JP6551636B1

JP6551636B1 - バルブ、アプリケーション機器

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Publication number: JP6551636B1
Application number: JP2019520758A
Authority: JP
Inventors: 憲一郎川村
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-12-22
Filing date: 2018-10-22
Publication date: 2019-07-31
Anticipated expiration: 2038-10-22
Also published as: CN113864168A; US11408524B2; JPWO2019123819A1; US20220333704A1; WO2019123819A1; US20200217426A1; CN110546415B; CN110546415A; CN113864168B

Abstract

バルブ（１０）は、流入口（Ｈ１）と第１弁座（ＶＳ）を有する第１ケース部材（１０１）と、排気口（Ｈ２）と吐出口（Ｈ３）を有する第２ケース部材（１０５）と、第１ケース部材（１０１）と第２ケース部材（１０５）とを、第１接着部材（３００）で接着することによって形成されたバルブ室と、バルブ室を流入口（Ｈ１）と連接する下バルブ室（１０６）と、吐出口（Ｈ３）と排気口（Ｈ２）とを連接する上バルブ室（１０７）と、に分離するように形成されているダイヤフラム（１５０）と、を備える。ダイヤフラム（１５０）は、第１開口部（１１１）を有し、第１開口部（１１１）の周囲が第１弁座（ＶＳ）に接触するように、バルブ室内に配置されており、ダイヤフラム（１５０）の外周は、ケースの内部に位置するように、第１接着部材（３００）で第１ケース部材（１０１）及び第２ケース部材（１０５）の少なくとも一方に固定されている。

Description

この発明は、ポンプ等に用いられる、流体の流れを制御するバルブに関する。

従来、ポンプに、バルブを接続し、流体の流れを制御するための技術が各種実用化されている。

特許文献１においては、バルブ内に配置されているダイヤフラムの外周端を両面テープでケースに固定し、該ダイヤフラムの変形を利用して、流体の流れを制御するバルブが用いられている。

特開２０１７−２６１５５号公報

しかしながら、特許文献１のバルブでは、ダイヤフラムの外周端がケースの側面から外部に露出している。このため、バルブ室内にかかる圧力と外圧との差によって、外周端に大きな負荷がかかり、経年劣化等によってダイヤフラムの外周端がケースから剥離し、バルブ室内の流体が外部へ漏れることがある。これにより、バルブの信頼性が低下する虞がある。

したがって、本発明の目的は、バルブの信頼性を向上させる構造を提供することである。

この発明におけるバルブは、流入口と第１弁座を有する第１ケース部材と、排気口と吐出口を有する第２ケース部材と、少なくとも一方が凹形状を有する、第１ケース部材と第２ケース部材とを、凹形状を内側にして第１接着部材で接着することによって形成されたバルブ室と、バルブ室を流入口と連接する下バルブ室と、吐出口と排気口とを連接する上バルブ室と、に分離するように形成されているダイヤフラムと、を備える。

ダイヤフラムは、第１開口部を有し、第１開口部の周囲が第１弁座に接触するように、バルブ室内に配置されており、第１ケース部材と、第２ケース部材とで形成されるケースを厚み方向に視て、ダイヤフラムの平面面積は、ケースの平面面積よりも小さい。また、ダイヤフラムの外周は、ケースの内部に位置するように、第１接着部材で第１ケース部材及び第２ケース部材の少なくとも一方に固定されている。

この構成では、ダイヤフラムの外周端が第１接着部材で覆われることにより、ダイヤフラムが、バルブ（ケース）の外部に露出しない。このことから、ダイヤフラムの接着面は、外圧とポンプ室内の圧力との影響をうけず、接着面の破断（剥離）等による、バルブ室内の流体の外部への漏れを抑制できる。

この発明におけるバルブは、第１ケース部材と第２ケース部材との間に、補強板を備えていることが好ましい。また、第１接着部材は、補強板と第１ケース部材、補強板と第２ケース部材と、をそれぞれ接着していることが好ましい。また、第１ケース部材と第２ケース部材との接着強度よりも第１ケース部材または第２ケース部材と補強板との接着強度の方が高いことが好ましい。

