JP2019190343A - ポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】高い流量と高い圧力を生じるポンプを実現する。【解決手段】ポンプ10は、平板20、平板30、圧電素子41、振動規制部材50、支持部材82、および、ポンプ室100を備える。圧電素子41は、平板20の主面21に配置されている。ポンプ室100は、平板20、平板30、側壁部材83によって囲まれる空間からなる。振動規制部材50は、平板30の内縁に接続されており、所定の質量を有する。支持部材82は、第2板の第4主面側に配置され、平板30の外縁を支持している。平板30は、振動規制部材50への接続部分と支持部材82への接続部分との間に、ベンディング振動が可能な振動領域300を有する。この振動領域300は、平板20の振動領域の直径における外縁側の略1/3の領域に重なっている。【選択図】 図1
Description
この発明は、屈曲振動を用いて流体を搬送するポンプに関する。
従来、例えば、特許文献1に示す構造を有するポンプがある。特許文献1に示すポンプは、内部空間を有する筐体と、アクチュエータとを備える。
アクチュエータは、平板状であり、筐体の内部空間に、筐体の1つの壁に対向して配置されている。アクチュエータが対向する壁は、中央部の厚みが薄く、受動振動板として機能する。受動振動板の中央には、吸気口が設けられている。また、アクチュエータの外縁には開口があり、排気口となっている。
アクチュエータが振動すると、アクチュエータと受動振動板との間のポンプ室の圧力変化によって、受動振動板が振動する。吸気と排気は、これらアクチュエータの振動と受動振動板の振動との組合せによって実現される。
しかしながら、特許文献1に示すようなポンプでは、受動振動板の面積を大きくできない等の理由によって、高い流量や高い圧力を得難い。
したがって、本発明の目的は、従来構成よりも高い流量と高い圧力を実現可能なポンプを提供することにある。
この発明のポンプは、第1板、駆動体、第2板、ポンプ室、支持部材、および、振動規制部材を備える。第1板は、第1主面と第2主面とを有する。駆動体は、例えば、圧電素子からなり、第1板の第1主面に配置され、第1板を振動させる。第2板は、互いに対向する第3主面と第4主面とを有する。ポンプ室は、第1板、第2板、側壁部材によって囲まれる空間からなり、第1板の外周の第1孔および第2板の中央領域の第2孔を介して外部に連通している。支持部材は、第2板の第4主面側に配置され、第2板の外縁を支持している。振動規制部材は、第2板の第4主面側に配置され、第2板における第2孔の外縁部に接続されている。第2板は、支持部材への接続部分と振動規制部材への接続部分との間に、第1板の振動時において、第3主面および第4主面に直交する方向に振動可能な受動振動領域を有する。この受動振動領域は、第1板の振動領域の直径における外縁側の略1/3の領域(第1板の振動領域の中心と外縁とを両端とする区間(半径)において、外縁側の略2/3の領域)に重なっている。
この構成では、駆動体によって、第1板が振動すると、この振動によるポンプ室内の圧力変化によって、第2板の振動領域が振動する。この際、第2の振動領域の振動は、第1板の振動に対して、同じ周波数で逆相となる。これにより、流体の流れが進行波と同様になり、第2孔からポンプ室内に流入し、ポンプ室内を中心から外縁方向へ搬送され、第1穴から吐出される。この際、第2板の振動領域が、第1板の外周側の略1/3と略同じ面積になるので、進行波を生じる領域を大きくでき、流量および圧力が向上する。
また、この発明のポンプは、次の構成であってもよい。ポンプは、ベース部材を備える。ベース部材は、第2板の第4主面側に、第2板から離間して配置されている。支持部材および振動規制部材は、ベース部材に接続されている。
この構成では、第2板の中央領域と外縁がベース部材に固定されるので、第2板の振動が安定し易い。
また、この発明のポンプは、次の構成であってもよい。ポンプは、第2板の第4主面側に、第2板から離間して配置されたベース部材を備える。支持部材は、ベース部材に接続されている。振動規制部材は、ベース部材に接続されていない。
この構成では、第2板における振動規制部材が接続される領域において、微小振動が生じる。この微小振動によるエネルギーは、振動領域に与えられ、振動領域の振幅が増大する。これにより、流量および圧力が更に向上する。
また、この発明のポンプでは、支持部材は、ベース部材に対して変位可能に接続されていてもよい。
この構成では、第2板における支持部材が接続される領域において、微小振動が生じる。この微小振動によるエネルギーは、振動領域に与えられ、振動領域の振幅が増大する。これにより、流量および圧力が更に向上する。
また、この発明のポンプでは、支持部材は、弾性体を介してベース部材に接続されていてもよい。
