JP7435785B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 161
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 61
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 42
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
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- F16K15/00—Check valves
- F16K15/14—Check valves with flexible valve members
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Description
本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る流体制御装置の分解斜視図である。図2は、第1の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。図3は、第1の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端を含む領域の拡大図である。本実施形態を含む各実施形態の各図では、流体制御装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として、適宜誇張して記載している。なお、以下の実施形態では、主面を有する構成要素に対して、主面に直交する方向から視ることを、平面視と称する。
板部材20は、金属板等からなり、主面201と主面202とを有する。板部材20は、第1平板21、枠体22、および、複数の連結部材23を備える。第1平板21、枠体22、および、複数の連結部材23は、例えば、1枚の平板を用いて、一体に形成される。
本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図5は、第2の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図6(A)は、第3の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図であり、図6(B)は、この流体制御装置の第1平板の外周端を含む領域の拡大図である。
本発明の第4の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図7は、第4の実施形態に係る流体制御装置の構成を示す側面断面図である。
本発明の第5の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図8(A)は、第5の実施形態に係る流体制御装置における駆動体が装着される板部材の平面図であり、図8(B)は、この流体制御装置の1つ連結部材の箇所を拡大した平面図である。
本発明の第6の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図9は、第6の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大図である。図10(A)、図10(B)は、第6の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大斜視図である。図10(A)は、弁膜が配置された状態を示し、図10(B)は、弁膜を外した状態を示す。
本発明の第7の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図11は、第7の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大図である。
本発明の第8の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図12は、第8の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大図である。
本発明の第9の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図13は、第9の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大図である。
本発明の第10の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図14は、第10の実施形態に係る流体制御装置の第1平板の外周端および連結部材を含む領域の拡大図である。
20、20C、20D:板部材
21、21C、21H、21I:第1平板
22:枠体
23、23D:連結部材
30:駆動体
40、40C:板部材
50:側壁部材
60、60B、60C:弁部材
61、61B、61C:弁膜
62、62B、62C:固定層
100:ポンプ室
201、202:主面
210:外周端
231、231D、231E、231F、231G、231H、231I:第1連結部
232:第2連結部
233:第3連結部
241、242:開口
241A:凹部
400、400C:貫通孔
401、402:主面
410:壁
500:中空
610:外端
610C:内端
619:開口
620:外端
620C:内端
629:開口
2310、2310H:凹部
2311:内方端部
2313:外方端部
Claims (12)
- 第1平板と、
前記第1平板の外周端よりも外側に配置された枠体と、
前記第1平板と前記枠体とを連結する連結部材と、
前記第1平板と前記枠体と前記連結部材によって囲まれた第1開口と、
前記第1平板と対向する部分に第2開口を有する第2平板と、
前記枠体と前記第2平板とを接続し、前記第1平板と前記第2平板とともにポンプ室を形成する側壁部材と、
前記第1平板または前記第2平板のいずれか一方に設置された駆動体と、
前記第1平板における前記ポンプ室側の第1面に設置され、流体を整流する弁部材と、
を備え、
前記弁部材は、
前記第1平板に固定されている固定部と、
前記弁部材を平面視して、外端が前記外周端よりも外方に突出している突出部と、を有し、
前記突出部は、
第1厚みを有する第1部分と、
前記第1部分と前記固定部との間に位置し第2厚みを有する第2部分と、を有し、
前記第2厚みは、前記第1厚みよりも厚く、
前記第2部分は、少なくとも一部が第1平板の第1面を正面視して前記第1開口に重なっている、
流体制御装置。 - 前記第2部分と前記第1部分との接続部は前記外周端よりも外側にある、
請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記連結部材は、
前記第1平板の前記外周端に接続し、前記第1平板の外周端から外方に延びる第1連結部と、
前記第1連結部に接続し、かつ前記第1連結部と前記第1平板との接続箇所と異なる箇所で前記枠体に接続する、第2連結部と、
を備え、
前記第1連結部は、
前記弁部材を平面視して前記第1部分に重なる部分に、前記弁部材が配置される側から凹む凹部を有する、
請求項1または請求項2に記載の流体制御装置。 - 前記弁部材の前記外端の形状は、前記第2連結部に沿って延びる形状である、
請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記第1連結部は、
