JPWO2017150280A1 - 縦型紫外発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、該p型GaN層上に形成されるp電極と、該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、部分的に設けられたn電極、好ましくは少なくとも一つの光取出し窓となる開口部を設けて形成されるn電極とを備え、該n電極が設けられていない部分の任意の点とn電極との最短距離が400μm以下である縦型紫外発光ダイオードである。
【選択図】図1
Description
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、部分的に設けられたn電極とを備え、
該反対側の面上のn電極が設けられていない部分の任意の点と、n電極との最短距離が400μm以下であることを特徴とする。
発光ピーク波長が210〜300nmの範囲にある紫外発光ダイオードであって、
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、少なくとも一つの光取出し窓となる開口部を設けて形成されるn電極とを備え、
該n電極の端と開口部における任意の点との最短距離が400μm以下であることを特徴とする。
発光ピーク波長が210〜300nmの範囲にある紫外発光ダイオードであって、
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、n電極を備え、
前記n型AlN単結晶基板上の前記n電極が形成される部分において、該部分の少なくとも一部が半極性面であることを特徴とする。
また、n電極が形成されるn型AlN単結晶基板面を半極性面とすることで、電極抵抗が低減され、駆動電流を低くできる。
図1において、n型AlN単結晶基板1は、AlN基板中にn型ドーパント材料を含み、n型導電性を有するものである。n型ドーパント材料は、特に限定されるものではないが、Si、O、S等の公知のドーパント材料を用いることができる。中でも、ドーパント濃度の制御性や、AlN中のイオン化エネルギーなどを考慮すると、Siであること好ましい。
図1のn型AlXGa1−XN(但し、Xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層(以下、単に「n型AlXGa1−XN層」とする場合もある)2は、n型AlN単結晶基板1のC面上(アルミニウム極性面上)に形成された単結晶層である。Al組成比のXは、有理数であり、目的とする波長に応じて、0.5≦X≦1.0の範囲で適宜決定すればよい。n型AlXGa1−XN層2は、上記の組成範囲内のAl組成の単一の層であってもよいし、組成の異なる複数の層から形成されていてもよく、組成が連続的に変化する傾斜層であってもよい。
図1において、活性層3は、前記n型AlXGa1−XN層2上に形成され、組成式AlZGa1−ZN(但し、Zは、0.0≦Z≦1.0を満足する有理数である)で示される単結晶層(以下、単に「AlZGa1−ZN層」とする場合もある)から構成されることが好ましい。具体的には、前記AlZGa1−ZN層からなる量子井戸層と障壁層を組み合わせた量子井戸構造にすることが好ましい。この量子井戸構造は、単一の量子井戸層、もしく複数の量子井戸層からなる多重量子井戸構造とすることもできる。量子井戸層の厚みは特に限定されるものではないが、発光効率の向上および信頼性の観点から、1.5〜10nmであることが好ましい。障壁層の厚みも、特に限定されるものではないが、一般的には5〜30nmの範囲である。また、量子井戸の層数は特に限定されるものではないが、より高い出力を安定して得るためには3層以上であることが好ましい。
図1において、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層(以下、単に「p型AlYGa1−YN層」とする場合もある)4は、活性層3上に形成された単結晶層である。Al組成比のYは、有理数であり、目的とする発光ピーク波長に応じて、0.5≦Y≦1.0の範囲で適宜決定すればよい。p型AlYGa1−YN層4は、上記の組成範囲内のAl組成の単一の層であってもよいし、組成の異なる複数の層から形成されていてもよく、組成が連続的に変化する傾斜層であってもよい。p型AlYGa1−YN層での電子のリークを効果的に抑制するためには、活性層3側から、p型AlN層(Y=1.0)層/p型AlGaN(0.5≦Y<1.0)層の積層構造を採用することが好ましい。