この構成では、第１ケース部材と、第２ケース部材との引っ張り接着強度が向上する。

この発明におけるバルブの補強板は金属であることが好ましい。

この構成では、補強板と第１ケース部材、および、補強板と第２ケース部材の引っ張り接着強度が向上する。

この発明におけるバルブが備えるダイヤフラムは、弾性膜と、支持板と、弾性膜と支持板とを接着する第２接着部材とを備えていることが好ましい。支持板は、ダイヤフラムの厚み方向に対する振動方向において、弾性膜よりも曲げ剛性が高いことが好ましい。

この構成では、ダイヤフラムの変形量を調整できる。このことから、ダイヤフラムの破れを抑制できる。

この発明におけるバルブが備える支持板は、厚み方向における、排気口に対向する位置に、第３開口部を備えていても良い。

この構成では、ダイヤフラムの排気口に対向する部分を変形しやすくしながら、他の部分の変形を抑制できる。

この発明におけるバルブが備える支持板は、第２開口部を有する第２接着部材を介して、弾性膜に当接するように形成されており、第３開口部は、第２開口部に対向するように形成されていることが好ましい。

この構成では、第２接着部材を用いて、支持板と弾性膜とを確実に固定できる。また、弾性膜における薄厚部が対向する箇所において、第３開口部を備えていることによって、弾性膜の動きを抑制しない。

この発明のバルブにおいて、支持板が備える第２開口部の断面積は、ダイヤフラムが備える第３開口部の断面積よりも大きいことが好ましい。

この構成では、ダイヤフラムの排気口の部分の動きを抑制しにくい。

この発明におけるバルブが備える支持板は、排気口に対向する部分の厚さが薄い、薄厚部を備えていることが好ましい。

この構成では、ダイヤフラムの排気口に対向する部分の変位量が最も大きくなる。ダイヤフラムの他の部分における変位量を抑制できる。

この発明におけるバルブが備える支持板は、第２開口部を有する第２接着部材を介して、弾性膜に当接するように形成されており、薄厚部は、第２開口部に対向するように形成されていることが好ましい。

この構成では、第２接着部材を用いて、支持板と弾性膜とを確実に固定できる。また、弾性膜における薄厚部が対向する箇所において、薄厚部の厚みが薄いことによって、弾性膜の動きを抑制しない。

この発明におけるバルブの弾性膜は、ゴム材であることが好ましい。

この構成では、弾性膜の弾性力を高くすることができ、より精度の高いバルブを実現できる。また、ダイヤフラムの形成が容易である。

この発明におけるバルブの支持板は、金属であることが好ましい。

この構成では、第２接着部材が両面テープであった場合に、支持板と第２接着部材との接着力が向上する。

この発明におけるバルブにおいて、流入口と吐出口とは、流入口からの流入状態において、ダイヤフラムで塞がれ、吐出口からの流出状態において、連通していることが好ましい。

この構成では、吐出口から流入口への逆流を防止できる。

また、この発明のバルブは、流入口に接続されているポンプと、吐出口に接続されているカフとを備え、アプリケーション機器に用いられる。

この構成では、アプリケーション機器の性能が向上する。アプリケーション機器は、例えば、血圧計、マッサージ器、吸引器、および、陰圧閉鎖療法装置等である。

この発明によれば、バルブの信頼性が向上する。

図１は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図２は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０に、ポンプ２０を接続した場合の概要斜視図である。図３は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図４は本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の一部構成を示す図である。図５は本発明の第２の実施形態に係るバルブ１０Ａの側面断面図である。図６は本発明の第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂの側面断面図である。図７は本発明の第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃの一部構成を示す図である。図８は本発明の第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄの一部構成を示す図である。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０に、ポンプ２０を接続した場合の概要斜視図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の側面断面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係るバルブ１０の一部構成を示す図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。

図１、図２に示すように、ポンプ２０と、バルブ１０とは、それぞれの厚み方向に沿って積層されている。すなわち、ポンプ２０、バルブ１０の順に積層される方向と厚み方向は同じである。バルブ１０は、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５の順に厚み方向に対して、積層されている。

第１ケース部材１０１は、略平板状であり、厚み方向に平面視した略中央となる位置に、流入口Ｈ１を有する。ポンプ２０は、流入口Ｈ１に当接するように接続されている。また、第１ケース部材１０１は、第１弁座ＶＳを有する。第１弁座ＶＳは、ポンプ２０に当接する面と反対側の面から突出する形状である。

第２ケース部材１０５は、厚み方向に平面視した中央に凹みを有する。該凹みの底部には、外部に連通する排気口Ｈ２と、吐出口Ｈ３を有する。

第１ケース部材１０１は、第２ケース部材１０５の凹みの開口面を覆うように配置されている。この構造により、第１ケース部材１０１と第２ケース部材１０５とに囲まれるバルブ室が形成される。

なお、第２ケース部材１０５には、ボス１６０が形成されている。ボス１６０は、厚み方向に立設しており、ボス１６０の天面は、第１ケース部材１０１に当接している。このことにより、バルブ室内の高さを精度よく実現でき、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とを確実に固定できる。

第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とで形成されるケース内部には、ダイヤフラム１５０が配置されている。

ダイヤフラム１５０は、支持板１０２と、第２接着部材１０３と、弾性膜１０４とからなる。また、ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１側から、支持板１０２、第２接着部材１０３、弾性膜１０４の順に配置されている。支持板１０２は、第２接着部材１０３を介して、弾性膜１０４に当接するように形成されている。

より具体的にダイヤフラム１５０の固定構造を説明する。ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との間に、第１接着部材３００で固定されている。この際、厚み方向に平面視した場合、ダイヤフラム１５０の外周端は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５で形成された、ケースの内部に含まれる形状である。

すなわち、厚み方向に平面視した場合、ダイヤフラム１５０の平面面積は、ケースの平面面積よりも小さい形状である。

したがって、バルブ室は、第１接着部材３００で、固定されたダイヤフラム１５０によって、下バルブ室１０６と、上バルブ室１０７とに分離される。

また、第１接着部材３００は、例えば、シリコン接着剤である。第１接着部材３００が、シリコン接着剤であることにより、第１ケース部材１０１と、ダイヤフラム１５０と、第２ケース部材１０５とをより確実に固定できる。さらに、第１接着部材３００は、ダイヤフラム１５０の不要な振動を吸収し、より安定したバルブ１０を実現できる。

より詳細なダイヤフラム１５０の構成について説明する。弾性膜１０４は、第１開口部１１１を備える。第２接着部材１０３は、第２開口部１１２Ｒ、１１２Ｌを有する。支持板１０２は、第３開口部１１３Ｒ、１１３Ｌを有する。

弾性膜１０４は、例えばゴム材である。弾性膜１０４がゴム材であることにより、弾性力を高くすることができ、より動作効率の高いバルブ１０を実現できる。

また、支持板１０２は、弾性膜１０４に対して、厚み方向に弾性率が高い、すなわち、曲げ剛性が高い部材であることが好ましい。例えば、ＳＵＳ、アルミニウム、銅、樹脂をメッキ加工した部材である。なお、曲げ剛性が高いとは、ヤング率が大きいことを意味する。支持板１０２の曲げ剛性は、支持板１０２の断面２次モーメントＩと、支持板１０２を構成する材料のヤング率Ｅの積で表される。すなわち、曲げ剛性（Ｎ・ｍ^２）＝断面２次モーメントＩ（ｍ^４）×ヤング率Ｅ（Ｐａ）の式で表される。

支持板１０２、および、弾性膜１０４が、上述の部材を用いて構成されている場合、支持板１０２と弾性膜１０４とを固定する第２接着部材１０３は、両面テープであることが好ましい。このことによって、支持板１０２と弾性膜１０４とをより確実に固定できる。

弾性膜１０４の第１開口部１１１は、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｒに重なる。第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｒは、支持板１０２の第３開口部１１３Ｒに重なる。すなわち、第１開口部１１１と、第２開口部１１２Ｒと、第３開口部１１３Ｒとは、重なる。第１開口部１１１と、第２開口部１１２Ｒと、第３開口部１１３Ｒとが、重なる空間に、第１弁座ＶＳが配置されている。第１弁座ＶＳは、流入口Ｈ１から流体が下バルブ室１０６に流入していない状態で、弾性膜１０４の第１開口部１１１に当接する。

なお、第１弁座ＶＳが形成されていることにより、バルブ１０の形成時の第１ケース部材１０１と、ダイヤフラム１５０と、第２ケース部材１０５の形成位置決めを正確に行うことができる。また、第１弁座ＶＳは、第１開口部１１１に当接する箇所でＲ面取りされていることが好ましい。このことによって、バルブ１０が稼働する際の弾性膜１０４の破れ等を抑制できる。

