JPWO2018029845A1 - プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<大気圧プラズマ発生装置の構成>
図1乃至図5に、本発明の第1実施例の大気圧プラズマ発生装置10を示す。大気圧プラズマ発生装置10は、大気圧下でプラズマを発生させるための装置であり、プラズマガス噴出装置12と、加熱ガス供給装置14と、制御装置(図7参照)16とを備えている。なお、図1は、大気圧プラズマ発生装置10の斜視図であり、図2は、プラズマガス噴出装置12の保護カバー17と加熱ガス供給装置14の保護カバー18とを取り外した状態の大気圧プラズマ発生装置10の斜視図である。図3は、大気圧プラズマ発生装置10の下端部を斜め下方からの視点において示す斜視図である。図4は、プラズマガス噴出装置12の要部の透過図である。図5は、図4のAA線における断面図である。なお、大気圧プラズマ発生装置10の幅方向をX方向と、大気圧プラズマ発生装置10の奥行方向をY方向と、X方向とY方向とに直行する方向、つまり、上下方向をZ方向と称する。
大気圧プラズマ発生装置10において、プラズマガス噴出装置12では、上述した構成により、反応室38の内部で処理ガスがプラズマ化され、ノズルブロック36の第4ガス流路66の下端からプラズマガスが噴出される。また、加熱ガス供給装置14により加熱されたガスが下部カバー22の内部に供給される。そして、下部カバー22の貫通穴70から、プラズマガスが、加熱されたガスとともに噴出され、被処理体がプラズマ処理される。ただし、大気圧プラズマ発生装置10では、被処理体へのプラズマ処理の前に、プラズマガス噴出装置12の暖機運転が行われる。これは、プラズマガス噴出装置12、特に、メインハウジング30が充分に暖まっていない状態では、反応室38において処理ガスを好適にプラズマ化することができず、プラズマの発生能力が低いためである。以下に、大気圧プラズマ発生装置10によるプラズマ処理について、詳しく説明する。
図8に、第2実施例の大気圧プラズマ発生装置160を示す。第2実施例の大気圧プラズマ発生装置160は、ヒートシンク162を除いて、第1実施例の大気圧プラズマ発生装置10と略同じ構成とされている。このため、ヒートシンク162について説明し、その他の構成については、第1実施例の大気圧プラズマ発生装置10の構成と同じ符号を用いて説明を省略あるいは簡略に行う。
Claims (5)
- 放電により処理ガスをプラズマ化させる反応室が形成された本体部と、
流路が形成され、その流路を流れる流体により前記本体部を冷却する冷却部と、
前記本体部に形成され、前記反応室においてプラズマ化されたプラズマガスを噴出させるための噴出口と、
前記冷却部において前記本体部の冷却に用いられた流体を加熱し、その加熱した流体を、前記噴出口から噴出されたプラズマガスに対して噴出する噴出装置と
を備えることを特徴とするプラズマ発生装置。 - 前記流路が、
流体が前記反応室に接近する方向に向かって流れた後に、前記反応室から離間する方向に流れるように形成されたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 前記本体部が、直方体形状をなし、
その直方体形状の本体部の4つの側面のうちの1の側面に、前記噴出装置が配設され、
前記1の側面と対向する側面に、前記プラズマ発生装置を所定の位置に取り付けるための取付部が配設され、
前記4つの側面のうちの残りの2つの側面に、1対の前記冷却部が配設されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ発生装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置を用いて被処理体にプラズマを照射するプラズマ照射方法であって、
前記反応室において放電により処理ガスをプラズマ化させることで、前記本体部を暖機する暖機工程と、
前記暖機工程において前記本体部が暖機された後に、被処理体にプラズマを照射する照射工程と、
前記暖機工程において前記本体部が暖機された後に、前記冷却部による前記本体部の冷却を開始する冷却工程と
を含むことを特徴とするプラズマ照射方法。 - 前記暖機工程において前記反応室に流される処理ガスの単位時間当たりの流量が、前記照射工程において前記反応室に流される処理ガスの単位時間当たりの流量より少ないことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ照射方法。
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