CN108496004B - 气体控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供气体控制装置(100)，其具备第1泵(110)、第2泵(120)和连接壳体(90)。第1泵(110)具有第1泵壳体(2)、第1吸引孔(31)和第1排出孔(41)。第1泵壳体(2)具有多个外壁(2A、2B、2C)。第2泵(120)具有第2泵壳体(102)、第2吸引孔(131)和第2排出孔(141)。连接壳体(90)具有第1开口部(191)和第2开口部(192)。连接壳体(90)与第1泵壳体(2)、第2泵壳体(102)一同形成第1封闭空间(80)。第2排出孔(141)与第1吸引孔(31)经由第1封闭空间(80)连通。第1泵(110)与第2泵(120)串联连接。设置有第1吸引孔(31)的外壁(2A)面向第1封闭空间(80)。

Description

气体控制装置

技术领域

本发明涉及输送气体的气体控制装置。

背景技术

以往，广泛使用输送气体的气体控制装置。例如，专利文献1公开了输送空气的流体输送系统900。

图22是专利文献1的流体输送系统900的俯视图。图23是表示图22所示的流体输送系统900排出空气的状态的剖视图。流体输送系统900具备流路931、933、935和两个泵910、920。泵910和泵920具有相同的结构。在流体输送系统900中，两个泵910、920串联连接。流路935例如与容器连接。

在以上的结构中，如图23所示，在两个泵910、920排出空气的期间，空气从流路931经由流路933流入流路935，然后，流入容器。由此，容器内的压力提高。另一方面，在两个泵910、920吸引空气的期间，容器内部的空气从流路935经由流路933流入流路931。由此，容器内的压力降低。

这里，一方面，串联连接的两个泵910、920形成的最大排出流量与一个泵910形成的最大排出流量相同。另一方面，串联连接的两个泵910、920形成的最大排出压力是一个泵910形成的最大排出压力的2倍的压力。例如，如图23所示，由于泵910、920分别形成排出压力P1，所以串联连接的两个泵910、920形成的最大排出压力成为2×P1。

专利文献1：日本特开2004-169706号公报

然而，在多个泵串联连接的情况下，在连接于接近容器的低级别一侧的泵中，泵壳体的内侧的压力与外侧的压力的差增加。例如，如图23所示，在高级别一侧的泵920中，泵壳体的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0(大气压)的压力差ΔP为P1，与此相对，在接近容器的低级别一侧的泵910中，泵壳体的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力P0(大气压)的压力差ΔP为2×P1。

因此，与连接于高级别一侧的泵920相比，在连接于低级别一侧的泵910中，泵壳体902容易变形。因此，在连接于低级别一侧的泵910中，存在泵壳体902破损的可能性。

因此，虽能够考虑加厚泵壳体902的厚度，来提高耐压性能的方法，但在该方法中，存在泵910大型化、泵910的重量增加的问题。

特别是，在手腕式血压计或者NPWT(Negative Pressure Wound Therapy负压伤口治疗)那样要求携带性的设备中，若泵大型化，则有损便利性。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的泵破损的气体控制装置。

(1)本发明的气体控制装置具备：第1泵，其具备具有多个外壁的第1泵壳体、设置于第1泵壳体的第1吸引孔和第1排出孔；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与第1泵壳体和第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

多个外壁中的至少设置有第1吸引孔的第1外壁面向第1封闭空间，

第2排出孔与第1吸引孔经由第1封闭空间连通。

在该结构中，例如，第1排出孔连接于容器。

(2)本发明的气体控制装置具备：第1泵，其具备具有多个外壁的第1泵壳体、设置于第1泵壳体的第1吸引孔和第1排出孔；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与第1泵壳体和第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

多个外壁中的至少设置有第1排出孔的第1外壁面向第1封闭空间，

第1排出孔与第2吸引孔经由第1封闭空间连通。

在该结构中，例如，第1吸引孔连接于容器。

(3)在上述(1)(2)的结构中，气体控制装置通过连接壳体使第1泵与第2泵串联连接。而且，多个外壁中的至少第1外壁面向第1封闭空间。

因此，气体控制装置能够将接近容器的低级别一侧的第1泵中的第1泵壳体的第1外壁处的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵的排出压力P1。

因此，即便在多个泵串联连接的情况下，气体控制装置也能够防止连接于低级别一侧的第1泵破损。另外，气体控制装置无需加厚第1外壁的厚度来提高耐压性能。因此，气体控制装置可以不使第1泵大型化、不使第1泵的重量增加。

这里，本发明的泵优选根据施加于泵自身的负荷，使泵的设计最佳化。施加于泵自身的负荷是指，施加于泵的压力，或流体的密度。具体而言，在为旋转泵的情况下，优选旋转泵设计为，一方面，流体密度越低，则旋转泵越是以低扭矩、高转速进行动作，另一方面，流体密度越高，则旋转泵越是以高扭矩、低转速进行动作。另一方面，在为隔膜泵的情况下，优选隔膜泵设计为，流体密度越低，则隔膜泵越是以高振幅、低惯性进行动作，流体密度越高，则隔膜泵越是以低振幅、高惯性进行动作。形成上述的泵设计，由此能够高效地提高流体压力。

此外，连接壳体优选刚性较高。由此，抑制壳体伴随压力的上升的变形。

另外，不面向封闭空间的泵壳体优选为大致相同部件。在泵壳体中耐压脆弱的位置是结构部件的接合部的情况较多，若接合部面向封闭空间，则以接合部为起点变形，产生龟裂。

本发明即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的泵破损。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的气体控制装置100的简要剖视图。

图2是图1所示的气体控制装置100的剖视图。

图3是图1所示的气体控制装置100的分解立体图。

图4是图1所示的气体控制装置100的分解立体图。

图5是图1所示的第1泵110的外观立体图。

图6是图1所示的第1泵110的分解立体图。

图7是图1所示的第1泵110与第2泵120排出空气的期间的气体控制装置100的简要剖视图。

图8是本发明的第2实施方式的气体控制装置200的简要剖视图。

图9是图8所示的第1泵110与第2泵120排出空气的期间的气体控制装置200的简要剖视图。

图10是本发明的第3实施方式的气体控制装置300的简要剖视图。

图11是图10所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130排出空气的期间的气体控制装置300的简要剖视图。

