JPH07164151A - プラズマ炎の拡幅方法 - Google Patents
プラズマ炎の拡幅方法Info
- Publication number
- JPH07164151A JPH07164151A JP5310415A JP31041593A JPH07164151A JP H07164151 A JPH07164151 A JP H07164151A JP 5310415 A JP5310415 A JP 5310415A JP 31041593 A JP31041593 A JP 31041593A JP H07164151 A JPH07164151 A JP H07164151A
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- Japan
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- plasma
- gas
- flame
- torch
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 鋼材など金属材料の加熱に際し、プラズマ炎
を揺動させ被処理材に直接当てて加熱する方法におい
て、１基のプラズマトーチによる噴射揺動条件を規定
し、プラズマ炎を使用した工業的な熱処理の実施を実現
する。 【構成】 プラズマトーチより噴射するプラズマ炎に対
し、噴射方向と交差する方向に揺動ガスを吹込み、プラ
ズマ炎を揺動させる方法において、プラズマ炎の噴射速
度Ｖp を２５０ｍ／sec 以上とし、かつ噴射方向と吹込
み方向のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹込み速度Ｖg
（ｍ／sec ）の関係を下記式の範囲にする。 Ｖg ≧０．４５θ2 −７０．５θ＋３０１０
を揺動させ被処理材に直接当てて加熱する方法におい
て、１基のプラズマトーチによる噴射揺動条件を規定
し、プラズマ炎を使用した工業的な熱処理の実施を実現
する。 【構成】 プラズマトーチより噴射するプラズマ炎に対
し、噴射方向と交差する方向に揺動ガスを吹込み、プラ
ズマ炎を揺動させる方法において、プラズマ炎の噴射速
度Ｖp を２５０ｍ／sec 以上とし、かつ噴射方向と吹込
み方向のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹込み速度Ｖg
（ｍ／sec ）の関係を下記式の範囲にする。 Ｖg ≧０．４５θ2 −７０．５θ＋３０１０
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、鋼材等の加熱に際し
て、プラズマトーチから噴射されるプラズマ炎を揺動さ
せることにより、加熱領域を拡大する方法に関するもの
である。
て、プラズマトーチから噴射されるプラズマ炎を揺動さ
せることにより、加熱領域を拡大する方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】鋼材など金属材料の加熱に際して、プラ
ズマトーチから噴射されるプラズマ炎を被処理材に直接
当てる方法が知られている。この方法は、被処理材が急
速に加熱されること、無酸化性あるいは還元性のプラズ
マを採用することにより、酸化スケールのない処理材が
得られる等の利点がある。
ズマトーチから噴射されるプラズマ炎を被処理材に直接
当てる方法が知られている。この方法は、被処理材が急
速に加熱されること、無酸化性あるいは還元性のプラズ
マを採用することにより、酸化スケールのない処理材が
得られる等の利点がある。
【０００３】しかし、このような高密度エネルギーを利
用する場合は、被処理材の狭い領域にエネルギーを集中
させるため、プラズマ炎の照射面積が極度に限定される
ので、鋼板などの広い範囲を加熱するには、プラズマト
ーチを多数配置するか、あるいはプラズマトーチを機械
的に振らせて照射面積を拡大することが必要となる。
用する場合は、被処理材の狭い領域にエネルギーを集中
させるため、プラズマ炎の照射面積が極度に限定される
ので、鋼板などの広い範囲を加熱するには、プラズマト
ーチを多数配置するか、あるいはプラズマトーチを機械
的に振らせて照射面積を拡大することが必要となる。
【０００４】本発明者等は、プラズマトーチの噴射口に
磁場をかけることによりプラズマ炎を揺動させて、被処
理材の照射面積を拡大する技術を特開平４−２７９２８
４号公報により、また、噴射口を出たプラズマ炎にガス
を吹込んで揺動させる技術を特開平５−２３４６９５号
公報により提案している。
磁場をかけることによりプラズマ炎を揺動させて、被処
理材の照射面積を拡大する技術を特開平４−２７９２８
４号公報により、また、噴射口を出たプラズマ炎にガス
を吹込んで揺動させる技術を特開平５−２３４６９５号
公報により提案している。
【０００５】上記従来技術のうち、特開平５−２３４６
９５号公報により提案した、ガス吹込みによるプラズマ
炎の揺動技術を図３および図４に示す。図３はこの技術
に用いられるプラズマトーチ例の縦断面を示し、図４は
その下面を示す。図３は図４のＩ−Ｉ矢視断面図であ
る。
９５号公報により提案した、ガス吹込みによるプラズマ
炎の揺動技術を図３および図４に示す。図３はこの技術
に用いられるプラズマトーチ例の縦断面を示し、図４は
その下面を示す。図３は図４のＩ−Ｉ矢視断面図であ
る。
【０００６】電極１がチャック２に掴まれ電極キャップ
３に締め付けられている。電極キャップ３は電極台４に
嵌合され、トーチ基幹５の上端部に装着されている。ト
ーチ基幹５の下端部には、内ノズル部材６が装着されて
おり、内ノズル部材６と電極１の間にセンタリングスト
ーン７が介挿され、電極１が位置決めされている。また
トーチ基幹５の下端には、外ノズル部材８が装着されて
いる。そして内ノズル部材６には内ノズル６ｎ、外ノズ
ル部材８には外ノズル８ｎが、それぞれ中心軸を電極１
の中心軸と一致して穿設されている。
３に締め付けられている。電極キャップ３は電極台４に
嵌合され、トーチ基幹５の上端部に装着されている。ト
ーチ基幹５の下端部には、内ノズル部材６が装着されて
おり、内ノズル部材６と電極１の間にセンタリングスト
ーン７が介挿され、電極１が位置決めされている。また
トーチ基幹５の下端には、外ノズル部材８が装着されて
いる。そして内ノズル部材６には内ノズル６ｎ、外ノズ
ル部材８には外ノズル８ｎが、それぞれ中心軸を電極１
の中心軸と一致して穿設されている。
【０００７】電極１と内ノズル部材６の間の空間には、
アルゴンガス等の電極ガスが矢印Ａから供給される。ま
た内ノズル部材６と外ノズル部材８の間の空間には、リ
ング状をなした絶縁カラー１４のガス通口を経て、還元
性ガス等の加熱ガスが矢印Ｂから供給される。なお、ト
ーチ基幹５には矢印Ｄからトーチ冷却水が供給され、内
ノズル部材６の水路を通って矢印Ｅから排出される。
アルゴンガス等の電極ガスが矢印Ａから供給される。ま
た内ノズル部材６と外ノズル部材８の間の空間には、リ
ング状をなした絶縁カラー１４のガス通口を経て、還元
性ガス等の加熱ガスが矢印Ｂから供給される。なお、ト
ーチ基幹５には矢印Ｄからトーチ冷却水が供給され、内
ノズル部材６の水路を通って矢印Ｅから排出される。
【０００８】電極１を負極とし、内ノズル部材６を正極
として、アーク電圧Ｅ1 を印加し、電極１と内ノズル６
ｎの間にアークを生起させ、つぎに外ノズル部材８に正
極電圧Ｅ2 を印加して、このアークを電極１と外ノズル
８ｎの間に移行させる。絶縁カラー１４を経て、内ノズ
ル部材６と外ノズル部材８の間の空間に導入された加熱
ガスは、高速の旋回流となっていて、ノズル穴の中心部
はガスの遠心力で減圧されており、電極１からのアーク
は外ノズル８ｎの先端部まで誘導されて陽極点が生成さ
れる。加熱ガスはアークにより高温に加熱され、外ノズ
ル８ｎからプラズマジェットとなって放出される。
として、アーク電圧Ｅ1 を印加し、電極１と内ノズル６
ｎの間にアークを生起させ、つぎに外ノズル部材８に正
極電圧Ｅ2 を印加して、このアークを電極１と外ノズル
８ｎの間に移行させる。絶縁カラー１４を経て、内ノズ
ル部材６と外ノズル部材８の間の空間に導入された加熱
ガスは、高速の旋回流となっていて、ノズル穴の中心部
はガスの遠心力で減圧されており、電極１からのアーク
は外ノズル８ｎの先端部まで誘導されて陽極点が生成さ
