上記
巻線用コアおよび上記非磁性体の側面に主磁極膜を形成
する工程と、上記主磁極膜を所定の幅を有するストライ
プ状のパターンに加工する工程と、上記基板および上記
主磁極膜上に保護膜を形成する工程と、上記巻線用コア
を所望の寸法となるように切断する工程と、スライダに
上記巻線用コアの両端部を接着材を介して接着する工程
とを含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの
製造方法。 - （４）スライダの側面に保護膜を形成する工程と、上記
保護膜上に主磁極膜を形成する工程と、巻線用コア上に
非磁性体を形成する工程と、上記スライダに上記巻線用
コアの両端部を接着材を介して接着する工程とを含むこ
とを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034116A JPS62192015A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| KR1019860007832A KR900004741B1 (ko) | 1986-02-19 | 1986-09-17 | 수직 자기기록용 자기헤드 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034116A JPS62192015A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62192015A true JPS62192015A (ja) | 1987-08-22 |
Family
ID=12405288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61034116A Pending JPS62192015A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62192015A (ja) |
| KR (1) | KR900004741B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0315361A2 (en) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording system and process |
-
1986
- 1986-02-19 JP JP61034116A patent/JPS62192015A/ja active Pending
- 1986-09-17 KR KR1019860007832A patent/KR900004741B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0315361A2 (en) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording system and process |
| EP0315361B1 (en) * | 1987-10-30 | 1994-01-26 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording system and process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870008281A (ko) | 1987-09-25 |
| KR900004741B1 (ko) | 1990-07-05 |
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