图12是本发明的第4实施方式的气体控制装置400的简要剖视图。

图13是图12所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130排出空气的期间的气体控制装置400的简要剖视图。

图14是本发明的第5实施方式的气体控制装置500的简要剖视图。

图15是图14所示的S-S线的剖视图。

图16是图14所示的第1泵510与第2泵520排出空气的期间的气体控制装置500的简要剖视图。

图17是本发明的第6实施方式的气体控制装置600的简要剖视图。

图18是图17所示的第1泵110与第2泵120吸引空气的期间的气体控制装置600的简要剖视图。

图19是本发明的第7实施方式的气体控制装置700的简要剖视图。

图20是图19所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130吸引空气的期间的气体控制装置700的简要剖视图。

图21是串联连接的泵的个数与作用于最低级别一侧的泵壳体的压力差之间的关系的一个例子的图。

图22是专利文献1的流体输送系统900的俯视图。

图23是表示图22所示的流体输送系统900排出空气的状态的剖视图。

图24是阀101的分解立体图。

图25是具备了阀101的第1泵和第2泵120排出空气的情况下的简要剖视图。

具体实施方式

以下，对本发明的第1实施方式的气体控制装置进行说明。

图1是本发明的第1实施方式的气体控制装置100的简要剖视图。气体控制装置100具备第1泵110、第2泵120和连接壳体90。

第1泵110具有：第1泵壳体2、设置于第1泵壳体2的第1吸引孔31和第1排出孔41、将第1排出孔41形成于内侧的第1管嘴45、将第1吸引孔31形成于内侧的第1管嘴35。第1泵壳体2具有多个外壁2A、2B、2C。此外，在本实施方式中，外壁2A相当于本发明的第1外壁的一个例子，外壁2B、2C相当于本发明的第2外壁的一个例子。

第2泵120具有：第2泵壳体102、设置于第2泵壳体102的第2吸引孔131和第2排出孔141、将第2排出孔141形成于内侧的第2管嘴145、将第2吸引孔131形成于内侧的第2管嘴135。

连接壳体90具有第1开口部191、第2开口部192、布线67和布线68。连接壳体90在第1开口部191嵌入有第1管嘴45，由此对第1泵壳体2进行固定。由此，连接壳体90仅在第1管嘴45处与第1泵110接触。因此，连接壳体90不阻碍第1泵110的振动。因此，能够维持第1泵110的特性。

此外，布线68与未图示的电源连接，与后述的第1泵110的外部连接端子3A、4A连接。

另外，连接壳体90在第2开口部192嵌入有第2管嘴145，由此对第2泵壳体102进行固定。由此，连接壳体90仅在第2管嘴145处与第2泵120接触。因此，连接壳体90不阻碍第2泵120的振动。因此，能够维持第2泵120的特性。

此外，布线67与未图示的电源连接，与后述的第2泵120的外部连接端子3A、4A连接。

连接壳体90与第1泵110的第1泵壳体2和第2泵120的第2泵壳体102一同形成第1封闭空间80。而且，第2排出孔141与第1吸引孔31经由第1封闭空间80连通。这样，第1泵110与第2泵120串联连接。另外，第1排出孔41与容器70的内部连通。第2吸引孔131向大气被敞开。

这里，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴45以外的部分面向第1封闭空间80。即，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2A面向第1封闭空间80。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2A以外的外壁2B、2C也面向第1封闭空间80。

接下来，对气体控制装置100的具体结构的一个例子进行说明。

图2是图1所示的气体控制装置100的剖视图。图3是从上表面侧观察的图1所示的气体控制装置100的分解立体图。图4是从下表面侧观察的图1所示的气体控制装置100的分解立体图。

连接壳体90具有盖壳体85、第1壳体91和第2壳体92隔着密封垫63、64层叠的构造。盖壳体85具有8个螺栓孔N0。第1壳体91具有8个螺栓孔N1。第2壳体92具有8个螺栓孔N2。通过将8个螺栓B分别插入各螺栓孔N0、N1、N2，而使盖壳体85、第1壳体91和第2壳体92接合。盖壳体85具有与容器70的内部连通的连接孔89。第1壳体91具有第1开口部191。第2壳体92具有第2开口部192。

盖壳体85与第1壳体91形成与连接孔89和第1排出孔41连通的封闭空间81。

第1壳体91通过借助O型圈61在第1开口部191嵌入有第1管嘴45，而对第1泵壳体2进行固定。由此，第1排出孔41与容器70的内部连通。

第2壳体92通过借助O型圈62在第2开口部192嵌入有第2管嘴145，而对第2泵壳体102进行固定。第2吸引孔131向大气被敞开。

另外，在第1壳体91设置有单向阀66。另外，在第2壳体92设置有单向阀65。当第1泵110和第2泵120中的任一个泵在封闭状态下发生了故障的情况下，与发生了故障的泵并联连接的单向阀65或者单向阀66打开，使发生了故障的泵之间连通。因此，单向阀65和单向阀66能够防止气体控制装置100的排出压力或者吸引压力成为0kPa。

在以上的结构中，第1壳体91、第2壳体92与第1泵壳体2和第2泵壳体102一同形成第1封闭空间80。而且，第2排出孔141与第1吸引孔31经由第1封闭空间80连通。

此外，这里，连接壳体90具有单向阀65和单向阀66，但不限定于此。在实施时，连接壳体90也可以不具有单向阀65和单向阀66。

接下来，对第1泵110的具体结构的一个例子进行说明。此外，在本实施方式中，第2泵120的结构与第1泵110的结构相同。即，第2泵120中的第2泵壳体102、第2吸引孔131、第2排出孔141、第2管嘴135和第2管嘴145的各自的结构分别与第1泵110中的第1泵壳体2、第1吸引孔31、第1排出孔41、第1管嘴35和第1管嘴45的各自的结构相同。因此，省略第2泵120的结构的说明。

