JPWO2021085182A1 - ガス検出装置、ガス検出方法及びガス検出装置を備えた装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、熱伝導式ガスセンサでは、微小な出力電圧は得られるものの、検出感度が低いという問題が生じる。
前記接続回路に定電圧を印可するとともに、前記サーミスタに過電力を供給して前記サーミスタを熱暴走状態にする電力供給回路と、
前記接続回路における前記サーミスタの電極間の電圧を検知する電圧検知部と、を具備することを特徴とする。
また、実施形態によるガス検出装置を備えた装置は、ガス検出装置が備えられていることを特徴とする。
(熱伝導式ガスセンサ)
このような極薄の基板21をサーミスタ2に用いることで、熱容量が小さくなり高感度で、かつ熱応答性の優れた熱伝導式ガスセンサ1が実現可能となる。
(ガス検出装置)
制限抵抗器11は、サーミスタ2が熱暴走状態のときに、回路に流れる電流を制限するための抵抗器である。
(二酸化炭素ガス検出)
図6は、濃度の異なる二酸化炭素(CO2)ガス雰囲気でのセンサ温度、すなわち、サーミスタ2の温度を示し、図7は、同様にセンサ電圧を示している。
(混在ガス中の検出対象ガス検出)
(水素ガス検出)
図10乃至図12を参照して水素(H2)ガスの濃度を検出する場合について説明する。
なお、以降の実施形態の図において、本実施形態と同一又は相当部分には同一符号を付し重複する説明は省略する。
<第2の実施形態>
(熱電素子)
以上の構成によれば、温度コントロールユニット18を駆動して熱電素子Teにより熱伝導式ガスセンサ1を一定の温度に温度調節することができる。
(加熱素子)
<第3の実施形態>
<第4の実施形態>
<第5の実施形態>
したがって、熱伝導式ガスセンサと、多孔性吸着式ガスセンサとの双方の特徴を生かした高感度のガス検出装置の実現が可能となる。
また、熱伝導式ガスセンサと、多孔性吸着式ガスセンサとの2つのガスセンサを使用することで、より多くの種類のガスを検知することも可能となる。
(実施例1)
図19及び図20を参照して説明する。図19及び図20は、ガスセンサを示す断面図である。
(実施例2)
図21及び図22を参照して説明する。図21は、ガスセンサを示す断面図であり、図22は、印加電圧とセンサ出力電圧との関係を示している。
<別の実施形態>
(実施例1)
(実施例2)
図25は、熱伝導式ガスセンサを示す断面図であり、図26は、ガス検出装置の特性検出用の模式的な結線図である。
なお、可変抵抗器11bは、検知用サーミスタ2及び補償用サーミスタ2cの抵抗値にばらつきがある場合のブリッジバランスを調整する機能を有している。
(実施例3)
このようにフルブリッジ回路を構成することにより、出力を概ね2倍にすることができ、さらに高感度化して高精度の検出が可能となる。
2・・・・検知用サーミスタ
2c・・・補償用サーミスタ
2p・・・検知用サーミスタ(多孔性吸着式ガスセンサ)
2t・・・温度検知用感熱抵抗素子
3・・・・ガス分子吸着部材
4・・・・ベース部材
5・・・・外装ケース
10・・・ガス検出装置
10a・・検出回路部
11・・・制限抵抗器
12・・・マイコン
17・・・電源回路
18・・・温度コントロールユニット
19・・・データ処理部
20・・・密閉空間形成部
20a・・密閉収容体
20b・・パイプ部
20c・・開閉部
21・・・基板
22・・・導電層
22a・・電極部
22b・・リード部
23・・・薄膜素子層
24・・・保護絶縁層
42・・・導電端子部
51・・・通気部
Ep・・・電力供給回路
G・・・・検知対象物
Hc・・・ヒータコイル
Te・・・熱電素子
前記接続回路に定電圧を印加するとともに、前記サーミスタに過電力を供給して前記サーミスタを熱暴走状態にする電力供給回路と、
前記接続回路における前記サーミスタの電極間の電圧を検知する電圧検知部と、を具備することを特徴とする。
Claims (20)
- 熱伝導式ガスセンサのガス検出装置であって、
少なくとも一対の電極部を有するサーミスタと、前記サーミスタに接続された抵抗器とを有する接続回路と、
前記接続回路に定電圧を印可するとともに、前記サーミスタに過電力を供給して前記サーミスタを熱暴走状態にする電力供給回路と、
前記接続回路における前記サーミスタの電極間の電圧を検知する電圧検知部と、
を具備することを特徴とするガス検出装置。 - 前記サーミスタの電極部には、リード部が溶接された状態で接続されていることを特徴とする請求項1に記載のガス検出装置。