図1において、p型GaN層5は、p型AlYGa1−YN層4上に形成された単結晶層であって、p型GaN層5上に形成されるp電極7と接触する層となる。p型GaN層5のp型ドーパントは、p型AlYGa1−YN層4と同様に、Mgを使用することが好ましい。p型GaN層5中のドーパント濃度は、適宜決定すればよいが、p型電極との接触抵抗の低減を容易にする観点から、5×1019〜5×1020cm−3であることが好ましい。また、p型GaN層5中において、ドーパント濃度は単一であっても良いし、層内で濃度傾斜を持たせることもできる。
図1において、p型GaN層5上に形成されるp電極6は、p型GaN層5との接触抵抗を低減できる材料であれば、特に制限されるものではなく、公知のp型オーミック電極材料を使用することができる。具体的には、例えば、特許3499385等に記載されている、Ni、Auを含む電極材料や、特開2004−327980等に記載されているPd、Pt、ITO等の電極材料を使用することができる。また、p電極6は、活性層で発生した紫外光を、n型AlN単結晶基板側に反射させることを目的として、Alを含む層とすることもできる。
図1において、n電極7は、n型AlN単結晶基板1の主面とは反対側の裏面(窒素極性面)側に形成される。裏面のうち、n電極が形成されていない部分は発光面として機能し、好ましい態様では、光取出し窓として機能する開口部を備えている。図2、図3、図4および図5に、光が取り出される側から見たn電極の形状を示す。図3、図4および字5は、n電極が開口部8(光取出し窓)を構成した例を示している。
本発明においては、n電極7が形成されるn型AlN単結晶基板1の裏面において、機械研磨などによるダメージ層厚みが50nm以下となることが好ましい。このダメージ層の厚みは、通常であれば、100000〜1000000の倍率の透過型電子顕微鏡(TEM)測定におけるコントラストにより確認される、結晶構造の揺らぎや転位が発生している層の厚みである。当然、ダメージ層の厚みは、該窒素極性面からのn型AlN単結晶基板1の深さ方向の厚みである。
(n型AlN単結晶基板1の準備)
n型AlN単結晶基板は、Applied Physics Express 8(2015)061003に記載の方法により作製した。具体的には、先ず、PVT法(昇華法)により作製されたΦ25mmのC面AlN種基板を準備した。このAlN種基板は、オフ角度は0.05〜0.3°であり、転位密度は104cm−2以下である。また、使用したAlN種基板は高抵抗(比抵抗値10TΩcm)である。
以上のように作製した成長用基板をMOCVD装置内のサセプター上に設置し、総流量13slmの水素と窒素の混合ガスを流しながら、1200℃まで加熱し、結晶成長面のクリーニングを行った。次いで、基板温度を1050℃とし、トリメチルアルミニウム流量を35μmol/min、トリメチルガリウム流量を18μmol/min、テトラエチルシラン流量を0.02μmol/min、アンモニア流量を1.5slmの条件で、n型Al0.7Ga0.3N層を1.0μm形成した。なお、同条件で形成したn型Al0.7Ga0.3N層に含まれるSiは、9×1018cm−3であった。
次いで、テトラエチルシラン流量を0.002μmol/minとした以外は、n型Al0.7Ga0.3N層と同条件で障壁層を10nm形成した。次いで、トリメチルガリウム流量を40μmol/min、トリメチルアルミニウムを3μmol/min、テトラエチルシラン流量を0μmol/minとした以外はn型Al0.7Ga0.3N層と同条件で、Al0.5Ga0.5N井戸層を3nm形成した。この井戸層と障壁層の成長を3回繰り返すことにより3重量子井戸層(活性層)を形成した。なお、同条件で形成した障壁層に含まれるSiは、1×1018cm−3であった。
次いで、トリメチルガリウムおよびテトラエチルシランの供給を停止し、ビスシクロペンタジエニルマグネシウムを1.0μmol/minで供給した以外は、n型Al0.7Ga0.3N層と同条件で、p型AlN層を20nm形成した。なお、同条件で形成したp型AlN層に含まれるMgは、5×1019cm−3であった。
次いで、基板温度を1030℃、圧力を200mbarに変更した後、トリメチルガリウム流量が0.2μmol/min、アンモニア流量が3.0slm、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量が1.0μmol/min、キャリアガス流量が7slm(窒素混合比0.4)の条件で、p型GaN層を200nm形成した。p型GaN層に含まれるMgは、7×1019cm−3であった。
