JP6844654B2 - イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 - Google Patents
イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6844654B2 JP6844654B2 JP2019094950A JP2019094950A JP6844654B2 JP 6844654 B2 JP6844654 B2 JP 6844654B2 JP 2019094950 A JP2019094950 A JP 2019094950A JP 2019094950 A JP2019094950 A JP 2019094950A JP 6844654 B2 JP6844654 B2 JP 6844654B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sprayed
- mass
- less
- rare earth
- earth element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
〔1〕
イットリウムのオキシフッ化物を含む粉末からなる溶射材料であり、その粒子の外形のアスペクト比が2以下、平均粒子径(質量基準のD50)が28μm以上46μm以下、嵩密度が0.8g/cm3以上2g/cm3以下、炭素を0.5質量%以下、酸素を3質量%以上15質量%以下含有することを特徴とするイットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料。
〔2〕
基材に、〔1〕に記載の溶射材料をプラズマ溶射することにより、炭素含有量が0.1質量%以下、酸素含有量が3質量%以上15質量%以下の溶射皮膜を形成することを特徴とするイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法。
1.流動性がよい、
2.プラズマ溶射で希土類元素酸化物に分解しない
ことが望ましく、本発明の溶射材料はかかる利点を備えている。
なお、平均粒子径はレーザー光回折法による粒度分布測定装置によって求めることができ、質量平均値D50(即ち、累積質量が50%となるときの粒子径又はメジアン径)として測定することができる。
〔溶射粉の製造〕
表1に示す原料を同表の割合で混合し、同表のバインダーに溶解してスラリーを調製し、これをスプレードライヤーを用いて造粒した後、同表の条件で焼成して、溶射粉末を得た。得られた各溶射粉末につき、粒子のアスペクト比、粒度分布、嵩密度、酸素濃度、フッ素濃度及び炭素濃度を測定した。結果を表1に示す。なお、粒度分布はレーザー回折法で測定し、フッ素濃度は溶解イオンクロマトグラフィ法、炭素濃度及び酸素濃度は燃焼IR法でそれぞれ分析した。また、粒子のアスペクト比はSEM写真により180個の粒子の短径と長径を測定して平均した。
実施例1,2、参考例1,2及び比較例1,2の溶射粉を用いてアルゴン40L/min、水素5L/minの混合ガスを用いた大気圧プラズマ溶射をアルミニウム基材に施工し、200μm程度の溶射皮膜を形成した部材を得た。実施例1,2、参考例1,2の溶射粉から得られた溶射皮膜は黒色、比較例1,2の溶射粉から得られた溶射皮膜は白色をそれぞれ呈していた。得られた各溶射皮膜の酸素濃度及び炭素濃度を燃焼IR法で測定した。結果を表1に示す。
得られた各部材について、マスキングテープでマスキングした部分と暴露部分を作った後に、リアクティブイオンプラズマ試験装置にセットし、周波数13.56MHz、プラズマ出力1000W、ガス種CF4+O2(20vol%)、流量50sccm、ガス圧50mtorr、12時間の条件でプラズマ耐食性試験を行った。レーザー顕微鏡を使用して、暴露部分とマスキング部分の腐食による高さ変化を4点測定して平均値を求め、耐食性を評価した。結果を表1に示す。
Claims (2)
- イットリウムのオキシフッ化物を含む粉末からなる溶射材料であり、その粒子の外形のアスペクト比が2以下、平均粒子径(質量基準のD50)が28μm以上46μm以下、嵩密度が0.8g/cm3以上2g/cm3以下、炭素を0.5質量%以下、酸素を3質量%以上15質量%以下含有することを特徴とするイットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料。
- 基材に、請求項1記載の溶射材料をプラズマ溶射することにより、炭素含有量が0.1質量%以下、酸素含有量が3質量%以上15質量%以下の溶射皮膜を形成することを特徴とするイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019094950A JP6844654B2 (ja) | 2019-05-21 | 2019-05-21 | イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019094950A JP6844654B2 (ja) | 2019-05-21 | 2019-05-21 | イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017136266A Division JP6620793B2 (ja) | 2017-07-12 | 2017-07-12 | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料、及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019137923A JP2019137923A (ja) | 2019-08-22 |
JP6844654B2 true JP6844654B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=67693291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019094950A Active JP6844654B2 (ja) | 2019-05-21 | 2019-05-21 | イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6844654B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4044348B2 (ja) * | 2001-03-08 | 2008-02-06 | 信越化学工業株式会社 | 溶射用球状粒子および溶射部材 |
JP4981291B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-07-18 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 溶射用粉末及び溶射皮膜の形成方法 |
JP4981292B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-07-18 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 溶射用粉末及び溶射皮膜の形成方法 |
JP5396672B2 (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-22 | 日本イットリウム株式会社 | 溶射材料及びその製造方法 |
JP5939084B2 (ja) * | 2012-08-22 | 2016-06-22 | 信越化学工業株式会社 | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料の製造方法 |
-
2019
- 2019-05-21 JP JP2019094950A patent/JP6844654B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019137923A (ja) | 2019-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102066820B1 (ko) | 희토류 원소 옥시불화물 분말 용사 재료 및 희토류 원소 옥시불화물 용사 부재 | |
JP5861612B2 (ja) | 希土類元素フッ化物粉末溶射材料及び希土類元素フッ化物溶射部材 | |
JP6384536B2 (ja) | フッ化イットリウム溶射材料及びオキシフッ化イットリウム成膜部品の製造方法 | |
CN112779488B (zh) | 氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层 | |
JP3523222B2 (ja) | 溶射材料およびその製造方法 | |
JP6281507B2 (ja) | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 | |
CN109477199A (zh) | 悬浮等离子体热喷涂用浆料、稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法和热喷涂构件 | |
KR102405679B1 (ko) | 용사용 재료 | |
JP6668024B2 (ja) | 溶射材料 | |
JP6706894B2 (ja) | 溶射材料 | |
WO2021145341A1 (ja) | 溶射材料 | |
JP6620793B2 (ja) | 希土類元素オキシフッ化物粉末溶射材料、及び希土類元素オキシフッ化物溶射部材の製造方法 | |
JP6844654B2 (ja) | イットリウムオキシフッ化物粉末溶射材料、及びイットリウムオキシフッ化物溶射部材の製造方法 | |
WO2022138410A1 (ja) | 希土類酸化物溶射材料及びその製造方法、並びに希土類酸化物溶射膜及びその形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6844654 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |