JP5861612B2 - 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 - Google Patents
希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5861612B2 JP5861612B2 JP2012238894A JP2012238894A JP5861612B2 JP 5861612 B2 JP5861612 B2 JP 5861612B2 JP 2012238894 A JP2012238894 A JP 2012238894A JP 2012238894 A JP2012238894 A JP 2012238894A JP 5861612 B2 JP5861612 B2 JP 5861612B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rare earth
- earth element
- sprayed
- mass
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
- C01F17/20—Compounds containing only rare earth metals as the metal element
- C01F17/206—Compounds containing only rare earth metals as the metal element oxide or hydroxide being the only anion
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
- C01F17/20—Compounds containing only rare earth metals as the metal element
- C01F17/253—Halides
- C01F17/265—Fluorides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/10—Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/54—Particles characterised by their aspect ratio, i.e. the ratio of sizes in the longest to the shortest dimension
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/60—Particles characterised by their size
- C01P2004/61—Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/11—Powder tap density
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
- C01P2006/82—Compositional purity water content
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
- Y10T428/256—Heavy metal or aluminum or compound thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Geology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
〔1〕
希土類元素フッ化物粒子の外形のアスペクト比が2以下、平均粒子径が10μm以上100μm以下、嵩密度が0.8g/cm3以上1.5g/cm3以下、炭素を0.1質量%以上0.5質量%以下含有し、水及び水酸基の合計含有量が10,000ppm以下であることを特徴とする希土類元素フッ化物粉末溶射材料。
〔2〕
希土類元素がY及びLaからLuまでの3A族元素から選ばれる1種又は2種以上である〔1〕記載の溶射材料。
〔3〕
希土類元素がY、Ce及びYbから選ばれる〔2〕記載の溶射材料。
〔4〕
基材に、〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の溶射材料をプラズマ溶射して、炭素含有量が0.1質量%以下、酸素含有量が0.3質量%以上0.8質量%以下の溶射皮膜を形成することを特徴とする希土類元素フッ化物溶射部材の製造方法。
〔5〕
溶射皮膜が、L*が65以上85以下、a*が−3.0〜+3.0、b*が0.0〜+8.0のL*a*b*色度を有する〔4〕記載の溶射部材の製造方法。
1.流動性がよい、
2.プラズマ溶射で希土類フッ化物が分解しない
ことが望ましく、本発明の溶射材料はかかる利点を備えている。
これは、溶射材料の粒子の大きさが小さすぎると、フレーム中で蒸発してしまうなど、溶射歩留まりが低下するおそれがあり、粒子が大きすぎるとフレーム中で完全に溶融せず、溶射膜の品質が低下するおそれがあるからである。
また、造粒後の粉末である溶射材料粉末が内部まで充填していることは、粉末を取り扱う上で割れたりせずに安定していること、空隙部が存在するとその空隙部に好ましくないガス成分を含有し易いのでそれを避けることができること等の理由から、必要なことである。この点で、溶射材料の嵩密度は0.8〜1.5g/cm3、好ましくは1.2〜1.5g/cm3である。なお、嵩密度の測定は、JIS K 5101 12−1の方法による。
水及び水酸基の含有量が1,000ppm、平均粒子径が5μmのフッ化イットリウム5kgを純水に撹拌混合し、30質量%スラリーを作った。これをスプレードライヤーを用いて造粒したところ、平均粒子径が約40μmの球状の造粒粉末を得た。
この造粒粉末を大気中100℃で2時間加熱して球状の乾燥造粒粉末を得た。この造粒粉末の水分含有量を測定したところ、約0.65質量%の水分を含んでいた。水分は、カールフィッシャー水分分析法を用いて測定した。炭素は0.3質量%であった。この造粒粉末のアスペクト比は、1.2であった。このフッ化イットリウムは溶射材料として好適なものであった。なお、アスペクト比はSEM写真により粒子の長径と短径を180個測定し、平均した。嵩密度は1.3g/cm3であった。
実施例1のフッ化イットリウム溶射材料を用いてアルゴン40L/min、水素5L/minの混合ガスを用いた大気圧プラズマ溶射をアルミニウム基材に施工し、200μm程度の薄い灰色を呈した溶射皮膜を形成した部材を得た。この溶射皮膜のL*a*b*色度を測定したところ、L*:70.87、a*:0.35、b*:5.57であり、炭素は0.07質量%であった。また、酸素濃度は0.75質量%であった。
この部材をリアクティブイオンプラズマ試験装置にレジストを塗布したシリコンウェハーと共にセットし、周波数13.56MHz、プラズマ出力1,000W、ガス種CF4+O2(20vol%)、流量50mL/min、ガス圧50mtorrの条件でプラズマ暴露試験を行ったところ、目視での部分的皮膜の色の変化はなかった。L*a*b*色度を測定した結果、L*:70.33、a*:0.40、b*:5.47であった。
水及び水酸基の含有量が1,000ppm、平均粒子径が30μmのフッ化イットリウム5kgをジェットミルで粉砕し、平均粒子径3μmのフッ化イットリウムを得た。これを純水に撹拌混合し、30質量%スラリーを作った。これをスプレードライヤーを用いて造粒したところ、平均粒子径が約50μmの球状の造粒粉末を得た。この造粒粉末の水分含有量を測定したところ、約1.2質量%の水分を含んでいた。水分は、カールフィッシャー水分分析法を用いて測定した。
この造粒粉末を大気空中800℃で2時間加熱して球状の造粒粉末を得た。炭素は0.01質量%であった。この造粒粉末のアスペクト比は、1.6であった。このフッ化イットリウムは溶射材料として好適なものであった。なお、アスペクト比はSEM写真により粒子の長径と短径を180個測定し、平均した。嵩密度は1.7g/cm3であった。
比較例1の粉末をアルゴン40L/min、水素5L/minの混合ガスを用いた大気圧プラズマ溶射をアルミニウム基材に施工し、200μm程度の白色を呈した溶射皮膜を形成した部材を得た。この溶射皮膜のL*a*b*色度を測定したところ、L*:91.50、a*:−0.35、b*:−0.17であり、炭素は0.005質量%であった。また、酸素濃度は2.0質量%であった。
この部材をリアクティブイオンプラズマ試験装置にレジストを塗布したシリコンウェハーと共にセットし、周波数13.56MHz、プラズマ出力1,000W、ガス種CF4+O2(20vol%)、流量50mL/min、ガス圧50mtorrの条件でプラズマ暴露試験を行った。取り出した溶射皮膜には部分的に茶色に変色した部分がみられた。
Claims (5)
- 希土類元素フッ化物粒子の外形のアスペクト比が2以下、平均粒子径が10μm以上100μm以下、嵩密度が0.8g/cm3以上1.5g/cm3以下、炭素を0.1質量%以上0.5質量%以下含有し、水及び水酸基の合計含有量が10,000ppm以下であることを特徴とする希土類元素フッ化物粉末溶射材料。
- 希土類元素がY及びLaからLuまでの3A族元素から選ばれる1種又は2種以上である請求項1記載の溶射材料。
- 希土類元素がY、Ce及びYbから選ばれる請求項2記載の溶射材料。
- 基材に、請求項1〜3のいずれか1項に記載の溶射材料をプラズマ溶射して、炭素含有量が0.1質量%以下、酸素含有量が0.3質量%以上0.8質量%以下の溶射皮膜を形成することを特徴とする希土類元素フッ化物溶射部材の製造方法。
- 溶射皮膜が、L*が65以上85以下、a*が−3.0〜+3.0、b*が0.0〜+8.0のL*a*b*色度を有する請求項4記載の溶射部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012238894A JP5861612B2 (ja) | 2011-11-10 | 2012-10-30 | 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011246164 | 2011-11-10 | ||
JP2011246164 | 2011-11-10 | ||
JP2012238894A JP5861612B2 (ja) | 2011-11-10 | 2012-10-30 | 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013122086A JP2013122086A (ja) | 2013-06-20 |
JP5861612B2 true JP5861612B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=48280926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012238894A Active JP5861612B2 (ja) | 2011-11-10 | 2012-10-30 | 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20130122283A1 (ja) |
JP (1) | JP5861612B2 (ja) |
KR (3) | KR101911959B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190049831A (ko) | 2016-09-16 | 2019-05-09 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 용사용 재료 |
KR20190049830A (ko) | 2016-09-16 | 2019-05-09 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 용사용 재료 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9238863B2 (en) * | 2012-02-03 | 2016-01-19 | Tocalo Co., Ltd. | Method for blackening white fluoride spray coating, and fluoride spray coating covered member having a blackened layer on its surface |
JP5396672B2 (ja) | 2012-06-27 | 2014-01-22 | 日本イットリウム株式会社 | 溶射材料及びその製造方法 |
EP3031944A4 (en) * | 2013-08-08 | 2017-02-01 | Nippon Yttrium Co., Ltd. | Slurry for thermal spraying |
JP6578106B2 (ja) * | 2015-02-24 | 2019-09-18 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 溶射用粉末 |
JP6281507B2 (ja) * | 2015-03-03 | 2018-02-21 | 信越化学工業株式会社 | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
KR101867322B1 (ko) * | 2015-03-05 | 2018-06-15 | 닛폰 이트륨 가부시키가이샤 | 소결용 재료 및 소결용 재료를 제조하기 위한 분말 |
JP6384536B2 (ja) | 2015-10-23 | 2018-09-05 | 信越化学工業株式会社 | フッ化イットリウム溶射材料及びオキシフッ化イットリウム成膜部品の製造方法 |
FR3043672B1 (fr) * | 2015-11-12 | 2021-11-19 | Sudfluor | Materiaux monolithiques poreux pour la production et le piegeage de fluor |
KR102084235B1 (ko) * | 2015-12-28 | 2020-03-03 | 아이원스 주식회사 | 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막 |
JP6443380B2 (ja) * | 2016-04-12 | 2018-12-26 | 信越化学工業株式会社 | イットリウム系フッ化物溶射皮膜、及び該溶射皮膜を含む耐食性皮膜 |
US20210277509A1 (en) * | 2016-07-14 | 2021-09-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Slurry for suspension plasma spraying, method for forming rare earth acid fluoride sprayed film, and spraying member |
CN110382730B (zh) * | 2017-03-01 | 2022-09-23 | 信越化学工业株式会社 | 喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法 |
KR20210135225A (ko) * | 2019-03-07 | 2021-11-12 | 닛폰 이트륨 가부시키가이샤 | 소결체 |
KR102284838B1 (ko) | 2020-05-06 | 2021-08-03 | (주)코미코 | 서스펜션 플라즈마 용사용 슬러리 조성물, 그 제조방법 및 서스펜션 플라즈마 용사 코팅막 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS523222A (en) | 1975-06-24 | 1977-01-11 | Hiraki Takehara | Sound adsorbing wall body |
JPS636596A (ja) | 1986-06-26 | 1988-01-12 | 富士通株式会社 | マトリツクス表示パネルの駆動方法 |
US6685991B2 (en) * | 2000-07-31 | 2004-02-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for formation of thermal-spray coating layer of rare earth fluoride |
