JPWO2021014680A1 - 光導波路、接着層付き光導波路、光配線部品および電子機器 - Google Patents

Abstract

本発明の光導波路は、互いに表裏の関係を有する第１面および第２面、コア軸に沿って延在するコア部、ならびに、側面クラッド部、を備えるコア層と、第１面上に設けられ、コア層とは反対側の面である接着面を有する第１カバー層と、第２面上に設けられ、コア層とは反対側の面である反対面を有する第２カバー層と、を備え、シート状をなし、接着面に開口する第１凹部を有し、接着面を平面視したとき、第１凹部は、コア軸と交差する第１軸に沿って延在する第１溝を含み、接着面に接する接着層を介して被着体に接着して用いられる。

Description

本発明は、光導波路、接着層付き光導波路、光配線部品および電子機器に関するものである。

光導波路は、接着剤を介して任意の被着体に貼り付けられた状態で用いられることがある。例えば、特許文献１では、接着剤を介して電気回路ユニットに光導波路ユニットを接着している。これにより、電気回路基板に対して光配線の表面実装が可能になる。その結果、例えば、光伝送が可能で、かつ低背化が図られたデバイスを構築することができる。

特開２０１２−１９４４０１号公報

しかしながら、シート状をなす光導波路は、接着面積が大きくなる分、被着体に追従させて貼り付けることが難しい。例えば、被着体の表面が曲面を含む場合、光導波路の形状追従性が低いと、被着体と光導波路との間に隙間が生じやすい。この隙間は、接着強度を低下させる原因となる。

本発明の目的は、被着体に対して密着性よく貼り付けることができる光導波路、接着層付き光導波路および光配線部品、ならびに、信頼性の高い電子機器を提供することにある。

このような目的は、下記（１）〜（１２）の本発明により達成される。
（１） 互いに表裏の関係を有する第１面および第２面を有し、コア軸に沿って延在するコア部、ならびに、側面クラッド部、を備えるコア層と、
前記第１面上に設けられ、前記コア層とは反対側の面である接着面を有する第１カバー層と、
前記第２面上に設けられ、前記コア層とは反対側の面である反対面を有する第２カバー層と、
を備え、
シート状をなし、
前記接着面に開口する第１凹部を有し、
前記接着面を平面視したとき、前記第１凹部は、前記コア軸と交差する第１軸に沿って延在する第１溝を含み、
前記接着面に接する接着層を介して被着体に接着して用いられることを特徴とする光導波路。

（２） 前記第１凹部の底は、前記第１カバー層の内部に位置している上記（１）に記載の光導波路。

（３） 前記第１溝の深さは、前記第１カバー層の厚さの２０〜８０％である上記（１）または（２）に記載の光導波路。

（４） 前記第１溝の幅は、前記第１溝の深さの０．２〜５．０倍である上記（３）に記載の光導波路。

（５） 前記接着面を平面視したとき、前記第１凹部は、前記第１軸と交差する第２軸に沿って延在する第２溝をさらに含む上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の光導波路。

（６） 前記光導波路は、前記第２カバー層の前記反対面に開口する第２凹部をさらに有する上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の光導波路。

（７） 前記第１カバー層および前記第２カバー層の弾性率は、前記コア層の弾性率より大きい上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の光導波路。

（８） 前記コア層と前記第１カバー層との間に設けられている第１クラッド層と、
前記コア層と前記第２カバー層との間に設けられている第２クラッド層と、
を有する上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の光導波路。

（９） 上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路と、
前記光導波路の前記接着面に設けられている未硬化の接着層と、
を有することを特徴とする接着層付き光導波路。

（１０） 前記光導波路の前記第１凹部が、空隙を形成する上記（９）に記載の接着層付き光導波路。

（１１） 上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路を備えることを特徴とする光配線部品。

（１２） 被着体と、
上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の光導波路と、
前記被着体と前記光導波路の前記接着面との間に設けられている接着層と、
を有することを特徴とする電子機器。

本発明によれば、被着体に対して密着性よく貼り付けることができる光導波路、接着層付き光導波路および光配線部品が得られる。
また、本発明によれば、信頼性の高い電子機器が得られる。

図１は、第１実施形態に係る光導波路を示す平面図である。 図２は、図１に示す光導波路の部分拡大斜視図である。 図３は、図１に示す光導波路のＡ−Ａ線断面図および光導波路の使用方法を説明するための図である。 図４は、図３に示す使用方法により光導波路を被着体に貼り合わせた状態を示す図である。 図５は、図３に示す使用方法により光導波路を被着体に貼り合わせた状態を示す図である。 図６は、第１実施形態の第１変形例に係る光導波路の断面図である。 図７は、第１実施形態の第２変形例に係る接着層付き光導波路の断面図である。 図８は、第１実施形態の第３変形例に係る光導波路の断面図である。 図９は、第１実施形態の第４変形例に係る光導波路の断面図である。 図１０は、第１実施形態の第５変形例に係る光導波路の断面図である。 図１１は、第２実施形態に係る光導波路の部分拡大斜視図である。 図１２は、第３実施形態に係る光導波路の断面図である。

以下、本発明の光導波路、接着層付き光導波路、光配線部品および電子機器について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。

１．第１実施形態
まず、第１実施形態に係る光導波路について説明する。

図１は、第１実施形態に係る光導波路を示す平面図である。図２は、図１に示す光導波路の部分拡大斜視図である。図３は、図１に示す光導波路のＡ−Ａ線断面図および光導波路の使用方法を説明するための図である。図４および図５は、それぞれ図３に示す使用方法により光導波路を被着体に貼り合わせた状態を示す図である。なお、図１では、複数の層が積層されてなる光導波路の各層を透視して図示している。また、以下の説明では、説明の便宜上、図３の下方を「下」、上方を「上」として説明している。