图5是图1所示的第1泵110的外观立体图。

第1泵110具备第1泵壳体2和外部连接端子3A、4A。外部连接端子3A、4A与外部电源连接，被施加交流驱动信号。第1泵壳体2呈长方体状，具有设置有第1吸引孔31的一个外壁2A、设置有第1排出孔41的一个外壁2C、和外壁2A、外壁2C以外的4个外壁2B。

另外，第1泵壳体2在内部构成泵室6。第1泵壳体2具有与泵室6连通的第1排出孔41和与泵室6连通的第1吸引孔31(参照图6)。

图6是图1所示的第1泵110的分解立体图。第1泵110具备外壁2A、流路板12、对置板13、振动板15、压电元件16、绝缘板17、供电板18和外壁2C，具有将它们依次层叠的构造。

外壁2A呈板状，具有3个第1吸引孔31。在流路板12与对置板13形成有与3个第1吸引孔31和泵室6连通的流路。振动板15、绝缘板17和供电板18构成泵室6(参照图5)。在外壁2C形成有与泵室6连通的第1排出孔41。

流路板12具有一个开口32、3个流路33、和6个粘合剂密封孔34。开口32设置于流路板12的中心位置。该开口32的下表面侧被外壁2A覆盖，上表面侧与后述的对置板13的流路孔132连通。

3个流路33从设置于流路板12的中心附近的开口32呈放射方向延伸。各流路33的第一端与开口32连通。各流路33的第二端与外壁2A中的3个第1吸引孔31分别连通。各流路33中，除第二端外，上下被外壁2A与对置板13覆盖。

6个粘合剂密封孔34与泵室6连通。各粘合剂密封孔34沿着泵室6(参照图5)的外周彼此之间隔开间隔地配置。各粘合剂密封孔34的下表面侧被外壁2A覆盖，上表面侧与后述的对置板13的粘合剂密封孔36连通。

对置板13为金属制造，向外侧突出地具备外部连接端子3A。另外，对置板13具有一个流路孔132和6个粘合剂密封孔36。

流路孔132设置在对置板13的中心，具有比流路板12的开口32小的直径。该流路孔132的下表面侧与流路板12的开口32连通，上表面侧与泵室6(参照图5)连通。

6个粘合剂密封孔36沿着泵室6(参照图5)的外周彼此之间隔开间隔地配置。各粘合剂密封孔36与流路板12的各粘合剂密封孔34连通。

粘合剂密封孔34、36是供在对对置板13与振动板15进行粘合时使用的未固化状态的粘合剂流入的孔。粘合剂密封孔34、36防止未固化状态的粘合剂向泵室6(参照图5)流出而粘合于振动板15的连结部23这种情况出现。

作为第1振动板(或者第2振动板)的振动板15例如是SUS那样的金属板。振动板15具备圆板部21、框部22和3个连结部23。振动板15具有被圆板部21、框部22和连结部23围起的多个开口37。多个开口37构成泵室6(参照图5)的局部。圆板部21俯视呈圆形状。框部22是设置了俯视呈圆形的开口的框状，以与圆板部21隔开间隔的状态下，从四周包围圆板部21。各连结部23对圆板部21与框部22形成连结。圆板部21被连结部23支承为向泵室6(参照图5)的内部探出的状态。

作为第1压电体(或者第2压电体)的压电元件16构成为在由压电材料构成的圆板中的上表面和下表面设置电极。压电元件16的上表面的电极经由供电板18，电连接于外部连接端子4A。压电元件16的下表面的电极经由振动板15、对置板13电连接于外部连接端子3A。

压电元件16与圆板部21经由未图示的粘合剂等粘贴在一起，构成振动部24。振动部24是压电元件16与圆板部21的单压电晶片构造，构成为，压电元件16的伸缩受圆板部21拘束而产生上下方向的弯曲振动。

绝缘板17是具有俯视呈圆形的开口38的框状。开口38构成泵室6(参照图5)的局部。该绝缘板17由绝缘性树脂构成，使供电板18与振动板15之间电绝缘。

供电板18为金属制造。供电板18具备外部连接端子4A和内部连接端子27，具有被支承部29围起的开口39。内部连接端子27与压电元件16的上表面的电极接触。

外壁2C呈板状，覆盖泵室6(参照图5)的上表面。外壁2C具有第1排出孔41。第1排出孔41与泵室6连通。

在以上的第1泵110中，若在外部连接端子3A、4A施加有交流驱动信号，则在压电元件16的厚度方向被施加有交变电场。其结果，压电元件16沿面内方向进行伸缩，振动部24呈同心圆状弯曲振动。

由此，在泵室6的内部，在流路孔132的周边产生负压，从第1吸引孔31向泵室6吸引气体，泵室6的气体从第1排出孔41向泵室6的外部排出。

此外，在图5、图6中，虽省略第1管嘴35，但第1管嘴35也可以安装于第1吸引孔31。

接下来，对第1泵110与第2泵120排出空气的期间内的空气的流动方式进行说明。

图7是图1所示的第1泵110与第2泵120排出空气的期间的气体控制装置100的简要剖视图。图7中的单向箭头表示空气的流动方式。图7中的双向箭头表示压力差。图7中的阴影线的疏密表示压力的大小。

在第1泵110与第2泵120排出空气的期间，空气从第2泵120的第2吸引孔131受到吸引，从第2排出孔141流入第1封闭空间80。然后，空气从第1泵110的第1吸引孔31受到吸引，从第1排出孔41流入容器70。由此，容器70内的压力提高。

在以上结构下，一方面，串联连接的两个第1泵110和第2泵120形成的最大排出流量与一个第1泵110形成的最大排出流量相同。另一方面，如图7所示，第1泵110和第2泵120分别形成排出压力P1，因此串联连接的两个第1泵110和第2泵120形成的最大排出压力成为2×P1。

这里，如上所述，在多个泵串联连接的情况下，在连接于接近容器的低级别一侧的泵中，泵壳体的内侧的压力与外侧的压力之间的差增加。例如如图22或者图23所示，在高级别一侧的泵920中，泵壳体上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0(大气压)之间的压力差ΔP为P1，与此相对，在接近容器70的低级别一侧的泵910中，泵壳体上的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力P0(大气压)之间的压力差ΔP为2×P1。

