JP6904436B2 - ポンプおよび流体制御装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る圧電ブロアの模式的な断面図であり、図2は、図1に示す圧電ブロアの分解斜視図である。まず、これら図1および図2を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Aの構成について説明する。
図6は、上述した実施の形態1に基づいた変形例に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向を表わした模式図である。以下、この図6を参照して、変形例に係る圧電ブロア1A’について説明する。
図7は、本発明の実施の形態2に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向ならびに第1ポンプ室および第2ポンプ室に発生する圧力変動を表わした模式図である。以下、この図7を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Bについて説明する。
図8は、本発明の実施の形態3に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向ならびに第1ポンプ室および第2ポンプ室に発生する圧力変動を表わした模式図である。以下、この図8を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Cについて説明する。
図9は、本発明の実施の形態4に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向ならびに第1ポンプ室および第2ポンプ室に発生する圧力変動を表わした模式図である。以下、この図9を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Dについて説明する。
図10は、本発明の実施の形態5に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向ならびに第1ポンプ室および第2ポンプ室に発生する圧力変動を表わした模式図である。以下、この図10を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Eについて説明する。
図11は、本発明の実施の形態6に係る圧電ブロアの駆動部の構成および動作時に発生する気流のおおまかな方向ならびに第1ポンプ室および第2ポンプ室に発生する圧力変動を表わした模式図である。以下、この図11を参照して、本実施の形態に係る圧電ブロア1Fについて説明する。
上述した本発明の実施の形態1ないし6およびその変形例においては、第1板状体に設けられた複数個の第1孔部が、いずれも円環状に点列して配置された場合を例示して説明を行なったが、必ずしもこれを円環状に点列して配置する必要はなく、そのレイアウトは適宜変更が可能である。
Claims (25)
- 第1板状体と、
前記第1板状体に対向する第2板状体と、
前記第1板状体から見て前記第2板状体が位置する側とは反対側に位置し、前記第1板状体に対向する第3板状体と、
前記第1板状体の周縁部および前記第2板状体の周縁部を接続する第1周壁部と、
前記第1板状体の周縁部および前記第3板状体の周縁部を接続する第2周壁部と、
前記第1板状体および前記第2板状体の間に位置し、前記第1板状体、前記第2板状体および前記第1周壁部によって規定された第1ポンプ室と、
前記第1板状体および前記第3板状体の間に位置し、前記第1板状体、前記第3板状体および前記第2周壁部によって規定された第2ポンプ室と、
前記第1板状体を屈曲振動させることにより、前記第1ポンプ室および前記第2ポンプ室の双方に圧力変動を生じさせる駆動体とを備え、
前記第1板状体には、各々に逆止弁が付設された複数個の第1孔部が設けられ、
前記複数個の第1孔部の各々は、前記第1板状体の中央部に直交する軸線の延在方向に沿って見た場合に当該軸線に重ならない領域に配置され、
前記第2板状体および前記第1周壁部の少なくとも一方には、逆止弁が付設されていない1個または複数個の第2孔部が設けられ、
前記第3板状体および前記第2周壁部の少なくとも一方には、逆止弁が付設されていない1個または複数個の第3孔部が設けられている、ポンプ。 - 前記1個または複数個の第2孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記複数個の第1孔部の各々に重ならない領域に配置されている、請求項1に記載のポンプ。
- 前記1個または複数個の第3孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記複数個の第1孔部の各々に重ならない領域に配置されている、請求項1または2に記載のポンプ。
- 前記駆動体が、前記第1板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第1板状体に定在波が発生するように前記第1板状体を屈曲振動させるものであり、
前記複数個の第1孔部の各々が、前記第1板状体に形成される振動の節に重ならない領域に配置されている、請求項1から3のいずれかに記載のポンプ。 - 前記複数個の第1孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に当該軸線を中心とした円周上の位置に点列状に配置されている、請求項4に記載のポンプ。
- 前記複数個の第1孔部のうちの隣り合う第1孔部の間の距離が、前記軸線と前記複数個の第1孔部の各々との間の距離よりも小さい、請求項5に記載のポンプ。
- 前記第1板状体の中央部を除く位置においても振動の腹が形成されることとなるように、前記第1板状体が、前記駆動体によって屈曲振動される、請求項4から6のいずれかに記載のポンプ。
- 前記複数個の第1孔部のうちの少なくとも1個が、前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹に重なる領域に配置されている、請求項7に記載のポンプ。
- 前記複数個の第1孔部の各々が、前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹に重なる領域に配置されている、請求項8に記載のポンプ。
- 前記複数個の第1孔部の各々が、前記第1板状体の周縁部を除く領域に形成される振動の節のうち、当該第1板状体の中央部から最も遠い位置に形成される振動の節よりも外側の領域に配置されている、請求項7に記載のポンプ。