本実施形態に係る光導波路１は、図２の下側から、第１カバー層１７、クラッド層１１、コア層１３、クラッド層１２、および第２カバー層１８がこの順で積層されたシート状をなす積層体である。このうち、コア層１３中には、図１に示すように、長尺状の４本のコア部１４と、コア部１４の側面に隣接して設けられた側面クラッド部１５と、が形成されている。なお、本願の各図では、シート状をなす光導波路１が広がっている面をＸ−Ｙ面とし、コア部１４が延在するコア軸をＹ軸とし、Ｙ軸に直交する軸をＸ軸とし、Ｘ軸およびＹ軸の双方に直交する軸をＺ軸とする。

光導波路１の平面視形状は、特に限定されず、正方形、六角形のような多角形、真円、楕円、長円のような円形、その他の形状であってもよいが、図１では長方形である。そして、前述したコア層１３のうち、Ｘ軸に平行な２つの短辺に対応する側面に、コア部１４の端面が露出している。

このような光導波路１は、図３に示すように、第１カバー層１７の下面を接着面１０１として、被着体９に接着するように用いられる。接着面１０１と被着体９との間には、接着層２を介在させる。接着層２の接着性を利用して、光導波路１を被着体９に接着することができる。一方、第２カバー層１８の上面は、反対面１０２とする。

ここで、本実施形態に係る光導波路１は、接着面１０１に開口する第１凹部１７１を有している。光導波路１にこのような第１凹部１７１を設けることにより、第１凹部１７１が設けられている部分では、第１カバー層１７の機械的強度が低下することになる。このため、第１カバー層１７をその厚さ方向に曲げるとき、曲げ剛性を低下させることができる。これにより、光導波路１全体においても、厚さ方向に曲げやすくなる。その結果、例えば図３に示すようにして光導波路１を被着体９に貼り付けるとき、光導波路１の形状追従性を高めることができる。これにより、光導波路１と被着体９との間に隙間や剥離等が生じにくくなり、接着強度を高めることができる。

以下、光導波路１の各部についてさらに詳述する。
１．１ コア層
図１に示すコア層１３中に形成されているコア部１４は、図２に示すように、その側面が、側面クラッド部１５およびクラッド層１１、１２で囲まれている。そして、コア部１４の屈折率は、側面クラッド部１５やクラッド層１１、１２の屈折率よりも高くなっている。これにより、コア部１４に光を閉じ込めて伝搬させることができる。

コア層１３において、コア部１４の光路に直交する面内における屈折率分布は、いかなる分布であってもよく、例えば屈折率が不連続的に変化した、いわゆるステップインデックス（ＳＩ）型の分布であってもよく、屈折率が連続的に変化した、いわゆるグレーデッドインデックス（ＧＩ）型の分布であってもよい。

また、コア部１４の光路に直交する面によるコア部１４の断面形状は、特に限定されず、真円、楕円形、長円形等の円形、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、その他の異形状であってもよい。

コア層１３の平均厚さは、特に限定されないが、１〜２００μｍ程度であることが好ましく、５〜１００μｍ程度であることがより好ましく、１０〜７０μｍ程度であることがさらに好ましい。これにより、コア部１４に必要とされる光学的特性および機械的強度が確保される。

コア層１３の構成材料（主材料）としては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料等が挙げられる。なお、樹脂材料には、異なる組成のものを組み合わせた複合材料も用いられる。また、本明細書において「主材料」とは、構成材料の５０質量％以上を占める材料のことをいい、好ましくは７０質量％以上を占める材料のことをいう。

１．２ クラッド層
クラッド層１１、１２の平均厚さは、それぞれ１〜２００μｍ程度であることが好ましく、３〜１００μｍ程度であることがより好ましく、５〜６０μｍ程度であることがさらに好ましい。これにより、クラッド層１１、１２に必要とされる光学的特性および機械的強度が確保される。

また、クラッド層１１、１２の主材料としては、例えば、前述したコア層１３の構成材料と同様の材料を用いることができる。

なお、クラッド層１１、１２は、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。このとき、例えばコア層１３が外気（空気）に曝されていれば、その外気がクラッド層１１、１２として機能する。

一方、本実施形態に係る光導波路１は、コア層１３と第１カバー層１７との間に設けられているクラッド層１１（第１クラッド層）と、コア層１３と第２カバー層１８との間に設けられているクラッド層１２（第２クラッド層）と、を有している。

このようなクラッド層１１、１２を設けることにより、コア部１４とその外部との間で、安定した屈折率差が生じ、その屈折率差を維持することができる。このため、コア部１４の伝送効率をより高めることができる。

また、クラッド層１１、１２のいずれか一方または双方は、前述したコア層１３中の側面クラッド部１５と一体化していてもよい。

１．３ カバー層
図３に示す光導波路１では、コア層１３が、互いに表裏の関係を有する第１面１３１および第２面１３２を有している。第１カバー層１７は、クラッド層１１を介して第１面１３１上に設けられている。また、第２カバー層１８は、クラッド層１２を介して第２面１３２上に設けられている。このような第１カバー層１７および第２カバー層１８を設けることにより、コア層１３やクラッド層１１、１２を保護し、外部環境等に起因したコア部１４の伝送効率の低下を抑制することができる。なお、本明細書における「面上に設けられる」とは、面に直接設けられる状態と、介在物を介して間接的に設けられる状態の双方を指す。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の平均厚さは、特に限定されないが、１〜２００μｍ程度であることが好ましく、３〜１００μｍ程度であることがより好ましく、５〜５０μｍ程度であることがさらに好ましい。

また、第１カバー層１７および第２カバー層１８は、互いに同じ構成であっても互いに異なる構成であってもよい。例えば、第１カバー層１７および第２カバー層１８は、平均厚さが互いに同じでもよいし、互いに異なっていてもよい。なお、本実施形態における第２カバー層１８は、必要に応じて設けられればよく、省略されていてもよい。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の主材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド等の各種樹脂を含む材料が挙げられる。

このうち、第１カバー層１７および第２カバー層１８の主材料は、それぞれポリイミド系樹脂であることが好ましい。ポリイミド系樹脂は、弾性率が比較的大きく、熱分解温度も高いことから、外力や外部環境に対する十分な耐久性を有している。