この構成では、支持部材をベース部材に変位可能に接続する構成が、簡単な構成で実現される。
また、この発明のポンプでは、支持部材は、変位を可能にする弾性を有する部分を備えていてもよい。
この構成では、支持部材に変位が可能な箇所が設けられる。これにより、支持部材がベース部材に対して変位しないように固定しても、支持部材の変位可能な接続が実現される。
また、この発明のポンプでは、第1板は、円形であることが好ましい。
この構成では、第1板が効率的に振動する。したがって、ポンプの効率が向上し、流量および圧力の向上に繋がる。
また、この発明のポンプでは、第2板における振動領域は、円環形であることが好ましい。
この構成では、第2板が効率的に振動する。したがって、ポンプの効率が向上し、流量および圧力の向上に繋がる。
この発明によれば、従来構成よりも高い流量と高い圧力とを実現できる。
本発明の第1の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係るポンプの構成を示す分解斜視図である。
図1、図2に示すように、ポンプ10は、平板20、平板30、圧電素子41、振動規制部材50、ベース部材81、支持部材82、および、側壁部材83を備える。
平板20は、互いに対向する主面21(本発明の「第1主面」に対応する。)と主面22(本発明の「第2主面」に対応する。)とを有する。平板20は、所定の材料、厚み、および、径からなる円板である。平板20の材料、厚み、および、径は、平板20が圧電素子41によって振動する際の共振周波数に基づいて設定されている。平板20が、本発明の「第1板」に対応し、圧電素子41が、本発明の「駆動体」に対応する。
なお、平板20は、主たる振動領域が円形であれば、外形形状は、円形に限らず、略円形、正多角形を含む略正多角形であってもよい。これにより、平板20における振動が中心軸POに対して軸対称に伝わるため、流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。特に、平板20が円形の場合、最も効果的に流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。
圧電素子41は、平板20の主面21に配置されている。圧電素子41は、円板である。図示を省略しているが、圧電素子41は、円柱形の圧電体と、一対の駆動用電極とからなる。一対の駆動用電極の一方は、圧電体の一方主面に配置され、一対の駆動用電極の他方は、圧電体の他方主面に配置されている。この際、平面視において、圧電素子41の中心と平板20の中心とは略一致している。
平板20の外縁OE20よりも外方には、固定用部材220が配置されている。固定用部材220は、円環形である。固定用部材220の内周面と平板20の外縁OE20とは、弾性部材201によって接続されている。また、固定用部材220の内周面と平板20の外縁OE20と間には、孔210が形成されている。孔210は、本発明の「第1孔」に対応する。孔210は、平板20の外縁OE20の全周に亘って離散的に形成されている。例えば、平板20と固定用部材220とは、一枚の板からなり、平板20の外縁OE20と固定用部材220の内周面との間の領域を貫通する孔を複数設けることによって孔210が形成される。そして、平板20の外縁OE20と固定用部材220の内周面との間の領域における孔210が形成されずに残った部分は、弾性部材201となる。この構成によって、平板20は、外縁OE20が振動可能な状態で、固定用部材220に保持される。
平板30は、互いに対向する主面31(本発明の「第3主面」に対応する。)と主面32(本発明の「第4主面」に対応する。)とを有する。平板30は、所定の材料、厚み、および、径からなる円板である。平板30の材料、厚み、および、径は、平板30の共振周波数と平板20の共振周波数とが一致するように設定されている。平板30が、本発明の「第2板」に対応する。
平板30は、平板20に対して、所定距離で離間して配置されている。より具体的には、平板30の主面31と平板20の主面22とは、互いに対向しており、主面31と主面22とは平行であり、主面31と主面22との距離が、上記所定距離である。平板30の中心軸と平板20の中心軸とは一致している。
平板30は、中心軸POを含むように、主面31から主面32に貫通する孔310を有する。孔310は、主面31および主面32の平面視において円形の円筒形であり、孔310の直径は、平板20の直径Φの1/3よりも小さい。
なお、平板30は、後述する振動領域300が円環形であれば、外形形状は、円形に限らず、略円形、正多角形を含む略正多角形であってもよい。これにより、平板30における振動が中心軸POに対して軸対称に伝わるため、流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。特に、平板30が円形の場合、最も効果的に流体搬送のエネルギー損失を小さくできる。