第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、支持板１０２の第３開口部１１３Ｌに対向する。また、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、弾性膜１０４を挟んで、第２ケース部材１０５の排気口Ｈ２に対向する位置に形成されている。すなわち、第２開口部１１２Ｌと、第３開口部１１３Ｌと、排気口Ｈ２とは、平面視して重なっている。

図２に示すように、バルブ１０は、ポンプ２０に接続されて用いられる。バルブ１０は、ポンプ２０から流入した流体を、バルブ１０に接続した、図示しないカフ等に送り出す。

ポンプ２０を駆動させた時の動作について、具体的に説明する。流体は、ポンプ２０は、圧電体を駆動することによって、流体をバルブ１０の流入口Ｈ１に流入させる。流体が下バルブ室１０６に流入すると、下バルブ室１０６は、上バルブ室１０７よりも高圧になり、ダイヤフラム１５０が変形して、第１開口部１１１が第１弁座ＶＳから離間する。これにより、流体は、下バルブ室１０６から第３開口部１１３Ｒと第２開口部１１２Ｒを通り、第１開口部１１１に流入する。

流体は、第１開口部１１１を介して、上バルブ室１０７に流入し、吐出口Ｈ３から、図示しないカフ等に流出する。すなわち、ポンプ２０を駆動させた際、流入口Ｈ１と吐出口Ｈ３とは、連通している。

一方、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とは、変形したダイヤフラム１５０が、排気口Ｈ２と吐出口Ｈ３との間の壁に当接し、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２との間を塞ぐ。

ポンプ２０を制動させた時の動作について、具体的に説明する。ポンプ２０が制動することにより、ポンプ２０内の圧力が大気開放され、上バルブ室１０７は、下バルブ室１０６よりも高圧になる。これによって、図示しないカフ等内の流体は、吐出口Ｈ３を介して、上バルブ室１０７に流入する。ダイヤフラム１５０は、下バルブ室１０６側に膨らむように変形し、第１開口部１１１は、第１弁座ＶＳに当接する。また、ダイヤフラム１５０は、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２の間の壁から離間し、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とが連通する。すなわち、ポンプ２０を制動させた際の流入口Ｈ１と吐出口Ｈ３とは、塞がれる。一方、吐出口Ｈ３と排気口Ｈ２とは連通する。

ポンプ２０を制動させた時のバルブ１０の動作について、図３を用いて、より具体的に説明する。ポンプ２０を制動させた時、図示しないカフ等から流体ＦＬが吐出口Ｈ３に流入する。流体ＦＬは、排気口Ｈ２から流出する。

この際、上述のとおり、弾性膜１０４のポンプ２０側、すなわち厚み方向とは逆方向に圧力Ｐ２がかかる。

ダイヤフラム１５０は、弾性膜１０４の変位とともに変位する。この際、ダイヤフラム１５０の外周にかかる圧力Ｐ１は、吐出口Ｈ３と対向する位置にかかる圧力Ｐ２よりも大きい。このことから、従来の構成であれば、経年劣化等により、ダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５から破断（剥離）しやすい。

しかしながら、本発明におけるダイヤフラム１５０は、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との界面に露出していない。このため、外気圧とバルブ室の圧力との差圧による応力が生じず、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５に対する剥離が起こりにくい。したがって、外気圧の影響を受けず、下バルブ室１０６と上バルブ室１０７の内部における流体が、バルブ１０の外部へ漏れることを抑制できる。

また、図４は、支持板１０２と、第２接着部材１０３とを厚み方向に平面視した図である。第２開口部１１２Ｒ、１１２Ｌを厚み方向に平面視した時の第２開口部１１２Ｌの開口面積を開口面積Ｓ１とする。同様に、第３開口部１１３Ｌを厚み方向に平面視した時の第３開口部１１３Ｌの開口面積を開口面積Ｓ２とする。

開口面積Ｓ１＞開口面積Ｓ２であることにより、第３開口部１１３Ｌが無い場合と比較して、排気口Ｈ２に重なる部分での変位量を大きくでき、弾性膜１０４の他の部分の変位量を調整することができる。

弾性膜１０４の排気口Ｈ２に重なる面積の部分の変位に必要な変位量確保しながら、弾性膜１０４が変形して、下バルブ室１０６への過剰な変形を抑制することができる。すなわち、弾性膜１０４の破れを抑制することができる。