なお、第１カバー層１７および第２カバー層１８の構成材料には、必要に応じて、フィラー、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、劣化防止剤、帯電防止剤等が添加されていてもよい。このうち、フィラーを添加することにより、第１カバー層１７および第２カバー層１８の熱膨張係数を調整することができる。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の引張強さは、２００〜８００ＭＰａ程度であることが好ましく、２５０〜７５０ＭＰａ程度であることがより好ましい。第１カバー層１７および第２カバー層１８の引張強さを前記範囲内に設定することにより、十分な耐久性を有する光導波路１が得られる。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の引張強さは、ＪＩＳ Ｋ ７１２７：１９９９（ＡＳＴＭ Ｄ８８２）に規定された引張特性の試験方法に準拠して測定される。また、上記引張強さは、平均厚さ２５μｍの試験片についての２５℃における測定値である。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の弾性率は、３０００〜１２０００ＭＰａ程度であることが好ましく、４０００〜１１０００ＭＰａ程度であることがより好ましい。第１カバー層１７および第２カバー層１８の弾性率を前記範囲内に設定することにより、第１カバー層１７に第１凹部１７１を形成したとしても、第１カバー層１７の機械的強度を十分に確保することができる。これにより、第１凹部１７１を設けたことによる曲げやすさの向上と、第１カバー層１７の機械的強度に基づくコア部１４等の保護能力と、を両立させることができる。また、第１カバー層１７と同様、後述するように第２カバー層１８に凹部を形成したときにも、上記と同様の効果が得られる。

なお、第１カバー層１７および第２カバー層１８の弾性率は、ＪＩＳ Ｋ ７１２７：１９９９（ＡＳＴＭ Ｄ８８２）に規定された引張特性の試験方法に準拠して測定される。また、上記引張強さは、平均厚さ２５μｍの試験片についての２５℃における測定値である。

また、第１カバー層１７および第２カバー層１８は、その弾性率が、コア層１３の弾性率より大きいことが好ましい。このような弾性率の差を設定することにより、第１カバー層１７および第２カバー層１８によって、コア層１３を保護する能力をより高めることができる。その結果、光導波路１に負荷が加わっても、伝送効率が低下しにくいため、信頼性を高めることができる。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の弾性率と、コア層１３の弾性率と、の差は、特に限定されないが、好ましくは５０ＭＰａ以上とされ、より好ましくは１００ＭＰａ以上１０００ＭＰａ以下とされる。弾性率の差を前記範囲内に設定することにより、光導波路１の可撓性を損なうことなく、保護能力を十分に高めることができる。

なお、この比較における、第１カバー層１７、第２カバー層１８およびコア層１３の各弾性率は、以下のような測定方法により測定される。

まず、第１カバー層１７、第２カバー層１８およびコア層１３の各構成材料により、試験片を作製する。試験片のサイズは、縦２０ｍｍ、横５ｍｍ、厚さ０．０２５ｍｍとする。そして、この試験片を動的粘弾性測定装置にセットし、測定温度２０℃から２００℃、引っ張りモード、周波数１０Ｈｚ、自動静荷重の各条件で貯蔵弾性率Ｅ’を測定する。その上で５０℃における測定結果を、各部の弾性率とする。

第１カバー層１７および第２カバー層１８の熱膨張係数は、特に限定されないが、線膨張係数が５〜２５ｐｐｍ／℃程度であることが好ましく、７〜２０ｐｐｍ／℃程度であることがより好ましい。これにより、熱変形が比較的少ない光導波路１が得られる。

なお、第１カバー層１７の熱膨張係数および第２カバー層１８の熱膨張係数は、互いに同程度であることが好ましい。同程度とは、両者の差が２ｐｐｍ／℃以下であることをいう。これにより、第１カバー層１７および第２カバー層１８との間に熱膨張差が特に生じにくくなるため、光導波路１の反りが抑えられ、この反りに伴って接着後の光導波路１が被着体９から剥がれてしまうことを抑制することができる。

１．４ 凹部
光導波路１は、図２および図３に示すように、接着面１０１に開口する第１凹部１７１を有している。この第１凹部１７１は、図１に示すように、Ｘ軸に沿って延在するとともにＹ軸に沿って並んでいる複数の第１凹部１７１Ｘと、Ｙ軸に沿って延在するとともにＸ軸に沿って並んでいる複数の第１凹部１７１Ｙと、を備えている。複数の第１凹部１７１Ｘと複数の第１凹部１７１Ｙとは、互いに交差している。これにより、第１凹部１７１は、接着面１０１を平面視したとき、格子状をなしている。

このような第１凹部１７１を設けることにより、第１カバー層１７では、第１凹部１７１が設けられている部分において、機械的強度が低下する。このため、第１カバー層１７をその厚さ方向に曲げるとき、曲げ剛性を低下させることができる。これにより、例えば図３に示すようにして光導波路１を被着体９に貼り付けるとき、光導波路１の形状追従性を高めることができる。このため、光導波路１と被着体９との間に隙間や剥離等が生じにくくなり、接着強度を高めることができる。

なお、本実施形態に係る第１凹部１７１Ｘは、Ｘ軸（第１軸）に沿って延在する第１溝であり、同様に、第１凹部１７１Ｙは、Ｙ軸（第２軸）に沿って延在する第２溝である。このように第１凹部１７１が溝であることにより、これらの溝と直交する方向に光導波路１を曲げる際の曲げ剛性を特に低下させることができる。したがって、本実施形態のように、互いに交差する第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙを設けることで、曲げやすさの等方性を高めることができ、被着体９の形状によらず、形状追従性に富んだ光導波路１を実現することができる。

また、本実施形態では、第２溝である第１凹部１７１Ｙと、コア部１４が延在するコア軸と、が平行であるが、これらは非平行であってもよい。同様に、第１溝である第１凹部１７１Ｘと、コア部１４が延在するコア軸と、が直交しているが、これらは垂直以外の角度で交差していてもよい。なお、図１における第１凹部１７１Ｘが沿うＸ軸とコア部１４が沿うコア軸との交差角度は９０°であるが、交差角度はこれに限定されず、例えば１０〜９０°であればよく、好ましくは６０〜９０°とされる。第１凹部１７１Ｘ（第１溝）とコア軸との交差角度が上記範囲内であれば、いずれの交差角度においても、優れた形状追従性を備えた光導波路１を実現することができる。

さらに、図１における第１凹部１７１Ｘと第１凹部１７１Ｙとの交差角度は９０°であるが、交差角度はこれに限定されず、例えば１０〜９０°であればよく、好ましくは６０〜９０°とされる。交差角度がこの範囲内であれば、曲げやすさの等方性を十分に確保することができ、形状追従性を十分に高めた光導波路１を実現することができる。

また、硬化前の接着層２が、固形または半固形の接着シートから形成されている場合、接着層２は、図４に示すように、第１凹部１７１にほとんど入り込むことなく硬化する可能性が高い。そうすると、光導波路１と接着層２との間には、第１凹部１７１に伴う空間が残存することになる。言い換えれば、後述する接着層付き光導波路３において、第１凹部１７１が、空隙を形成する。このような空間は、第１カバー層１７の厚さ全体のうち、第１凹部１７１が設けられている部分１７ｂの平均の弾性率を、第１凹部１７１が設けられていない部分１７ａの弾性率に比べて低下させるように作用する。つまり、第１凹部１７１が設けられることにより、部分１７ｂの弾性率の平均値を、材料の弾性率よりも引き下げることができる。これにより、部分１７ｂを、応力を緩和する緩衝層のように作用させることができる。その結果、例えば光導波路１と被着体９との間で熱膨張係数の大きな差がある場合でも、その差に基づく熱応力を、部分１７ｂによって緩和することができる。これにより、熱応力に伴ってコア部１４の伝送効率が低下するのを抑制することができる。

一方、光導波路１を被着体９に接着する際に用いる硬化前の接着層２が、液状の接着剤から形成されている場合、接着層２は、図５に示すように、第１凹部１７１に入り込んで硬化する可能性が高い。そうすると、光導波路１と被着体９との間では、アンカー効果による接着力の増強を図ることができる。併せて、液状の接着剤が第１凹部１７１に入り込むと、毛細管現象に伴って浸透しやすくなるため、接着剤のムラが発生しにくいという利点もある。

なお、接着シートから形成された接着層２が第１凹部１７１に入り込んでいてもよく、液状の接着剤から形成された接着層２が第１凹部１７１に入り込んでいなくてもよい。

また、第１凹部１７１が溝である場合、光導波路１を被着体９に接着する際、接着面１０１と接着層２との間に残存した空気を、溝を介して抜くことができる。このため、接着面１０１と接着層２との間に気泡が生じにくく、気泡に伴う接着強度の低下を抑制することができる。

以上のように、本実施形態に係る光導波路１は、互いに表裏の関係を有する第１面１３１および第２面１３２を有し、Ｙ軸（コア軸）に沿って延在するコア部１４、ならびに、側面クラッド部１５を備えるコア層１３と、第１面１３１上に設けられ、コア層１３とは反対側の面である接着面１０１を有する第１カバー層１７と、第２面１３２上に設けられ、コア層１３とは反対側の面である反対面１０２を有する第２カバー層１８と、を備えている。そして、光導波路１は、シート状をなしており、接着面１０１に開口する第１凹部１７１を有している。また、このような光導波路１は、接着面１０１に接する接着層２を介して被着体９に接着して用いられる。

このような光導波路１は、前述したようにして被着体９に貼り付けて使用される際、被着体９の形状に対して追従しやすいという特長を備える。このため、貼り付ける際、または貼り付けた後、光導波路１と被着体９との間に隙間や剥離等が生じにくくなる。その結果、接着強度を高めることができる。特に、被着体９の表面が曲面を含んでいる場合でも、光導波路１を追従させやすいという点で、光導波路１は有用である。

また、第１凹部１７１は、接着面１０１を平面視した際の形状が、等方的な形状、例えば正方形、真円等であってもよいが、図１では異方性が大きい形状である線状をなしている。すなわち、第１凹部１７１は、Ｘ軸（第１軸）に沿って延在する第１凹部１７１Ｘ（第１溝）、および、Ｘ軸と交差するＹ軸（第２軸）に沿って延在する第１凹部１７１Ｙ（第２溝）を含んでいる。第１凹部１７１がこのような溝を含むことにより、光導波路１を厚さ方向に曲げる際の曲げ剛性を特に低下させることができる。また、第１凹部１７１が溝を含むことにより、第１凹部１７１を介して空気が抜けやすくなるので、接着面１０１と接着層２との間に気泡が残留しにくくなるという利点がある。さらには、このような形状であれば、ダイシングブレード等の機械的方法により、比較的簡単に第１凹部１７１を形成することができるので、第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙを含む第１凹部１７１は、その点でも有用である。

加えて、第１凹部１７１が、互いに交差する第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙの双方を含むことにより、曲げやすさの等方性を高めることができ、被着体９の形状によらず、形状追従性に富んだ光導波路１を実現することができる。

なお、第１凹部１７１は、第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙのいずれか一方は、省略されてもよい。

また、図３に示す第１凹部１７１の底は、第１カバー層１７の内部に位置している。換言すれば、第１凹部１７１は、第１カバー層１７を貫通していない。これにより、コア層１３やクラッド層１１、１２を保護するという第１カバー層１７の機能が損なわれにくくなる。このため、曲げやすさを確保しつつ、信頼性の高い光導波路１を実現することができる。

第１凹部１７１は、複数の第１凹部１７１Ｘを備えているが、これらの深さは互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。同様に、第１凹部１７１は、複数の第１凹部１７１Ｙを備えているが、これらの深さは互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。また、第１凹部１７１Ｘの深さおよび第１凹部１７１Ｙの深さも、互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。

