JPWO2023032214A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024015515A JP7742438B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-02-05 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/032713 WO2023032214A1 (ja) | 2021-09-06 | 2021-09-06 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024015515A Division JP7742438B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-02-05 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023032214A1 JPWO2023032214A1 (https=) | 2023-03-09 |
| JPWO2023032214A5 true JPWO2023032214A5 (https=) | 2023-08-09 |
| JP7432770B2 JP7432770B2 (ja) | 2024-02-16 |
Family
ID=85411114
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022571247A Active JP7432770B2 (ja) | 2021-09-06 | 2021-09-06 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
| JP2024015515A Active JP7742438B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-02-05 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024015515A Active JP7742438B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-02-05 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20240234174A1 (https=) |
| JP (2) | JP7432770B2 (https=) |
| KR (1) | KR102945105B1 (https=) |
| CN (1) | CN116097399A (https=) |
| WO (1) | WO2023032214A1 (https=) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN121419569A (zh) * | 2024-07-24 | 2026-01-27 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 基板热处理装置、热处理方法及涂覆显影设备 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2564288B2 (ja) * | 1987-01-23 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | ベ−ク装置 |
| JP3547724B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2004-07-28 | 沖電気工業株式会社 | レジストパターンのベーク装置及びレジストパターンの形成方法 |
| JP3989221B2 (ja) * | 2001-10-25 | 2007-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置および熱処理方法 |
| JP2004260117A (ja) | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2005129698A (ja) | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造装置および製造方法 |
| US9310684B2 (en) | 2013-08-22 | 2016-04-12 | Inpria Corporation | Organometallic solution based high resolution patterning compositions |
| JP6406192B2 (ja) * | 2014-12-10 | 2018-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置、加熱処理方法及び記憶媒体 |
| JP6781031B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2020-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び熱処理装置 |
| JP6850627B2 (ja) * | 2017-02-21 | 2021-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP7208813B2 (ja) * | 2019-02-08 | 2023-01-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP7359680B2 (ja) | 2019-07-22 | 2023-10-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び処理方法 |
| JP7499106B2 (ja) * | 2019-10-17 | 2024-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法、及びプログラム |
-
2021
- 2021-09-06 WO PCT/JP2021/032713 patent/WO2023032214A1/ja not_active Ceased
- 2021-09-06 KR KR1020237016180A patent/KR102945105B1/ko active Active
- 2021-09-06 US US18/040,669 patent/US20240234174A1/en active Pending
- 2021-09-06 JP JP2022571247A patent/JP7432770B2/ja active Active
- 2021-09-06 CN CN202180063042.8A patent/CN116097399A/zh active Pending
-
2024
- 2024-02-05 JP JP2024015515A patent/JP7742438B2/ja active Active
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