CN112204256B - 泵 - Google Patents

Abstract

泵(10)具备：平板(20)、压电元件(21)、平板(30)、侧壁(40)、支承部件(22)、支承部件(32)、遮挡板(500)、通气孔(23)、通气孔(33)、薄膜阀(61)、以及薄膜阀(62)。薄膜阀(61)配置于平板(20)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(62)配置于平板(30)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(61)与薄膜阀(62)中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。

Description

泵

技术领域

本发明涉及利用压电体的泵。

背景技术

以往，像专利文献1等所示那样，设计有各种利用压电体来搬运流体的泵。

专利文献1中记载的泵在泵室的中央配置有振动板。另外，专利文献1中记载的泵分别在由振动板将泵室分离而形成的第一泵室(上泵室)和第二泵室(下泵室)具备吸入口和排出口。在各排出口设置有防止返流的逆止阀，通过这些逆止阀来实现整流。

专利文献1:美国专利2015-0023821号说明书

然而，在专利文献1记载的泵中，在各泵室的中央一个一个地配置排出口，在该排出口配置有逆止阀，因此流路阻力变大。由此，流量变低，无法实现优异的泵特性。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供具有整流功能并且具有优异的泵特性的泵。

本发明的泵具备：第一平板、第二平板、侧壁、第一支承部件、第二支承部件、第一遮挡板、第一通气孔、第二通气孔、第一阀芯以及第二阀芯。第一平板具有相互对置的一个主面和另一个主面。第二平板具有与第一平板的一个主面对置的一个主面。压电元件配置于第一平板或者第二平板。侧壁配置于比第一平板和第二平板的外缘靠外侧的位置。第一支承部件支承第一平板的外缘和侧壁并使第一平板能够振动。第二支承部件支承第二平板的外缘和侧壁并使第二平板能够振动。第一遮挡板配置于第一平板与第二平板之间，在第一平板、上述第二平板的外缘处，与第一平板、第二平板对置，第一遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第一通气孔形成在第一平板的外缘与侧壁之间。第二通气孔形成在第二平板的外缘与侧壁之间。第一阀芯配置于第一平板与第一遮挡板相对置的区域。第二阀芯配置于第二平板与第一遮挡板相对置的区域。第一阀芯与第二阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。

在该结构中，在因由压电元件形成的第一平板的振动、和由第一平板的振动引起的第二平板的振动，使第一阀芯将中央侧与外缘侧之间开放时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。相反地，在第一阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间开放。例如，在从第一平板的外缘吸入流体时，第一阀芯将中央侧与外缘侧之间开放，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。由此，抑制吸入时流体从第二平板的外缘泄漏。另一方面，在从第二平板的外缘排出流体时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间开放，第一阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。由此，抑制排出时流体朝第一平板的外缘返流引起的泄漏。

优选本发明的泵的第一平板的外缘被第一支承部件支承为能够振动。

在该结构中，抑制第一平板的振动的衰减。

另外，优选本发明的泵是如下的结构。优选第一平板与第一遮挡板相对置的区域处第一平板与第一遮挡板间的距离小于第一支承部件与第一遮挡板间的距离。第二平板与第一遮挡板相对置的区域处第二平板与第一遮挡板间的距离小于第二支承部件与第一遮挡板间的距离。

在该结构中，流路的在第一阀芯和第二阀芯的形成部处的高度低于流路的其他部分的高度，因此第一阀芯和第二阀芯容易堵住流路，整流效率变高。

另外，优选本发明的泵是如下的结构。泵具备第三平板、第三支承部件、第二遮挡板、第三通气孔、第三阀芯以及第四阀芯。第三平板配置于第一平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面。第三支承部件支承第三平板的外缘和侧壁并使第三平板能够振动。第二遮挡板配置于第一平板与第三平板之间，在第一平板、第三平板的外缘处，第二遮挡板与它们对置，第二遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第三通气孔在第三平板的外缘与侧壁之间形成。第三阀芯配置于第一平板与第二遮挡板相对置的区域。第四阀芯配置于第三平板与第二遮挡板相对置的区域。第三阀芯与第四阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。第一阀芯与第三阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。