然而，气体控制装置100通过连接壳体90使第1泵110与第2泵120串联连接。而且，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2A面向第1封闭空间80。

因此，连接壳体90上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0(大气压)之间的压力差ΔP为P1。而且，即使在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A处的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP也为P1。另外，即使在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0之间的压力差ΔP也为P1。

因此，气体控制装置100能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的排出压力P1以下。

因此，气体控制装置100中，即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，气体控制装置100无需加厚第1泵壳体2的厚度来提高耐压性能。因此，气体控制装置100也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

另外，在气体控制装置100中，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2A以外的外壁2B、2C也面向第1封闭空间80。因此，气体控制装置100中，即便在多个泵串联连接的情况下，也能够更加防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。

此外，第2管嘴145处的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP为0。因此，在气体控制装置100中，连接壳体90内部的空气不易从第2管嘴145与第2泵壳体102间的间隙向第2泵壳体102的外部流出。

以下，对本发明的第2实施方式的气体控制装置进行说明。

图8是本发明的第2实施方式的气体控制装置200的简要剖视图。图9是图8所示的第1泵110与第2泵120排出空气的期间的气体控制装置200的简要剖视图。图9中的单向箭头表示空气的流动方式。图9中的双向箭头表示压力差。图9中的阴影线的疏密表示压力的大小。

气体控制装置200与图1所示的气体控制装置100不同之处在于，第2泵120和布线67配置于连接壳体90的内部。连接壳体90通过在第2开口部192嵌入有第2管嘴135，对第2泵壳体102进行固定。针对其他的结构，由于为与上述气体控制装置相同，所以省略说明。

在气体控制装置200中，连接壳体90与第1泵壳体2、第2泵壳体102一同形成第1封闭空间280。而且，第2排出孔141与第1吸引孔31经由第1封闭空间280连通。

据此，气体控制装置200通过连接壳体90使第1泵110与第2泵120串联连接。另外，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴45以外的部分面向第1封闭空间280。

即，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2A面向第1封闭空间280。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2A以外的外壁2B、2C也面向第1封闭空间280。

因此，连接壳体90上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0(大气压)之间的压力差ΔP为P1。而且，即使在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A、2B、2C处的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP也为P1。另外，即使在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP也为0。

因此，气体控制装置200能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的排出压力P1以下。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置200即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置200也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

另外，气体控制装置200在连接壳体90的内部具备布线67。因此，与气体控制装置100相比，气体控制装置200断线等的可能性较低，能够提高可靠性。

但是，如图9所示，第2管嘴135处的内侧的压力P0与外侧的压力P1之间的压力差ΔP为P1。因此，与气体控制装置100相比，气体控制装置200中，连接壳体90内部的空气容易从第2管嘴135与第2泵壳体102间的间隙向第2泵壳体102的外部流出。

以下，对本发明的第3实施方式的气体控制装置进行说明。

图10是本发明的第3实施方式的气体控制装置300的简要剖视图。

图11是图10所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130排出空气的期间的气体控制装置300的简要剖视图。图11中的单向箭头表示空气的流动方式。图11中的双向箭头表示压力差。图11中的阴影线的疏密表示压力的大小。此外，在图10、图11中，省略布线的图示。

气体控制装置300与图1所示的气体控制装置100不同之处在于，具备第3泵130和连接壳体390。针对其他的结构，由于为与图1所示的气体控制装置100相同，所以省略说明。

第3泵130具有：第3泵壳体302、设置于第3泵壳体302的第3吸引孔331和第3排出孔341、在内侧形成第3排出孔341的第3管嘴345、和在内侧形成第3吸引孔331的第3管嘴335。在本实施方式中，第3泵130的结构与第1泵110的结构相同，因此省略说明。

连接壳体390与连接壳体90的不同之处在于形状。连接壳体390通过使形成有第3开口部193的连接壳体290与连接壳体90接合而构成。由此，连接壳体390具有第3开口部193。

而且，连接壳体390通过在第3开口部193嵌入有第3管嘴335，对第3泵壳体302进行固定。由此，连接壳体390仅在第3管嘴335处与第3泵130接触。因此，连接壳体390不阻碍第3泵130的振动。因此，气体控制装置300能够维持第3泵130的特性。

连接壳体390与第1泵壳体2、第2泵壳体102、第3泵壳体302一同，形成第1封闭空间280和第2封闭空间380。而且，第2排出孔141与第1吸引孔31经由第1封闭空间280连通。另外，第3排出孔341与第2吸引孔131经由第2封闭空间380连通。另外，第3吸引孔331向大气敞开。针对其他的结构，由于为与上述气体控制装置相同，所以省略说明。

以上，串联连接的3个第1泵110、第2泵120和第3泵130形成的最大排出流量，与1个第1泵110形成的最大排出流量相同。另一方面，如图11所示，第1泵110、第2泵120和第3泵130分别形成排出压力P1，因此串联连接的3个第1泵110、第2泵120和第3泵130形成的最大排出压力成为3×P1。

然而，气体控制装置300通过连接壳体390使第1泵110、第2泵120和第3泵130串联连接。另外，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴45以外的部分面向第1封闭空间280。

即，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2A面向第1封闭空间280。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2A以外的外壁2B、2C也面向第1封闭空间280。

因此，即使在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A、2B、2C上的内侧的压力3×P1+P0与外侧的压力2×P1+P0之间的压力差ΔP也为P1。另外，在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力2×P1+P0之间的压力差ΔP为0。另外，在第3泵130中，第3泵壳体302上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP为0。

因此，气体控制装置300能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的排出压力P1以下。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置300即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置300也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

另外，连接壳体390由连接壳体290与连接壳体90构成。因此，气体控制装置300以如下方式制造：将第1泵110与第2泵120安装于设置有布线的连接壳体90，将第3泵130安装于设置有布线的连接壳体290，将连接壳体90与连接壳体290接合。因此，气体控制装置300能够通过连接壳体390使第1泵110、第2泵120和第3泵130容易地串联连接。