側壁部材83は、円環形である。側壁部材83は、所定の剛性を有する。側壁部材83の底面は、平板30の外縁に沿って、平板30の主面31に接合している。側壁部材83の天面は、固定用部材220の底面(平板20の主面22側と同じ側の面)に接合している。
このような構成によって、ポンプ10のポンプ室100は、平板20、平板30、および、側壁部材83によって囲まれる空間によって実現される。そして、ポンプ室100は、孔210によって、ポンプ10における平板20側の外部に連通している。また、ポンプ室100は、孔310と、後述の孔510および孔810とによって、ポンプ10における平板30側(ベース部材81側)の外部に連通している。
振動規制部材50は、円環形であり、円筒形の孔510を有する。孔510の径は、平板30の孔310の径と同じである。振動規制部材50の天面は、平板30の主面32における内縁側の領域に接合している。振動規制部材50は、円環の放射方向に所定の幅を有する。すなわち、この幅において、振動規制部材50は、平板30の主面32に当接、接合している。振動規制部材50の孔510は、平板30の孔310に連通している。
支持部材82は、円環形であり、円筒形の孔820を有する。孔820の径は、平板30の後述の振動領域300の外径に基づいて設定されている。支持部材82の天面は、平板30の主面32の外縁側の領域に接合している。支持部材82は、円環の放射方向に所定の幅を有する。すなわち、この幅において、振動規制部材50は、平板30の主面32に当接、接合している。
ベース部材81は、円環形であり、円筒形の孔810を有する。孔810の径は、平板30の孔310の径、および、振動規制部材50の孔510の径と同じである。ベース部材81の天面は、振動規制部材50の底面および支持部材82の底面に接合している。ベース部材81は、所定の剛性を有する。
ベース部材81の孔810は、振動規制部材50の孔510に連通している。そして、これら孔810、孔510、および、孔310によって、本発明の「第2孔」が形成される。すなわち、ポンプ室100は、第2孔によって、ポンプ10におけるベース部材81側の外部に連通している。
この構成では、ベース部材81に接合された振動規制部材50によって、平板30の内縁IE30が固定され、同じくベース部材81に接合された支持部材82によって、平板30の外縁OE30が固定される。これにより、平板30は、放射方向において、振動規制部材50に接合する内縁側領域と、支持部材82に接合する外縁側領域との間に、振動可能な、円環形の振動領域300を有する。そして、振動領域300は、平板20における直径の外縁側の略1/3の領域に対向している。言い換えれば、振動領域300は、平板20における振動領域の中心と外縁とを両端とする区間(半径)において、外縁側の略2/3の領域に対向している。
このような構成からなるポンプ10は、次に示すように動作し、流体を搬送する。図3(A)および図3(B)は、本発明の第1の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
圧電素子41に所定の周波数の駆動信号を印加すると、図3(A)および図3(B)に示すように、平板20は、所定の共振周波数でベンディング振動を生じる。平板20の外縁OE20は、振動可能に保持されている。このため、平板20の振動の腹は、中心軸POの位置である。平板20の振動の節は、中心軸POから放射方向(中心軸POから外縁OE20に向かう方向)において、中心軸POから平板20の半径(直径Φ/2)の略2/3の位置になる。言い換えれば、平板20の振動の節は、平板20における直径Φの外周側の1/3の領域の略中心位置となる。
平板20がベンディング振動すると、当該ベンディング振動によるポンプ室100の圧力変動によって、平板30が受動的にベンディング振動を生じる。上述のように、平板20と平板30とは、共振周波数を一致させている。したがって、平板20のベンディング振動に対して、ポンプ室100の圧力変動を介して、平板30が受動的にベンディング振動することによって、平板20のベンディング振動と平板30のベンディング振動との時間的な位相差は、約90°となる。
具体的に、図3(A)に示すように、平板20が主面21側に凸となる時、振動領域300は、主面32側に凸となる。一方、図3(B)に示すように、平板20が主面22側に凸となる時、振動領域300は、主面31側に凸となる。
また、平板30では、振動領域300の内縁と外縁とが固定されている。したがって、平板30の振動領域300は、両端を固定端とするベンディング振動を生じる。これにより、振動領域300の内縁および外縁は、振動領域300の振動の節となり、中心軸POから平板30(振動領域300)の放射方向における内端と外縁との中間位置は、振動領域300の振動の腹となる。