在该结构中，由在吸入口与排出口之间串联连接的阀芯形成的整流部增加，增加压力。

另外，优选在本发明的泵中，第一平板或者第二平板在两主面配置有压电元件。

在该结构中，提高振动效率，提高压力、流量。

另外，优选在本发明的泵中，第一平板和第二平板配置有压电元件。

在该结构中，提高振动效率，提高压力、流量。

另外，优选在本发明的泵中，在所有的第一平板、第二平板以及第三平板上全都配置有压电元件。

在该结构中，进一步提高振动效率，进一步提高压力、流量。

另外，优选本发明的泵具备：第四平板、第四支承部件、第三遮挡版、第四通气孔、第五阀芯、第六阀芯。第四平板配置于第二平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面。第四支承部件支承第四平板的外缘和侧壁。第三遮挡板配置于第二平板与第四平板之间，在第二平板、第四平板的外缘处，第三遮挡板与它们对置，而且，第三遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第四通气孔形成在第四平板的外缘与侧壁之间。第五阀芯配置于第二平板与第三遮挡板相对置的区域。第六阀芯配置于第四平板与第二遮挡板相对置的区域。

第五阀芯与第六阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。第二阀芯与第五阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。

在该结构中，提高作为泵的压力和流量。

另外，优选在本发明的泵中，第四平板的外缘被第四支承部件支承为能够振动。

在该结构中，抑制第四平板的振动的衰减。

另外，优选在本发明的泵中是如下的结构。第一支承部件和第二支承部件由分别具有屈曲部的多个带状部件构成。第一通气孔由第一支承部件中的多个带状部件之间隙形成。第二通气孔由第二支承部件中的多个带状部件之间隙形成。

在该结构中，提高限制平板的振动的效果，增大平板的振动的位移。由此，提高泵性能。

另外，优选在本发明的泵中，第一支承部件薄于第一平板。

在该结构中，抑制第一支承部件造成的第一平板的振动的衰减。

另外，优选在本发明的泵中，第一支承部件由杨氏模量低于第一平板的材料构成。

在该结构中，抑制第一支承部件造成的第一平板的振动的衰减。

根据本发明，能够实现优异的泵特性。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的泵10的结构的剖视图。

图2的(A)是表示吸入时的泵10的动作的剖视图，图2的(B)是表示排出时的泵10的动作的剖视图。

图3是表示本发明的第二实施方式所涉及的泵10A的结构的剖视图。

图4的(A)是表示第二实施方式所涉及的泵10A的吸入时的动作的剖视图，图4的(B)是表示泵10A的排出时的动作的剖视图。

图5是表示本发明的第三实施方式所涉及的泵10B的结构的剖视图。

图6是表示本发明的第四实施方式所涉及的泵10C的结构的剖视图。

图7是表示本发明的第五实施方式所涉及的泵10D的结构的剖视图。

图8是表示本发明的第六实施方式所涉及的泵10E的结构的剖视图。

图9是表示本发明的第七实施方式所涉及的泵10F的结构的剖视图。

图10是表示本发明的第八实施方式所涉及的泵10G的结构的剖视图。

图11是表示本发明的第三实施方式的变形例所涉及的泵10H的结构的剖视图。

图12是表示本发明的第一实施方式的变形例所涉及的泵10I的结构的剖视图。

具体实施方式

参照图对本发明的第一实施方式所涉及的泵进行说明。图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的泵10的结构的剖视图。此外，在以下的各实施方式所示的各图中，为了使说明容易理解，将各个结构要素的形状局部地或者整体地夸张地来记载。

如图1所示，泵10具备：平板20、压电元件21、支承部件22、通气孔23、平板30、支承部件32、通气孔33、侧壁40、遮挡板500、薄膜阀61、薄膜阀62、接合部件71以及接合部件72。平板20与本发明的“第一平板”对应，平板30与本发明的“第二平板”对应。支承部件22与本发明的“第一支承部件”对应，支承部件32与本发明的“第二支承部件”对应。通气孔23与本发明的“第一通气孔”对应，通气孔33与本发明的“第二通气孔”对应。薄膜阀61与本发明的“第一阀芯”对应，薄膜阀62与本发明的“第二阀芯”对应。遮挡板500与本发明的“第一遮挡板”对应。

平板20是具有相互对置的一个主面和另一个主面的圆板。平板20由能够弯曲振动的材料和尺寸形成。弯曲振动是指将与板状部件面正交的方向作为振动方向的振动。另外，平板20由以规定的共振频率振动的材料和尺寸形成。

在平板20的外缘，离开平板20的外缘地配置有筒状的侧壁部件402。在平板20的外缘与侧壁部件402之间配置有支承部件22。

支承部件22在平板20的外缘的整周上配置。支承部件22与平板20的外缘、侧壁部件402连接。优选平板20、支承部件22以及侧壁部件402一体形成。

支承部件22由分别具有屈曲部的多个带状部件构成。多个带状部件具有分离的区域，该分离的区域成为通气孔23。

平板30配置于平板20的一个主面侧，离开平板20。平板30具有与平板20的一个主面对置的一个主面。平板30是圆板，与平板20具有大致相同的面积。平板30也由能够弯曲振动的材料和尺寸形成。平板30由以与平板20相同的共振频率振动的材料和尺寸形成。