れる。加熱ガスはアークにより高温に加熱され、外ノズ
ル８ｎからプラズマジェットとなって放出される。
【０００９】外ノズル部材８の下には、揺動ガス供給管
９1 および９2 が固設され、窒素ガスなどの揺動ガスが
矢印Ｃから供給され、噴出口ＯＵＴ１およびＯＵＴ２か
ら、プラズマジェットの炎に吹込まれる。揺動ガスの吹
込み方向とプラズマ炎の噴射方向のなす角θは、所定の
角と記載されているだけで具体的には明記されておら
ず、図３では４５゜となっている。揺動ガス供給管９1
および９2 にはソレノイドＳＯＬ１およびＳＯＬ２が設
けてあり、それらのＯＮ／ＯＦＦにより揺動ガスの供給
が制御され、プラズマ炎は図３の左右に揺動する。
９1 および９2 が固設され、窒素ガスなどの揺動ガスが
矢印Ｃから供給され、噴出口ＯＵＴ１およびＯＵＴ２か
ら、プラズマジェットの炎に吹込まれる。揺動ガスの吹
込み方向とプラズマ炎の噴射方向のなす角θは、所定の
角と記載されているだけで具体的には明記されておら
ず、図３では４５゜となっている。揺動ガス供給管９1
および９2 にはソレノイドＳＯＬ１およびＳＯＬ２が設
けてあり、それらのＯＮ／ＯＦＦにより揺動ガスの供給
が制御され、プラズマ炎は図３の左右に揺動する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術におい
て、プラズマトーチを多数配置すると設備費用がかさ
み、また多数のプラズマトーチの保守が必要で、そのた
めの作業が繁雑となる。プラズマトーチを機械的に振ら
せるのは、系の安定性に欠けるという問題がある。ま
た、磁場をかけてプラズマ炎を揺動させる場合は、意図
しない電極の蒸発現象等が発生する問題があり、適さな
い。さらに上記特開平５−２３４６９５号公報で提案し
た技術においては、プラズマ炎を揺動させるためのガス
の具体的な吹込み条件が示されてなく、実施化には問題
が残されていた。
て、プラズマトーチを多数配置すると設備費用がかさ
み、また多数のプラズマトーチの保守が必要で、そのた
めの作業が繁雑となる。プラズマトーチを機械的に振ら
せるのは、系の安定性に欠けるという問題がある。ま
た、磁場をかけてプラズマ炎を揺動させる場合は、意図
しない電極の蒸発現象等が発生する問題があり、適さな
い。さらに上記特開平５−２３４６９５号公報で提案し
た技術においては、プラズマ炎を揺動させるためのガス
の具体的な吹込み条件が示されてなく、実施化には問題
が残されていた。
【００１１】本発明は、鋼材など金属材料の加熱に際
し、被処理材にプラズマ炎を直接当てる方法において、
プラズマ炎を揺動させ、特に被処理材が板材の場合のよ
うに、広い範囲を加熱する際の具体的な手段を提供する
ことにより、プラズマ炎による金属材料の工業的な熱処
理の実施を実現することを目的とする。
し、被処理材にプラズマ炎を直接当てる方法において、
プラズマ炎を揺動させ、特に被処理材が板材の場合のよ
うに、広い範囲を加熱する際の具体的な手段を提供する
ことにより、プラズマ炎による金属材料の工業的な熱処
理の実施を実現することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明法は、プラズマトーチより噴射するプラズマ炎に対
し、噴射方向と交差する方向に揺動ガスを吹込み、プラ
ズマ炎を揺動させる方法において、プラズマ炎の噴射速
度Ｖp を２５０ｍ／sec 以上とし、かつ噴射方向と吹込
み方向のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹込み速度Ｖg
（ｍ／sec ）の関係を（１）式の範囲にすることを特徴
とするプラズマ炎の拡幅方法である。 Ｖg ≧０．４５θ2 −７０．５θ＋３０１０・・・・・・・・・（１）
明法は、プラズマトーチより噴射するプラズマ炎に対
し、噴射方向と交差する方向に揺動ガスを吹込み、プラ
ズマ炎を揺動させる方法において、プラズマ炎の噴射速
度Ｖp を２５０ｍ／sec 以上とし、かつ噴射方向と吹込
み方向のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹込み速度Ｖg
（ｍ／sec ）の関係を（１）式の範囲にすることを特徴
