JPWO2018012454A1 - サスペンションプラズマ溶射用スラリー、及び希土類酸フッ化物溶射膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[1] 酸素を含有するガスを含む雰囲気下でのサスペンションプラズマ溶射に用いられる溶射材料であって、最大粒子径(D100)が12μm以下の希土類フッ化物粒子を5質量%以上40質量%以下含有し、水及び有機溶媒から選ばれる1種又は2種以上を溶媒とすることを特徴とするサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[2] 更に、有機化合物からなる凝集防止剤を3質量%以下含有することを特徴とする[1]記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[3] 更に、希土類酸化物、希土類水酸化物及び希土類炭酸塩から選ばれる1種又は2種以上の微粒子添加剤を5質量%以下含有することを特徴とする[1]又は[2]記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[4] 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする[1]乃至[3]のいずれかに記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[5] 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする[1]乃至[4]のいずれかに記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[6] 基材上に、[1]乃至[4]のいずれかに記載のスラリーを溶射材料とし、酸素を含有するガスを含む雰囲気下で、サスペンションプラズマ溶射により溶射膜を形成する工程を含むことを特徴とする希土類酸フッ化物溶射膜の形成方法。
[7] 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする[6]記載の形成方法。
[8] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物を主相として含むことを特徴とする[6]又は[7]記載の形成方法。
[9] 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする[6]乃至[8]のいずれかに記載の形成方法。
[10] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする[6]乃至[9]のいずれかに記載の形成方法。
[11] 溶射膜が形成される基材と、希土類酸フッ化物を主相として含む溶射膜とを備えることを特徴とする溶射部材。
[12] 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする[11]記載の溶射部材。
[13] 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする[11]又は[12]記載の溶射部材。
[14] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする[11]乃至[13]のいずれかに記載の溶射部材。
[15] 上記溶射膜の厚さが、10μm以上150μm以下であることを特徴とする[11]乃至[14]のいずれかに記載の溶射部材。
[16] 上記溶射膜の気孔率が1%以下であることを特徴とする[11]乃至[15]のいずれかに記載の溶射部材。
本発明のスラリーは、酸素を含有するガスを含む雰囲気下でのサスペンションプラズマ溶射、特に、大気雰囲気下でプラズマを形成する大気サスペンションプラズマ溶射に好適に用いられる。本発明においては、プラズマが形成される周囲の雰囲気ガスが、大気の場合を、大気サスペンションプラズマ溶射と呼ぶ。また、プラズマが形成される場の圧力は、大気圧下などの常圧の他、加圧下、減圧下であってもよい。
〔実施例1〜7の希土類フッ化物粒子及びスラリーの製造〕
表1又は表2に示される希土類フッ化物の希土類元素の組成比で調整し、希土類酸化物1kgに対して、酸性フッ化アンモニウム粉末1.2kgを混合し、窒素雰囲気中、650℃で、2時間焼成して、希土類フッ化物を得た。得られた希土類フッ化物は、ジェットミルで粉砕し、空気分級して、表1又は表2に示される最大粒子径(D100)の希土類フッ化物粒子とした。得られた希土類フッ化物粒子の粒度分布(D100、D50)及びBET比表面積を表1又は表2に示す。粒度分布はレーザー回折法、BET比表面積は、(株)マウンテック製、全自動比表面積測定装置 Macsorb HM model−1280で、各々測定した(以下同じ)。また、得られた粒子の酸素濃度(酸素含有率)及びフッ素濃度(フッ素含有率)を表1又は表2に示す。酸素濃度は、LECO社製、THC600を用いて不活性ガス融解赤外吸収法により、フッ素濃度は、溶解イオンクロマトグラフィ法により、各々分析した(以下同じ)。
酸化イットリウム1kgに対して、酸性フッ化アンモニウム粉末1.2kgを混合し、窒素雰囲気中、650℃で、4時間焼成して、酸フッ化イットリウムを得た。得られた酸フッ化イットリウムは、ジェットミルで粉砕し、空気分級して、表1又は表2に示される最大粒子径(D100)の酸フッ化イットリウム粒子とした。得られた酸フッ化イットリウム粒子の粒度分布(D100、D50)を表1又は表2に示す。また、得られた粒子の酸素濃度(酸素含有率)及びフッ素濃度(フッ素含有率)を表1又は表2に示す。
酸化イットリウム1kgに対して、酸性フッ化アンモニウム粉末1.2kgを混合し、窒素雰囲気中、650℃で、2時間で焼成して、フッ化イットリウムを得た。得られたフッ化イットリウムは、ジェットミルで粉砕し、バインダーとしてポリビニルアルコール(PVA)を添加してスラリーとし、スプレードライヤーを用いて造粒した後、窒素雰囲気中、700℃で、4時間焼成して、表1又は表2に示される最大粒子径(D100)のフッ化イットリウム粒子とした。得られたフッ化イットリウム粒子の粒度分布(D100、D50)を表1又は表2に示す。また、得られた粒子の酸素濃度(酸素含有率)及びフッ素濃度(フッ素含有率)を表1又は表2に示す。