平板30在外缘区域具有厚部301。厚部301是圆环状。

在平板30的外缘，离开平板30的外缘地配置有筒状的侧壁部件403。在平板30的外缘与侧壁部件403之间配置有支承部件32。

支承部件32在平板30的外缘的整周上配置。支承部件32与平板30的外缘、侧壁部件403连接。优选平板30、支承部件32、以及侧壁部件403一体形成。

支承部件32由分别具有屈曲部的多个带状部件构成。多个带状部件具有分离的区域，该分离的区域成为通气孔33。

压电元件21配置于平板20的另一个主面。

遮挡板500是圆环形。换而言之，遮挡板500是在中央具有开口的圆板。遮挡板500由基本上没有弯曲振动或形不成弯曲振动的刚性较高的材料构成。

遮挡板500配置于平板20与平板30之间。遮挡板500的内边缘侧的区域与平板20、平板30对置。在遮挡板500的靠内侧的区域具有厚部51。厚部51是圆环状，且同与平板20、平板30对置的区域大致重叠。

遮挡板500的外缘与筒状的侧壁部件401连接。此时，遮挡板500以较高的刚性固定，以便能够抑制上述的弯曲振动的产生。

侧壁部件401的底面与侧壁部件402的顶面抵接并接合。侧壁部件401的顶面与侧壁部件403的底面抵接并接合。侧壁40由侧壁部件401、侧壁部件402以及侧壁部件403形成。

薄膜阀61、薄膜阀62由具有挠性的材料构成。薄膜阀61、薄膜阀62由轻型且低刚性的材料实现。例如，薄膜阀61、薄膜阀62由聚酰亚胺、液晶聚合物、PET等树脂薄膜、金属箔等来实现。此外，薄膜阀61、薄膜阀62是树脂薄膜更佳。薄膜阀61、薄膜阀62是圆环形状。

薄膜阀61配置于平板20与遮挡板500相重叠的区域。薄膜阀61使用圆环形状的接合部件71而与平板20的另一个主面(与配置压电元件21面相反侧的面)接合。更具体而言，薄膜阀61中圆环形的靠外端侧的规定宽度的部分通过接合部件71来与平板20接合，内端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀61在内端侧的规定面积的区域能够振动的状态下，与平板20接合。

优选薄膜阀61的径向的长度中，除与接合部件71接合的区域以外的部分，比平板20与遮挡板500间的间隔(第一整流功能部的高度)长。

薄膜阀62配置于平板30与遮挡板500相重叠的区域。薄膜阀62使用圆环形状的接合部件72而与遮挡板500中与平板30对置的面接合。更具体而言，薄膜阀62中圆环形的靠内端侧的规定宽度的部分通过接合部件72而与遮挡板500接合，外端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀62在外端侧的规定面积的区域能够振动的状态下与遮挡板500接合。

优选薄膜阀62的径向的长度中，除与接合部件72接合的区域以外的部分，比平板30与遮挡板500间的间隔(第二整流功能部的高度)长。

根据这样的结构，泵10具有由平板20、平板30以及侧壁40围起的泵室101。并且，泵室101由中央区域、第一外缘区域、第二外缘区域构成。

作为一个例子，平板20的厚度是0.6mm，直径是φ14mm。压电元件21的厚度是0.15mm，直径是10.6mm。薄膜阀61、62中接合起来区域与能够振动的区域间的边界部能够设置于距泵室101的中心6.5mm的位置。此时，平板20以29.4kHz的频率振动。

中央区域是由平板20、平板30、遮挡板500、薄膜阀61、以及薄膜阀62围起的区域。第一外缘区域由薄膜阀61、支承部件22、侧壁40、遮挡板500围起，且是比薄膜阀61靠外侧的区域。第二外缘区域由薄膜阀62、支承部件32、侧壁40、遮挡板500围起，且是比薄膜阀62靠外侧的区域。

换而言之，中央区域与第一外缘区域夹着具有薄膜阀61的第一整流功能部连通，中央区域与第二外缘区域夹着具有薄膜阀62的第二整流功能部连通。

第一外缘区域通过通气孔23而与泵10中靠平板20侧的外部连通。第二外缘区域通过通气孔33而与泵10中靠平板30侧的外部连通。

在这样的结构中，泵10像如下这样动作。图2的(A)是表示第一实施方式所涉及的泵10的吸入时的动作的剖视图，图2的(B)是表示泵10的排出时的动作的剖视图。

(吸入时)