ここで、平板20における直径Φの外周側の1/3の領域と、振動領域300とは対向している。したがって、平板20のベンディング振動の節の位置と、振動領域300のベンディング振動の腹の位置とは、重なる。平板20のベンディング振動と平板30のベンディング振動との放射方向での空間的な位相差は、略90°となる。
具体的に、図3(A)に示すように、平板20において中心軸POの位置で主面21側に凸となる時、振動領域300は、振動領域300の放射方向の中心(平板20の節に重なる位置)で主面32側に凸となる。一方、図3(B)に示すように、平板20において中心軸POの位置で主面22側に凸となる時、振動領域300は、振動領域300の放射方向の中心(平板20の節に重なる位置)で主面31側に凸となる振動を生じる。
平板20のベンディング振動と平板30のベンディング振動とが、上述のように、空間的な位相差が略90°となり、時間的な位相差が略90°となることによって、ポンプ室100内には、中心軸POから外縁に向かう流体の蠕動運動(流体の進行波)が生じる。これにより、ポンプ10は、孔810、孔510、および、孔310からなる第2孔から、流体を外部から吸入し、ポンプ室100内を中心から外縁方向に流体を搬送し、孔210からなる第1孔から、流体を外部に吐出する。
そして、ポンプ10の構成では、振動領域300の面積を、平板20の直径の外縁側の略1/3の領域の面積と同じにしている。これにより、ポンプ10では、従来構成よりも、振動領域300の面積を大きくでき、ポンプ10の流量および圧力は、向上する。
また、ポンプ10では、平板30の両端が振動しないように固定されているので、振動領域300の振動が安定し易い。
次に、本発明の第2の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図4は、本発明の第2の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
図4に示すように、第2の実施形態に係るポンプ10Aは、第1の実施形態に係るポンプ10に対して、振動規制部材50Aの形状において異なる。ポンプ10Aの他の構成は、ポンプ10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
振動規制部材50Aの高さ(厚み)は、支持部材82の高さ(厚み)よりも小さい。振動規制部材50Aは、平板30の主面32に接合されているが、ベース部材81には接合されていない。
このような構成では、平板30における振動規制部材50Aが接合されている領域も、平板20の振動によって、振動領域300とともに受動振動を生じる。図5(A)および図5(B)は、本発明の第2の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
図5(A)、図5(B)に示すように、平板20がベンディング振動を生じると、振動領域300と、平板30における振動規制部材50Aが接合されている領域とが、一体となってベンディング振動を生じる。
ここで、振動規制部材50Aの質量は、振動領域300における平板30の質量以上である。これにより、平板30における振動規制部材50Aが接合されている領域の振動は抑圧されて、微小振動となる。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域300の振動エネルギーとなり、振動領域300の振幅は増大する。したがって、ポンプ10と比較して、ポンプ10Aの流量および圧力は、更に向上する。
なお、ポンプ10Aでは、ベース部材81に設けられた孔810Aが中心軸POに重なっていない。より具体的には、孔810Aは、複数であり、複数の孔810Aは、中心軸POの位置を中心点とする所定の直径からなる円上に、所定の距離を空けて配列されている。この構成では、孔810Aは、支持部材82の孔820を外部に連通する。そして、孔810Aは、孔820を介して、振動規制部材50Aの孔510Aに連通している。これにより、ポンプ室100の中心の開口が、ポンプ10Aの外部に直接露出しない。したがって、外部からの異物がポンプ室100内に直接吸入されることを抑制でき、ポンプ10Aの信頼性は向上する。
次に、本発明の第3の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図6は、本発明の第3の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
図6に示すように、第3の実施形態に係るポンプ10Bは、第2の実施形態に係るポンプ10Aに対して、支持部材82Bの形状、および、支持部材82Bのベース部材81への固定構造において異なる。ポンプ10Bの他の構成は、ポンプ10Aと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。なお、振動規制部材50Bは、振動規制部材50Aと同じであり、振動規制部材50Bの孔510Bも振動規制部材50Aの孔510Aと同じである。