- 前記1個または複数個の第2孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の腹に重ならない領域に配置されている、請求項7から10のいずれかに記載のポンプ。
- 前記1個または複数個の第2孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の節に重なる領域に配置されている、請求項11に記載のポンプ。
- 前記1個または複数個の第3孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の腹に重ならない領域に配置されている、請求項7から12のいずれかに記載のポンプ。
- 前記1個または複数個の第3孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の節に重なる領域に配置されている、請求項13に記載のポンプ。
- 前記駆動体が、前記第1板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第1板状体に定在波が発生するように前記第1板状体を屈曲振動させるものであり、
前記複数個の第1孔部の各々が、前記第1板状体に形成される振動の節に重ならない領域に配置され、
前記第2孔部が、複数個設けられ、
前記第3孔部が、複数個設けられ、
前記複数個の第1孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に当該軸線を中心とした円周上の位置に点列状に配置され、
前記複数個の第2孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に当該軸線を中心とした円周上の位置に点列状に配置され、
前記複数個の第3孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に当該軸線を中心とした円周上の位置に点列状に配置されている、請求項1に記載のポンプ。 - 前記複数個の第2孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合にいずれも前記複数個の第1孔部の各々に重ならない領域に配置され、
前記複数個の第3孔部が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合にいずれも前記複数個の第1孔部の各々に重ならない領域に配置されている、請求項15に記載のポンプ。 - 前記第1板状体の中央部を除く位置においても振動の腹が径方向において1箇所形成されることとなるように、前記第1板状体が、前記駆動体によって屈曲振動され、
前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹と前記複数個の第2孔部との前記軸線に直交する方向における距離が、前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹と前記複数個の第1孔部との間の距離よりも大きく、
前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹と前記複数個の第3孔部との前記軸線に直交する方向における距離が、前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹と前記複数個の第1孔部との間の距離よりも大きい、請求項16に記載のポンプ。 - 前記複数個の第1孔部の各々が、前記第1板状体の中央部を除く位置に形成される振動の腹に重なる領域に配置され、
前記複数個の第2孔部の各々が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の節に重なる領域に配置され、
前記複数個の第3孔部の各々が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合に前記第1板状体に形成される振動の節に重なる領域に配置されている、請求項17に記載のポンプ。 - 前記複数個の第2孔部の各々が、前記第1周壁部に配置され、
前記複数個の第3孔部の各々が、前記第2周壁部に配置されている、請求項15に記載のポンプ。 - 前記駆動体が、前記第2板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第2板状体に定在波が発生するように前記第2板状体を屈曲振動させるとともに、前記第3板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第3板状体に定在波が発生するように前記第3板状体を屈曲振動させるものである、請求項15から19のいずれかに記載のポンプ。
- 前記駆動体が、前記第2板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第2板状体に定在波が発生するように前記第2板状体を屈曲振動させるとともに、前記第3板状体の中央部に振動の腹が形成されることとなるように、前記軸線を中心として前記第3板状体に定在波が発生するように前記第3板状体を屈曲振動させるものであり、
前記第2板状体の中央部を除く位置においても振動の腹が形成されることとなるように、前記第2板状体が、前記駆動体によって屈曲振動され、
前記第3板状体の中央部を除く位置においても振動の腹が形成されることとなるように、前記第3板状体が、前記駆動体によって屈曲振動され、
前記複数個の第2孔部の各々が、前記第2板状体のうち、当該第2板状体の中央部から最も遠い位置に形成される振動の腹よりも外側の領域に配置され、
前記複数個の第3孔部の各々が、前記第3板状体のうち、当該第3板状体の中央部から最も遠い位置に形成される振動の腹よりも外側の領域に配置されている、請求項15記載のポンプ。 - 前記第1孔部、前記第2孔部および前記第3孔部以外の孔が、前記第1板状体、前記第2板状体、前記第3板状体、前記第1周壁部および前記第2周壁部のいずれにも設けられていない、請求項1から21のいずれかに記載のポンプ。
- 前記駆動体が、略平板状の圧電素子を含み、
前記圧電素子が、前記第1板状体の中央部に貼り付けられている、請求項1から22のいずれかに記載のポンプ。 - 前記複数個の第1孔部の各々が、前記軸線の延在方向に沿って見た場合にいずれも前記圧電素子よりも外側に配置されている、請求項23に記載のポンプ。
- 請求項1から24のいずれかに記載のポンプが搭載された、流体制御装置。
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