この構成を用いることによって、信頼性が高い、バルブの構造を実現できる。

また、バルブ１０は、流入口Ｈ１に接続されるポンプ２０と、吐出口Ｈ３に接続されるカフ等を用いたアプリケーション機器として用いられる。なお、バルブ１０は、加圧する部分である。アプリケーション機器とは、例えば、血圧計、マッサージ器、吸引器、および、陰圧閉鎖療法装置等である。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係るバルブ１０Ａの側面断面図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。

図５に示すように、第２の実施形態に係るバルブ１０Ａは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、補強板１２０を備えている点において異なる。バルブ１０Ａの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

補強板１２０は、厚み方向において、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との間に形成されている。補強板１２０と第１ケース部材１０１とは両面テープや接着剤等で接着されており、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５とは、補強板１２０を介して、第１接着部材３００で接着される。

補強板１２０は、金属板である。

なお、第１接着部材３００を用いることによって、金属同士である補強板１２０と支持板１０２との接着力が高くなる。

したがって、この構成を用いることで、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との接着強度を高めることができ、第１ケース部材１０１と、第２ケース部材１０５との剥離を抑制することができる。なお、接着強度とは、引っ張り接着強度である。

また、補強板１２０と、支持板１０２とが金属であり、第１接着部材３００で接着していることにより、第１ケース部材１０１、第２ケース部材１０５、補強板１２０の接着力は向上する。これにより、バルブ１０Ａの信頼性はさらに向上する。

また、第１の実施形態と同様に、支持板１０２によって、弾性膜１０４の破れは、抑制される。

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図６は、本発明の第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂの側面断面図である。なお、図を見やすくするため、一部の符号を省略し、一部の構造を誇張して記載している。

図６に示すように、第３の実施形態に係るバルブ１０Ｂは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、支持板１０２Ｂが薄肉部１１３Ｔを備えている点において異なる。バルブ１０Ａの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

支持板１０２Ｂは、第３開口部１１３Ｒと、薄肉部１１３Ｔとを有する。

第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、支持板１０２Ｂの薄肉部１１３Ｔと平面視で重なる。また、第２接着部材１０３の第２開口部１１２Ｌは、弾性膜１０４を挟んで、第２ケース部材１０５の排気口Ｈ２に対向する位置に形成されている。

厚み方向における、薄肉部１１３Ｔの厚みは、支持板１０２Ｂの薄肉部１１３Ｔ以外の厚みより薄い。すなわち、薄肉部１１３Ｔは、支持板１０２Ｂに形成された凹部によって実現される。

この構成でも、第１の実施形態と同様に、支持板１０２Ｂによって、弾性膜１０４の破れは、抑制される。

（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図７は、本発明の第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃの第２接着部材１０３Ｃの構成を示す図である。

図７に示すように、第４の実施形態に係るバルブ１０Ｃは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、第２接着部材１０３Ｃの第２開口部１１２Ｃの形状において異なる。バルブ１０Ｃの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第２開口部１１２Ｃは、第３開口部１１３Ｌと対向しており、第２開口部１１２Ｃの開口面積は、第３開口部１１３Ｌの開口面積よりも大きい。また第２開口部１１２Ｃの形状は、円形と矩形を合成した形状である。

この構成であっても、上述の構成と同様に、弾性膜１０４の破れを抑制できるため、第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。

さらに、第２開口部１１２Ｃと、第２開口部１１２Ｒの形状が異なるため、製造時の第２接着部材１０３Ｃの向きを誤った方向への取り付けを防止できる。

（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係るバルブについて、図を参照して説明する。図８は、本発明の第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄの第２接着部材１０３Ｄの構成を示す図である。

図８に示すように、第５の実施形態に係るバルブ１０Ｄは、第１の実施形態に係るバルブ１０に対して、第２接着部材１０３Ｄの第２開口部１１２Ｄの形状、第２開口部１１２Ｄと第２開口部１１２Ｒを接続する開口接続部１１６を備えている点において異なる。バルブ１０Ｄの他の構成は、バルブ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第２開口部１１２Ｄは、第３開口部１１３Ｌと対向している。また、第２開口部１１２Ｄと、第２開口部１１２Ｒとは、開口接続部１１６で接続されている。

第２開口部１１２Ｄの開口面積は、第３開口部１１３Ｌの開口面積よりも大きい。また、第２開口部１１２Ｄと、開口接続部１１６と、第２開口部１１２Ｒとを合わせた形状は、略錨型である。