第１凹部１７１の深さ、すなわち、部分１７ｂの厚さは、第１カバー層１７の厚さ未満であれば、特に限定されないが、第１カバー層１７の厚さの１〜９０％であることが好ましく、２０〜８０％であることがより好ましく、４０〜７５％であることがさらに好ましい。第１凹部１７１の深さを前記範囲内に設定することにより、光導波路１の形状追従性と第１カバー層１７による保護能力との両立を図ることができる。

なお、第１凹部１７１の深さが前記下限値を下回ると、第１凹部１７１が浅くなりすぎるため、光導波路１の形状追従性を十分に高めることができないおそれがある。一方、第１凹部１７１の深さが前記上限値を上回ると、第１凹部１７１が深くなりすぎて、部分１７ａの厚さが薄くなりすぎるおそれがある。このため、負荷が加わった際に、第１凹部１７１が貫通し、さらに進展してしまうなどして、保護能力が低下するおそれがある。

第１凹部１７１Ｘの幅ＷＸおよび第１凹部１７１Ｙの幅ＷＹは、それぞれ、光導波路１の厚さや大きさ等に応じて適宜設定されるが、一例として、５０μｍ以上５ｍｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以上３ｍｍ以下であることがより好ましい。これにより、光導波路１の形状追従性を特に高めることができる。

なお、第１凹部１７１Ｘの幅ＷＸおよび第１凹部１７１Ｙの幅ＷＹは、第１凹部１７１の深さの０．２〜５．０倍程度であることが好ましく、０．５〜３．０倍程度であることがより好ましい。これにより、第１カバー層１７の機械的強度を低下させることなく、形状追従性を特に高めることができる。

第１凹部１７１Ｘ同士のピッチＰＸおよび第１凹部１７１ＹのピッチＰＹは、それぞれ、幅ＷＸ、ＷＹや光導波路１の厚さ、大きさ等に応じて適宜設定されるが、一例として、１００μｍ以上１００ｍｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以上５０ｍｍ以下であることがより好ましい。これにより、光導波路１の形状追従性を特に高めることができる。

複数の第１凹部１７１Ｘは、これらの幅が互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。同様に、複数の第１凹部１７１Ｙは、これらの幅が互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。さらに、第１凹部１７１Ｘの幅および第１凹部１７１Ｙの幅も、互いに同じでも、互いに異なっていてもよい。

なお、第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙは、それぞれ、途中で深さまたは幅が変化していてもよい。また、第１凹部１７１ＸがＹ軸に沿って並ぶときのピッチ、および、第１凹部１７１ＹがＸ軸に沿って並ぶときのピッチは、それぞれ一定であっても途中で変化していてもよい。さらに、本実施形態に係る第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙは、いずれも線状に延びているが、この線形は、曲線のみで構成されていてもよいし、直線および曲線で構成されていてもよい。

図１に示す第１凹部１７１Ｘの延在方向の端部は、第１カバー層１７の端面に露出しているが、端面に至る手前に位置していてもよい。同様に、図１に示す第１凹部１７１Ｙの延在方向の端部は、第１カバー層１７の端面に至る手前に位置しているが、端面に露出していてもよい。

第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙの断面形状は、特に限定されず、図示した四角形であっても、それ以外の形状、例えば半円形、三角形、五角形等であってもよい。

また、図１に示す第１凹部１７１Ｘ（第１溝）は、Ｘ軸（第１軸）に沿って延在しているが、このＸ軸は、接着面１０１を平面視したとき、コア軸（Ｙ軸）と交差している。つまり、第１溝である第１凹部１７１Ｘは、平面視において、コア部１４と交差するように設けられている。このような配置を採用することにより、平面視において、第１凹部１７１とコア部１４とが重なる面積を小さくすることができる。第１凹部１７１とコア部１４とが重なる領域では、第１凹部１７１に接着層２が入り込んだ場合、接着層２の組成や物性等によっては、第１凹部１７１の周辺に応力が発生し、コア部１４の伝送効率が低下することが懸念される。これに対し、本実施形態では、この領域の面積を最小限に抑えることによって、かかる懸念についても最小化することができる。その結果、被着体９に接着した後の光導波路１の信頼性をより高めることができる。

一方、図１に示す第１凹部１７１Ｙ（第２溝）は、Ｙ軸（第２軸）に沿って延在しているが、このＹ軸は、接着面１０１を平面視したとき、コア軸と平行である。そして、第１凹部１７１Ｙは、コア部１４と重ならないように、互いにずれている。これらが仮に重なっていると、長い距離にわたって重なる領域が発生するため、第１凹部１７１Ｙの周辺に応力が発生した際、コア部１４の伝送効率の低下が懸念される。これに対し、本実施形態では、第１凹部１７１Ｙとコア部１４とが互いにずれていることにより、かかる懸念を最小化することができる。その結果、被着体９に接着した後の光導波路１の信頼性をより高めることができる。

１．５ 接着層
図３に示す接着層２は、光導波路１を被着体９に接着するとき、双方の間に介在していればよいが、あらかじめ光導波路１側に設けておくようにしてもよい。つまり、光導波路１と、接着面１０１に設けられた未硬化の接着層２と、により、接着層付き光導波路３を構築することができる。

このように、本実施形態に係る接着層付き光導波路３は、光導波路１と未硬化の接着層２とを有しているので、任意の被着体９に容易に貼り付けることができる。したがって、接着層付き光導波路３は、取り扱い性が良好という点で有用である。

接着層２を構成する接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤、エポキシ系接着剤の他、ポリエステル系、変性オレフィン系の各種ホットメルト接着剤等が挙げられる。

未硬化の接着層２は、未硬化の状態が液状であっても、固形または半固形であってもよく、硬化反応が一部進行している状態であってもよい。また、接着層２の硬化原理は、熱硬化性であっても、光硬化性であってもよい。

なお、未硬化の接着層２は、接着面１０１の全体に設けられていてもよいし、一部に設けられていてもよい。

硬化後の接着層２の厚さは、特に限定されないが、１〜１００μｍであることが好ましく、５〜６０μｍであることがより好ましい。

２．第１実施形態の第１変形例
次に、第１実施形態の第１変形例に係る光導波路について説明する。
図６は、第１実施形態の第１変形例に係る光導波路の断面図である。

以下、第１実施形態の第１変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図６において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第１変形例は、第１凹部１７１の構成が異なる以外、第１実施形態と同様である。

図６では、複数の第１凹部１７１のうち、一部の第１凹部１７１が第１カバー層１７を貫通している。そして、この第１凹部１７１の底は、クラッド層１１の内部に位置している。

このように、第１凹部１７１は、その一部または全部が第１カバー層１７を貫通していてもよい。すなわち、本願における「凹部」は、貫通孔を含む概念である。
以上のような第１変形例においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

３．第１実施形態の第２変形例
次に、第１実施形態の第２変形例に係る接着層付き光導波路について説明する。
図７は、第１実施形態の第２変形例に係る接着層付き光導波路の断面図である。

以下、第１実施形態の第２変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図７において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第２変形例は、第１凹部１７１の構成が異なる以外、第１実施形態と同様である。

図７に示す接着層２は、第１凹部１７１に対応する位置に設けられた貫通孔２１を有している。このような貫通孔２１を設けることにより、接着後の光導波路１と被着体９との間には、第１凹部１７１と貫通孔２１とが連結してなる空間が形成される。かかる空間は、図４よりも体積が大きいため、その分、応力を緩和する緩衝層としての機能を高めることができる。
以上のような第２変形例においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

４．第１実施形態の第３変形例
次に、第１実施形態の第３変形例に係る光導波路について説明する。
図８は、第１実施形態の第３変形例に係る光導波路の断面図である。

以下、第１実施形態の第３変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図８において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

第３変形例は、第１カバー層１７および第２カバー層１８の構成が異なる以外、第１実施形態と同様である。

前述した第１実施形態では、光導波路１がクラッド層１１、１２を有しているのに対し、本第３変形例では、クラッド層１１、１２が省略されている。そして、第１カバー層１７がクラッド層１１の機能を有し、第２カバー層１８がクラッド層１２の機能を有している。
以上のような第３変形例においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

５．第１実施形態の第４変形例
次に、第１実施形態の第４変形例に係る光導波路について説明する。
図９は、第１実施形態の第４変形例に係る光導波路の断面図である。

以下、第１実施形態の第４変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図９において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

第４変形例は、第１凹部１７１の構成が異なる以外、第１実施形態と同様である。
前述した第１実施形態では、第１凹部１７１は、Ｘ軸に沿って延在するとともにＹ軸に沿って並んでいる複数の第１凹部１７１Ｘと、Ｙ軸に沿って延在するとともにＸ軸に沿って並んでいる複数の第１凹部１７１Ｙと、を備え、格子状をなしている。これに対し、本第４変形例では、第１凹部１７１が、格子状をなしているものの、第１実施形態に対してＺ軸まわりに４５°回転している。これにより、第１凹部１７１Ｘおよび第１凹部１７１Ｙの双方が、コア部１４に対して４５°の交差角度で交差している。また、本第４変形例では、第１凹部１７１が格子状をなしているものの、第１凹部１７１とコア部１４との位置関係によらず、第１凹部１７１とコア部１４とが重なる面積は一定である。このため、コア部１４の伝送効率にムラが生じにくいという利点がある。
以上のような第４変形例においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

なお、本第４変形例では、第１実施形態に対して、第１凹部１７１をＺ軸まわりに４５°回転させているが、この回転角度は、特に限定されず、何度であってもよい。一例として、１０〜８０°程度であれば、上記効果が生じやすいという点で有用である。

６．第１実施形態の第５変形例
次に、第１実施形態の第５変形例に係る光導波路について説明する。
図１０は、第１実施形態の第５変形例に係る光導波路の断面図である。

以下、第１実施形態の第５変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図１０において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

第５変形例は、第１凹部１７１の構成が異なる以外、第１実施形態と同様である。
前述した第１実施形態では、第１凹部１７１は、複数の第１凹部１７１Ｘと、複数の第１凹部１７１Ｙと、を備え、格子状をなしている。これに対し、本第５変形例では、第１凹部１７１が、複数の第１凹部１７１Ｘのみを備えている。本第５変形例では、第１凹部１７１とコア部１４との位置関係によらず、第１凹部１７１とコア部１４とが重なる面積は一定である。このため、コア部１４の伝送効率にムラが生じにくいという利点がある。
以上のような第５変形例においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

７．第２実施形態
次に、第２実施形態に係る光導波路について説明する。
図１１は、第２実施形態に係る光導波路の部分拡大斜視図である。

以下、第２実施形態について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図１１において第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

第２実施形態は、第２カバー層１８が第２凹部１８１を備えている以外、第１実施形態と同様である。

図１１に示す光導波路１は、第２カバー層１８の上面である反対面１０２に開口する第２凹部１８１を有している。すなわち、本実施形態に係る光導波路１は、第１凹部１７１および第２凹部１８１の双方を有する。この第２凹部１８１は、Ｘ軸に沿って延在するとともにＹ軸に沿って並んでいる複数の第２凹部１８１Ｘと、Ｙ軸に沿って延在するとともにＸ軸に沿って並んでいる複数の第２凹部１８１Ｙと、を備えている。

このような第２凹部１８１は、形成位置が異なる以外は、第１凹部１７１と同様である。第２凹部１８１を設けることにより、光導波路１の形状追従性をさらに高めることができる。これにより、例えば被着体９の表面がうねっているような場合でも、光導波路１を密着性よく貼り付けることができる。

なお、反対面１０２を平面視したとき、第１凹部１７１および第２凹部１８１は、互いに重なっているのが好ましい。これにより、第１凹部１７１が内側に位置するように光導波路１を曲げた場合と、第２凹部１８１が内側に位置するように光導波路１を曲げた場合とで、光導波路１の形状追従性を同等にすることができる。したがって、被着体９の表面形状によらず、光導波路１を密着させることができ、接着後の隙間や剥離等が生じるのを抑制することができる。

なお、互いに重なるとは、第１凹部１７１および第２凹部１８１がそれぞれ溝である場合、溝の幅の少なくとも一部において重なっている状態を指す。

また、接着面１０１を平面視したときの第１凹部１７１が占める面積と、反対面１０２を平面視したときの第２凹部１８１が占める面積と、が互いに等しいことが好ましい。これにより、第１凹部１７１が内側に位置するように光導波路１を曲げた場合と、第２凹部１８１が内側に位置するように光導波路１を曲げた場合とで、光導波路１の形状追従性を同等にすることができる。
以上のような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。

また、第１凹部１７１の構成および第２凹部１８１の構成は、互いに同じであっても異なっていてもよい。例えば、第１凹部１７１の幅や深さおよび第２凹部１８１の幅や深さは、それぞれ互いに同じであっても異なっていてもよい。

８．第３実施形態
次に、第３実施形態に係る光導波路について説明する。
図１２は、第３実施形態に係る光導波路の断面図である。

以下、第３実施形態について説明するが、以下の説明では、第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図１２において第２実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

第３実施形態は、第１凹部１７１が省略されている以外、第２実施形態と同様である。したがって、図１２に示す接着面１０１は、第１凹部１７１が存在しておらず、平坦面になっている。一方、図１２に示す第２カバー層１８は、反対面１０２に開口する第２凹部１８１を有している。第１凹部１７１が省略されても、第２凹部１８１が設けられているため、光導波路１は、形状追従性を有するものとなる。
以上のような第３実施形態においても、第２実施形態と同様の効果が得られる。

９．光配線部品
上述したような光導波路１は、任意の部品と組み合わせて光配線部品を構成する。すなわち、本実施形態に係る光配線部品は、光導波路１と任意の部品とを備える。かかる光配線部品も、被着体に対して密着性よく貼り付けて用いられる。このため、実装が容易な光配線部品を実現することができる。任意の部品としては、例えば、コネクター、ミラー、レンズ、フィルター等が挙げられる。

コネクターは、光導波路１の端部に装着され、他の光学部品と光導波路１との接続を担う。コネクターは、光接続用の規格に準じた形状を有していてもよい。かかる規格としては、例えばＭＴ等が挙げられる。

ミラーは、光導波路１の内部に設けられてもよいし、外部に設けられてもよい。内部に設けた場合、光導波路１のコア部１４を伝搬する光路を変換することができる。外部に設けた場合、光導波路１に入射する光の光路、または、光導波路１から出射する光の光路を変換することができる。

レンズも、光導波路１の内部に設けられていてもよいし、外部に設けられていてもよい。内部に設けた場合、光導波路１のコア部１４を伝搬する光を集束または発散させることができる。外部に設けた場合、光導波路１に入射する光、または、光導波路１から出射する光を集束または発散させる。

フィルターも、光導波路１の内部に設けられていてもよいし、外部に設けられていてもよい。内部に設けた場合、光導波路１のコア部１４を伝搬する光の波長、位相等を変換することができる。外部に設けた場合、光導波路１に入射する光、または、光導波路１から出射する光の波長、位相等を変換することができる。

１０．電子機器
上述したような光導波路１は、被着体９に対して隙間を抑制しつつ貼り付けることができ、かつ、貼り付け後も剥離等の不具合を発生させにくい。このため、かかる被着体９と、光導波路１と、被着体９と光導波路１の接着面１０１との間に設けられてる接着層２と、を有することにより、信頼性の高い電子機器を実現することができる。

電子機器としては、例えば、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話、ゲーム機、ルーター装置、ＷＤＭ装置、パソコン、テレビ、サーバー、スーパーコンピューター等の情報通信機器類や、医療用機器、センサー機器の他、車両、航空機、船舶の計器類、自動車制御機器、航空機制御機器、鉄道車両制御機器、船舶制御機器、宇宙船制御機器、ロケット制御機器のような移動体制御機器類、発電所、製油所、製鉄所、化学コンビナートのようなプラントを制御するプラント制御機器類等が挙げられる。

以上、本発明の光導波路、接着層付き光導波路、光配線部品および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されない。

例えば、接着層付き光導波路は、接着層を覆う保護層をさらに有していてもよい。この保護層は、接着層付き光導波路を被着体に接着する直前に剥がされることで、清浄な接着面を容易に準備することを可能にする。その結果、異物の巻き込みを抑えることができ、より密着性の高い接着を行うことができる。
また、コア部の線形は、特に限定されず、直線であっても、曲線を含んでいてもよい。

次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１１．光導波路と被着体との接着体の製造
（実施例１）
まず、図１および図２に示す光導波路を用意した。この光導波路の製造条件は、表１に示す通りである。また、接着層として、エポキシ接着剤で構成された接着シートを使用した。

次に、この光導波路をガラス製の被着体に、接着層（接着シート）を介して貼り付けた。また、被着体は、凹曲面を有するガラス板であり、この凹曲面に光導波路を貼り付けるようにした。
以上のようにして光導波路と被着体との接着体を得た。

なお、平面視において、第１カバー層に設けた第１凹部と、第２カバー層に設けた第２凹部とが、重なるように互いの位置を設定した。

一方、平面視において、第１凹部および第２凹部のうち、Ｙ軸に沿って延在する凹部と、コア部とが、重ならないように互いの位置を設定した。

また、本例では、接着シートを使用したため、凹部に伴う空隙が生じていることが確認できた。

（実施例２、３）
製造条件を表１に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例４）
第２凹部の形成を省略した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例５）
第１凹部のうち、Ｙ軸に沿って延在する溝を省略した以外は、実施例４と同様にして接着体を得た。なお、第１凹部のうち、Ｙ軸に沿って延在する溝を省略すると、Ｘ軸に沿って延在する溝のみが残るため、第１凹部の平面視形状は、縞状であった。