実施例1〜7及び比較例1の各々のスラリー又は比較例2の粒子を用い、予め常圧下の大気プラズマ溶射により、表面上に厚さ150μmの酸化イットリウムの下地膜を形成したアルミニウム基材に、表3又は表4に示される条件で、大気プラズマサスペンション溶射(実施例1〜7及び比較例1)又は大気プラズマ溶射(比較例2)により、表3又は4に示される膜厚の溶射膜を形成した。実施例1、4及び5並びに比較例2は、エリコンメテコ社の溶射機Triplexにて、実施例2、3、6及び7並びに比較例1は、プログレッシブ社の溶射機CITSにて溶射を実施した。
得られた溶射部材から溶射膜を削り取り、X線回折法により分析した。得られたX線プロファイルから、得られた各々の溶射膜を構成する相を同定し、それらの最大ピーク強度比を測定した。また、溶射膜の酸素濃度(酸素含有率)は、LECO社製、THC600を用いて不活性ガス融解赤外吸収法により、フッ素濃度(フッ素含有率)は、溶解イオンクロマトグラフィ法により、各々分析した。更に、溶射膜の断面の電子顕微鏡写真から画像解析で気孔率を、溶射膜表面の硬度を、(株)アカシ(現(株)ミツトヨ)製ビッカース硬度計AVK−C1により、各々測定した。結果を表5又は表6に示す。
得られた溶射部材の溶射膜の表面上に、マスキングテープでマスキングした部分と、マスキングテープでマスキングしていない露出部分を形成し、リアクティブイオンプラズマ試験装置にセットして、周波数13.56MHz、プラズマ出力1,000W、エッチングガスCF4(80vol%)+O2(20vol%)、流量50sccm、ガス圧50mtorr(6.7Pa)、12時間の条件で、プラズマ耐食性試験を行った。試験後、マスキングテープを剥がし、レーザー顕微鏡を使用して、露出部分とマスキング部分との間の、腐食による高さの差を4点測定して、平均値を高さ変化量として求めることにより、耐食性を評価した。結果を表5又は表6に示す。
[1] 酸素を含有するガスを含む雰囲気下でのサスペンションプラズマ溶射に用いられる溶射材料であって、最大粒子径(D100)が12μm以下の希土類フッ化物粒子を5質量%以上40質量%以下含有し、水及び有機溶媒から選ばれる1種又は2種以上を溶媒とすることを特徴とするサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[2] 更に、有機化合物からなる凝集防止剤を3質量%以下含有することを特徴とする[1]記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[3] 更に、希土類酸化物、希土類水酸化物及び希土類炭酸塩から選ばれる1種又は2種以上の微粒子添加剤を5質量%以下含有することを特徴とする[1]又は[2]記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[4] 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする[1]乃至[3]のいずれかに記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[5] 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする[1]乃至[4]のいずれかに記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
[6] 基材上に、[1]乃至[4]のいずれかに記載のスラリーを溶射材料とし、酸素を含有するガスを含む雰囲気下で、サスペンションプラズマ溶射により溶射膜を形成する工程を含むことを特徴とする希土類酸フッ化物溶射膜の形成方法。
[7] 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする[6]記載の形成方法。
[8] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物を主相として含むことを特徴とする[6]又は[7]記載の形成方法。
[9] 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする[6]乃至[8]のいずれかに記載の形成方法。
[10] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする[6]乃至[9]のいずれかに記載の形成方法。
また、本発明は、下記の溶射部材が関連する。
[11] 溶射膜が形成される基材と、希土類酸フッ化物を主相として含む溶射膜とを備えることを特徴とする溶射部材。
[12] 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする[11]記載の溶射部材。
[13] 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする[11]又は[12]記載の溶射部材。
[14] 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする[11]乃至[13]のいずれかに記載の溶射部材。
[15] 上記溶射膜の厚さが、10μm以上150μm以下であることを特徴とする[11]乃至[14]のいずれかに記載の溶射部材。
[16] 上記溶射膜の気孔率が1%以下であることを特徴とする[11]乃至[15]のいずれかに記載の溶射部材。
Claims (16)
- 酸素を含有するガスを含む雰囲気下でのサスペンションプラズマ溶射に用いられる溶射材料であって、最大粒子径(D100)が12μm以下の希土類フッ化物粒子を5質量%以上40質量%以下含有し、水及び有機溶媒から選ばれる1種又は2種以上を溶媒とすることを特徴とするサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
- 更に、有機化合物からなる凝集防止剤を3質量%以下含有することを特徴とする請求項1記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
- 更に、希土類酸化物、希土類水酸化物及び希土類炭酸塩から選ばれる1種又は2種以上の微粒子添加剤を5質量%以下含有することを特徴とする請求項1又は2記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
- 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
- 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のサスペンションプラズマ溶射用スラリー。