- 前記サーミスタは、MEMS構造であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガス検出装置。
- 前記電力供給回路は、前記サーミスタが破壊に至らないように管理する熱暴走管理機能部としての機能を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 前記熱伝導式ガスセンサには、温度検知用感熱抵抗素子が搭載されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 前記熱伝導式ガスセンサ及び検出対象ガスを同一空間内に収容する密閉空間形成部を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項にガス検出装置。
- 前記密閉空間形成部は、検知対象物が収容される少なくとも一つの密閉収容体と、前記密閉収容体と前記熱伝導式ガスセンサ側とを密閉的に連通状態に繋ぐパイプ部とを有していることを特徴とする請求項6に記載のガス検出装置。
- 前記密閉空間形成部には、検知対象物を収容するための開閉可能な少なくとも一つの蓋部が設けられていることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のガス検出装置。
- 前記パイプ部の連通路には、連通路を開閉可能な少なくとも一つの開閉部が設けられていることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載のガス検出装置。
- 前記熱伝導式ガスセンサを一定の温度にする温度調節素子を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 前記熱伝導式ガスセンサの一定の温度の制御は±0.1℃以下であることを特徴とする請求項10に記載のガス検出装置。
- 前記熱伝導式ガスセンサには、加熱により特定のガス分子が脱離される多孔性のガス分子吸着材料が熱的に結合されたサーミスタが搭載されていることを特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載のガス検出装置。
- 請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載のガス検出装置が備えられていることを特徴とするガス検出装置を備えた装置。
- サーミスタを有する熱伝導式ガスセンサのガス検出方法であって、
前記サーミスタに過電力を供給して前記サーミスタを熱暴走状態にするステップと、
前記熱暴走状態において検出対象ガスを検出するステップと、
を備えることを特徴とするガス検出方法。 - 前記熱暴走状態にするステップの前に、前記熱伝導式ガスセンサを一定の温度にするステップを有することを特徴とする請求項14に記載のガス検出方法。
- 前記熱暴走状態にするステップの後に、前記サーミスタを冷却するステップを有し、
熱暴走過程及び冷却過程を1サイクルとして間欠運転が可能であることを特徴とする請求項14又は請求項15に記載のガス検出方法。 - 前記熱暴走状態にするステップでは、雰囲気温度に対応した電圧をサーミスタに印加して熱暴走状態にすることを特徴とする請求項14乃至請求項16のいずれか一項に記載のガス検出方法。
- 前記検出の開始時からの経過時間としての検出時間を設定して検出対象ガスを検出することを特徴とする請求項14乃至請求項17のいずれか一項に記載のガス検出方法。
- 検出対象ガスと、複数の検出対象以外のガスとが混在する雰囲気において、
前記複数の検出対象以外のガスの熱伝導率が近い値になる雰囲気の温度に、前記サーミスタが熱暴走状態となる動作温度を設定することを特徴とする請求項14乃至請求項16のいずれか一項に記載のガス検出方法。 - サーミスタと熱的に結合されるとともに、加熱により特定のガス分子が脱離される多孔性のガス分子吸着材料とを備え、前記サーミスタに過電力を供給して前記サーミスタを熱暴走状態するガスセンサのガス検出方法であって、
前記サーミスタの印加電圧を変えることにより、ガス分子吸着材料に特定のガス分子が脱離する反応によりガスを検出する機能と、ガス固有の熱伝導率によりガスを検出する熱伝導式ガスセンサとしての機能とを選択できるようにしたことを特徴とするガス検出方法。
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