JPWO2022123645A5 - - Google Patents

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Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4574251B2 (ja) * 2003-09-17 2010-11-04 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
JP4945339B2 (ja) 2007-06-22 2012-06-06 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体集積回路装置の製造方法
JP5227117B2 (ja) * 2008-08-29 2013-07-03 芝浦メカトロニクス株式会社 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法
US8092645B2 (en) 2010-02-05 2012-01-10 Asm Assembly Automation Ltd Control and monitoring system for thin die detachment and pick-up
JP2018182278A (ja) * 2017-04-07 2018-11-15 芝浦メカトロニクス株式会社 半導体チップのピックアップ装置及び実装装置
JP6967411B2 (ja) * 2017-09-19 2021-11-17 ファスフォードテクノロジ株式会社 半導体製造装置、半導体装置の製造方法およびコレット
KR20190054748A (ko) * 2017-11-14 2019-05-22 에스케이하이닉스 주식회사 다이 이젝팅 장치 및 그 구동방법
TWI641070B (zh) * 2018-01-09 2018-11-11 Powertech Technology Inc. 晶片頂針裝置
TWI745710B (zh) * 2018-07-06 2021-11-11 日商新川股份有限公司 半導體晶粒的拾取系統

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