支持部材82Bは、底面に突起821を有する。突起821はベース部材81の表面に当接している。また、支持部材82Bの底面における突起821の周囲は、弾性体からなる接着剤85によって接着されている。これにより、支持部材82Bは、ベース部材81に対して変位可能に接続される。
このような構成では、平板30における支持部材82Bが接合されている領域も、平板20の振動によって、振動領域300とともに受動振動を生じる。図7(A)および図7(B)は、本発明の第3の実施形態に係るポンプの挙動を説明する側面断面図である。
図7(A)、図7(B)に示すように、平板20がベンディング振動を生じると、振動領域300と、平板30における振動規制部材50Aが接合されている領域と、平板30における支持部材82Bが接合されている領域とが、一体となってベンディング振動を生じる。
ここで、支持部材82Bの質量は、振動領域300の質量よりも大きい。これにより、平板30における支持部材82Bが接合されている領域の振動は抑圧される。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域300に与えられ、振動領域300の振幅は増大する。したがって、ポンプ10Aと比較して、ポンプ10Bの流量および圧力は、更に向上する。
また、この構成では、平板20の振動がベース部材81に漏洩することも抑制できる。したがって、ポンプ10Bは、振動のためのエネルギー効率を向上できる。
なお、突起821は、図7(A)、図7(B)に示すように、平板30の振動の外縁側の節の位置に重なっていることが好ましい。これにより、突起821とベース部材81との当接部によって平板30の振動が減衰してしまうことを抑制できる。したがって、ポンプ10Bは、流量、圧力、およびエネルギー効率を更に向上できる。この際、突起821の放射方向に沿った長さは、できる限り短いことが好ましい。もしくは、突起821は、断面形状が逆三角形であり、その突出する頂点の位置と節とが一致することが好ましい。
また、ポンプ10Bでは、支持部材82Bに突起821を備えているが、突起821を省略することも可能である。すなわち、ポンプ10Aにおける支持部材82の底面を、弾性体からなる接着剤85によって、ベース部材81に接着してもよい。
次に、本発明の第4の実施形態にポンプについて、図を参照して説明する。図8は、本発明の第4の実施形態に係るポンプの構成を示す側面の断面図である。
図8に示すように、第4の実施形態に係るポンプ10Cは、第2の実施形態に係るポンプ10Aに対して、支持部材82Cの形状において異なる。ポンプ10Cの他の構成は、ポンプ10Aと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。なお、振動規制部材50Cは、振動規制部材50Aと同じであり、振動規制部材50Cの孔510Cも振動規制部材50Aの孔510Aと同じである。
支持部材82Cは、高さ(厚み)方向の途中位置に、所定の高さのスリット822を有する。すなわち、支持部材82Cは、高さ(厚み)方向の途中位置に、他の位置に対して面積の小さな部分を有する。これにより、支持部材82Cは、自身で弾性を有する部分を構成する。したがって、支持部材82Cにおける平板30に当接する面の近傍部は、ベース部材81に対して変位可能に接続される。
このような構成によって、ポンプ10Cでは、ポンプ10Bと同様に、平板30における支持部材82Cが接合されている領域が振動しながら、当該領域の振動は抑圧される。このため、抑圧された振動エネルギーは、振動領域300に与えられ、振動領域300の振幅は増大する。したがって、ポンプ10Bと同様に、ポンプ10Aと比較して、ポンプ10Cの流量および圧力は、更に向上する。
また、この構成では、平板20の振動がベース部材81に漏洩することも抑制できる。したがって、ポンプ10Cは、振動のためのエネルギー効率を向上できる。
また、この構成では、支持部材82Cとベース部材81との接合に弾性体を介する必要が無く、支持部材82Cとベース部材81との接合の密着度および信頼性は向上する。
なお、上述の各実施形態では、平板30の内縁IE30と振動規制部材50(振動規制部材50A、振動規制部材50B、振動規制部材50C)の内周端とは、面一であるが、これらは所定の範囲内でズレていてもよい。例えば、平板30の内縁IE30は、振動規制部材50(振動規制部材50A、振動規制部材50B、振動規制部材50C)の内周端よりも中心側に突出していてもよい。この際、この突出する部分において生じる振動が振動規制部材50(振動規制部材50A、振動規制部材50B、振動規制部材50C)によって十分に抑制される程度であればよい。
また、上述の各実施形態に係るポンプの構成は、それぞれ部分的に、適宜組み合わせることが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。