とするプラズマ炎の拡幅方法である。 Ｖg ≧０．４５θ2 −７０．５θ＋３０１０・・・・・・・・・（１）
【００１３】
【作用】以下、本発明法を図１の例により説明する。矢
印の方向に移動する鋼板Ｓに向けて、プラズマトーチ１
０からプラズマ炎１１を噴射しており、揺動ガス供給管
９1 および９2 から、揺動ガスを交互に吹込んでプラズ
マ炎１１を揺動させている。本発明法はこのような方法
において、プラズマ炎１１の噴射速度Ｖp を２５０ｍ／
sec 以上とし、かつプラズマ炎の噴射方向１２と揺動ガ
スの吹込み方向１３のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹
込み速度Ｖg （ｍ／sec ）の関係を（１）式の範囲にし
たものである。図２の曲線の上側（曲線を含む）が
（１）式の範囲である。
印の方向に移動する鋼板Ｓに向けて、プラズマトーチ１
０からプラズマ炎１１を噴射しており、揺動ガス供給管
９1 および９2 から、揺動ガスを交互に吹込んでプラズ
マ炎１１を揺動させている。本発明法はこのような方法
において、プラズマ炎１１の噴射速度Ｖp を２５０ｍ／
sec 以上とし、かつプラズマ炎の噴射方向１２と揺動ガ
スの吹込み方向１３のなす角θ（°）と、揺動ガスの吹
込み速度Ｖg （ｍ／sec ）の関係を（１）式の範囲にし
たものである。図２の曲線の上側（曲線を含む）が
（１）式の範囲である。
【００１４】プラズマ炎１１の噴射速度Ｖp は、使用す
る加熱ガスのプラズマ特性を効果的に利用する条件、す
なわち高密度のエネルギーをもって被処理材を加熱する
とともに、無酸化あるいは還元等の雰囲気下で処理する
条件として、２５０ｍ／sec以上とした。揺動ガスの吹
込み速度Ｖg と角度θとの関係は、鋼板Ｓ等の被処理材
を移動させつつ、プラズマトーチ１０を炉内に適正に配
置して実用上の効果が発揮される条件、すなわちプラズ
マトーチ１０の噴射口から８０mm離れた位置で揺動幅Ｗ
が１００mm以上となる条件として定めた。なお、プラズ
マトーチ径は１４mmφ、揺動ガスの吐出ノズル寸法は１
mm×１０mmである。
る加熱ガスのプラズマ特性を効果的に利用する条件、す
なわち高密度のエネルギーをもって被処理材を加熱する
とともに、無酸化あるいは還元等の雰囲気下で処理する
条件として、２５０ｍ／sec以上とした。揺動ガスの吹
込み速度Ｖg と角度θとの関係は、鋼板Ｓ等の被処理材
を移動させつつ、プラズマトーチ１０を炉内に適正に配
置して実用上の効果が発揮される条件、すなわちプラズ
マトーチ１０の噴射口から８０mm離れた位置で揺動幅Ｗ
が１００mm以上となる条件として定めた。なお、プラズ
マトーチ径は１４mmφ、揺動ガスの吐出ノズル寸法は１
mm×１０mmである。
【００１５】本発明において、プラズマトーチ１０は図
３および図４に示したような構造ののものを採用するこ
とができる。プラズマ炎１１を形成する加熱ガスとして
は、水素などの還元性ガス、あるいはアルゴンなどの不
活性ガスを使用し、揺動ガスとしては窒素あるいはアル
ゴンなどの無酸化性ガスを使用することができる。
３および図４に示したような構造ののものを採用するこ
とができる。プラズマ炎１１を形成する加熱ガスとして
は、水素などの還元性ガス、あるいはアルゴンなどの不
活性ガスを使用し、揺動ガスとしては窒素あるいはアル
ゴンなどの無酸化性ガスを使用することができる。
【００１６】プラズマ炎１１を揺動させるには、揺動ガ
ス供給管９1 および９2 から揺動ガスを交互に吹込む
が、その切替えは図３に示したように、ソレノイドＳＯ
Ｌ１およびＳＯＬ２のＯＮ／ＯＦＦで行うほか、特開平
５−２３４６９５号公報に示したような回転カム式ガス
分配装置等を使用することができる。
ス供給管９1 および９2 から揺動ガスを交互に吹込む
が、その切替えは図３に示したように、ソレノイドＳＯ
Ｌ１およびＳＯＬ２のＯＮ／ＯＦＦで行うほか、特開平
５−２３４６９５号公報に示したような回転カム式ガス
分配装置等を使用することができる。
【００１７】このような本発明法によれば、１基のプラ
ズマトーチにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上