以下，对本发明的第4实施方式的气体控制装置进行说明。

图12是本发明的第4实施方式的气体控制装置400的简要剖视图。图13是图12所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130排出空气的期间的气体控制装置400的简要剖视图。图13中的单向箭头表示空气的流动方式。图13中的双向箭头表示压力差。图13中的阴影线的疏密表示压力的大小。此外，在图12、图13中，省略布线的图示。

气体控制装置400与图10所示的气体控制装置300不同之处在于，第2泵120和第3泵130的配置方式与连接壳体490的形状。针对其他的结构，由于为与上述气体控制装置相同，所以省略说明。

连接壳体490与连接壳体90不同之处在于形状。连接壳体490通过使形成有第3开口部193的连接壳体491与连接壳体90接合而构成。由此，连接壳体490具有第3开口部193。

连接壳体490与第1泵壳体2、第2泵壳体102、第3泵壳体302一同，形成第1封闭空间80和第2封闭空间480。而且，第2排出孔141与第1吸引孔31经由第1封闭空间80连通。另外，第3排出孔341与第2吸引孔131经由第2封闭空间480连通。

据此，气体控制装置400通过连接壳体490使第1泵110、第2泵120和第3泵130串联连接。另外，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴45以外的部分面向第1封闭空间80。

即，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2A面向第1封闭空间80。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2A以外的外壁2B、2C也面向第1封闭空间80。

因此，即使在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A、2B、2C上的内侧的压力3×P1+P0与外侧的压力2×P1+P0之间的压力差ΔP也为P1。另外，在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力2×P1+P0与外侧的压力P1+P0之间的压力差ΔP为P1。另外，在第3泵130中，第3泵壳体302上的内侧的压力P1+P0与外侧的压力P0之间的压力差ΔP为P1。

因此，气体控制装置400能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的排出压力P1以下。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置400即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置400也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

另外，连接壳体490由连接壳体491与连接壳体90构成。因此，气体控制装置400以如下方式制造：将第1泵110与第2泵120安装于设置有布线的连接壳体90，将第3泵130安装于设置有布线的连接壳体491，使连接壳体90与连接壳体491接合。因此，气体控制装置400能够通过连接壳体490使第1泵110、第2泵120和第3泵130容易地串联连接。

以下，对本发明的第5实施方式的气体控制装置进行说明。

图14是本发明的第5实施方式的气体控制装置500的简要剖视图。图15是图14所示的S-S线的剖视图。图16是图14所示的第1泵510与第2泵520排出空气的期间的气体控制装置500的简要剖视图。图16中的单向箭头表示空气的流动方式。图16中的双向箭头表示压力差。图16中的阴影线的疏密表示压力的大小。

气体控制装置500与图1所示的气体控制装置100不同之处在于，第1泵510、第2泵520和连接壳体590各自的形状。

如图14、图15所示，第1泵510具有：第1泵110、第1泵壳体502、设置于第1泵壳体502的第1吸引孔531和第1排出孔541、在内侧形成第1排出孔541的第1管嘴545、在内侧形成第1吸引孔531的第1管嘴535。第1泵壳体502呈圆柱状，具有多个外壁502A、502B。外壁502A具有第1吸引孔531。

第1泵壳体502具有固定部595。第1泵壳体502通过固定部595，在内部固定第1泵110的第1泵壳体2。由此，第1泵壳体502与第1泵壳体2一同，形成与第1吸引孔31和第1吸引孔531连通的封闭空间506、以及与第1排出孔41和第1排出孔541连通的封闭空间507。

第2泵520具有：第1泵110、第2泵壳体552、设置于第2泵壳体552的第2吸引孔561和第2排出孔571、在内侧形成第2排出孔571的第2管嘴575、在内侧形成第2吸引孔561的第2管嘴165。

这里，第2泵520的结构与第1泵510的结构相同。即，第2泵壳体552、第2吸引孔561和第2排出孔571、第2管嘴575、第2管嘴165各自的结构分别与第1泵壳体502、第1吸引孔531和第1排出孔541、第1管嘴545、第1管嘴535各自的结构相同。

连接壳体590具有第1开口部591和第2开口部592。连接壳体590通过在第1开口部591嵌入有第1管嘴545，对第1泵壳体502进行固定。由此，连接壳体590仅在第1管嘴545处与第1泵110接触。因此，连接壳体590不阻碍第1泵110的振动。因此，气体控制装置500能够维持第1泵110的特性。

另外，连接壳体590通过在第2开口部592嵌入有第2管嘴575，对第2泵壳体552进行固定。由此，连接壳体590仅在第2管嘴575处与第1泵110接触。因此，连接壳体590不阻碍第1泵110的振动。因此，气体控制装置500能够维持第1泵110的特性。

连接壳体590与第1泵壳体502、第2泵壳体552一同形成第1封闭空间580。然后，第2排出孔571与第1吸引孔531经由第1封闭空间580连通。另外，第1排出孔541与容器70的内部连通。第2吸引孔561向大气被敞开。

据此，气体控制装置500通过连接壳体590使第1泵510与第2泵520串联连接。另外，针对第1泵510，第1泵壳体502中的第1管嘴545以外的部分面向第1封闭空间580。

因此，多个外壁502A、502B中的至少外壁502A面向第1封闭空间580。另外，多个外壁502A、502B中的外壁502A以外的外壁502B也面向第1封闭空间580。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置500即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵510破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置500也可以不使第1泵510大型化、不使第1泵510的重量增加。

此外，第1泵和第2泵无需具备管嘴。例如，也能够代替管嘴而使用图24所示的阀。

接下来，图24是阀101的分解立体图。阀101具备：隔断板199、设置有第1通气孔1100和第1通气孔111的第1板1910、框板195、由长方形的薄膜构成的隔膜1200、由长方形的薄膜构成的密封件152、中间板194、流路形成板1930、和设置有第2通气孔112的第2板1920，具有将它们依次层叠的构造。流路形成板1930、中间板194和框板195构成侧壁板190。流路形成板1930形成与排气孔113连通的排气流路114。