在平板20和平板30振动，如图2的(A)所示那样地从通气孔23吸入流体时，薄膜阀61的靠中央区域侧的压力低于薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力高于薄膜阀61的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀61的内端向平板20侧弯曲，例如，与平板20的另一个主面抵接。其结果为，第一外缘区域与中央区域之间开放。因此，具有薄膜阀61的第一整流功能部的流路阻力变低，从通气孔23吸入到第一外缘区域的流体从第一外缘区域顺畅地流入到中央区域。

另一方面，如图2的(A)所示，在从通气孔23吸入流体时，薄膜阀62的靠中央区域侧的压力高于薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力低于薄膜阀62的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀62的外端向平板30侧弯曲，例如，与平板30的一个主面抵接。其结果为，第二外缘区域与中央区域之间封闭。因此，具有薄膜阀62的第二整流功能部的流路阻力大幅度变高，抑制流体从第二外缘区域向中央区域返流。

(排出时)

在平板20和平板30振动，如图2的(B)所示那样地从通气孔33排出流体时，薄膜阀62的靠中央区域侧的压力高于薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力低于薄膜阀62的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀62的外端向遮挡板500侧弯曲，例如，与遮挡板500的主面抵接。其结果为，第二外缘区域与中央区域之间开放(连通)。因此，具有薄膜阀62的第二整流功能部的流路阻力变低，流体从中央区域向第二外缘区域流动，从通气孔33朝外部排出。

另一方面，如图2的(B)所示，从通气孔33排出流体时，薄膜阀61的靠中央区域侧的压力高于薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力低于薄膜阀61的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀61的内端向遮挡板500侧弯曲，例如，与遮挡板500的主面抵接。其结果为，第一外缘区域与中央区域之间封闭。因此，具有薄膜阀61的第一整流功能部的流路阻力大幅度变高，抑制流体从中央区域向第一外缘区域返流。

通过这样的结构，抑制流体吸入时和流体排出时的返流。由此，提高整流效率，提高流量和压力。即，提高泵10的泵特性。

并且，在本实施方式中，遮挡板500具有厚部51，由此具有薄膜阀61的第一整流功能部的高度(平板20与遮挡板500的距离)低于第一外缘区域等其他部分的高度。由此，在第一整流功能部封闭时，薄膜阀61容易与遮挡板500抵接。另外，平板30具有厚部301，由此具有薄膜阀62的第二整流功能部的高度(平板30与遮挡板500的距离)低于第二外缘区域等其他部分的高度。由此，在第二整流功能部封闭时，薄膜阀62容易与平板30抵接。因此，进一步提高整流效率，进一步提高泵10的泵特性。

此外，在本实施方式中，示出了将薄膜阀61与平板20接合的形态，但也可以薄膜阀61同遮挡板500中与平板20对置的面接合。另外，示出了将薄膜阀62与遮挡板500接合的形态，但也可以与平板30中的遮挡板500对置的面接合。

接下来，参照图对本发明的第二实施方式所涉及的泵进行说明。图3是表示本发明的第二实施方式所涉及的泵10A的结构的剖视图。图4的(A)是表示第二实施方式所涉及的泵10A的吸入时的动作的剖视图，图4的(B)是表示泵10A的排出时的动作的剖视图。

如图3所示，相对于第一实施方式所涉及的泵10，第二实施方式所涉及的泵10A在薄膜阀61、薄膜阀62的接合朝向相反这点上不同。泵10A的其他结构与泵10相同，省略相同的部位的说明。

薄膜阀61中靠内端侧的规定宽度的部分通过接合部件71来与平板20接合，靠外端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀61在外端侧的规定面积的区域能够振动的状态下，与平板20接合。

薄膜阀62中靠外端侧的规定宽度的部分通过接合部件72来与遮挡板500接合，靠内端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀62在内端侧的规定面积的区域能够振动的状态下，与遮挡板500接合。

在这样的结构中，泵10A像如下这样动作。

(吸入时)

如图4的(A)所示，在平板20和平板30振动，从通气孔33吸入流体时，薄膜阀62的靠中央区域侧的压力低于薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力高于薄膜阀62的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀62的内端向遮挡板500侧弯曲，例如与遮挡板500的主面抵接。其结果为，第二外缘区域与中央区域之间开放(连通)。因此，具有薄膜阀62的第二整流功能部的流路阻力变低，从通气孔33吸入到第二外缘区域的流体从第二外缘区域顺畅地流入到中央区域。

另一方面，如图4的(A)所示，在从通气孔33吸入流体时，薄膜阀61的靠中央区域侧的压力低于薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力高于薄膜阀61的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀61的外端向遮挡板500侧弯曲，例如与遮挡板500的主面抵接。其结果为，第一外缘区域与中央区域之间封闭。因此，具有薄膜阀61的第一整流功能部的流路阻力大幅度变高，抑制流体从第一外缘区域向中央区域返流。

(排出时)

如图4的(B)所示，在平板20和平板30振动，从通气孔23排出流体时，薄膜阀61的靠中央区域侧的压力高于薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀61的靠第一外缘区域侧的压力低于薄膜阀61的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀61的外端向平板20侧弯曲，例如与平板20的另一个主面抵接。其结果为，第一外缘区域与中央区域之间开放。因此，具有薄膜阀61的第一整流功能部的流路阻力变低，流体从中央区域向第一外缘区域流动，从通气孔23朝外部排出。

另一方面，如图4的(B)所示，在从通气孔23排出流体时，薄膜阀62的靠中央区域侧的压力高于薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力。换而言之，薄膜阀62的靠第二外缘区域侧的压力低于薄膜阀62的靠中央区域侧的压力。

由此，薄膜阀62的内端向平板30侧弯曲，例如，与平板30的一个主面抵接。其结果为，第二外缘区域与中央区域之间封闭。因此，具有薄膜阀62的第二整流功能部的流路阻力大幅度变高，抑制流体从中央区域向第二外缘区域返流。

接下来，参照图对本发明的第三实施方式所涉及的泵进行说明。图5是表示本发明的第三实施方式所涉及的泵10B的结构的剖视图。

如图5所示，相对于第二实施方式所涉及的泵10A，第三实施方式所涉及的泵10B在使泵室为两层这点上不同。泵10B的构造的局部与泵10A相同，省略相同的部位的说明。此外，泵10B的遮挡板501与泵10A的遮挡板500相同。另外，支承部件321与支承部件32相同，通气孔331与通气孔33相同。

泵10B具备平板50、薄膜阀63、薄膜阀64、接合部件73、接合部件74、压电元件211、压电元件212、支承部件322、通气孔332、侧壁部件405、侧壁部件406以及遮挡板502。平板50与本发明的“第三平板”对应，遮挡板502与本发明的“第二遮挡板”对应。薄膜阀63与本发明的“第三阀芯”对应，薄膜阀64与本发明的“第四阀芯”对应。支承部件322与本发明的“第三支承部件”对应。通气孔332与本发明的“第三通气孔”对应。

平板20在外缘区域具有厚部201。厚部201是圆环状。

压电元件211和压电元件212与压电元件21相同。压电元件211配置于平板20的另一个主面，压电元件212配置于平板20的一个主面。即，平板20在两主面配置压电元件。压电元件211和压电元件212配置于平板20的中央的薄厚部。压电元件211与压电元件212被反相驱动。

平板50配置于平板20的另一个主面侧，离开平板20。平板50具有与平板20的另一个主面对置的一个主面。平板50是圆板，与平板20具有大致相同的面积。平板50也由能够弯曲振动的材料和尺寸形成。平板50由以与平板20相同的共振频率振动的材料和尺寸形成。

平板50在外缘区域具有厚部511。厚部511是圆环状。

在平板50的外缘，离开平板50的外缘地配置有筒状的侧壁部件406。在平板50的外缘与侧壁部件406之间配置有支承部件322。

支承部件322在平板50的外缘的整周配置。支承部件322与平板50的外缘、侧壁部件406连接。优选平板50、支承部件322以及侧壁部件406一体形成。

支承部件322由分别具有屈曲部的多个带状部件构成。多个带状部件具有分离的区域，该分离的区域成为通气孔332。

遮挡板502是圆环形。换而言之，遮挡板502是在中央具有开口的圆板。遮挡板502由基本上没有弯曲振动、或形不成弯曲振动的刚性较高的材料构成。

遮挡板502配置于平板20与平板50之间。遮挡板502的靠内边缘侧的区域与平板20、平板50对置。

遮挡板502的外缘与筒状的侧壁部件405连接。此时，遮挡板502以较高的刚性固定，以便能够抑制上述的弯曲振动的产生。

侧壁部件405的底面与侧壁部件406的顶面抵接并接合，侧壁部件405的顶面与侧壁部件402的底面抵接并接合。由该侧壁部件401、侧壁部件402、侧壁部件403、侧壁部件405、以及侧壁部件406来形成侧壁40B。