前記弁部材の前記第2部分に重なる部分と、
前記弁部材の前記第1部分に重なる部分と、を有し、
前記第1部分に重なる部分の幅は、前記第2部分に重なる部分の幅よりも大きい、
請求項4に記載の流体制御装置。 - 前記弁部材の前記外端の形状は、前記第1平板の前記外周端の形状と相似形である、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流体制御装置。 - 第1平板と、
前記第1平板の外周端よりも外側に配置された枠体と、
前記第1平板と前記枠体とを連結する連結部材と、
前記第1平板と前記枠体と前記連結部材によって囲まれた第1開口と、
前記第1平板と対向する部分に第2開口を有する第2平板と、
前記枠体と前記第2平板とを接続し、前記第1平板と前記第2平板とともにポンプ室を形成する側壁部材と、
前記第1平板または前記第2平板のいずれか一方に設置された駆動体と、
前記第2平板における前記ポンプ室側の主面に設置され、流体を整流する弁部材と、
を備え、
前記弁部材は、
一部が前記第2平板に固定され、前記第1平板の主面と対向する前記第2平板の主面の対向方向に視て内端が前記第2平板に固定されずに前記第2開口に重なるように突出しており、
前記内端側の部分を構成する第1厚みの第1部分と、前記第1部分の外端側を構成する第2厚みの第2部分と、を有し、
前記第2厚みは、前記第1厚みよりも厚く、
前記第2部分は、第2平板を平面視して前記第2開口の壁に重なっている、
流体制御装置。 - 前記弁部材の前記内端の形状は、前記第2開口の壁を平面視した形状と相似形である、
請求項7に記載の流体制御装置。 - 前記弁部材は、
可撓性を有する弁膜と、
前記弁膜を固定する固定層と、を備え、
前記第1部分は、前記弁膜からなり、
前記第2部分は、前記弁膜と前記固定層との積層部からなる、
請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記固定層は、前記第1平板または前記第2平板よりも前記第1平板と前記第2平板の対向方向において変形し易く、
前記弁膜は、前記固定層よりも前記第1平板と前記第2平板の対向方向において変形し易い、
請求項9に記載の流体制御装置。 - 前記駆動体は、前記第1平板に設置され、前記第1平板を振動させる、
請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記駆動体は、前記第2平板に設置され、前記第2平板を振動させる、
請求項1乃至請求項10のいずれかに記載の流体制御装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020122530 | 2020-07-17 | ||
JP2020122530 | 2020-07-17 | ||
JP2020209762 | 2020-12-18 | ||
JP2020209762 | 2020-12-18 | ||
PCT/JP2021/016807 WO2022014121A1 (ja) | 2020-07-17 | 2021-04-27 | 流体制御装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2022014121A1 JPWO2022014121A1 (ja) | 2022-01-20 |
JPWO2022014121A5 JPWO2022014121A5 (ja) | 2023-03-28 |
JP7435785B2 true JP7435785B2 (ja) | 2024-02-21 |
Family
ID=79554642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022536142A Active JP7435785B2 (ja) | 2020-07-17 | 2021-04-27 | 流体制御装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230140980A1 (ja) |
JP (1) | JP7435785B2 (ja) |
CN (1) | CN115943267A (ja) |
WO (1) | WO2022014121A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009299871A (ja) | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Omron Healthcare Co Ltd | 逆止弁構造、ダイヤフラムポンプおよび血圧計 |
JP2017133508A (ja) | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 研能科技股▲ふん▼有限公司 | 小型空気圧動力装置 |
WO2019159448A1 (ja) | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | 流体制御装置 |
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WO2019230159A1 (ja) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05172060A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-09 | Hitachi Ltd | 微量ポンプ |
JPH10213077A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Kasei Optonix Co Ltd | ポンプ用リード弁 |
-
2021
- 2021-04-27 WO PCT/JP2021/016807 patent/WO2022014121A1/ja active Application Filing
- 2021-04-27 JP JP2022536142A patent/JP7435785B2/ja active Active
- 2021-04-27 CN CN202180049877.8A patent/CN115943267A/zh active Pending
-
2023
- 2023-01-13 US US18/154,251 patent/US20230140980A1/en active Pending
Patent Citations (5)
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WO2019230159A1 (ja) | 2018-05-31 | 2019-12-05 | 株式会社村田製作所 | ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2022014121A1 (ja) | 2022-01-20 |
CN115943267A (zh) | 2023-04-07 |
US20230140980A1 (en) | 2023-05-11 |
JPWO2022014121A1 (ja) | 2022-01-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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