隔断板199的材料例如为PET树脂。第1板1910、侧壁板190和第2板1920的材料例如为金属。第2板1920、流路形成板1930、中间板194、框板195和第1板1910各自的接合例如通过双面胶带、热扩散接合或者粘合剂等进行。

第2板1920具有与袖带109连通的第2通气孔112、和位于与排气孔113连通的排气流路114的四周的阀座139。第2板1920例如由树脂构成。

第1板1910具有与泵的排出孔连通的第1通气孔1100、和与泵的排出孔连通的第1通气孔111。第1板1910例如由金属构成。

在隔膜1200的与阀座138对置的区域的中心部设置有圆形的孔部121。孔部121的直径设置得小于阀座138的与隔膜1200接触的面的直径。隔膜1200的外周小于第1板1910与第2板1920各自的外周。隔膜1200例如由EPDM(乙丙橡胶)或者硅酮等橡胶构成。

隔膜1200隔着密封件152被第1板1910和中间板194夹持。由此，隔膜1200的局部与阀座139接触，并且隔膜1200中的孔部121的四周与阀座138接触。阀座138设置于第1板1910，以便对隔膜1200中的孔部121的四周进行预压。阀座138由突起部138A和突起部138B构成。突起部138A和突起部138B的材料例如为金属。

隔膜1200将由第2板1920和第1板1910构成的空间内分割成第1阀室和第2阀室。第1阀室和第2阀室各自的直径例如为7.0mm。阀座138的与隔膜1200接触的面的直径例如为1.5mm。

在阀101中，在第2阀室存在密封件152的局部。密封件152例如由双面胶带或者粘合剂等构成。

由隔膜1200中的孔部121的四周和与该四周部分接触并覆盖孔部121的阀座138构成单向阀。单向阀基于第1阀室的压力与第2阀室的压力，使隔膜1200相对于阀座138形成接触或者分离。

另外，接下来，排气阀由隔膜1200的局部和位于排气流路114的四周的阀座139构成。排气阀基于第1阀室的压力与第2阀室的压力使隔膜1200的局部相对于阀座139形成接触或者分离。

如图25所示，代替管嘴而使用具备以上那样的阀101的第1泵和第2泵，由此也能够将第1泵壳体的第1外壁处的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵的排出压力P1。

以下，对本发明的第6实施方式的气体控制装置进行说明。

图17是本发明的第6实施方式的气体控制装置600的简要剖视图。气体控制装置600与图1所示的气体控制装置100不同之处在于，第1泵110和第2泵120反向固定于连接壳体90。第1吸引孔31与容器70连接，而与容器70内连通。第1排出孔41与第2吸引孔131经由第1封闭空间80连通。针对其他的结构，由于为与上述气体控制装置相同，所以省略说明。

此外，在本实施方式中，外壁2C相当于本发明的第1外壁的一个例子，外壁2A、2B相当于本发明的第2外壁的一个例子。

接下来，对第1泵110和第2泵120吸引空气的期间的空气的流动方式进行说明。

图18是图17所示的第1泵110与第2泵120吸引空气的期间的气体控制装置600的简要剖视图。图18中的单向箭头表示空气的流动方式。图18中的双向箭头表示压力差。图18中的阴影线的疏密表示压力的大小。

在第1泵110与第2泵120吸引空气的期间，容器70内的空气从第1泵110的第1吸引孔31受到吸引，从第1排出孔41流入第1封闭空间80。然后，第1封闭空间80的空气从第2泵120的第2吸引孔131受到吸引，从第2排出孔141向第2泵壳体102的外部流出。由此容器70内的压力降低。

以上，串联连接的两个第1泵110与第2泵120形成的最大吸引流量与一个第1泵110形成的最大吸引流量相同。另一方面，如图18所示，第1泵110与第2泵120分别形成吸引压力P1，因此串联连接的两个第1泵110与第2泵120形成的最大吸引压力成为2×P1。

然而，气体控制装置600通过连接壳体90使第1泵110与第2泵12串联连接。另外，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴35以外的部分面向第1封闭空间80。

即，多个外壁2A、2B、2C中的至少外壁2C面向第1封闭空间80。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2C以外的外壁2A、2B也面向第1封闭空间80。

因此，连接壳体90上的内侧的压力P0-P1与外侧的压力P0(大气压)之间的压力差ΔP为P1。另外，即使在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力P0-P1与外侧的压力P0之间的压力差ΔP也为P1。而且，在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A、2B、2C处的内侧的压力P0-2×P1与外侧的压力P0-P1之间的压力差ΔP为P1。

因此，气体控制装置600能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制为第1泵110的吸引压力P1以下。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置600即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置600也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

此外，作为气体控制装置600的变形例，也可以如图8所示的气体控制装置200那样，将第2泵120配置于连接壳体90的内部。

以下，对本发明的第7实施方式的气体控制装置进行说明。

图19是本发明的第7实施方式的气体控制装置700的简要剖视图。气体控制装置700与图10所示的气体控制装置300不同之处在于，第1泵110、第2泵120和第3泵130反向固定于连接壳体390。第1吸引孔31与容器70连接，而与容器70内连通。第1排出孔41与第2吸引孔131经由第1封闭空间280连通。第2排出孔141与第3吸引孔331经由第1封闭空间280连通。针对其他的结构，由于为与上述气体控制装置相同，所以省略说明。

此外，在本实施方式中，外壁2C相当于本发明的第1外壁的一个例子，外壁2A、2B相当于本发明的第2外壁的一个例子。

接下来，对第1泵110、第2泵120和第3泵130吸引空气的期间的空气的流动方式进行说明。

图20是图19所示的第1泵110、第2泵120和第3泵130吸引空气的期间的气体控制装置700的简要剖视图。图20中的单向箭头表示空气的流动方式。图20中的双向箭头表示压力差。图20中的阴影线的疏密表示压力的大小。

在第1泵110、第2泵120和第3泵130吸引空气的期间，容器70内的空气从第1泵110的第1吸引孔31被吸引，从第1排出孔41流入第1封闭空间280。然后，第1封闭空间280的空气从第2泵120的第2吸引孔131受到吸引，从第2排出孔141流入第2封闭空间380。然后，第2封闭空间380的空气从第3泵130的第3吸引孔331受到吸引，从第3排出孔341向第3泵壳体302的外部流出。由此，容器70内的压力降低。

以上，串联连接的三个第1泵110、第2泵120和第3泵130形成的最大吸引流量与一个第1泵110形成的最大吸引流量相同。另一方面，如图20所示，第1泵110、第2泵120和第3泵130分别形成吸引压力P1，因此串联连接的3个第1泵110、第2泵120和第3泵130形成的最大吸引压力成为3×P1。

然而，气体控制装置700通过连接壳体390使第1泵110、第2泵120和第3泵130串联连接。另外，针对第1泵110，第1泵壳体2中的第1管嘴45以外的部分面向第1封闭空间280。

即，多个外壁2A、2B、2C中的至少设置有第1排出孔41的外壁2C面向第1封闭空间280。另外，多个外壁2A、2B、2C中的外壁2C以外的外壁2A、2B也面向第1封闭空间280。

因此，即使在最低级别一侧的第1泵110中，第1泵壳体2的外壁2A、2B、2C上的内侧的压力P0-3×P1与外侧的压力P0-2×P1之间的压力差ΔP也为P1。另外，在第2泵120中，第2泵壳体102上的内侧的压力P0-2×P1与外侧的压力P0-2×P1之前的压力差ΔP为0。另外，在第3泵130中，第3泵壳体302上的内侧的压力P0-P1与外侧的压力P0-P1之间的压力差ΔP为0。

因此，气体控制装置700能够将最低级别一侧的第1泵110的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的吸引压力P1以下。

因此，与气体控制装置100相同，气体控制装置700即便在多个泵串联连接的情况下，也能够防止连接于低级别一侧的第1泵110破损。另外，与气体控制装置100相同，气体控制装置700也可以不使第1泵110大型化、不使第1泵110的重量增加。

以下，对串联连接的泵的个数与施加于最低级别一侧的泵壳体的压力差之间的关系进行说明。

图21是表示串联连接的泵的个数与施加于最低级别一侧的泵壳体的压力差之间的关系的一个例子的图。

如上所述，在多个泵串联连接的情况下，在连接于接近容器的低级别一侧的泵中，泵壳体的内侧的压力与外侧的压力之间的差增加。如图21所示，与串联连接的泵的个数成正比地，使施加于最低级别一侧的泵壳体的压力差增加。

但是，本实施方式的气体控制装置100～700不论串联连接的泵的个数如何，均能够将最低级别一侧的第1泵壳体2上的内侧的压力与外侧的压力之间的压力差ΔP抑制成第1泵110的排出压力P1以下。

此外，在上述的各实施方式中，表示了作为气体使用空气的例子，但本发明不限定于此。

最后，上述的实施方式的说明应该考虑为，全部的点为例示，不存在构成限制的情况。本发明的保护范围不是由上述的实施方式表示，而是由权利要求书来表示。另外，在本发明的保护范围内包含有与权利要求书等同的范围内的全部的变更。

附图标记的说明

2…第1泵壳体；2A、2B、2C…外壁；3A、4A…外部连接端子；6…泵室；12…流路板；13…对置板；15…振动板；16…压电元件；17…绝缘板；18…供电板；21…圆板部；22…框部；23…连结部；24…振动部；27…内部连接端子；31…第1吸引孔；32…开口；33…流路；34、36…粘合剂密封孔；35…第1管嘴；37、38、39…开口；41…第1排出孔；45…第1管嘴；61、62…O型圈；63…密封垫；65、66…单向阀；67、68…布线；70…容器；80、280、580…第1封闭空间；81…封闭空间；85…盖壳体；89…连接孔；90、290、390、490、491、590…连接壳体；91…第1壳体；92…第2壳体；100、200、300、400、500、600、700…气体控制装置；102…第2泵壳体；110…第1泵；120…第2泵；130…第3泵；131…第2吸引孔；132…流路孔；135…第2管嘴；141…第2排出孔；145…第2管嘴；165…第2管嘴；191…第1开口部；192…第2开口部；193…第3开口部；302…第3泵壳体；331…第3吸引孔；335…第3管嘴；341…第3排出孔；345…第3管嘴；380、480…第2封闭空间；502…第1泵壳体；502A、502B…外壁；506、507…封闭空间；510…第1泵；520…第2泵；531…第1吸引孔；535…第1管嘴；541…第1排出孔；545…第1管嘴；552…第2泵壳体；561…第2吸引孔；571…第2排出孔；575…第2管嘴；591…第1开口部；592…第2开口部；595…固定部；900…流体输送系统；902…泵壳体；910、920…泵；931、933、935…流路。

Claims (24)

1.一种气体控制装置，其具备：

第1泵，其具备第1吸引孔、第1排出孔以及第1泵壳体，该第1泵壳体由具有所述第1吸引孔的第1外壁、具有所述第1排出孔的第2外壁以及不具有所述第1吸引孔和所述第1排出孔的第3外壁构成；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于所述第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与所述第1泵壳体和所述第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

所述第1外壁、第2外壁以及第3外壁面向所述第1封闭空间，

所述第2排出孔和所述第1吸引孔经由所述第1封闭空间连通。

2.根据权利要求1所述的气体控制装置，其中，

所述第2泵壳体具有在内侧形成所述第2排出孔或者所述第2吸引孔的第2管嘴，

所述连接壳体具有第2开口部，

所述连接壳体通过在所述第2开口部嵌入所述第2管嘴，对所述第2泵壳体进行固定。

3.根据权利要求1所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

4.根据权利要求2所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的气体控制装置，其中，

具备第3泵，该第3泵具有第3泵壳体、和设置于所述第3泵壳体的第3吸引孔和第3排出孔，

所述连接壳体与所述第2泵壳体、所述第3泵壳体一同形成第2封闭空间，

所述第2泵壳体面向所述第1封闭空间和所述第2封闭空间。

6.根据权利要求5所述的气体控制装置，其中，

所述第3泵壳体具有在内侧形成所述第3排出孔或者所述第3吸引孔的第3管嘴，

所述连接壳体具有第3开口部，

所述连接壳体通过在所述第3开口部嵌入所述第3管嘴，固定于所述第3泵壳体。

7.一种气体控制装置，其具备：

第1泵，其具备第1吸引孔、第1排出孔以及第1泵壳体，该第1泵壳体由具有所述第1吸引孔的第1外壁、具有所述第1排出孔的第2外壁以及不具有所述第1吸引孔和所述第1排出孔的第3外壁构成；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于所述第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与所述第1泵壳体和所述第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

所述第1外壁、第2外壁以及第3外壁中的至少所述第1外壁面向所述第1封闭空间，

所述第2排出孔与所述第1吸引孔经由所述第1封闭空间连通，

所述第1泵壳体具有在内侧形成所述第1排出孔或所述第1吸引孔的第1管嘴，

所述连接壳体具有第1开口部，

所述连接壳体通过将所述第1管嘴嵌入所述第1开口部而对所述第1泵壳体进行固定。

8.根据权利要求7所述的气体控制装置，其中，

所述第2泵壳体具有在内侧形成所述第2排出孔或者所述第2吸引孔的第2管嘴，

所述连接壳体具有第2开口部，

所述连接壳体通过在所述第2开口部嵌入所述第2管嘴，对所述第2泵壳体进行固定。

9.根据权利要求7所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

10.根据权利要求8所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

11.根据权利要求7～10中任一项所述的气体控制装置，其中，

具备第3泵，该第3泵具有第3泵壳体、和设置于所述第3泵壳体的第3吸引孔和第3排出孔，

所述连接壳体与所述第2泵壳体、所述第3泵壳体一同形成第2封闭空间，

所述第2泵壳体面向所述第1封闭空间和所述第2封闭空间。

12.根据权利要求11所述的气体控制装置，其中，

所述第3泵壳体具有在内侧形成所述第3排出孔或者所述第3吸引孔的第3管嘴，

所述连接壳体具有第3开口部，

所述连接壳体通过在所述第3开口部嵌入所述第3管嘴，固定于所述第3泵壳体。

13.一种气体控制装置，其具备：

第1泵，其具备第1吸引孔、第1排出孔以及第1泵壳体，该第1泵壳体由具有所述第1排出孔的第1外壁、具有所述第1吸引孔的第2外壁以及不具有所述第1吸引孔和所述第1排出孔的第3外壁构成；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于所述第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与所述第1泵壳体和所述第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

所述第1外壁、第2外壁以及第3外壁面向所述第1封闭空间，

所述第1排出孔与所述第2吸引孔经由所述第1封闭空间连通。

14.根据权利要求13所述的气体控制装置，其中，

所述第2泵壳体具有在内侧形成所述第2排出孔或者所述第2吸引孔的第2管嘴，

所述连接壳体具有第2开口部，

所述连接壳体通过在所述第2开口部嵌入所述第2管嘴，对所述第2泵壳体进行固定。

15.根据权利要求13所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

16.根据权利要求14所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

17.根据权利要求13～16中任一项所述的气体控制装置，其中，

具备第3泵，该第3泵具有第3泵壳体、和设置于所述第3泵壳体的第3吸引孔和第3排出孔，

所述连接壳体与所述第2泵壳体、所述第3泵壳体一同形成第2封闭空间，

所述第2泵壳体面向所述第1封闭空间和所述第2封闭空间。

18.根据权利要求17所述的气体控制装置，其中，

所述第3泵壳体具有在内侧形成所述第3排出孔或者所述第3吸引孔的第3管嘴，

所述连接壳体具有第3开口部，

所述连接壳体通过在所述第3开口部嵌入所述第3管嘴，固定于所述第3泵壳体。

19.一种气体控制装置，其具备：

第1泵，其具备第1吸引孔、第1排出孔以及第1泵壳体，该第1泵壳体由具有所述第1排出孔的第1外壁、具有所述第1吸引孔的第2外壁以及不具有所述第1吸引孔和所述第1排出孔的第3外壁构成；

第2泵，其具有第2泵壳体、设置于所述第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和

连接壳体，其与所述第1泵壳体和所述第2泵壳体一同形成第1封闭空间，

所述第1外壁、第2外壁以及第3外壁中的至少所述第1外壁面向所述第1封闭空间，

所述第1排出孔与所述第2吸引孔经由所述第1封闭空间连通，

所述第1泵壳体具有在内侧形成所述第1排出孔或所述第1吸引孔的第1管嘴，

所述连接壳体具有第1开口部，

所述连接壳体通过将所述第1管嘴嵌入所述第1开口部而对所述第1泵壳体进行固定。

20.根据权利要求19所述的气体控制装置，其中，

所述第2泵壳体具有在内侧形成所述第2排出孔或者所述第2吸引孔的第2管嘴，

所述连接壳体具有第2开口部，

所述连接壳体通过在所述第2开口部嵌入所述第2管嘴，对所述第2泵壳体进行固定。

21.根据权利要求19所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

22.根据权利要求20所述的气体控制装置，其中，

所述第1泵具有第1压电体和通过所述第1压电体的伸缩形成振动的第1振动板，

所述第2泵具有第2压电体和通过所述第2压电体的伸缩形成振动的第2振动板。

23.根据权利要求19～22中任一项所述的气体控制装置，其中，

具备第3泵，该第3泵具有第3泵壳体、和设置于所述第3泵壳体的第3吸引孔和第3排出孔，

所述连接壳体与所述第2泵壳体、所述第3泵壳体一同形成第2封闭空间，

所述第2泵壳体面向所述第1封闭空间和所述第2封闭空间。

24.根据权利要求23所述的气体控制装置，其中，

所述第3泵壳体具有在内侧形成所述第3排出孔或者所述第3吸引孔的第3管嘴，

所述连接壳体具有第3开口部，

所述连接壳体通过在所述第3开口部嵌入所述第3管嘴，固定于所述第3泵壳体。

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