JP3523222B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2004-04-26 | 信越化学工業株式会社 | 溶射材料およびその製造方法 |
JP4676622B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2011-04-27 | ステラケミファ株式会社 | 弗化物中の酸素成分・炭素成分の低減方法 |
JP2002252209A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング装置 |
EP1239055B1 (en) * | 2001-03-08 | 2017-03-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Thermal spray spherical particles, and sprayed components |
US6596397B2 (en) * | 2001-04-06 | 2003-07-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Thermal spray particles and sprayed components |
JP4006596B2 (ja) | 2002-07-19 | 2007-11-14 | 信越化学工業株式会社 | 希土類酸化物溶射部材および溶射用粉 |
US6852433B2 (en) | 2002-07-19 | 2005-02-08 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Rare-earth oxide thermal spray coated articles and powders for thermal spraying |
JP2005260046A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | プラズマ処理装置用部材 |
TWI400358B (zh) * | 2005-09-30 | 2013-07-01 | Fujimi Inc | 熱噴塗粉末及形成熱噴塗塗層之方法 |
JP2007115973A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 耐食性部材 |
US7806991B2 (en) * | 2005-12-22 | 2010-10-05 | Hitachi, Ltd. | Low loss magnet and magnetic circuit using the same |
JP5159204B2 (ja) | 2006-10-31 | 2013-03-06 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 溶射用粉末、溶射皮膜の形成方法、耐プラズマ性部材、及びプラズマ処理チャンバー |
-
2012
- 2012-10-30 JP JP2012238894A patent/JP5861612B2/ja active Active
- 2012-11-09 KR KR1020120126433A patent/KR101911959B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-09 US US13/673,113 patent/US20130122283A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-04-20 US US14/691,187 patent/US9551059B2/en active Active
-
2018
- 2018-10-18 KR KR1020180124427A patent/KR20180117574A/ko not_active Application Discontinuation
-
2019
- 2019-07-05 KR KR1020190081235A patent/KR20190084013A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190049831A (ko) | 2016-09-16 | 2019-05-09 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 용사용 재료 |
KR20190049830A (ko) | 2016-09-16 | 2019-05-09 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 용사용 재료 |
US11306383B2 (en) | 2016-09-16 | 2022-04-19 | Fujimi Incorporated | Thermal spraying material |
US11359270B2 (en) | 2016-09-16 | 2022-06-14 | Fujimi Incorporated | Thermal spraying matertal |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180117574A (ko) | 2018-10-29 |
KR101911959B1 (ko) | 2018-10-25 |
KR20130051894A (ko) | 2013-05-21 |
KR20190084013A (ko) | 2019-07-15 |
JP2013122086A (ja) | 2013-06-20 |
US20130122283A1 (en) | 2013-05-16 |
US9551059B2 (en) | 2017-01-24 |
US20150225832A1 (en) | 2015-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5861612B2 (ja) | 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 | |
KR102066820B1 (ko) | 희토류 원소 옥시불화물 분말 용사 재료 및 희토류 원소 옥시불화물 용사 부재 | |
US11098398B2 (en) | Yttrium fluoride spray material, yttrium oxyfluoride-deposited article, and making methods | |
CN112779488B (zh) | 氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层 | |
JP3523222B2 (ja) | 溶射材料およびその製造方法 | |
JP6281507B2 (ja) | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 | |
CN109477199A (zh) | 悬浮等离子体热喷涂用浆料、稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法和热喷涂构件 | |
JP2002302754A (ja) | 溶射用希土類含有化合物粒子、これを溶射した溶射部材 | |
JP6668024B2 (ja) | 溶射材料 | |
WO2021145341A1 (ja) | 溶射材料 | |
JP6706894B2 (ja) | 溶射材料 | |
JP6620793B2 (ja) | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料、及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 | |
JP6844654B2 (ja) | イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141023 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5861612 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |