DE112018005660B4 - Pumpe und fluidsteuerungsvorrichtung - Google Patents

Pumpe und fluidsteuerungsvorrichtung Download PDF

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Abstract

Pumpe, aufweisend:einen ersten plattenförmigen Körper (30);einen zweiten plattenförmigen Körper (40), der dem ersten plattenförmigen Körper (30) zugewandt ist,einen dritten plattenförmigen Körper (50), der sich von dem ersten plattenförmigen Körper (30) her gesehen gegenüberliegend einer Seite befindet, auf der sich der zweite plattenförmige Körper (40) befindet, und der dem ersten plattenförmigen Körper (30) zugewandt ist;einen ersten Umfangswandabschnitt (60A), der einen Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) und einen Umfangskantenabschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) miteinander verbindet,einen zweiten Umfangswandabschnitt (60B), der den Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) und einen Umfangskantenabschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) miteinander verbindet;eine erste Pumpenkammer (21), die sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper (30) und dem zweiten plattenförmigen Körper (40) befindet und die von dem ersten plattenförmigen Körper (30), dem zweiten plattenförmigen Körper (40) und dem ersten Umfangswandabschnitt (60A) definiert wird;eine zweite Pumpenkammer (22), die sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper (30) und dem dritten plattenförmigen Körper (50) befindet und die von dem ersten plattenförmigen Körper (30), dem dritten plattenförmigen Körper (50) und dem zweiten Umfangswandabschnitt (60B) definiert wird; undeinen Antriebskörper (90), der eine Druckschwankung sowohl in der ersten Pumpenkammer (21) als auch der zweiten Pumpenkammer (22) bewirkt, indem er den ersten plattenförmigen Körper (30) dazu bringt, eine Biegeschwingung zu erfahren,der zweite plattenförmige Körper (40) und/oder der erste Umfangswandabschnitt (60A) mit einem oder einer Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) versehen ist, an denen jeweils kein Rückschlagventil (80) angebracht ist, undder dritte plattenförmige Körper (50) und/oder der zweite Umfangswandabschnitt (60B) mit einem oder einer Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) versehen ist, an denen jeweils kein Rückschlagventil (80) angebracht ist,dadurch gekennzeichnet,dass der erste plattenförmige Körper (30) mit einer Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) versehen ist, an denen jeweils ein Rückschlagventil (80) angebracht ist,entlang einer Erstreckungsrichtung einer zu einem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) orthogonalen Achse (100) gesehen jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit der Achse überlappt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Pumpe vom Verdrängungstyp, die eine Biegeschwingung einer Schwingungsplatte verwendet, und eine Fluidsteuerungsvorrichtung, die dieselbe beinhaltet, und die Erfindung betrifft insbesondere eine piezoelektrische Pumpe, die ein piezoelektrisches Element als Antriebskörper zum Antreiben einer Schwingungsplatte verwendet, sowie eine Fluidsteuerungsvorrichtung, welche dieselbe aufweist.
  • Technischer Hintergrund
  • Eine piezoelektrische Pumpe, bei der es sich um eine Pumpe vom Verdrängungstyp handelt, ist aus dem Stand der Technik bekannt. Die piezoelektrische Pumpe besitzt eine Konfiguration, bei der zumindest ein Teil einer Pumpenkammer von einer Schwingungsplatte definiert wird, an der ein piezoelektrisches Element befestigt ist, und die derart ist, dass die Schwingungsplatte mit einer Resonanzfrequenz angetrieben bzw. angesteuert wird, indem eine Wechselspannung mit einer vorgegebenen Frequenz an dem piezoelektrischen Element angelegt wird, was zu einer Druckschwankung in der Pumpenkammer führt und es möglich macht, ein Ansaugen und Ausleiten von Fluid durchzuführen.
  • Als Druckschrift, in der ein Ausgestaltungsbeispiel einer piezoelektrischen Pumpe offenbart wird, gibt es beispielsweise die Internationale Veröffentlichung WO 2016 / 013 390 A1 (Patentdokument 1). Bei der piezoelektrischen Pumpe, die in Patentdokument 1 offenbart wird, kommt eine Konfiguration zum Einsatz, bei der eine Pumpenkammer von einem Paar von Schwingungsplatten definiert wird, die derart angeordnet sind, dass sie einander zugewandt sind, und ein piezoelektrisches Element an einem des Paars von Schwingungsplatten befestigt ist.
  • Bei der piezoelektrischen Pumpe, die in dem oben beschriebenen Patentdokument 1 offenbart ist, ist ein Lochabschnitt, an dem ein Rückschlagventil angebracht ist, in dem zentralen Abschnitt der Schwingungsplatte von dem Paar von Schwingungsplatten, an dem das piezoelektrische Element nicht angebracht ist, bereitgestellt, und die Vielzahl von ringförmig in Art einer Punktsequenz angeordneten Lochabschnitten ist in einem Zwischenabschnitt, der den zentralen Abschnitt und einen Umfangsabschnitt der Schwingungsplatte, an der das piezoelektrische Element angebracht ist, nicht beinhaltet, von dem Paar von Schwingungsplatten bereitgestellt.
  • Dabei wird bei einer Form der in dem oben beschriebenen Patentdokument 1 offenbarten Pumpe eine Ausgestaltung eingesetzt, bei der ein Rückschlagventil an jedem der Vielzahl von Lochabschnitten angebracht ist, die ringförmig in Art einer Punktsequenz wie oben beschrieben angeordnet sind, und bei einer anderen Form kommt eine Ausgestaltung zum Einsatz, bei der ein Rückschlagventil nicht an jedem der Vielzahl von Lochabschnitten angebracht ist.
  • Bei der piezoelektrischen Pumpe gemäß einer beliebigen der oben beschriebenen Formen kommt es in der Pumpenkammer zu einer Druckschwankung, indem das Paar von Schwingungsplatten dazu gebracht wird, eine Biegeschwingung zu erfahren, um von dem piezoelektrischen Element in umgekehrten Richtungen gemäß der Druckschwankung der Pumpenkammer verlagert bzw. verdrängt zu werden, Fluid, das sich außerhalb der Pumpenkammer befindet, wird durch die Vielzahl von Lochabschnitten gesaugt, die in der Schwingungsplatte bereitgestellt sind, an der das piezoelektrische Element befestigt ist, und dann wird das Fluid aus dem einen Lochabschnitt, der in der Schwingungsplatte bereitgestellt ist, an der das piezoelektrische Element nicht angebracht ist, ausgeleitet, wodurch eine Pumpfunktion ausgeübt wird.
  • Eine Pumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 ist aus US 2009/0 087 323 A1 und aus US 2015/0 150 470 A1 bekannt.
  • Liste der Entgegenhaltungen
  • Patentdokument
    • Patentdokument 1: Internationale Veröffentlichung WO 2016 / 013 390 A1
    • Patentdokument 2: US 2009/0 087 323 A1
    • Patentdokument 3: US 2015/0 150 470 A1
  • Darstellung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • Dabei besitzt der Lochabschnitt, an dem das Rückschlagventil angebracht wird, einen größeren Strömungspfadwiderstand um einen Betrag bzw. Menge, der einem verschmälerten Strömungspfad entspricht, als der Lochabschnitt, an dem das Rückschlagventil nicht angebracht ist. Dementsprechend wird, wie bei der piezoelektrischen Pumpe, die in dem oben beschriebenen Patentdokument 1 offenbart ist, in dem Fall, bei dem die Ausgestaltung eingesetzt wird, bei dem der Lochabschnitt, an dem das Rückschlagventil angebracht ist, in dem zentralen Abschnitt der Schwingungsplatte bereitgestellt ist, eine Durchflussrate der piezoelektrischen Pumpe als Ganzes durch den Lochabschnitt bestimmt, und ein Erhöhen der Flussrate ist zwangsläufig beschränkt.
  • Um dies zu vermeiden, wird in einem Fall, bei dem die Ausgestaltung eingesetzt wird, bei der eine Vielzahl von Lochabschnitten, an denen jeweils das Rückschlagventil angebracht ist, einfach in dem Zwischenabschnitt, der den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt der Schwingungsplatte nicht beinhaltet, bereitgestellt ist, der Strömungspfadwiderstand weitgehend verringert, jedoch ist eine Verdrängungsmenge während des Antreibens bzw. Ansteuerns der Schwingungsplatte in dem Zwischenabschnitt kleiner als jene in dem zentralen Abschnitt, und somit kommt es zu dem Problem, dass das Öffnen/Schließen des Rückschlagventils selbst nicht in ausreichend ist. Selbst wenn die oben beschriebene Konfiguration eingesetzt wird, ist es deshalb schwierig, die Durchflussrate der piezoelektrischen Pumpe als Ganzes zu erhöhen.
  • Entsprechend erfolgte die vorliegende Erfindung in Anbetracht des oben beschriebenen Problems und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Durchflussrate in einer Pumpe vom Verdrängungstyp, die eine Biegeschwingung einer Schwingungsplatte und eine dieselbe beinhaltende Fluidsteuerungsvorrichtung verwendet, verglichen mit der bestehenden Technik zu erhöhen.
  • Lösung des Problems
  • Eine erfindungsgemäße Pumpe weist auf: einen ersten plattenförmigen Körper; einen zweiten plattenförmigen Körper; einen dritten plattenförmigen Körper; einen ersten Umfangswandabschnitt; einen zweiten Umfangswandabschnitt; eine erste Pumpenkammer; eine zweite Pumpenkammer; und einen Antriebskörper. Der zweite plattenförmige Körper ist dem ersten plattenförmigen Körper zugewandt. Der dritte plattenförmige Körper befindet sich vom ersten plattenförmigen Körper her gesehen auf einer gegenüberliegenden Seite zu einer Seite, auf der sich der zweite plattenförmige Körper befindet, und ist dem ersten plattenförmigen Körper zugewandt. Der erste Umfangswandabschnitt verbindet einen Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers und einen Umfangskantenabschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers miteinander. Der zweite Umfangswandabschnitt verbindet einen Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers und einen Umfangskantenabschnitt des dritten plattenförmigen Körpers miteinander. Die erste Pumpenkammer befindet sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper und dem zweiten plattenförmigen Körper und wird von dem ersten plattenförmigen Körper, dem zweiten plattenförmigen Körper und dem ersten Umfangswandabschnitt definiert. Die zweite Pumpenkammer befindet sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper und dem dritten plattenförmigen Körper und wird von dem ersten plattenförmigen Körper, dem dritten plattenförmigen Körper und dem zweiten Umfangswandabschnitt definiert. Der Antriebskörper bzw. Ansteuerungskörper verursacht eine Druckschwankung sowohl in der ersten Pumpenkammer als auch der zweiten Pumpenkammer, indem er den ersten plattenförmigen Körper dazu bringt, eine Biegeschwingung zu erfahren. Der erste plattenförmige Körper ist mit einer Vielzahl von ersten Lochabschnitten versehen, an denen jeweils ein Rückschlagventil bzw. eine Rückflusssperre angebracht ist, und jeder der Vielzahl erster Lochabschnitte ist, entlang einer Erstreckungsrichtung einer zu einem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers orthogonalen Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet, der nicht mit der Achse überlappt. Der zweite plattenförmige Körper und/oder der erste Umfangswandabschnitt ist mit einem oder einer Vielzahl von zweiten Lochabschnitten versehen, an denen jeweils kein Rückschlagventil bzw. keine Rückflusssperre angebracht ist. Der dritte plattenförmige Körper und/oder der zweite Umfangswandabschnitt ist mit einem oder einer Vielzahl von dritten Lochabschnitten versehen, an denen jeweils kein Rückschlagventil angebracht ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten überlappt.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten überlappt.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe kann der Antriebskörper bewirken, dass der erste plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird, so dass in dem ersten plattenförmigen Körper eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, und in diesem Fall ist es bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit einem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass die Vielzahl von ersten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse als Zentrum angeordnet ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass ein Abstand zwischen benachbarten ersten Lochabschnitten der Vielzahl von ersten Lochabschnitten kleiner ist als ein Abstand zwischen der Achse und jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe kann der erste plattenförmige Körper durch den Antriebskörper dazu gebracht werden, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch auch an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass zumindest einer der Vielzahl von ersten Lochabschnitten in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbach überlappt, der an der Position gebildet wird, die den zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers nicht beinhaltet.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es ferner bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitte in dem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an der Position gebildet wird, der den zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers nicht beinhaltet.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe kann jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsknoten angeordnet sein, der unter den Schwingungsknoten, die in einem Bereich abgesehen von dem Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet werden, an einer Position am weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesendet, in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit einem Schwingungsbauch überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es besonders bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit dem Schwingungsbauch überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es besonders bevorzugt, dass der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Bei einem ersten bis dritten Aspekt der erfindungsgemäßen Pumpe bewirkt der Antriebskörper, dass der erste plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird, so dass in dem ersten plattenförmigen Körper eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, jeder der Vielzahl erster Lochabschnitte in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit einem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird, und ferner eine Vielzahl der zweiten Lochabschnitte bereitgestellt ist und eine Vielzahl der dritten Lochabschnitte bereitgestellt ist. Ferner ist die Vielzahl von ersten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang, mit der Achse als Zentrum, angeordnet. Ferner ist die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang, mit der Achse als Zentrum, angeordnet, und die Vielzahl von dritten Lochabschnitten ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang, mit der Achse als Zentrum, angeordnet.
  • Beim ersten Aspekt sind alle der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten überlappt, und die Vielzahl von dritten Lochabschnitten sind, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, alle in einem Bereich angeordnet, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitte überlappt.
  • Beim ersten Aspekt kann der erste plattenförmige Körper dazu gebracht werden, eine Biegeschwingung durch den Antriebskörper zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körper gebildet wird, und der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten in einer Richtung orthogonal zu der Achse größer ist als ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten, und es ist bevorzugt, dass ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und der Vielzahl von dritten Lochabschnitten in der Richtung orthogonal zu der Achse größer ist als der Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten.
  • Beim ersten Aspekt ist es besonders bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers gebildet wird. Ferner ist es besonders bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird, und es ist ferner bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper gebildet wird.
  • Beim zweiten Aspekt ist jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten in dem ersten Umfangswandabschnitt angeordnet, und jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitte ist in dem zweiten Umfangswandabschnitt angeordnet.
  • Beim ersten Aspekt und beim zweiten Aspekt kann der Antriebskörper bewirken, dass der zweite plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in einem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers gebildet wird, so dass eine stehende Welle in dem zweiten plattenförmigen Körper mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, und der Antriebskörper kann bewirken, dass der dritte plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in einem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird, so dass eine stehende Welle in dem dritten plattenförmigen Körper mit der Achse als Zentrum erzeugt wird.
  • Beim dritten Aspekt bewirkt der Antriebskörper, so dass ein Schwingungsbauch in einem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers gebildet wird, dass der zweite plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass in dem zweiten plattenförmigen Körper eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, und der Antriebskörper bewirkt, so dass in dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Köpers ein Schwingungsbauch gebildet wird, dass der dritte plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfährt, so dass in dem dritten plattenförmigen Körper eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird. Ferner wird der zweite plattenförmige Körper durch den Antriebskörper dazu gebracht, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch auch an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers gebildet wird. Ferner wird der dritte plattenförmige Körper durch den Antriebskörper dazu gebracht, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten in einem Bereich des zweiten plattenförmigen Körpers in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsbauch angeordnet ist, der an einer Position am weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und es ist bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitten in einem Bereich des dritten plattenförmigen Körpers in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsbauch angeordnet ist, der an einer Position am weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass ein Loch, bei dem es sich nicht um den ersten Lochabschnitt, den zweiten Lochabschnitt und den dritten Lochabschnitt handelt, nicht in dem ersten plattenförmigen Körper, dem zweiten plattenförmigen Körper, dem dritten plattenförmigen Körper, dem ersten Umfangswandabschnitt und dem zweiten Umfangswandabschnitt vorgesehen ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe kann der Antriebskörper ein piezoelektrisches Element mit einer im wesentlichen flachen Plattenform aufweisen, und in diesem Fall ist es bevorzugt, dass das piezoelektrische Element an dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers angebracht ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Pumpe ist es bevorzugt, dass jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse gesehen, in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf das piezoelektrische Element angeordnet ist.
  • Eine erfindungsgemäße Fluidsteuerungsvorrichtung besitzt eine Ausgestaltung, bei der die oben beschriebene erfindungsgemäße Pumpe montiert ist.
  • Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
  • Erfindungsgemäß kann bei einer Pumpe vom Verdrängungstyp, die eine Biegeschwingung einer Schwingungsplatte und eine Fluidsteuerungsvorrichtung, die selbige beinhaltet, verwendet, eine Durchflussrate verglichen mit der bestehenden Technik erhöht werden.
  • Figurenliste
    • [1] 1 ist eine schematische Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Gebläses gemäß einer ersten Ausführungsform.
    • [2] 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht des in 1 gezeigten piezoelektrischen Gebläses.
    • [3] 3 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines Luftstroms, der während des Betriebs einer Antriebseinheit des in 1 gezeigten piezoelektrischen Gebläses erzeugt wird, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
    • [4] 4 ist eine schematische Ansicht, die über der Zeit aufgetragen einen Betriebszustand der Antriebseinheit des in 1 gezeigten piezoelektrischen Gebläses sowie eine Richtung eines in dem Zustand erzeugten Luftstroms zeigt.
    • [5] 5 ist eine Draufsicht einer ersten in 1 gezeigten Schwingungsplatte.
    • [6] 6 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer Modifizierung zeigt.
    • [7] 7 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer zweiten Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
    • [8] 8 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer dritten Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
    • [9] 9 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer vierten Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
    • [10] 10 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer fünften Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
    • [11] 11 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer sechsten Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Nachfolgend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ausführlich unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die unten aufgeführten Ausführungsformen beschreiben beispielhaft einen Fall, bei dem die vorliegende Erfindung auf ein piezoelektrisches Gebläse als Pumpe zum Ansaugen und Ausleiten von Gas angewendet wird. Es wird angemerkt, dass bei den nachfolgenden Ausführungsformen in den Zeichnungen identische Bezugszeichen identischen oder gemeinsamen Teilen zugeordnet sind, und Beschreibungen dieser Teile nicht wiederholt werden.
  • (Erste Ausführungsform)
  • 1 ist eine schematische Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Gebläses gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, und 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht des in 1 gezeigten, piezoelektrischen Gebläses. Zunächst wird die Ausgestaltung eines piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 1 und 2 beschrieben.
  • Wie in den 1 und 2 veranschaulicht umfasst das piezoelektrische Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform hauptsächlich ein Gehäuse 10 und eine Antriebseinheit 20A. Im Innern des Gehäuses 10 ist ein Aufnahmeraum 13 vorgesehen, bei dem es sich um einen flachen, kreisrunden säulenförmigen Raum handelt, und die Antriebseinheit 20A ist in dem Aufnahmeraum 13 angeordnet.
  • Das Gehäuse 10 weist einen ersten Gehäusekörper 11, der aus Harz, Metall oder dergleichen hergestellt ist und eine Scheibenform besitzt, und einen zweiten Gehäusekörper 12 auf, der aus Harz hergestellt ist oder aus Metall hergestellt ist und eine flache mit einem Boden versehene Zylinderform hat. Das Gehäuse 10 weist den oben beschriebenen Aufnahmeraum 13 im Innern des Gehäuses auf, indem der erste Gehäusekörper 11 und der zweite Gehäusekörper 12 kombiniert und beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen verbunden werden.
  • Am zentralen Abschnitt des ersten Gehäusekörpers 11 und dem zentralen Abschnitt des zweiten Gehäusekörpers 12 sind ein erster Düsenabschnitt 14 bzw. ein zweiter Düsenabschnitt 15 bereitgestellt, die jeweils in Richtung eines äußeren Seitenabschnitts hervorstehen. Der Raum außerhalb des piezoelektrischen Gebläses 1A und der oben-beschriebene Aufnahmeraum 13 kommunizieren miteinander durch jeweils den ersten Düsenabschnitt 14 und den zweiten Düsenabschnitt 15.
  • Die Antriebseinheit 20A weist hauptsächlich eine erste Schwingungsplatte 30 als ersten plattenförmigen Körper, eine zweite Schwingungsplatte 40 als zweiten plattenförmigen Körper, eine dritte Schwingungsplatte 50 als dritten plattenförmigen Körper, einen ersten Abstandshalter 60A als ersten Umfangswandabschnitt, einen zweiten Abstandshalter 60B als zweiten Umfangswandabschnitt, ein Ventilkörperhalteelement 70, ein Rückschlagventil bzw. eine Rückflusssperre 80 sowie ein piezoelektrisches Element 90 als Antriebskörper auf. Die Antriebseinheit 20A wird ausgebildet, indem diese Elemente zusammen in einem gegenseitig gestapelten Zustand integriert werden, und sie wird von dem Gehäuse 10 in einem Zustand gehalten, in dem sie in dem Aufnahmeraum 13 des oben beschriebenen Gehäuses 10 angeordnet ist. Hierbei wird der Aufnahmeraum 13 des Gehäuses 10 von der Antriebseinheit 20A definiert, in einen Raum auf der Seite des ersten Düsenabschnitts 14 und einen Raum auf der Seite des zweiten Düsenabschnitts 15.
  • Die erste Schwingungsplatte 30 ist aus einer dünnen Metallplatte gebildet, die beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat in Draufsicht eine kreisrunde Außenform. Ein äußeres Ende des Umfangskantenabschnitts der ersten Schwingungsplatte 30 ist beispielsweise durch einen Klebstoff an das Gehäuse 10 geklebt. In dem Zwischenabschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, der nicht den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt beinhaltet, ist eine Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 ringförmig in Art einer Punktsequenz bereitgestellt.
  • Die zweite Schwingungsplatte 40 ist der ersten Schwingungsplatte 30 zugewandt, und konkret ist sie auf einer Seite angeordnet, auf der sich, von der ersten Schwingungsplatte 30 her gesehen, der erste Gehäusekörper 11 befindet. Die zweite Schwingungsplatte 40 ist aus einer dünnen Metallplatte gebildet, die beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat in Draufsicht eine kreisrunde Außenform. In dem Zwischenabschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40, die den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt nicht beinhaltet, ist eine Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41 ringförmig in Art einer Punktsequenz bereitgestellt.
  • Die dritte Schwingungsplatte 50 ist der ersten Schwingungsplatte 30 zugewandt, und konkret ist sie, von der ersten Schwingungsplatte 30 her gesehen, auf einer Seite angeordnet, auf der sich der zweite Gehäusekörper 12 befindet (d.h. von der ersten Schwingungsplatte 30 her gesehen einer Seite gegenüber der Seite, auf der sich die zweite Schwingungsplatte 40 befindet). Die dritte Schwingungsplatte 50 ist aus einer dünnen Metallplatte gebildet, die beispielsweise aus Edelstahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat in Draufsicht eine kreisrunde Außenform. In dem Zwischenabschnitt der dritten Schwingungsplatte 50, die den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt nicht beinhaltet, ist eine Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 ringförmig in Art einer Punktsequenz bereitgestellt.
  • Der erste Abstandshalter 60 befindet sich zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der zweiten Schwingungsplatte 40 und ist sandwichartig zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der zweiten Schwingungsplatte 40 angeordnet. Der erste Abstandshalter 60A ist aus einem Metallelement gebildet, das beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat eine Außenform einer ringförmigen Plattenform.
  • Der erste Abstandshalter 60A verbindet den Umfangskantenabschnitt an einem Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, der das oben beschriebene äußere Ende nicht beinhaltet, und den Umfangskantenabschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 miteinander. Damit sind die erste Schwingungsplatte 30 und die zweite Schwingungsplatte 40 durch den ersten Abstandshalter 60A mit einem vorgegebenen Abstand voneinander angeordnet. Es wird angemerkt, dass der erste Abstandshalter 60A und die erste Schwingungsplatte 30 beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen aneinandergeklebt sind, und dass der erste Abstandshalter 60A und die zweite Schwingungsplatte 40 beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen aneinandergeklebt sind.
  • Ein Raum, der sich zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der zweiten Schwingungsplatte 40 befindet, fungiert als erste Pumpenkammer 21. Die erste Pumpenkammer 21 wird von der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und dem ersten Abstandshalter 60A gebildet, und wird aus einem flachen, kreisrunden säulenförmigen Raum gebildet. Hierbei entspricht der erste Abstandshalter 60A einem Umfangswandabschnitt, der die erste Pumpenkammer 21 definiert und die erste Schwingungsplatte 30 und die zweite Schwingungsplatte 40 miteinander verbindet.
  • Der zweite Abstandshalter 60B befindet sich zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der dritten Schwingungsplatte 50 und ist sandwichartig zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der der dritten Schwingungsplatte 50 angeordnet. Der zweite Abstandshalter 60B ist aus einem Metallelement gebildet, das beispielsweise aus rostfreiem Stahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat eine Außenform einer ringförmigen Plattenform.
  • Der zweite Abstandshalter 60B verbindet den Umfangskantenabschnitt an einem Teil der ersten Schwingungsplatte 30, die das oben beschriebene äußere Ende nicht beinhaltet, und den Umfangskantenabschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 miteinander. Damit sind die erste Schwingungsplatte 30 und die dritte Schwingungsplatte 50 durch den zweiten Abstandshalter 60B mit einem vorgegebenen Abstand voneinander angeordnet. Es wird angemerkt, dass der zweite Abstandshalter 60B und die erste Schwingungsplatte 30 beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen, aneinandergeklebt sind, und dass der zweite Abstandshalter 60B und die dritte Schwingungsplatte 50 beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen aneinandergeklebt sind.
  • Ein Raum, der sich zwischen der ersten Schwingungsplatte 30 und der dritten Schwingungsplatte 50 befindet, fungiert als erste Pumpenkammer 22. Die zweite Pumpenkammer 22 wird von der ersten Schwingungsplatte 30, der dritten Schwingungsplatte 50 und dem zweiten Abstandshalter 60B definiert und wird aus einem flachen, kreisrunden, säulenförmigen Raum gebildet. Hierbei entspricht der zweite Abstandshalter 60B einem Umfangswandabschnitt, der die zweite Pumpenkammer 22 definiert und die erste Schwingungsplatte 30 und die dritte Schwingungsplatte 50 miteinander verbindet.
  • Das Ventilkörperhalteelement 70 ist an dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 beispielsweise durch einen Klebstoff oder dergleichen angebracht, und konkret ist es, von der ersten Schwingungsplatte 30 her gesehen, auf der Seite angeordnet, auf der sich die dritte Schwingungsplatte 50 befindet. Das Ventilkörperhalteelement 70 ist aus einer dünnen Metallplatte gebildet, die beispielweise aus rostfreiem Stahl oder dergleichen hergestellt ist, und hat in Draufsicht eine kreisrunde Außenform. Das Ventilkörperhalteelement 70 hat einen ringförmigen Stufenabschnitt 71, der hin zu einer Richtung weg von der ersten Schwingungsplatte 30 in einem Umfangskantenabschnitt einer Hauptfläche, die sich auf der Seite der ersten Schwingungsplatte 30 befindet, zurückweicht, und der ringförmige Stufenabschnitt 71 ist der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 zugewandt, die in der ersten Schwingungsplatte 30 bereitgestellt ist.
  • Das Rückschlagventil 80 ist beispielsweise aus einem Harzelement wie etwa einem Polyimidharz oder dergleichen gebildet, und hat eine Außenform einer ringförmigen Plattenform. Das Rückschlagventil 80 ist in dem ringförmigen Stufenabschnitt 71 aufgenommen, indem es lose auf den ringförmigen Stufenabschnitt 71 des Ventilkörperhalteelements 70 aufgesetzt ist. Das bedeutet, das Rückschlagventil 80 befindet sich zwischen dem ringförmigen Stufenabschnitt 71 des Ventilhalteelements 70 und der ersten Schwingungsplatte 30 an dem Abschnitt, der dem ringförmigen Stufenabschnitt 71 zugewandt ist.
  • Damit wird das Rückschlagventil 80 bewegbar von dem Ventilkörperhaltelement 70 gehalten, um in der Lage zu sein, die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31, die in der ersten Schwingungsplatte 30 bereitgestellt ist, zu öffnen/schließen. Konkret schließt das Rückschlagventil 80 die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 in einem Zustand, in dem es einen engen Kontakt mit der ersten Schwingungsplatte 30 durch Annäherung hergestellt, und öffnet die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 in einem Zustand, in dem es von der ersten Schwingungsplatte 30 entfernt ist.
  • Das piezoelektrische Element 90 wird, indem es an dem Ventilkörperhalteelement 70 mit beispielsweise einem zwischen diesen angeordneten Klebstoff angebracht wird, an dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 angebracht, wobei das Ventilkörperhalteelement 70 zwischen diesen angeordnet ist. Damit wird das piezoelektrische Element 90 auf der Seite der Hauptfläche der ersten Schwingungsplatte 30 angebracht, die sich auf der Seite befindet, die der zweiten Pumpenkammer 22 zugewandt ist. Das piezoelektrische Element 90 ist aus einer dünnen Platte gebildet, die aus einem piezoelektrischen Material hergestellt ist, beispielsweise Bleititanzirkonoxid (PZT) oder dergleichen, und hat in Draufsicht eine kreisrunde Außenform.
  • Das piezoelektrische Element 90 erzeugt durch Anlegen einer Wechselspannung eine Biegeschwingung, die Biegeschwingung, die in dem piezoelektrischen Element 90 erzeugt wird, breitet sich in der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 aus, wodurch die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 ebenfalls dazu gebracht werden, eine Biegeschwingung zu erfahren. Das bedeutet, dass das piezoelektrische Element 90 einem Antriebskörper entspricht, der bewirkt, dass die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 eine Biegeschwingung erfahren, und der durch Anlage an dieser von einer Wechselspannung mit einer vorgegebenen Frequenz bewirkt, dass die erste Schwingungsplatte 30 die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 jeweils mit einer Resonanzfrequenz schwingen, wodurch in der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte jeweils stehende Wellen erzeugt werden.
  • Dabei ist es nicht unbedingt erforderlich, dass das piezoelektrische Element in Draufsicht eine Kreisform besitzt, und es kann in Draufsicht die Form eines regelmäßigen Polygons haben. Wenn das piezoelektrische Element 90 eine Kreisform oder die Form eines regelmäßigen Polygons besitzt, ist es bevorzugt, dass die erste Schwingungsplatte 30 und das piezoelektrische Element 90 derart angeordnet sein können, dass die Mitte der ersten Schwingungsplatte 30 und die Mitte des piezoelektrischen Elements 90 zusammenfallen. Durch diese Ausgestaltung ist es möglich, die stehende Welle in der ersten Schwingungsplatte 30 zuverlässiger und einfacher zu erzeugen.
  • Indem die oben beschriebene Ausgestaltung aufgewiesen wird, befinden sich in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform die erste Pumpenkammer 21 und die zweite Pumpenkammer 22 zwischen dem ersten Düsenabschnitt 14 und dem zweiten Düsenabschnitt 15, ein Raum auf der Seite des ersten Düsenabschnitts 14 bezüglich einer Position, an der die erste Pumpenkammer 21 vorgesehen ist, und die erste Pumpenkammer 21 des Aufnahmeraums 13 des Gehäuses 10 sind in einem Zustand, in dem sie immer miteinander durch die Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen sind, miteinander kommunizieren, ein Raum auf der Seite des zweiten Düsenabschnitts 15 bezogen auf die Position, an der die zweite Pumpenkammer 22 breitgestellt ist, und die zweite Pumpenkammer 22 des Aufnahmeraums 13 des Gehäuses 10 sind in einem Zustand, in dem sie immer durch die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind, miteinander kommunizieren, und ferner sind in einem Zustand, bei dem die Vielzahl erster Lochabschnitte 31, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, nicht von dem Rückschlagventil 80 geschlossen werden, die erste Pumpenkammer 21 und die zweite Pumpenkammer 22 in einem Zustand, in dem sie miteinander durch die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 kommunizieren.
  • Hierbei bewirkt in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform das piezoelektrische Element 90, dass die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 eine Biegeschwingung erfahren, um stehende Wellen in jeweils der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 mit einer Achse 100 orthogonal zum zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, dem zentralen Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 und dem zentralen Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 als Zentrum zu erzeugen. Konkret bewirkt das piezoelektrische Element 90, dass die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 eine Biegeschwingung derart erfahren, dass ein Schwingungsbauch jeweils in dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, dem zentralen Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 und dem zentralen Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird, und ein Schwingungsbauch ebenfalls in einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 und einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird. Es wird angemerkt, dass in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 derart angetrieben bzw. angesteuert werden, dass ein Schwingungsbauch in der Radialrichtung an der Position gebildet wird, die den zentralen Abschnitt von jeder der Schwingungsplatten nicht beinhaltet.
  • In diesem Fall treibt das piezoelektrische Element 90 die erste Schwingungsplatte 30, an der das piezoelektrische Element 90 angebracht ist, unmittelbar an, und treibt die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50, an denen das piezoelektrische Element 90 jeweils nicht angebracht ist, mittelbar an, wobei der erste Abstandshalter 60A als erster Umfangswandabschnitt bzw. der zweite Abstandshalter 60B als zweiter Umfangswandabschnitt zwischen diesen angeordnet ist. Zu diesem Zeitpunkt werden durch geeignete Konstruktion der Form der ersten Schwingungsplatte 30 und der Form der zweiten Schwingungsplatte 40 (insbesondere der Dicken dieser Schwingungsplatten) die erste Schwingungsplatte 30 bzw. die zweite Schwingungsplatte 40 in umgekehrte Richtungen verlagert bzw. verdrängt. Auf die gleiche Weise werden durch geeignete Konstruktion der Form der ersten Schwingungsplatte 30 und der Form der dritten Schwingungsplatte 50 (insbesondere der Dicken dieser Schwingungsplatten) die erste Schwingungsplatte 30 bzw. die dritte Schwingungsplatte 50 in umgekehrte Richtungen verlagert bzw. verdrängt.
  • Die erste Pumpenkammer 21 wiederholt die Expansion und Kontraktion bzw. das Ausdehnen und Zusammenziehen aufgrund der Schwingungen der ersten Schwingungsplatte 30 und der zweiten Schwingungsplatte 40 in umgekehrten Richtungen, und die zweite Pumpenkammer 22 wiederholt die Expansion und Kontraktion aufgrund der Schwingungen der ersten Schwingungsplatte 30 und der dritten Schwingungsplatte 50 in umgekehrten Richtungen. Dementsprechend kommt es im Innern der ersten Pumpenkammer 21 und im Innern der zweiten Pumpenkammer 22 jeweils zu einer Resonanz, und demgemäß kommt es in der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 jeweils zu einer starken Druckschwankung. Im Ergebnis werden in der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 abwechselnd Überdruck und Unterdruck rechtzeitig erzeugt, und durch diese Druckschwankung wird eine Pumpfunktion zum Ausleiten von Gas mit Druck erhalten.
  • 3 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine grobe Richtung eines Luftstroms, der während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugt wird, das in 1 gezeigt ist, sowie Druckschwankungen zeigt, die in der ersten Pumpenkammer und der zweiten Pumpenkammer auftreten, und 4 ist eine schematische Ansicht, die aufgetragen über der Zeit einen Betriebszustand der Antriebseinheit des in 1 gezeigten piezoelektrischen Gebläses sowie eine Richtung eines in dem Zustand erzeugten Luftstroms zeigt.
  • Als nächstes wird der Betriebszustand des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf die 3 und 4 beschrieben.
  • Bezugnehmend auf 3 ist in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben das Rückschlagventil 80 an jedem der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 angebracht, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, wohingegen das Rückschlagventil nicht an jedem der Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen sind, und der Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind, angebracht ist.
  • Hierbei ist das Rückschlagventil 80, das an jedem der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 vorgesehen ist, eingerichtet, zu ermöglichen, dass Gas aus der ersten Pumpenkammer 21 in Richtung der zweiten Pumpenkammer 22 strömt, es jedoch nicht zu ermöglichen, dass Gas in der umgekehrten Richtung strömt. Daher wird aufgrund der Wirkung des Rückschlagventils 80 die Richtung des Luftstroms, der während des Betriebs des piezoelektrischen Gebläses 1A erzeugt wird, bestimmt, und die ungefähren Richtungen des Luftstroms sind die Richtungen, die durch die Pfeile in 3 (A) angezeigt werden.
  • Konkret wird, wie in 4(A) veranschaulicht, in einem Zustand, in dem der zentrale Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 und der zentrale Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 in einer Richtung verdrängt werden, in der sie sich einander annähern, und der zentrale Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 und der zentrale Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 in einer Richtung voneinander weg verdrängt werden, in der ersten Pumpenkammer 21 ein Unterdruck an Abschnitten erzeugt, die sich in der Umgebung der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 befinden, und in der zweiten Pumpenkammer 22 ein Überdruck an Abschnitten entsteht, die sich in der Umgebung der Vielzahl von ersten Lochabschnitte 31 befinden, und somit schließen die Rückschlagventile jeweils die Vielzahl erster Lochabschnitte 31. Zu diesem Zeitpunkt wird durch die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen sind, Gas in die erste Pumpenkammer 21 eingesagt, und Gas aus der zweiten Pumpenkammer 22 durch die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind, ausgeleitet, da das Volumen der ersten Pumpenkammer 21 als Ganzes zunimmt und das Volumen der zweiten Pumpenkammer 22 als Ganzes abnimmt.
  • Danach wird, wie in 4 (B) gezeigt, in einem Zustand, in dem der zentrale Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 und der zentrale Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 in einer Richtung voneinander weg verdrängt werden, und der zentrale Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 und der zentrale Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 in einer sich annähernden Richtung verdrängt werden, ein Überdruck in der ersten Pumpenkammer 21 an den Abschnitten erzeugt, die sich in der Umgebung der ersten Lochabschnitte 31 befinden, und ein Unterdruck in der zweiten Pumpenkammer 22 an den Abschnitten erzeugt wird, die sich in der Umgebung der ersten Lochabschnitte 31 befinden, und somit öffnen die Rückschlagventile 80 jeweils die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31. Daher bewegt sich Gas aus der ersten Pumpenkammer 21 zur zweiten Pumpenkammer 22 durch die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31.
  • Dadurch, dass die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40 und die dritte Schwingungsplatte 50 derart vibrieren bzw. schwingen, dass der in 4 (a) gezeigte Zustand und der in 4(B) gezeigte Zustand abwechselnd wiederholt werden, wird in dem piezoelektrischen Gebläse 1A der Luftstrom erzeugt, der die in 3(A) gezeigte Richtung besitzt. Deshalb fungiert der erste Düsenabschnitt 14, der in dem Gehäuse 10 vorgesehen ist, als Ansaugdüse zum Ansaugen von Gas von außen, der zweite Düsenabschnitt 15, der in dem Gehäuse 10 vorgesehen ist, fungiert als Ausleitungsdüse zum Ausleiten von Gas nach außen, und somit wird das Gas mit Druck durch das piezoelektrische Gebläse 1A ausgeleitet.
  • Es wird angemerkt, dass 3(B) schematisch die Druckverteilung von jeweils der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 in dem oben beschriebenen, in 4(A) gezeigten Zustand darstellt (nachfolgend wird dieser Zustand als erster Zustand bezeichnet), und 3(C) schematisch die Druckverteilung von jeweils der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 in dem oben beschriebenen, in 4(B) gezeigten Zustand darstellt (nachfolgend wird dieser Zustand als zweiter Zustand bezeichnet).
  • Wie den 3(B) und 3 (C) entnommen werden kann, wird in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform durch Antreiben der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 unter der oben beschriebenen Bedingung, bei der es in der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 jeweils zu einer Resonanz kommt, ein Schwingungsbauch einer Druckschwankung im Inneren der ersten Pumpenkammer 21 an dem zentralen Abschnitt der ersten Pumpenkammer 21 erzeugt, ein Schwingungsknoten der Druckschwankung im Inneren der ersten Pumpenkammer 21 an einer Position in einem äußeren Seitenabschnitt relativ dazu erzeugt, ein Schwingungsbauch der Druckschwankung im Inneren der ersten Pumpenkammer 21 an einer Position in einem weiteren äußeren Seitenabschnitt relativ dazu erzeugt, und ein Knoten der Druckschwankung im Inneren der ersten Pumpenkammer 21 an dem Außenkantenabschnitt der ersten Pumpenkammer 21 erzeugt, und ein Schwingungsbauch der Druckschwankung im Inneren der zweiten Pumpenkammer 22 wird an dem zentralen Abschnitt der zweiten Pumpenkammer 22 erzeugt, ein Knoten der Druckschwankung im Innern der zweiten Pumpenkammer an einer Position in einem äußeren Seitenabschnitt relativ dazu erzeugt, ein Schwingungsbauch der Druckschwankung im Innern der zweiten Pumpenkammer 22 ab einer Position in einem weiteren äußeren Seitenabschnitt relativ dazu erzeugt, und ein Knoten der Druckschwankung im Inneren der zweiten Pumpenkammer 22 wird an dem Außenkantenabschnitt der zweiten Pumpenkammer 22 erzeugt.
  • Hier erfüllen in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 3(A) die Vielzahl erster Lochabschnitte 31, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, die Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen sind, und die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind, die nachfolgenden Bedingungen.
  • Die erste Schwingungsplatte 30 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, mit der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 in einem Bereich versehen, der nicht mit der Achse 100 überlappt und der nicht mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird, und die Rückschlagventile 80 sind jeweils an der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 angebracht. Genauer ist die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 in einem Bereich vorgesehen, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird. Ferner ist die Vielzahl erster Lochabschnitte, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Die zweite Schwingungsplatte 40 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, mit der Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41 in einem Bereich versehen, der nicht mit jedem der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 überlappt, und mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet wird (mit anderen Worten ist jeder der Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in einem Bereich vorgesehen, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in der ersten Schwingungsplatte gebildet ist), das Rückschlagventil ist nicht an der Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41 angebracht. Ferner ist die Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Die dritte Schwingungsplatte 50 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, mit der Vielzahl dritter Lochabschnitte 51 in einem Bereich versehen, der nicht mit jedem der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 überlappt, und mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet ist (mit anderen Worten ist jeder der Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, wenn entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in einem Bereich vorgesehen, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird), das Rückschlagventil ist nicht an der Vielzahl dritter Lochabschnitte 51 angebracht. Ferner ist die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Es wird angemerkt, dass die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, der erste Abstandshalter 60A und der zweite Abstandshalter 60B, die die erste Pumpenkammer 21 und die zweite Pumpenkammer 22 definieren, nicht mit Löchern versehen sind, bei denen es sich nicht um die Vielzahl erster Lochabschnitte 31, die Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41 und die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51 handelt, die oben beschrieben wurden.
  • Indem die Ausgestaltung auf diese Weise erfolgt, ist es in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform möglich, die Strömungsrate verglichen mit der bestehenden Technik zu erhöhen. Der Grund hierfür wird nachfolgend ausführlich erläutert.
  • Bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Rückschlagventile 80, die die Richtung des Luftstroms in dem piezoelektrischen Gebläse 1A bestimmen, jeweils an der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 angebracht, die in dem Zwischenabschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, der nicht den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt beinhaltet. Durch die Ausgestaltung auf diese Weise wird verglichen mit eine Fall, bei dem eine Ausgestaltung zum Einsatz kommt, in der der Lochabschnitt, an dem das Rückschlagventil angebracht ist, in dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte vorgesehen ist, der Widerstand des Strömungspfads für Gas, das sich von der ersten Pumpenkammer 21 zur zweiten Pumpenkammer 22 bewegt, stark verringert, und die Strömungsrate in dem Abschnitt kann somit erhöht werden.
  • Da jedoch wie oben beschrieben eine Verlagerungsmenge bzw. Verdrängungsmenge an dem Zwischenabschnitt der Schwingungsplatte, die den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt nicht beinhaltet, kleiner ist als in dem zentralen Abschnitt der Schwingungsplatte, ist es wahrscheinlich, dass das Öffnen/Schließen des Rückschlagventils selbst allein durch den Einsatz der oben beschriebenen Konfiguration unzureichend ist.
  • Daher ist, um dieses Problem zu lösen, in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform durch Anordnen eines Paars aus zweiter Schwingungsplatte 40 und dritter Schwingungsplatte 50 derart, um der ersten Schwingungsplatte 39 zugewandt zu sein, die mit der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 versehen ist, an denen jeweils die Rückschlagventile 80 angeordnet sind, die die Richtung des Luftstroms in dem piezoelektrischen Gebläse 1A bestimmen, die erste Schwingungsplatte 30 derart eingerichtet, dass sie sandwichartig zwischen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 angeordnet ist, wodurch das Öffnen/Schließen des Rückschlagventils 80 mithilfe eines Differentialdrucks zwischen Überdruck und Unterdruck, die in der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 erzeugt werden, sicher durchgeführt wird.
  • Mit anderen Worten wird, wie in 3(B) dargestellt, in dem ersten Zustand, da der Unterdruck in der ersten Pumpenkammer 21 in den Abschnitten erzeugt wird, die sich in der Umgebung der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 befinden, und der Überdruck in der zweiten Pumpenkammer 22 in den Abschnitten erzeugt wird, die sich in der Umgebung der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 befinden, ein Zustand, in dem das Rückschlagventil 80 geschlossen ist, durch den Differentialdruck ΔP desselben zuverlässiger erhalten, und wie in 3 (C) gezeigt wird in dem zweiten Zustand, da der Überdruck in der ersten Pumpenkammer 21 in den Abschnitten 21 erzeugt wird, die sich in der Umgebung der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 befinden, und der Unterdruck in der zweiten Pumpenkammer 22 in den Abschnitten erzeugt wird, die sich in der Umgebung der Vielzahl erster Lochabschnitte 31 befinden, ein Zustand, bei dem das Rückschlagventil 80 geöffnet ist, durch den Differentialdruck ΔP zuverlässiger erhalten.
  • Hierbei kann in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben, da die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 bereitgestellt ist, um mit dem Schwingungsbauch zu überlappen, der an Positionen der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird, die den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhalten, ein größerer Differentialdruck ΔP zwischen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, die oben beschrieben werden, sichergestellt werden, und das Öffnen/Schließen des Rückschlagventils 80 kann in dieser Hinsicht zuverlässiger durchgeführt werden.
  • Dementsprechend macht es die Verwendung des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform möglich, den Öffnungs-/Schließvorgang des Rückschlagventils 80 zuverlässiger durchzuführen, während der Strömungspfadwiderstand in der Antriebseinheit 20A verringert wird, und im Ergebnis ist es möglich, die Strömungsrate verglichen mit der bestehenden Technik zu erhöhen.
  • Es wird angemerkt, dass bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben der Strömungspfadwiderstand in den Abschnitten nicht zunimmt, und somit die Strömungsrate in dieser Hinsicht ebenfalls zunimmt, weil die Ausgestaltung derart ist, dass das Rückschlagventil nicht an einem der Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 bereitgestellt ist, und der Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 bereitgestellt ist, angebracht ist.
  • Ferner ist bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 angeordnet ist, derart angeordnet, dass sie nicht mit dem Schwingungsbauch überlappen, der in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet wird, und die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen ist, ist derart angeordnet, dass sie nicht mit dem Schwingungsbau überlappen, der in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird. Mit anderen Worten sind in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitte 41 und jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitte 51 derart angeordnet, dass sie nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 überlappen. Dementsprechend ist es möglich, weitestgehend zu verhindern, dass das Gas in die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 und die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 zurückströmt, und die Strömungsrate wird in dieser Hinsicht ebenfalls erhöht.
  • In dieser Hinsicht ist in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein Abstand in der Richtung senkrecht zu der Achse 100 zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position gebildet wird, die den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet, und der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 eingerichtet, größer zu sein als ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position gebildet wird, der den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31, und ein Abstand in der Richtung orthogonal zu der Achse 100 zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position gebildet wird, die den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet, und der Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 ist eingerichtet größer zu sein als ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position gebildet wird, die den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31. Solange diese Bedingung erfüllt ist, ist es möglich, einen großen Differentialdruck ΔP zwischen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, die oben beschrieben werden, sicherzustellen, es ist ferner möglich, zu verhindern, dass das Gas zurück in die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 und die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 strömt, und folglich kann die Strömungsrate erhöht werden.
  • Ferner wird bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben, da die Vielzahl zweiter Lochabschnitte 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen ist, und die Vielzahl dritter Lochabschnitte 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen ist, jeweils ringförmig in Art einer Punktsequenz angeordnet sind, die Achssymmetrie des Luftstroms in dem piezoelektrischen Gebläse 1A verbessert, es ist weniger wahrscheinlich, dass es in dem Luftstrom zu Verwirbelungen kommt, und es kann eine effiziente Strömung von Gas erhalten werden, und folglich kann eine Strömungsrate erhöht werden.
  • 5 ist eine Draufsicht der ersten Schwingungsplatte, die in 1 dargestellt ist. Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf 5 eine Ausgestaltung beschrieben, die zur Erhöhung der Strömungsrate in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Erfindung besonders bevorzugt ist.
  • Wie in 5 gezeigt ist in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform wie oben beschrieben in dem Zwischenabschnitt der ersten Schwingungsplatte 30, der nicht den zentralen Abschnitt und den Umfangskantenabschnitt beinhaltet, die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 ringförmig in Art einer Punktsequenz vorgesehen. Durch diese Ausgestaltung wird, wie oben beschrieben, der Strömungspfadwiderstand an der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, verringert, und es ist somit möglich, die Strömungsrate zu erhöhen.
  • Hierbei ist es bevorzugt, dass die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 aus einer Vielzahl kreisförmiger, säulenförmiger Löcher mit demselben Öffnungsdurchmesser gebildet ist, die in regelmäßigen Abständen zueinander angeordnet sind. Durch diese Ausgestaltung wird es weniger wahrscheinlich, dass in dem Luftstrom eine Verwirbelung auftritt, da die Achsensymmetrie des Luftstroms in dem piezoelektrischen Gebläse 1A verbessert wird, es kann ein effizientes Strömen des Gases erreicht werden, und folglich kann die Strömungsrate erhöht werden.
  • Ferner ist es bevorzugt, dass ein Abstand D1 zwischen benachbarten ersten Lochabschnitten der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 kleiner ist als ein Abstand D2 zwischen der Achse 100 und jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31. Dies liegt daran, dass, obwohl das Gas, das sich in der Umgebung der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 in der ersten Pumpenkammer 21 befindet, gemäß der Druckschwankung der ersten Pumpenkammer 21 teilweise in Richtung des zentralen Abschnitts der ersten Pumpenkammer 21 bewegt wird und in die Ursprungsposition zurückgeführt wird, indem es an dem zentralen Abschnitt zurückgeworfen wird, durch Einsatz der obigen Konfiguration der Großteil des sich in der Umgebung der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 befindenden Gases bevorzugt in die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 strömt, wodurch eine Strömungsrate des Gases, das sich in Richtung des zentralen Abschnitts der ersten Pumpenkammer 21 bewegt, verringert werden kann, und folglich ist es möglich, die Strömungsrate des piezoelektrischen Gebläses 1A insgesamt zu erhöhen.
  • Ferner befinden sich in dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31, die ringförmig in Art einer Punktsequenz angeordnet sind, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen alle in einem äußeren Seitenabschnitt des piezoelektrischen Elements 90. In dem Fall, bei dem die wie oben beschriebene Ausgestaltung zum Einsatz kommt, können die erste Pumpenkammer 21 und die zweite Pumpenkammer 22 leicht miteinander in Verbindung gebracht werden, ohne eine Durchgangsöffnung oder dergleichen in dem piezoelektrischen Element 90 bereitzustellen. Hierbei führt der Fall, bei dem das piezoelektrische Element 90 mit einer Durchgangsöffnung versehen ist, nicht zwangsläufig zu einer vorteilhaften Ausgestaltung hinsichtlich der Herstellungskosten, Zuverlässigkeit und dergleichen. Andererseits ist es durch Verwenden der wie oben beschriebenen Ausgestaltung nicht notwendig, eine Durchgangsöffnung in dem piezoelektrischen Element 90 bereitzustellen, und somit ist es möglich, ein piezoelektrisches Gebläse zu erhalten, das die Kosten weiter verringert und eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit besitzt.
  • Es wird angemerkt, dass die Abmessungen jeweiliger Bauteile des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform, die Anzahl verschiedener Arten von in der ersten Schwingungsplatte 30, der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 bereitgestellten Löchern und dergleichen nicht konkret beschränkt sind, und Beispiele dieser sich wie folgt darstellen.
  • Der Durchmesser der ersten Schwingungsplatte 30 beträgt beispielsweise 25 [mm] und der Durchmesser des Abschnitts derselben, der die erste Pumpenkammer 21 und die zweite Pumpenkammer 22 definiert, beträgt beispielsweise 19 [mm]. Der Durchmesser der zweiten Schwingungsplatte 40 beträgt beispielsweise 23 [mm] und der Durchmesser des Abschnitts derselben, der die erste Pumpenkammer definiert, beträgt beispielsweise 19 [mm]. Der Durchmesser der dritten Schwingungsplatte 50 beträgt beispielsweise 23 [mm], und der Durchmesser des Abschnitts derselben, der die zweite Pumpenkammer definiert, beträgt beispielsweise 19 [mm]. Die Dicke der ersten Schwingungsplatte 30 beträgt beispielsweise 0,2 [mm], und die Dicken der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 betragen beispielsweise jeweils 0,25 [mm]. Ferner betragen die Außendurchmesser und die Innendurchmesser von dem ersten Abstandshalter 60A und dem zweiten Abstandshalter 60B beispielsweise 23 [mm] bzw. 19 [mm], und die Dicken derselben betragen beispielsweise jeweils 0,3 [mm].
  • Die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind, ist ringförmig in Art einer Punktsequenz an Positionen angeordnet, die von dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 jeweils um beispielsweise 6 [mm] beabstandet sind, jeder Öffnungsdurchmesser derselben beträgt beispielsweise 0,4 [mm] und die Anzahl dieser beträgt ungefähr 50. Die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 vorgesehen sind, ist ringförmig in Art einer Punktsequenz an Positionen angeordnet, die von dem zentralen Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 jeweils um beispielsweise 4 [mm] beabstandet sind, jeder Öffnungsdurchmesser derselben beträgt beispielsweise 0,4 [mm], und die Anzahl dieser beträgt ungefähr 40. Die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51, die in der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind, ist ringförmig in Art einer Punktsequenz an Positionen angeordnet, die von dem zentralen Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 jeweils um beispielsweise 4 [mm] beabstandet sind, jeder Öffnungsdurchmesser derselben beträgt beispielsweise 0,4 [mm] und die Anzahl dieser beträgt ungefähr 40.
  • (Modifizierung)
  • 6 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform zeigt. Nachfolgend wird das piezoelektrische Gebläse 1A' gemäß der Modifizierung unter Bezugnahme auf 6 beschrieben.
  • Wie in 6 gezeigt beinhaltet das piezoelektrische Gebläse 1A' gemäß der Modifizierung eine Antriebseinheit 20A' mit einer Konfiguration, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform, beinhaltet die Antriebseinheit 20A' die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich Anordnungsposition und Ausgestaltung des piezoelektrischen Elements 90.
  • Konkret ist bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A' gemäß der Modifizierung das piezoelektrische Element 90 an der Hauptfläche der ersten Schwingungsplatte 30 auf der Seite angebracht, die der ersten Pumpenkammer 21 zugewandt ist, beispielsweise mit einem dazwischen angeordneten Klebstoff. Das bedeutet, dass anders als bei dem piezoelektrischen Gebläse 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform, das piezoelektrische Element 90 unmittelbar an der ersten Schwingungsplatte 30 angebracht ist, ohne Zwischenschaltung des Ventilhalteelements 70.
  • Falls diese Konfiguration eingesetzt wird, kann die gleiche Wirkung wie die in der obigen Ausführungsform beschriebene Wirkung erzielt werden, und es kann das piezoelektrische Gebläse erhalten werden, das verglichen mit der bestehenden Technik eine erhöhte Durchflussrate besitzt.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • 7 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer zweiten Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten. Nachfolgend wird ein piezoelektrisches Gebläse 1B gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 7 beschrieben.
  • Wie in 7(A) dargestellt, beinhaltet das piezoelektrische Gebläse 1B gemäß der dritten Ausführungsform eine Antriebseinheit 20B mit einer Konfiguration, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen, ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform beinhaltet die Antriebseinheit 20B die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich der Konfiguration der Löcher, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind.
  • Konkret ist die zweite Schwingungsplatte 40 mit der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf den zentralen Abschnitt der zweiten Schwingungsplatte 40 und in einem inneren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsknoten in dem innersten Seitenabschnitt unter Schwingungsknoten versehen, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet werden. Die Vielzahl zweiter Lochabschnitte ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Ferner ist die dritte Schwingungsplatte 50 mit der Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf den zentralen Abschnitt der dritten Schwingungsplatte 50 und in einem inneren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsknoten in dem innersten Seitenabschnitt unter Schwingungsknoten, die in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet sind, versehen. Die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • In dem Fall, bei dem die Konfiguration zum Einsatz kommt, können die Druckschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, wie in 7(B) und 7(C) gezeigt, in dem ersten Zustand bzw. dem zweiten Zustand ebenfalls erhalten werden, und der wie in 7 (A) gezeigte Luftstrom wird auf Grundlage dessen in dem piezoelektrischen Gebläse 1B erzeugt.
  • Hierbei sind der Bereich der zweiten Schwingungsplatte 40, in dem die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 vorgesehen ist, und der Bereich der Schwingungsplatte 50, in dem die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 vorgesehen ist, jeweils Abschnitte, in denen während des Antreibens jeweils eine größere Verdrängung erzeugt wird als der Schwingungsknoten, der in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet wird, und der Schwingungsknoten, der in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird, jedoch kann im Falle des Einsatzes der wie oben beschriebenen Konfiguration die Wirkung ähnlich der bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erhalten werden, und somit kann das piezoelektrische Gebläse mit einer verglichen mit der bestehenden Technik erhöhten Strömungsrate erhalten werden.
  • (Dritte Ausführungsform)
  • 8 ist eine schematische Ansicht, die eine Konfiguration und eine ungefähre Richtung eines Luftstroms, der während des Betriebs eines piezoelektrischen Gebläses gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erzeugt wird, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten. Nachfolgend wird ein piezoelektrisches Gebläse 1C gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 8 beschrieben.
  • Wie in 8(A) gezeigt beinhaltet das piezoelektrische Gebläse 1C gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Antriebseinheit 20C mit einer Ausgestaltung, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen, ersten Ausführungsform beinhaltet die Antriebseinheit 20A' die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich der Ausgestaltung der Löcher, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind.
  • Konkret ist die zweite Schwingungsplatte 40, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, mit einem zweiten Lochabschnitt 41 in einem Bereich versehen, der mit der Achse 100 überlappt, und die dritte Schwingungsplatte 50 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, mit einem dritten Lochabschnitt 51 in einem Bereich versehen, der mit der Achse 100 überlappt.
  • In dem Fall, bei dem die Konfiguration zum Einsatz kommt, können die Druckschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, wie in 8(B) und 8(C) gezeigt, in dem ersten Zustand bzw. dem zweiten Zustand ebenfalls erhalten werden, und der wie in 8(A) gezeigte Luftstrom wird auf Grundlage dessen in dem piezoelektrischen Gebläse 1C erzeugt.
  • Hierbei sind der Bereich der zweiten Schwingungsplatte 40, in dem der eine zweite Lochabschnitt 41 vorgesehen ist, und der Bereich der dritten Schwingungsplatte 50, in dem der eine dritte Lochabschnitt 51 vorgesehen ist, jeweils Abschnitte, in denen während des Antreibens jeweils eine größere Verdrängung erzeugt wird als der Schwingungsknoten, der in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet wird, und der Schwingungsknoten, der in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird, jedoch kann im Falle des Einsatzes der wie oben beschriebenen Konfiguration die Wirkung ähnlich jener der in der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erhalten werden, und somit kann das piezoelektrische Gebläse mit einer verglichen mit der bestehenden Technik erhöhten Strömungsrate erhalten werden.
  • (Vierte Ausführungsform)
  • 9 ist eine schematische Ansicht, die eine Konfiguration und eine grobe Richtung eines Luftstroms, der während des Betriebs einer Antriebseinheit eines piezoelektrischen Gebläses gemäß einer vierten Ausführungsform erzeugt wird, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten. Nachfolgend wird ein piezoelektrisches Gebläse 1D gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 9 beschrieben.
  • Wie in 9(A) gezeigt, weist das piezoelektrische Gebläse 1D gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Antriebseinheit 20D auf, die eine Konfiguration besitzt, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die erste Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform beinhaltet die Antriebseinheit 20D die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich der Konfiguration von Löchern, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 und der dritten Schwingungsplatte 50 vorgesehen sind.
  • Konkret ist die zweite Schwingungsplatte 40 mit der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsbauch in dem äußersten Seitenabschnitt unter Schwingungsbäuchen, die in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet werden, und in einem inneren Seitenabschnitt bezogen auf den Umfangskantenabschnitt der zweiten Schwingungsplatte versehen. Die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 41 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Ferner ist die dritte Schwingungsplatte 50 mit der Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsbauch in dem äußersten Seitenabschnitt unter Schwingungsbäuchen, die in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet werden, und in einem inneren Seitenabschnitt bezogen auf den Umfangskantenabschnitt der dritten Schwingungsplatte versehen. Die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • In dem Fall, bei dem die Konfiguration zum Einsatz kommt, können die Druckschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, wie in 9(B) und 9(C) gezeigt, in dem ersten Zustand bzw. dem zweiten Zustand ebenfalls erhalten werden, und der wie in 9 (A) gezeigte Luftstrom wird auf Grundlage dessen in dem piezoelektrischen Gebläse 1D erzeugt.
  • Hierbei sind der Bereich der zweiten Schwingungsplatte 40, in dem die Vielzahl von zweiten Lochabschnitte 41 vorgesehen ist, und der Bereich der dritten Schwingungsplatte 50, in dem die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 51 vorgesehen ist, jeweils Abschnitte, in denen während des Antreibens jeweils eine größere Verdrängung erzeugt wird als der Schwingungsknoten, der in der zweiten Schwingungsplatte 40 gebildet wird, und der Schwingungsknoten, der in der dritten Schwingungsplatte 50 gebildet wird, jedoch kann im Falle des Einsatzes der wie oben beschriebenen Konfiguration die Wirkung ähnlich jener in der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erhalten werden, und somit kann das piezoelektrische Gebläse mit einer verglichen mit der bestehenden Technik erhöhten Strömungsrate erhalten werden.
  • (Fünfte Ausführungsform)
  • 10 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer fünften Ausführungsform, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten. Nachfolgend wird ein piezoelektrisches Gebläse 1E gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 10 beschrieben.
  • Wie in 10(A) gezeigt weist das piezoelektrische Gebläse 1E gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Antriebseinheit 20E auf, die eine Konfiguration besitzt, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die erste Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform beinhaltet die Antriebseinheit 20E die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich der Konfiguration von Löchern.
  • Konkret ist in der zweiten Schwingungsplatte 40 kein Loch vorgesehen, und stattdessen ist eine Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 61 in dem ersten Abstandshalter 60A als erster Umfangswandabschnitt vorgesehen. Die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • Konkret ist ferner in der dritten Schwingungsplatte 50 kein Loch vorgesehen, und stattdessen ist eine Vielzahl von dritten Lochabschnitten 62 in dem zweiten Abstandshalter 60B als zweiter Umfangswandabschnitt vorgesehen. Die Vielzahl von dritten Lochabschnitten 62 ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • In dem Fall, bei dem die Konfiguration zum Einsatz kommt, können die Druckschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, wie in 10(B) und 10 (C) gezeigt, in dem ersten Zustand bzw. dem zweiten Zustand ebenfalls erhalten werden, und der wie in 10(A) gezeigte Luftstrom wird auf Grundlage dessen in dem piezoelektrischen Gebläse 1E erzeugt.
  • Da der erste Abstandshalter 60A, der mit der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten 61 versehen ist, und der zweite Abstandshalter 60B, der mit der Vielzahl von dritten Lochabschnitten 62 versehen ist, jeweils Abschnitte sind, in denen selbst in einem Zustand, in dem das piezoelektrische Element 90 angetrieben wird, nicht grundsätzlich eine große Verdrängung erzeugt wird, kann hierbei in dem Fall, das die oben beschriebene Konfiguration eingesetzt wird, die Wirkung ähnlich der Wirkungen erhalten werden kann, die der ersten oben beschriebenen Ausführungsform ähnelt, und es kann somit das piezoelektrische Gebläse mit einer verglichen mit dem Stand der Technik erhöhten Strömungsrate erhalten werden kann.
  • (Sechste Ausführungsform)
  • 11 ist eine schematische Ansicht, die eine Ausgestaltung und eine ungefähre Richtung eines während des Betriebs der Antriebseinheit des piezoelektrischen Gebläses erzeugten Luftstroms gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, sowie Druckschwankungen zeigt, die in einer ersten Pumpenkammer und einer zweiten Pumpenkammer auftreten. Nachfolgend wird ein piezoelektrisches Gebläse 1F gemäß der vorliegenden Ausführungsform unter Bezugnahme auf 11 beschrieben.
  • Wie in 11(A) gezeigt, weist das piezoelektrische Gebläse 1F gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Antriebseinheit 20F auf, die eine Konfiguration besitzt, die sich von jener des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen, ersten Ausführungsform unterscheidet. Auf die gleiche Weise wie die erste Antriebseinheit 20A des piezoelektrischen Gebläses 1A gemäß der oben beschriebenen ersten Ausführungsform beinhaltet die Antriebseinheit 20F die erste Schwingungsplatte 30, die zweite Schwingungsplatte 40, die dritte Schwingungsplatte 50, den ersten Abstandshalter 60A, den zweiten Abstandshalter 60B, das Rückschlagventil 80, das piezoelektrische Element 90 und dergleichen, unterscheidet sich jedoch hinsichtlich der Konfiguration von Löchern, die in der ersten Schwingungsplatte 30 vorgesehen sind.
  • Konkret ist die erste Schwingungsplatte 30 mit der Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 in einem Bereich versehen, der, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen, nicht mit der Achse 100 überlappt, in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsbauch, der an einer Position, die den zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet, und in einem inneren Seitenabschnitt bezogen auf den Umfangskantenabschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird. Die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 ist entlang der Erstreckungsrichtung der Achse 100 gesehen in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse 100 als Zentrum angeordnet.
  • In dem Fall, bei dem die Konfiguration zum Einsatz kommt, können die Druckschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22, wie in 11 (B) und 11 (C) gezeigt, in dem ersten Zustand bzw. dem zweiten Zustand ebenfalls erhalten werden, und der wie in 11(A) gezeigte Luftstrom wird auf Grundlage dessen in dem piezoelektrischen Gebläse 1F erzeugt.
  • Hierbei ist der Bereich der ersten Schwingungsplatte 30, in dem die Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 vorgesehen ist, ein Abschnitt, in dem während des Antreibens eine kleinere Verdrängung erzeugt wird als der Schwingungsbauch, der in der ersten Schwingungsplatte 30 gebildet wird, jedoch kann im Falle des Einsatzes der wie oben beschriebenen Konfiguration die Wirkung ähnlich jener in der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erhalten werden, und somit kann das piezoelektrische Gebläse mit einer verglichen mit der bestehenden Technik erhöhten Strömungsrate erhalten werden.
  • Es wird angemerkt, dass in einem Fall, bei dem eine Vielzahl von ersten Lochabschnitten 31 in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit dem in der ersten Schwingungsplatte 30 gebildeten Schwingungsbauch überlappt, wie bei der vorliegenden Ausführungsform, es bevorzugt ist, die Vielzahl erster Lochabschnitte 31 in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsknoten anzuordnen, der an einer Position am weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 unter Schwingungsknoten gebildet wird, die in dem Bereich gebildet werden, der den Umfangskantenabschnitt der ersten Schwingungsplatte 30 nicht beinhaltet. Dies liegt daran, dass während des Antreibens die Volumenschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 in den Abschnitten, die dem Bereich entsprechen, jeweils insgesamt größer werden als die Volumenschwankungen der ersten Pumpenkammer 21 und der zweiten Pumpenkammer 22 in den Abschnitten, die dem Bereich in dem inneren Seitenabschnitt bezogen auf den oben beschriebenen Knoten entsprechen, und die oben beschriebene Konfiguration ermöglicht es, einen größeren Differentialdruck zu erhalten.
  • (Weitere)
  • Obgleich bei der ersten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem die Vielzahl erster Lochabschnitte, die in dem ersten plattenförmigen Körper vorgesehen sind, ringförmig in Art einer Punktsequenz angeordnet sind, ist es nicht unbedingt notwendig, diese in Art einer Punktsequenz anzuordnen, und deren Layout kann auf geeignete Weise geändert werden.
  • Obgleich bei der ersten, der zweiten, der vierten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei der die Vielzahl zweiter Lochabschnitte, die in dem zweiten plattenförmigen Körper bereitgestellt sind, und die Vielzahl dritter Lochabschnitte, die in dem dritten plattenförmigen Körper bereitgestellt sind, beide ringförmig in Art einer Punktsequenz vorgesehen sind, ist es ferner nicht unbedingt notwendig, diese ringförmig nach Art einer Punktsequenz anzuordnen, und das Layout dieser kann auf geeignete Weise geändert werden.
  • Ferner, obgleich bei der ersten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem das piezoelektrische Element als Antriebskörper auf einer Seite der Hauptfläche des ersten plattenförmigen Körpers angebracht ist, kann die Ausgestaltung derart sein, dass ein Paar von piezoelektrischen Elementen bereitgestellt wird, und das Paar von piezoelektrischen Elementen jeweils an beiden Hauptfläche des ersten plattenförmigen Körpers angebracht ist. In diesem Fall kann die Verdrängung des ersten plattenförmigen Körpers erhöht werden, und es ist somit möglich, die Strömungsrate weiter zu erhöhen.
  • Ferner, obgleich bei der ersten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem das piezoelektrische Element als Antriebskörper an dem ersten plattenförmigen Körper angebracht ist, kann das piezoelektrische Element an dem zweiten plattenförmigen Körper oder dem dritten plattenförmigen Körper oder an beiden angebracht werden. In diesem Fall ist es möglich, eine Wirkung der erleichterten Kabelführung an das piezoelektrische Element zu erhalten.
  • Obgleich in der ersten bis sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und deren Modifikationen, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem das piezoelektrische Element den ersten plattenförmigen Körper, den zweiten plattenförmigen Körper und den dritten plattenförmigen Körper dazu bringt, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch jeweils in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers, dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers und dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und ein Schwingungsbauch in der Radialrichtung ebenfalls in jeder Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers, der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers, und der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird, kann das piezoelektrische Element den ersten plattenförmigen Körper, den zweiten plattenförmigen Körper und den dritten plattenförmigen Körper dazu bringen, eine Biegeschwingung derart zu erfahren, dass der Schwingungsbauch nur jeweils in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers, dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers und dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird. Ferner kann das piezoelektrische Element den ersten plattenförmigen Körper, den zweiten plattenförmigen Körper und den dritten plattenförmigen Körper dazu bringen, eine Biegeschwingung derart zu erfahren, dass der Schwingungsbauch jeweils in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers, dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers und dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet wird, und zwei oder mehr Schwingungsbäuche in der Radialrichtung ebenfalls in jeder der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers, der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers und der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers gebildet werden.
  • Ferner, obgleich in der ersten bis sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und deren Modifikationen, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem die Konfiguration derart ist, dass nicht nur der erste plattenförmige Körper, sondern auch der zweiten plattenförmige Körper und der dritte plattenförmige Körper dazu gebracht werden, eine Biegeschwingung zu erfahren, ist es nicht unbedingt notwendig, zu bewirken, dass der zweite plattenförmige Körper und der dritte plattenförmige Körper eine Biegeschwingung erfahren, und die Konfiguration kann derart sein, dass nur der erste plattenförmige Körper dazu gebracht werden, eine Biegeschwingung zu erfahren.
  • Ferner können die charakteristischen Ausgestaltungen, die in der ersten bis sechsten Ausführungsform beschrieben wurden, und die Modifizierungen dieser der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, zweckmäßig kombiniert werden, ohne vom Geist der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • Hinzu kommt, dass obgleich bei der ersten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, beispielhaft der Fall beschrieben wurde, bei dem die vorliegende Erfindung auf das piezoelektrische Gebläse zum Ansaugen und Ausleiten von Gas angewendet wird, die vorliegende Erfindung auch auf eine Pumpe zum Ansaugen und Ausleiten von Flüssigkeit und eine Pumpe angewendet werden kann, die als Antriebselement ein Bauteil einsetzt, bei dem es sich nicht um das piezoelektrische Element als Antriebskörper handelt (es wird angemerkt, dass dies natürlich auf eine Pumpe vom Verdrängungstyp mithilfe von Biegeschwingungen einer Schwingungsplatte beschränkt ist).
  • Es wird angemerkt, dass obgleich bei der ersten bis sechsten Ausführungsform und deren Modifizierungen der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden, obgleich unter der Pumpe und der Fluidsteuerungsvorrichtung nur ausführlich die Pumpe beschrieben wurde, bei der die vorliegende Erfindung Anwendung findet, die Fluidsteuerungsvorrichtung, bei der die vorliegenden Erfindung Anwendung findet, durch die Pumpe ausgebildet wird, an der die vorliegende Erfindung zur Anwendung kommt, und die an dieser montiert ist. Das bedeutet, dass die Fluidsteuerungsvorrichtung, bei der die vorliegende Erfindung Anwendung findet, ein Fluidsystem mit einer Pumpe ist, auf die die vorliegende Erfindung angewendet wird (beispielsweise das piezoelektrische Gebläse gemäß der ersten bis sechsten Ausführungsform und dessen Modifizierung der vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurde) als Bauteil, und eine Vorrichtung ist, in der die Pumpe und ein anderes Fluidsteuerungsbauteil zusammenwirken, um das Verhalten des Fluids gemäß der Anwendung zu steuern.
  • Auf diese Weise sind die vorliegend offenbarten Ausführungsformen und Modifizierungen in allen Aspekten beispielhaft und nicht beschränkend. Der technische Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch den Schutzumfang der beigefügten Ansprüche definiert und soll alle Modifizierungen umfassen, die innerhalb der Bedeutung und des Rahmens liegen, die dem Schutzumfang der Ansprüche gleichwertig sind.
  • Bezugszeichenliste
    • 1A bis 1F, 1A'
    piezoelektrisches Gebläse
    10
    Gehäuse
    11
    erster Gehäusekörper
    12
    zweiter Gehäusekörper
    13
    Aufnahmeraum
    14
    erster Düsenabschnitt
    15
    zweiter Düsenabschnitt
    20A bis 20F, 20A'
    Antriebseinheit
    21
    erste Pumpenkammer
    22
    zweite Pumpenkammer
    30
    erste Schwingungsplatte
    31
    erster Lochabschnitt
    40
    zweite Schwingungsplatte
    41
    zweiter Lochabschnitt
    50
    dritte Schwingungsplatte
    51
    dritter Lochabschnitt
    60A
    erster Abstandshalter
    60B
    zweiter Abstandshalter
    61
    zweiter Lochabschnitt
    62
    dritter Lochabschnitt
    70
    Ventilkörperhalteelement
    71
    ringförmiger Stufenabschnitt
    80
    Rückschlagventil
    90
    piezoelektrisches Gebläse
    100
    Achse

Claims (25)

  1. Pumpe, aufweisend: einen ersten plattenförmigen Körper (30); einen zweiten plattenförmigen Körper (40), der dem ersten plattenförmigen Körper (30) zugewandt ist, einen dritten plattenförmigen Körper (50), der sich von dem ersten plattenförmigen Körper (30) her gesehen gegenüberliegend einer Seite befindet, auf der sich der zweite plattenförmige Körper (40) befindet, und der dem ersten plattenförmigen Körper (30) zugewandt ist; einen ersten Umfangswandabschnitt (60A), der einen Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) und einen Umfangskantenabschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) miteinander verbindet, einen zweiten Umfangswandabschnitt (60B), der den Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) und einen Umfangskantenabschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) miteinander verbindet; eine erste Pumpenkammer (21), die sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper (30) und dem zweiten plattenförmigen Körper (40) befindet und die von dem ersten plattenförmigen Körper (30), dem zweiten plattenförmigen Körper (40) und dem ersten Umfangswandabschnitt (60A) definiert wird; eine zweite Pumpenkammer (22), die sich zwischen dem ersten plattenförmigen Körper (30) und dem dritten plattenförmigen Körper (50) befindet und die von dem ersten plattenförmigen Körper (30), dem dritten plattenförmigen Körper (50) und dem zweiten Umfangswandabschnitt (60B) definiert wird; und einen Antriebskörper (90), der eine Druckschwankung sowohl in der ersten Pumpenkammer (21) als auch der zweiten Pumpenkammer (22) bewirkt, indem er den ersten plattenförmigen Körper (30) dazu bringt, eine Biegeschwingung zu erfahren, der zweite plattenförmige Körper (40) und/oder der erste Umfangswandabschnitt (60A) mit einem oder einer Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) versehen ist, an denen jeweils kein Rückschlagventil (80) angebracht ist, und der dritte plattenförmige Körper (50) und/oder der zweite Umfangswandabschnitt (60B) mit einem oder einer Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) versehen ist, an denen jeweils kein Rückschlagventil (80) angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass der erste plattenförmige Körper (30) mit einer Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) versehen ist, an denen jeweils ein Rückschlagventil (80) angebracht ist, entlang einer Erstreckungsrichtung einer zu einem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) orthogonalen Achse (100) gesehen jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit der Achse überlappt.
  2. Pumpe nach Anspruch 1, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) überlappt.
  3. Pumpe nach Anspruch 1 oder 2, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) überlappt.
  4. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Antriebskörper (90) bewirkt, dass der erste plattenförmige Körper (30) eine Biegeschwingung erfährt, so dass in dem ersten plattenförmigen Körper (30) eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, so dass ein Schwingungsbauch in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, und jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit einem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  5. Pumpe nach Anspruch 4, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse (100) als Zentrum angeordnet ist.
  6. Pumpe nach Anspruch 5, wobei ein Abstand (D1) zwischen benachbarten ersten Lochabschnitten (31) der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) kleiner ist als ein Abstand (D2) zwischen der Achse (100) und jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31).
  7. Pumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei der erste plattenförmige Körper (30) durch den Antriebskörper (90) dazu gebracht wird, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird.
  8. Pumpe nach Anspruch 7, wobei zumindest einer der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird.
  9. Pumpe nach Anspruch 8, wobei jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in dem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird.
  10. Pumpe nach Anspruch 7, wobei jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich in einem äußeren Seitenabschnitt bezogen auf einen Schwingungsknoten angeordnet ist, der unter Schwingungsknoten, die in einem Bereich abgesehen von dem Umfangskantenabschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet werden, an einer Position am weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird.
  11. Pumpe nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit dem Schwingungsbauch überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  12. Pumpe nach Anspruch 11, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  13. Pumpe nach einem der Ansprüche 7 bis 12, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit dem Schwingungsbauch überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  14. Pumpe nach Anspruch 13, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, der eine oder die Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  15. Pumpe nach Anspruch 1, wobei der Antriebskörper (90) bewirkt, dass der erste plattenförmige Körper (30) eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, so dass in dem ersten plattenförmigen Körper (30) eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der nicht mit einem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird, eine Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) vorgesehen ist, eine Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) vorgesehen ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse (100) als Zentrum angeordnet ist, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse (100) als Zentrum angeordnet ist, und entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in Form einer Punktsequenz an Positionen an einem Umfang mit der Achse (100) als Zentrum angeordnet ist.
  16. Pumpe nach Anspruch 15, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) alle in einem Bereich angeordnet sind, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) überlappt, und entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, die Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) alle in einem Bereich angeordnet sind, der nicht mit jedem der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) überlappt.
  17. Pumpe nach Anspruch 16, wobei der erste plattenförmige Körper (30) durch den Antriebskörper (90) dazu gebracht wird, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch in einer Radialrichtung ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet ist, und der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einer Richtung orthogonal zu der Achse (100) größer ist als ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31), und ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, und der Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in der Richtung orthogonal zu der Achse (100) größer ist als ein Abstand zwischen dem Schwingungsbauch, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, und der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31).
  18. Pumpe nach Anspruch 17, wobei jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsbauch überlappt, der an der Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) gebildet wird, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird, und entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in einem Bereich angeordnet ist, der mit dem Schwingungsknoten überlappt, der in dem ersten plattenförmigen Körper (30) gebildet wird.
  19. Pumpe nach Anspruch 15, wobei jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in dem ersten Umfangswandabschnitt (60A) angeordnet ist, und jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in dem zweiten Umfangswandabschnitt (60B) angeordnet ist.
  20. Pumpe nach einem der Ansprüche 15 bis 19, wobei der Antriebskörper (90) derart bewirkt, dass der zweite plattenförmige Körper (40) eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) gebildet wird, so dass in dem zweiten plattenförmigen Körper (40) eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, und bewirkt, dass der dritte plattenförmige Körper (50) eine Biegeschwingung erfährt, so dass in einem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) ein Schwingungsbauch gebildet wird, so dass in dem dritten plattenförmigen Körper (50) eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird.
  21. Pumpe nach Anspruch 15, wobei der Antriebskörper (90) bewirkt, dass der zweite plattenförmige Körper (40) eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in einem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) gebildet wird, so dass eine stehende Welle in dem zweiten plattenförmigen Körper (40) mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, und bewirkt, dass der dritte plattenförmige Körper (50) eine Biegeschwingung erfährt, so dass ein Schwingungsbauch in einem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) gebildet wird, so dass in dem dritten plattenförmigen Körper (50) eine stehende Welle mit der Achse als Zentrum erzeugt wird, der zweite plattenförmige Körper (40) durch den Antriebskörper (90) dazu gebracht wird, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) gebildet wird, der dritte plattenförmige Körper (50) durch den Antriebskörper (90) dazu gebracht wird, eine Biegeschwingung zu erfahren, so dass ein Schwingungsbauch ebenfalls an einer Position abgesehen von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) gebildet wird, jeder der Vielzahl von zweiten Lochabschnitten (41) in einem Bereich des zweiten plattenförmigen Körpers (40) in einem äußeren Seitenabschnitt bezüglich eines Schwingungsbauchs angeordnet ist, der an einer Position an weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des zweiten plattenförmigen Körpers (40) gebildet wird, und jeder der Vielzahl von dritten Lochabschnitten (51) in einem Bereich des dritten plattenförmigen Körpers (50) in einem äußeren Seitenabschnitt bezüglich eines Schwingungsbauchs angeordnet ist, der an einer Position an weitesten entfernt von dem zentralen Abschnitt des dritten plattenförmigen Körpers (50) gebildet wird.
  22. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 21, wobei ein Loch, bei dem es sich nicht um den ersten Lochabschnitt (31), den zweiten Lochabschnitt (41) und den dritten Lochabschnitt (51) handelt, in dem ersten plattenförmigen Körper (40), dem zweiten plattenförmigen Körper (40), dem dritten plattenförmigen Körper (50), dem ersten Umfangswandabschnitt (60A) und des zweiten Umfangswandabschnitts (60B) nicht vorgesehen ist.
  23. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei der Antriebskörper (90) ein piezoelektrisches Element mit einer im Wesentlichen flachen Plattenform aufweist, und das piezoelektrische Element an dem zentralen Abschnitt des ersten plattenförmigen Körpers (30) angebracht ist.
  24. Pumpe nach Anspruch 23, wobei, entlang der Erstreckungsrichtung der Achse (100) gesehen, jeder der Vielzahl von ersten Lochabschnitten (31) in einem bezogen auf das piezoelektrische Element äußeren Seitenabschnitt angeordnet ist.
  25. Fluidsteuerungsvorrichtung, an der die Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 24 montiert ist.
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