JP2005129698A - 半導体装置の製造装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レジストを塗布した半導体基板を加熱するベークプレート201と、半導体基板を囲むベークプレートカバー202,203と、ベークプレートカバー202,203の内側に設置された吸気ノズル204および排気ノズル205とを備えたベーク装置からなり、ベーク装置に付着したレジストの昇華物を除去するための溶媒を噴射する溶媒噴射口207を設けた。これにより、ベーク装置内に堆積した昇華物の洗浄が可能である。また、昇華物を溶解させる溶媒を選択することで、あらゆる昇華物に対してベーク装置の洗浄が可能である。
【選択図】 図1
Description
102 ベーク炉カバー(天板)
103 ベーク炉カバー(側壁)
104 吸気ノズル
105 排気ノズル
106 ヒータ
201 ベークプレート
202 ベーク炉カバー天板部
203 ベーク炉カバー側壁部
204 吸気ノズル
205 排気ノズル
206 開閉弁
207 溶媒噴射口
208 溶液回収トラップ
209 溶液排出ノズル
301 ベークプレート
302 ベーク炉カバー天板部
303 ベーク炉カバー側壁部
304 吸気ノズル
305 排気ノズル
306 溶媒吐出ノズル
307 ヒータ
Claims (11)
- レジストを塗布した半導体基板を加熱するベークプレートと、前記半導体基板を囲むベークプレートカバーと、前記ベークプレートカバーの内側に設置された吸気ノズルおよび排気ノズルとを備えたベーク装置からなる半導体装置の製造装置であって、前記ベーク装置に付着した前記レジストの昇華物を除去するための溶媒を噴射する溶媒噴射口を設けたことを特徴とする半導体装置の製造装置。
- 前記昇華物は非イオン系酸発生剤またはフェノール系樹脂の低分子量成分からなり、前記溶媒はアルコール系溶媒、THF、ハロゲン系溶媒からなる請求項1記載の半導体装置の製造装置。
- 前記フェノール系樹脂はクレゾールノボラックまたはポリヒドロキシスチレンである請求項2記載の半導体装置の製造装置。
- 前記溶媒は沸点が100℃以下である請求項1記載の半導体装置の製造装置。
- 前記吸気ノズルおよび前記排気ノズルに、外部信号により開閉が自在な弁を取り付けた請求項1記載の半導体装置の製造装置。
- 前記ベークプレート内に流入した前記溶媒を外部へ排出するための排出ユニットを備えた請求項1記載の半導体装置の製造装置。
- ベークプレートカバーで囲まれたベークプレートを有するベーク装置内で、レジストを塗布した半導体基板を加熱する半導体装置の製造方法であって、前記ベークプレート上に前記半導体基板を配置して加熱する工程と、前記加熱した半導体基板上のレジストから昇華して前記ベーク装置に付着した昇華物を溶媒により除去する工程とを含む半導体装置の製造方法。
- 前記溶媒は前記ベークプレートカバーの内側に設置された溶液噴射口から前記ベークプレートカバーに向けて噴射される請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記昇華物は非イオン系酸発生剤またはフェノール系樹脂の低分子量成分からなり、前記溶媒はアルコール系溶媒、THF、ハロゲン系溶媒からなる請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フェノール系樹脂はクレゾールノボラックまたはポリヒドロキシスチレンである請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記溶媒は沸点が100℃以下である請求項7記載の半導体装置の製造方法。
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JP2003363142A JP2005129698A (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | 半導体装置の製造装置および製造方法 |
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Country | Link |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009099671A (ja) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Renesas Technology Corp | 塗布装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
US7683291B2 (en) | 2005-04-26 | 2010-03-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Substrate processing method and manufacturing method of semiconductor device |
KR102492569B1 (ko) * | 2022-03-31 | 2023-01-27 | 제이엘켐 주식회사 | 반도체 공정용 유기소재의 건식정제방법 |
WO2023080013A1 (ja) * | 2021-11-05 | 2023-05-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱処理装置、加熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 |
-
2003
- 2003-10-23 JP JP2003363142A patent/JP2005129698A/ja active Pending
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