（実施例６）
第１凹部の形成を省略した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例７、８）
製造条件を表１に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例９）
平面視において、第１凹部と第２凹部とが重ならないように互いの位置を設定した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例１０）
平面視において、第１凹部および第２凹部と、コア部とが、重なるように互いの位置を設定した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（実施例１１）
接着シートに代えて液状の接着剤を使用した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。液状の接着剤を使用したため、凹部が接着剤で埋まっていることが確認できた。

（実施例１２〜１８）
製造条件を表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

（比較例）
第１凹部および第２凹部の双方を省略した以外は、実施例１と同様にして接着体を得た。

１２．接着体の評価結果
１２．１ 密着性の評価
まず、接着体について、ガラス板側から目視で観察した。そして、被着体と光導波路との間の剥離の有無を確認し、剥離があった場合には、その面積を計測した。

次に、各接着体について、剥離の面積の合計を算出した。そして、比較例の接着体における剥離の面積の合計を１としたとき、各実施例の接着体における剥離の面積の合計の相対値を算出した。

次に、得られた相対値を以下の評価基準に照らし、評価した。
＜密着性の評価基準＞
Ａ：剥離の面積の相対値が０．５０未満
Ｂ：剥離の面積の相対値が０．５０以上０．７５未満
Ｃ：剥離の面積の相対値が０．７５以上１．００未満
Ｄ：剥離の面積の相対値が１．００以上
以上の評価結果を表１および表２に示す。

１２．２ 伝送損失の評価
得られた接着体を、温度サイクル試験（−１０℃〜６０℃、５００サイクル）に供した。

次に、試験後の接着体について、「高分子光導波路の試験方法（ＪＰＣＡ−ＰＥ０２−０５−０１Ｓ−２００８）」の４．６．２．１カットバック方法に準拠して、伝搬損失を求めた。なお、測定には、波長８５０ｎｍの光を用いた。

そして、求めた伝搬損失を、以下の評価基準に照らして評価した。
＜伝搬損失の評価基準＞
Ａ：伝搬損失が小さい（０．０５［ｄＢ／ｃｍ］未満である）
Ｂ：伝搬損失がやや小さい（０．０５［ｄＢ／ｃｍ］以上０．１［ｄＢ／ｃｍ］未満である）
Ｃ：伝搬損失がやや大きい（０．１［ｄＢ／ｃｍ］以上０．２［ｄＢ／ｃｍ］未満である）
Ｄ：伝搬損失が大きい（０．２［ｄＢ／ｃｍ］以上である）
以上の評価結果を表１および表２に示す。

表１および表２に示すように、各実施例で得られた接着体では、光導波路と被着体との密着性が良好であった。

また、各実施例で得られた接着体では、温度サイクル試験を経た後でも、伝送損失が小さい状態が維持されていた。特に、凹部に伴う空隙がある場合には、その傾向が顕著であった。

本発明の光導波路は、接着層を介して被着体に接着して用いられ、互いに表裏の関係を有する第１面および第２面を有し、コア軸に沿って延在するコア部を備えるコア層と、第１面上に設けられ、コア層とは反対側の面である接着面を有する第１カバー層と、第２面上に設けられ、コア層とは反対側の面である反対面を有する第２カバー層とを備えている。この第１カバー層の接着面には、その平面視において、コア軸と交差する第１軸に沿って延在する第１溝を含む第１凹部が設けられている。このような第１凹部を設けることにより、第１カバー層では、第１凹部が設けられている部分において、機械的強度が低下する。このため、第１カバー層をその厚さ方向に曲げるとき、曲げ剛性を低下させることができる。これにより、光導波路を被着体に貼り付けるとき、光導波路の形状追従性を高めることができる。このため、光導波路と被着体との間に隙間や剥離等が生じにくくなり、接着強度を高めることができる。したがって、本発明は、産業上の利用可能性を有する。

Claims (12)

1. 互いに表裏の関係を有する第１面および第２面を有し、コア軸に沿って延在するコア部、ならびに、側面クラッド部、を備えるコア層と、
   前記第１面上に設けられ、前記コア層とは反対側の面である接着面を有する第１カバー層と、
   前記第２面上に設けられ、前記コア層とは反対側の面である反対面を有する第２カバー層と、
   を備え、
   シート状をなし、
   前記接着面に開口する第１凹部を有し、
   前記接着面を平面視したとき、前記第１凹部は、前記コア軸と交差する第１軸に沿って延在する第１溝を含み、 前記接着面に接する接着層を介して被着体に接着して用いられることを特徴とする光導波路。
2. 前記第１凹部の底は、前記第１カバー層の内部に位置している請求項１に記載の光導波路。
3. 前記第１溝の深さは、前記第１カバー層の厚さの２０〜８０％である請求項１または２に記載の光導波路。
4. 前記第１溝の幅は、前記第１溝の深さの０．２〜５．０倍である請求項３に記載の光導波路。
5. 前記接着面を平面視したとき、前記第１凹部は、前記第１軸と交差する第２軸に沿って延在する第２溝をさらに含む請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光導波路。
6. 前記光導波路は、前記第２カバー層の前記反対面に開口する第２凹部をさらに有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光導波路。
7. 前記第１カバー層および前記第２カバー層の弾性率は、前記コア層の弾性率より大きい請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光導波路。
8. 前記コア層と前記第１カバー層との間に設けられている第１クラッド層と、
   前記コア層と前記第２カバー層との間に設けられている第２クラッド層と、
   を有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光導波路。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の光導波路と、
   前記光導波路の前記接着面に設けられている未硬化の接着層と、
   を有することを特徴とする接着層付き光導波路。
10. 前記光導波路の前記第１凹部が、空隙を形成する請求項９に記載の接着層付き光導波路。
11. 請求項１ないし８のいずれか１項に記載の光導波路を備えることを特徴とする光配線部品。
12. 被着体と、
    請求項１ないし８のいずれか１項に記載の光導波路と、
    前記被着体と前記光導波路の前記接着面との間に設けられている接着層と、
    を有することを特徴とする電子機器。

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