薄膜阀63、薄膜阀64与薄膜阀61、薄膜阀62相同。

薄膜阀63配置于平板20的厚部201与遮挡板502相重叠的区域。薄膜阀63使用圆环形状的接合部件73来与遮挡板502的一个主面接合。更具体而言，薄膜阀63中圆环形的外端侧的规定宽度的部分通过接合部件73来与遮挡板502接合，内端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀63在内端侧的规定面积的区域能够振动的状态下，与遮挡板502接合。这样，薄膜阀63的接合的朝向(固定的朝向)与薄膜阀61相反。

优选薄膜阀63的径向的长度中，除与接合部件73接合的区域以外的部分，比平板20的厚部201与遮挡板502间的间隔(第三整流功能部的高度)长。

薄膜阀64配置于平板50的厚部511与遮挡板502相重叠的区域。薄膜阀64使用圆环形状的接合部件74来与平板50的一个主面接合。更具体而言，薄膜阀64中圆环形的内端侧的规定宽度的部分通过接合部件74来与平板50接合，外端侧的区域没有接合。由此，薄膜阀64在外端侧的规定面积的区域能够振动的状态下与平板50接合。

优选薄膜阀64的径向的长度中，除与接合部件74接合的区域以外的部分，比平板50的厚部511与遮挡板502间的间隔(第四整流功能部的高度)长。

根据这样的结构，泵10B不仅具有泵10A的泵室101，还具有由平板20、平板50、以及侧壁40B围起的泵室102。并且，泵室102由中央区域、第三外缘区域、第四外缘区域构成。

中央区域是由平板20、平板50、遮挡板502、薄膜阀63以及薄膜阀64围起的区域。第三外缘区域是由薄膜阀63、支承部件22、侧壁40B、遮挡板502围起，且比薄膜阀63靠外侧的区域。第四外缘区域是由薄膜阀64、支承部件322、侧壁40B、遮挡板502围起，且比薄膜阀64靠外侧的区域。

换而言之，中央区域与第三外缘区域夹着具有薄膜阀63的第三整流功能部连通，中央区域与第四外缘区域夹着具有薄膜阀64的第四整流功能部连通。

第三外缘区域通过通气孔23而与第一外缘区域连通。第四外缘区域通过通气孔332而与泵10B的靠平板50侧的外部连通。

根据这样的结构，泵10B成为将泵10A的结构串联连接而得的构造。由此，提高压力和流量，泵10B能够实现更优异的泵特性。

并且，泵10B利用双压电晶片驱动平板20。因此，对于泵10B而言，提高驱动效率，且能够实现更优异的泵特性。

此外，泵10B的由压电元件振动的平板是一个。由此，不产生在多个平板配置压电元件时的振动的频率偏差。因此，泵10B能够容易地实现稳定的振动。

另外，在本实施方式的泵10B中，示出了两级串联结构构成的形态，但也可以是三级以上串联结构。

接下来，参照图对本发明的第四实施方式所涉及的泵进行说明。图6是表示本发明的第四实施方式所涉及的泵10C的结构的剖视图。

如图6所示，相对于第三实施方式所涉及的泵10B，第四实施方式所涉及的泵10C在代替压电元件211和压电元件212而配置压电元件213、和压电元件214这点上不同。泵10C的其他结构与泵10B相同，省略相同的部位的说明。此外，侧壁40C与侧壁40B相同。

压电元件213和压电元件214与压电元件211和压电元件211是相同的结构。压电元件213配置于平板30的另一个主面。压电元件214配置于平板50的另一个主面。即，在图6的结构中，平板30为“第一平板”，平板20为“第二平板”，平板50为“第四平板”。而且，薄膜阀61和薄膜阀62为“第一阀芯”和“第二阀芯”，薄膜阀63和薄膜阀64为“第五阀芯”和“第六阀芯”。

根据这样的结构，泵10C能够实现与泵10B相同的泵特性。

接下来，参照图对本发明的第五实施方式所涉及的泵进行说明。图7是表示本发明的第五实施方式所涉及的泵10D的结构的剖视图。

如图7所示，第五实施方式所涉及的泵10D相对于第一实施方式所涉及的泵10，在追加有压电元件212这点上不同。泵10D的其他结构与泵10相同，省略相同的部位的说明。此外，泵10D的压电元件211与泵10的压电元件21相同。

