JPWO2022014121A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2025197617A1 (ja) * 2024-03-19 2025-09-25 株式会社村田製作所 アクチュエータおよび流体制御装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0435653B1 (en) * 1989-12-27 1994-06-01 Seiko Epson Corporation Micropump
JPH05172060A (ja) * 1991-12-25 1993-07-09 Hitachi Ltd 微量ポンプ
JPH10213077A (ja) * 1997-01-30 1998-08-11 Kasei Optonix Co Ltd ポンプ用リード弁
US6869275B2 (en) * 2002-02-14 2005-03-22 Philip Morris Usa Inc. Piezoelectrically driven fluids pump and piezoelectric fluid valve
WO2004081390A1 (de) * 2003-03-11 2004-09-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Normal doppelt geschlossenes mikroventil
DE602004003316T2 (de) * 2003-09-12 2007-03-15 Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon Membranpumpe für Kühlluft
JP2009185800A (ja) * 2008-01-09 2009-08-20 Star Micronics Co Ltd ダイヤフラム式エアポンプ
JP5223482B2 (ja) * 2008-06-17 2013-06-26 オムロンヘルスケア株式会社 ダイヤフラムポンプおよび血圧計
CN102884352B (zh) * 2010-03-05 2014-06-18 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 弯曲换能器、微型泵和微型阀的制造方法以及微型泵和微型阀
AU2012312898B2 (en) * 2011-09-21 2016-11-17 Solventum Intellectual Properties Company Dual -cavity pump
EP3604810B1 (en) * 2014-02-21 2023-06-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Fluid control device and pump
WO2016009870A1 (ja) * 2014-07-16 2016-01-21 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP6103151B2 (ja) * 2014-07-25 2017-03-29 株式会社村田製作所 気体制御装置
WO2016121717A1 (ja) * 2015-01-28 2016-08-04 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置
CN107735573B (zh) * 2015-04-27 2020-10-27 株式会社村田制作所 泵
US10487820B2 (en) * 2016-01-29 2019-11-26 Microjet Technology Co., Ltd. Miniature pneumatic device
CN109069037B (zh) * 2016-05-09 2021-11-16 株式会社村田制作所 阀、流体控制装置以及血压计
WO2018021514A1 (ja) * 2016-07-29 2018-02-01 株式会社村田製作所 バルブ、気体制御装置
TWI656517B (zh) * 2017-08-21 2019-04-11 研能科技股份有限公司 具致動傳感模組之裝置
JP6551636B1 (ja) * 2017-12-22 2019-07-31 株式会社村田製作所 バルブ、アプリケーション機器
JP6769568B2 (ja) * 2017-12-26 2020-10-14 株式会社村田製作所 ポンプおよび流体制御装置
DE112018005660B4 (de) * 2018-01-10 2022-11-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pumpe und fluidsteuerungsvorrichtung
WO2019159448A1 (ja) * 2018-02-13 2019-08-22 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP6536770B1 (ja) 2018-02-16 2019-07-03 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP2019190343A (ja) * 2018-04-24 2019-10-31 株式会社村田製作所 ポンプ
JP6952400B2 (ja) * 2018-05-15 2021-10-20 京セラ株式会社 圧電ガスポンプ
CN110513280A (zh) * 2018-05-21 2019-11-29 研能科技股份有限公司 微型输送装置
CN112166251B (zh) * 2018-05-31 2024-04-02 株式会社村田制作所 流体控制装置
EP3828414B1 (en) * 2018-11-27 2024-08-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pump
JP7243829B2 (ja) * 2019-07-03 2023-03-22 株式会社村田製作所 流体制御装置
WO2021171917A1 (ja) * 2020-02-26 2021-09-02 株式会社村田製作所 流体制御装置

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