また、上述の各実施形態に係るポンプは、例えば、血圧計、搾乳器、陰圧閉鎖療法装置等に利用可能である。そして、上述の各実施形態に係るポンプを用いることによって、血圧計、搾乳器、陰圧閉鎖療法装置等の装置性能は向上する。
10、10A、10B、10C:ポンプ
20:平板
21、22:平板20の主面
30:平板
31、32:平板30の主面
41:圧電素子
50、50A、50B、50C:振動規制部材
81:ベース部材
82、82B、82C:支持部材
83:側壁部材
85:接着剤
100:ポンプ室
201:弾性部材
210、310、510、510A、510B、510C、810、810A、820:孔
220:固定用部材
300:振動領域
821:突起
822:スリット
IE30:平板30の内縁
OE20:平板20の外縁
OE30:平板30の外縁
PO:中心軸
20:平板
21、22:平板20の主面
30:平板
31、32:平板30の主面
41:圧電素子
50、50A、50B、50C:振動規制部材
81:ベース部材
82、82B、82C:支持部材
83:側壁部材
85:接着剤
100:ポンプ室
201:弾性部材
210、310、510、510A、510B、510C、810、810A、820:孔
220:固定用部材
300:振動領域
821:突起
822:スリット
IE30:平板30の内縁
OE20:平板20の外縁
OE30:平板30の外縁
PO:中心軸
Claims (8)
- 第1主面と第2主面とを有する第1板と、
前記第1板の前記第1主面に配置され、前記第1板を振動させる駆動体と、
互いに対向する第3主面と第4主面とを有する第2板と、
前記第1板、前記第2板、側壁部材によって囲まれる空間からなり、前記第1板の外周の第1孔および前記第2板の中央領域の第2孔を介して外部に連通するポンプ室と、
前記第2板の前記第4主面側に配置され、前記第2板の外縁を支持する支持部材と、
前記第2板の前記第4主面側に配置され、前記第2板における前記第2孔の外縁部に接続された振動規制部材と、
を備え、
前記第2板は、前記支持部材への接続部分と前記振動規制部材への接続部分との間に、前記第1板の振動時において、前記第3主面および前記第4主面に直交する方向に振動可能な受動振動領域を有し、
前記受動振動領域は、前記第1板の振動領域の直径における外縁側の略1/3の領域に重なっている、
ポンプ。 - 前記第2板の前記第4主面側に、前記第2板から離間して配置されたベース部材を備え、
前記支持部材および前記振動規制部材は、前記ベース部材に接続されている、
請求項1に記載のポンプ。 - 前記第2板の前記第4主面側に、前記第2板から離間して配置されたベース部材を備え、
前記支持部材は、前記ベース部材に接続されており、
前記振動規制部材は、前記ベース部材に接続されていない、
請求項1に記載のポンプ。 - 前記支持部材は、前記ベース部材に対して変位可能に接続されている、
請求項2または請求項3に記載のポンプ。 - 前記支持部材は、弾性体を介して前記ベース部材に接続されている、
請求項4に記載のポンプ。 - 前記支持部材は、前記変位を可能にする弾性を有する部分を備える、
請求項4または請求項5に記載のポンプ。 - 前記第1板は、円形である、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のポンプ。 - 前記第2板における前記振動領域は、円環形である、
請求項7に記載のポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018082681A JP2019190343A (ja) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018082681A JP2019190343A (ja) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019190343A true JP2019190343A (ja) | 2019-10-31 |
Family
ID=68389351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018082681A Pending JP2019190343A (ja) | 2018-04-24 | 2018-04-24 | ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019190343A (ja) |
-
2018
- 2018-04-24 JP JP2018082681A patent/JP2019190343A/ja active Pending
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