压电元件211配置于平板20的一个主面。压电元件212配置于平板20的另一个主面。压电元件211与压电元件212被反相驱动。即，平板20被双压电晶片驱动。

根据这样的结构，泵10D能够实现与泵10相同的泵特性。并且，平板20被双压电晶片驱动，由此提高驱动效率，泵10D能够实现更优异的泵特性。

接下来，参照图对本发明的第六实施方式所涉及的泵进行说明。图8是表示本发明的第六实施方式所涉及的泵10E的结构的剖视图。

如图8所示，相对于第一实施方式所涉及的泵10，第六实施方式所涉及的泵10E在追加有压电元件213这点上不同。泵10E的其他结构与泵10相同，省略相同的部位的说明。

压电元件213配置于平板30的另一个主面。压电元件21与压电元件213被同相地驱动。即，泵10E具有两个被压电元件强制驱动的能动的振动板。

根据这样的结构，泵10E能够实现与泵10相同的泵特性。并且，泵10E具备两个振动板，由此能够增大泵室101的位移。由此，泵10E能够进一步提高流量、压力。

接下来，参照图对本发明的第七实施方式所涉及的泵进行说明。图9是表示本发明的第七实施方式所涉及的泵10F的结构的剖视图。

如图9所示，相对于第六实施方式所涉及的泵10E，在第七实施方式所涉及的泵10F追加有压电元件212和压电元件214这点上不同。泵10F的其他结构与泵10E相同，省略相同的部位的说明。此外，压电元件211与压电元件21相同。换而言之，泵10F具备将泵10D的结构与泵10E的结构组合而得的结构。

压电元件212配置于平板20的另一个主面。压电元件214配置于平板30的一个主面。

根据这样的结构，泵10F能够实现与泵10E相同的泵特性。并且，泵10F被双压电晶片驱动两个振动板，由此提高驱动效率，提高泵特性。

接下来，参照图对本发明的第八实施方式所涉及的泵进行说明。图10是表示本发明的第八实施方式所涉及的泵10G的结构的剖视图。

如图10所示，相对于第三实施方式所涉及的泵10B，第八实施方式所涉及的泵10G在追加有压电元件213、压电元件214、压电元件215、压电元件216这点上不同。泵10G的其他结构与泵10B相同，省略相同的部位的说明。此外，侧壁40G与侧壁40B相同。

压电元件213配置于平板30的另一个主面。压电元件214配置于平板30的一个主面。

压电元件215配置于平板50的另一个主面，压电元件216配置于平板50的一个主面。

根据这样的结构，泵10G能够实现与泵10B相同的泵特性。并且，在泵10G中，在所有的平板配置压电元件，双压电晶片驱动所有的平板。由此，对于泵10G而言，位移较大，而且，提高驱动效率，进一步提高泵特性。

图11是表示本发明的第三实施方式的变形例所涉及的泵10H的结构的剖视图。相对于第三实施方式所涉及的泵10B，在薄膜阀63、64构造、接合部件73、74的构造、以及在侧壁部件405上具有通气孔450这点上不同。泵10H的其他结构与泵10B相同，省略相同的部位的说明。

如图11所示，对于薄膜阀63、64而言，与图5的泵10B相比，可动部的位置配置得内外相反。由此，与图5的泵10B相比，接合部73、74也配置得内外相反。

另外，在侧壁部件405具备与外部连通的通气孔450。

通过使用上述的结构，从而使泵10H成为将泵10A并联连接而得的构造。由此，泵10H的压力和流量提高。即，能够进一步实现优异的泵特性。另外，与泵10B相比，降低压力。然而提高流量。

通气孔450也可以并不是形成于侧壁部件405，而是形成于侧壁部件402和侧壁部件406中任一者。另外，通气孔450也可以形成于侧壁部件402、405、406多个部件。特别是，通气孔450与厚部201形成在同一平面上的情况下，泵10H可以在厚部201处上下对称性良好。由此，减少气流的紊乱，减少能量损失。

此外，也可以是所有的薄膜阀内外相反。该情况下，能够声场相反方向的气流。

图12是表示本发明的第一实施方式的变形例所涉及的泵10I的结构的剖视图。相对于第一实施方式所涉及的泵10，在涂覆有涂敷剂600这点上不同。泵10I的其他结构与泵10相同，省略相同的部位的说明。

如图12所示，涂敷剂600涂覆在平板20、30、以及遮挡板500的，与薄膜阀61、62的可动区域对抗的区域。

通过这样结构，来抑制薄膜阀61、62与平板20、30、遮挡板500接触引起的损伤。

此外，涂敷剂的主成分只要是像硅酮橡胶、PTFE那样，杨氏模量比平板20、30以及遮挡板500低的树脂即可。对于这些涂敷剂而言，杨氏模量较低，因此能够缓和薄膜阀接触时的冲击，并抑制薄膜阀的损伤。