- 基材上に、請求項1乃至4のいずれか1項記載のスラリーを溶射材料とし、酸素を含有するガスを含む雰囲気下で、サスペンションプラズマ溶射により溶射膜を形成する工程を含むことを特徴とする希土類酸フッ化物溶射膜の形成方法。
- 上記サスペンションプラズマ溶射が、大気サスペンションプラズマ溶射であることを特徴とする請求項6記載の形成方法。
- 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物を主相として含むことを特徴とする請求項6又は7記載の形成方法。
- 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項記載の形成方法。
- 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項記載の形成方法。
- 溶射膜が形成される基材と、希土類酸フッ化物を主相として含む溶射膜とを備えることを特徴とする溶射部材。
- 希土類元素が、イットリウム(Y)、ガドリニウム(Gd)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、イッテルビウム(Yb)及びルテチウム(Lu)から選ばれる1種又は2種以上であることを特徴とする請求項11記載の溶射部材。
- 上記希土類酸フッ化物が、ReOF、Re5O4F7、Re6O5F8及びRe7O6F9(Reは希土類元素を表す)から選ばれる1種又は2種以上の希土類酸フッ化物を含むことを特徴とする請求項11又は12記載の溶射部材。
- 上記溶射膜が、希土類酸フッ化物と希土類酸化物と希土類フッ化物との混合物であることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項記載の溶射部材。
- 上記溶射膜の厚さが、10μm以上150μm以下であることを特徴とする請求項11乃至14のいずれか1項記載の溶射部材。
- 上記溶射膜の気孔率が1%以下であることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項記載の溶射部材。
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US20240026515A1 (en) * | 2019-12-18 | 2024-01-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Yttrium-fluoride-based sprayed coating, sprayed member, and method for producing yttrium-fluoride-based sprayed coating |
KR102284838B1 (ko) * | 2020-05-06 | 2021-08-03 | (주)코미코 | 서스펜션 플라즈마 용사용 슬러리 조성물, 그 제조방법 및 서스펜션 플라즈마 용사 코팅막 |
CN116635564A (zh) | 2020-12-15 | 2023-08-22 | 信越化学工业株式会社 | 等离子体喷镀用浆料、喷镀膜的制造方法、氧化铝喷镀膜和喷镀构件 |
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JP3523222B2 (ja) | 2000-07-31 | 2004-04-26 | 信越化学工業株式会社 | 溶射材料およびその製造方法 |
US6716770B2 (en) * | 2001-05-23 | 2004-04-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Low dielectric constant material and method of processing by CVD |
JP3894313B2 (ja) | 2002-12-19 | 2007-03-22 | 信越化学工業株式会社 | フッ化物含有膜、被覆部材及びフッ化物含有膜の形成方法 |
JP5324029B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体加工装置用セラミック被覆部材 |
JP4905697B2 (ja) | 2006-04-20 | 2012-03-28 | 信越化学工業株式会社 | 導電性耐プラズマ部材 |
US20090214825A1 (en) * | 2008-02-26 | 2009-08-27 | Applied Materials, Inc. | Ceramic coating comprising yttrium which is resistant to a reducing plasma |
US8206829B2 (en) * | 2008-11-10 | 2012-06-26 | Applied Materials, Inc. | Plasma resistant coatings for plasma chamber components |
JP5669353B2 (ja) | 2008-12-25 | 2015-02-12 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 溶射用スラリー、溶射皮膜の形成方法、及び溶射皮膜 |
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WO2013118354A1 (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-15 | トーカロ株式会社 | フッ化物溶射皮膜の形成方法およびフッ化物溶射皮膜被覆部材 |
WO2013128449A2 (en) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | Yissum Research Development Company Of The Hebrew University Of Jerusalem Ltd | Inks containing metal precursors nanoparticles |
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US20150307715A1 (en) * | 2013-08-08 | 2015-10-29 | Nippon Yttrium Co., Ltd. | Slurry for thermal spraying |
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