の範囲にわたって加熱することができ、還元性あるいは
不活性ガス雰囲気のプラズマ炎を採用することにより、
酸化スケールを形成することなく金属材料の熱処理を行
うことができる。
ズマトーチにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上
の範囲にわたって加熱することができ、還元性あるいは
不活性ガス雰囲気のプラズマ炎を採用することにより、
酸化スケールを形成することなく金属材料の熱処理を行
うことができる。
【００１８】なお、還元性雰囲気炉において、被処理材
の入側で本発明法を採用して非酸化性のプラズマ炎で急
速加熱を行い、ヒーター等で所定温度に保持すれば、従
来の還元性雰囲気炉を大幅に短縮することができる。
の入側で本発明法を採用して非酸化性のプラズマ炎で急
速加熱を行い、ヒーター等で所定温度に保持すれば、従
来の還元性雰囲気炉を大幅に短縮することができる。
【００１９】
【実施例】図３のようなプラズマトーチを使用し、図１
のようにして鋼板Ｓの表面から８０mm離れた位置に噴出
口がくるようにプラズマトーチ１０を固定した。プラズ
マトーチの電極ガスにはアルゴンガス、加熱ガスには水
素ガスを使用し、水素ガスの供給量によりプラズマ炎１
１（Ａｒ＋Ｈ2 ）の噴射速度Ｖｐを変化させた。また揺
動ガスには窒素ガスを使用し、その供給量により吹込み
速度Ｖｇを変化させた。さらに、ガス供給管９1 および
９2 の噴出口ＯＵＴ１およびＯＵＴ２の向きを変えて、
噴射方向と吹込み方向のなす角θを変化させた。
のようにして鋼板Ｓの表面から８０mm離れた位置に噴出
口がくるようにプラズマトーチ１０を固定した。プラズ
マトーチの電極ガスにはアルゴンガス、加熱ガスには水
素ガスを使用し、水素ガスの供給量によりプラズマ炎１
１（Ａｒ＋Ｈ2 ）の噴射速度Ｖｐを変化させた。また揺
動ガスには窒素ガスを使用し、その供給量により吹込み
速度Ｖｇを変化させた。さらに、ガス供給管９1 および
９2 の噴出口ＯＵＴ１およびＯＵＴ２の向きを変えて、
噴射方向と吹込み方向のなす角θを変化させた。
【００２０】鋼板Ｓとしては、酸化スケールの付いたオ
ーステナイト系ステンレス鋼板を使用し、プラズマ炎の
揺動方向と直角、すなわち図１の矢印の方向に鋼板を移
動させた。鋼板Ｓは約１１００℃に加熱され、還元性の
プラズマ炎１１により酸化スケールが還元されて揺動幅
Ｗを測定することができた。各種条件で揺動幅Ｗを測定
した結果、表１に示すように、本発明例はいずれも揺動
幅Ｗが１００mm以上であった。
ーステナイト系ステンレス鋼板を使用し、プラズマ炎の
揺動方向と直角、すなわち図１の矢印の方向に鋼板を移
動させた。鋼板Ｓは約１１００℃に加熱され、還元性の
プラズマ炎１１により酸化スケールが還元されて揺動幅
Ｗを測定することができた。各種条件で揺動幅Ｗを測定
した結果、表１に示すように、本発明例はいずれも揺動
幅Ｗが１００mm以上であった。
【００２１】したがって本発明により、１基のプラズマ
トーチにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上の範
囲にわたって、酸化スケールを形成することなく約１１
００℃に加熱できることがわかる。
トーチにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上の範
囲にわたって、酸化スケールを形成することなく約１１
００℃に加熱できることがわかる。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【発明の効果】本発明法によれば、１基のプラズマトー
チにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上の範囲に
わたって加熱することができ、プラズマ炎による金属材
料の工業的な熱処理の実施が実現できる。そして還元性
あるいは不活性ガス雰囲気のプラズマ炎を採用すること
により、酸化スケールを形成することなく金属材料の熱
処理を行うことができる。さらに、従来の還元性雰囲気
炉に本発明法を採用することにより、炉長が大幅に短縮
される。
チにより、鋼板等の金属材料を１００mm幅以上の範囲に