此外，更优选涂敷剂600以氟或二硫化钼为主成分。这些涂敷剂的表面具有润滑性，因此也能够抑制薄膜阀61、62与平板20、30、以及遮挡板500的摩擦引起的损伤。

此外，涂敷剂600也可以涂覆在所有的平板20、30以及遮挡板500。即便仅涂覆在一部分部件也能够获得相同的效果。

此外，上述的各实施方式的结构能够适当地组合，能够起到与各自的组合对应的作用效果。

附图标记说明

10、10A、10B、10C、10D、10E、10F、10G…泵；20、30、50…平板；21、211、212、213、214、215、216…压电元件；22、32、321、322…支承部件；23、33、331、332…通气孔；40、40B、40C、40G…侧壁；51、201、301、511…厚部；61、62、63、64…薄膜阀；71、72、73、74…接合部件；101、102…泵室；401、402、403、405、406…侧壁部件；450…通气孔；500、501、502…遮挡板。

Claims (13)

1.一种泵，其特征在于，具备：

第一平板，其具有相互对置的一个主面和另一个主面；

第二平板，其具有与所述第一平板的一个主面对置的一个主面；

压电元件，其配置于所述第一平板；

侧壁，其配置于比所述第一平板和所述第二平板的外缘靠外侧的位置；

第一支承部件，其支承所述第一平板的外缘与所述侧壁；

第二支承部件，其支承所述第二平板的外缘与所述侧壁；

第一遮挡板，其配置于所述第一平板与所述第二平板之间，在所述第一平板、所述第二平板的外缘处，与所述第一平板、所述第二平板对置，该第一遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；

第一通气孔，其形成在所述第一平板的外缘与所述侧壁之间；

第二通气孔，其形成在所述第二平板的外缘与所述侧壁之间；

第一阀芯，其配置于所述第一平板与所述第一遮挡板相对置的区域；以及

第二阀芯，其配置于所述第二平板与所述第一遮挡板相对置的区域，

所述第一阀芯与所述第二阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。

2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，

所述第一平板的外缘被所述第一支承部件支承为能够振动。

3.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一平板与所述第一遮挡板间的在所述第一平板与所述第一遮挡板相对置的区域处的距离小于所述第一支承部件与所述第一遮挡板间的距离。

4.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第二平板与所述第一遮挡板间的在所述第二平板与所述第一遮挡板对置的区域处的距离小于所述第二支承部件与所述第一遮挡板间的距离。

5.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，具备：

第三平板，其配置于所述第一平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面；

第三支承部件，其支承所述第三平板的外缘和所述侧壁；

第二遮挡板，其配置于所述第一平板与所述第三平板之间，在所述第一平板、所述第三平板的外缘处，该第二遮挡板与它们对置，该第二遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；

第三通气孔，其形成在所述第三平板的外缘与所述侧壁之间；

第三阀芯，其配置于所述第一平板与所述第二遮挡板相对置的区域；以及

第四阀芯，其配置于所述第三平板与所述第二遮挡板相对置的区域，

所述第三阀芯与所述第四阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定，

所述第一阀芯与所述第三阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。

6.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一平板或所述第二平板在两主面配置有压电元件。

7.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一平板和所述第二平板配置有压电元件。

8.根据权利要求5所述的泵，其特征在于，

在所述第一平板、所述第二平板、以及所述第三平板都配置有压电元件。

9.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，具备：

第四平板，其配置于所述第二平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面；

第四支承部件，其支承所述第四平板的外缘和所述侧壁；

第三遮挡板，其配置于所述第二平板与所述第四平板之间，在所述第二平板和所述第四平板的外缘处，该第三遮挡板与它们对置，而且，该第三遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；

第四通气孔，其在所述第四平板的外缘与所述侧壁之间形成；

第五阀芯，其配置于所述第二平板与所述第三遮挡板相对置的区域；以及

第六阀芯，其配置于所述第四平板与所述第三遮挡板相对置的区域，

所述第五阀芯与所述第六阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定，

所述第二阀芯与所述第五阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。

10.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，

所述第四平板的外缘被所述第四支承部件支承为能够振动。

11.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一支承部件和所述第二支承部件由分别具有屈曲部的多个带状部件构成，

所述第一通气孔由所述第一支承部件中多个带状部件间的间隙形成，

所述第二通气孔由所述第二支承部件中多个带状部件间的间隙形成。

12.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一支承部件比所述第一平板薄。

13.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，

所述第一支承部件由杨氏模量低于所述第一平板的材料构成。

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