さらに、第２開口部１１２Ｄと、第２開口部１１２Ｒの形状が異なるため、製造時の第２接着部材１０３Ｄの向きを誤った方向への取り付けを防止できる。

なお、上述の各実施形態の構成に限られるものではなく、これらの実施形態の組み合わせを変更したものであっても良い。

ＦＬ…流体
Ｈ１…流入口
Ｈ２…排気口
Ｈ３…吐出口
Ｐ１、Ｐ２…圧力
Ｓ１、Ｓ２…開口面積
ＶＳ…第１弁座
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…バルブ
２０…ポンプ
１０１…第１ケース部材
１０２、１０２Ｂ…支持板
１０３、１０３Ｃ、１０３Ｄ…第２接着部材
１０４…弾性膜
１０５…第２ケース部材
１０６…下バルブ室
１０７…上バルブ室
１１１…第１開口部
１１２Ｃ、１１２Ｄ、１１２Ｌ、１１２Ｒ…第２開口部
１１３Ｌ、１１３Ｒ…第３開口部
１１３Ｔ…薄肉部
１１６…開口接続部
１２０…補強板
１５０…ダイヤフラム
１６０…ボス
３００…第１接着部材

Claims

流入口と第１弁座を有する第１ケース部材と、
排気口と吐出口を有する第２ケース部材と、
少なくとも一方が凹形状を有する、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを、前記凹形状を内側にして第１接着部材で接着することによって形成されたバルブ室と、
前記バルブ室を、前記流入口と連接する下バルブ室と、前記吐出口と前記排気口とを連接する上バルブ室と、に分離するように形成されているダイヤフラムと、
を備え、
前記ダイヤフラムは、第１開口部を有し、前記第１開口部の周囲が前記第１弁座に接触するように、前記バルブ室内に配置されており、
前記第１ケース部材と、前記第２ケース部材と、から形成されるケースを厚み方向に視て、前記ダイヤフラムの平面面積は、前記ケースの平面面積よりも小さく、
前記ダイヤフラムの外周は、前記ケースの内部に位置するように、前記第１接着部材で前記第１ケース部材及び前記第２ケース部材の少なくとも一方に固定されている、
バルブ。
前記第１ケース部材と、前記第２ケース部材との間に、補強板を備え、
前記第１接着部材は、前記補強板と前記第１ケース部材、前記補強板と前記第２ケース部材とをそれぞれ接着し、
前記第１ケース部材と前記第２ケース部材との接着強度よりも前記第１ケース部材または前記第２ケース部材と前記補強板との接着強度の方が高い、
請求項１に記載のバルブ。
前記補強板が金属である、
請求項２に記載のバルブ。
前記ダイヤフラムは、弾性膜と、支持板と、
前記弾性膜と前記支持板とを接着する第２接着部材とを備え、
前記支持板は、
前記ダイヤフラムの前記厚み方向に対する振動方向において、
前記弾性膜よりも曲げ剛性が高い、
請求項１または請求項２に記載のバルブ。
前記支持板は、
前記厚み方向における、前記排気口に対向する位置に、第３開口部を備えた、
請求項４に記載のバルブ。
前記支持板は、
第２開口部を有する第２接着部材を介して、前記弾性膜に当接するように形成されており、
前記第３開口部は、前記第２開口部に対向するように形成された、
請求項５に記載のバルブ。
前記第２開口部の断面積は、
前記第３開口部の断面積よりも大きい、請求項６に記載のバルブ。
前記支持板は、
前記排気口に対向する部分の厚さが薄い、薄厚部を備えた、
請求項４に記載のバルブ。
前記支持板は、
第２開口部を有する第２接着部材を介して、前記弾性膜に当接するように形成されており、
前記薄厚部は、前記第２開口部に対向するように形成された、
請求項８に記載のバルブ。
前記弾性膜は、ゴム材である、請求項４乃至請求項９のいずれかに記載のバルブ。
前記支持板は、金属である、請求項４乃至請求項１０のいずれかに記載のバルブ。
前記流入口と、前記吐出口とは、
前記流入口からの流入状態において、前記ダイヤフラムで塞がれ、
前記吐出口からの流出状態において、連通している、
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のバルブ。
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のバルブと、
前記流入口に接続されているポンプと、
前記吐出口に接続されているカフと、
を備えた、アプリケーション機器。