わたって加熱することができ、プラズマ炎による金属材
料の工業的な熱処理の実施が実現できる。そして還元性
あるいは不活性ガス雰囲気のプラズマ炎を採用すること
により、酸化スケールを形成することなく金属材料の熱
処理を行うことができる。さらに、従来の還元性雰囲気
炉に本発明法を採用することにより、炉長が大幅に短縮
される。
【図１】本発明法の説明図である。
【図２】本発明法の条件を示す図である。
【図３】従来法におけるプラズマトーチの例を示す断面
図である。
図である。
【図４】従来法におけるプラズマトーチの例を示す底面
図である。
図である。
１：電極 ２：チャック ３：電極キャップ ４：電極台 ５：トーチ基幹 ６：内ノズル部材 ６ｎ：内ノズル ７：センタリングストーン ８：外ノズル部材 ８ｎ：外ノズル ９1 ，９2 ：揺動ガス供給管 １０：プラズマトーチ １１：プラズマ炎 １２：プラズマ炎の噴射方向 １３：揺動ガスの吹込み方向 １４：絶縁カラー Ｓ：鋼板 ＯＵＴ１，ＯＵＴ２：噴出口 ＳＯＬ１，ＳＯＬ２：ソレノイド Ｅ1 ：アーク電圧 Ｅ2 ：正極電圧 θ：プラズマ炎の噴射方向と揺動ガスの吹込み方向のな
す角 Ｗ：揺動幅
す角 Ｗ：揺動幅
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマトーチより噴射するプラズマ炎
に対し、噴射方向と交差する方向に揺動ガスを吹込み、
プラズマ炎を揺動させる方法において、プラズマ炎の噴
射速度Ｖp を２５０ｍ／sec 以上とし、かつ噴射方向と
吹込み方向のなす角θ（°）および揺動ガスの吹込み速
度Ｖg （ｍ／sec ）の関係を（１）式の範囲にすること
を特徴とするプラズマ炎の拡幅方法。 Ｖg ≧０．４５θ2 −７０．５θ＋３０１０・・・・・・・・・（１）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5310415A JPH07164151A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | プラズマ炎の拡幅方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5310415A JPH07164151A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | プラズマ炎の拡幅方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07164151A true JPH07164151A (ja) | 1995-06-27 |
Family
ID=18004988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5310415A Withdrawn JPH07164151A (ja) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | プラズマ炎の拡幅方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07164151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018029845A1 (ja) * | 2016-08-11 | 2018-02-15 | 富士機械製造株式会社 | プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法 |
-
1993
- 1993-12-10 JP JP5310415A patent/JPH07164151A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018029845A1 (ja) * | 2016-08-11 | 2018-02-15 | 富士機械製造株式会社 | プラズマ発生装置、およびプラズマ照射方法 |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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