p型GaN層まで成長した基板をMOCVD装置から取出し、AlN基板と同様に、高分解能X線回折装置によって結晶品質を評価した。各層の格子緩和の状態評価のために(114)面のXRD逆格子マッピング測定を行った結果、AlGaN層(n型AlGaN層、活性層、p型AlGaN層)の格子緩和率は全て1.0%以下であり、p型GaN層の格子緩和率は71.2%であった。
次いで、HVPE法n型AlN厚膜の窒素極性面が露出するまで、AlN種基板を機械研磨により除去した。その後、CMP研磨によってHVPE法n型AlN単結晶基板の窒素極性面のダメージ層を除去した。研磨後に残ったn型AlN単結晶厚膜(基板)の厚みは、109μmであった。同様にCMP研磨を行って作製したn型AlN単結晶基板の窒素極性面の断面TEM像を図6、およびCMP研磨を行わず機械研磨のみを行ったn型AlN単結晶基板の窒素極性面の断面TEM像を図7に示す。機械研磨のみの場合は、表面からのダメージ層の厚み(深さ)が70nm程度であったのに対し、CMP研磨を行った場合は、10nm未満であった。
次いで、n型AlN単結晶基板の窒素極性面側(裏面)に、図3のような複数の直径500μmの円形の開口部(最短距離250μm)を設けたn電極(Ti(10nm)/Al(200nm)/Ti(5nm))を真空蒸着法により形成し、窒素雰囲気中、1分間、800℃の条件で熱処理を行った。
次いで、上記p型GaN層上に真空蒸着法によりp電極(Ni(20nm)/Au(50nm))電極を形成し、窒素雰囲気中、5分間、500℃の条件で熱処理を行った。
作製した縦型発光ダイオードウェハをダイシングにより複数の1.8×1.8mmのチップ形状に切断した後、セラミック基板上にマウントして、縦型発光ダイオードを完成させた。n型AlN単結晶基板の裏面の面積は3.24mm2であり、全開口部の面積は1.77mm2(開口部数9個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は55%である。作製した縦型発光ダイオードの発光波長は260nmであり、駆動電流100mAにおける動作電圧は37Vであった。また、発光ダイオードの近視野像が見積もった発光面上の発光強度分布(最小光強度/最大光強度)は0.81であった。これらの結果を表1にまとめた。
実施例1のn電極の形成において、開口部の直径を300μm(最短距離150μm)に変更した以外は、実施例1と同様の方法で縦型発光ダイオードを作製した。開口部の面積は1.77mm2(開口部数25個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は55%である。
実施例1のn型AlN単結晶基板の裏面の露出において、HVPE法n型AlN基板の窒素極性面のCMP研磨後に、10%のKOH水溶液中に100℃、5minの条件で浸漬した以外は、実施例1と同様の方法で縦型発光ダイオードを作製した。全開口部の面積は1.77mm2(開口部数9個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は55%である。開口部の電子顕微鏡写真を図8に示す。n型AlN単結晶全面に6角錐が形成されており、水平面と6角錐の面角度は60〜63°であり、AlNの(1−101)面とほぼ等しいことが確認された。
実施例1のn型AlN単結晶基板の裏面の露出において、HVPE法n型AlN基板の窒素極性面のCMP研磨を行わない以外は、実施例1と同様の方法で縦型発光ダイオードを作製した。全開口部の面積は1.77mm2(開口部数9個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は55%である。
実施例1のn電極の形成において、開口部を一辺が500μmの正方形(最短距離250μm)とした以外は、実施例1と同様の方法で縦型紫外発光ダイオードを製した。全開口部の面積は1.5mm2(開口部数6個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は46%である。
実施例1のn電極の形成において、開口部の直径を1000μm(最短距離500μm)に変更し、チップの中心部に単一の開口部を設けた以外は実施例1と同様の方法で縦型発光ダイオードを作製した。開口部の面積は0.79mm2(開口部数1個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は24%である。
比較例1において、HVPE法n型AlN基板の窒素極性面のCMP研磨を行わない以外は比較例1と同様の方法で縦型発光ダイオードを作製した。開口部の面積は0.79mm2(開口部数1個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は24%である。
縦型紫外発光ダイオードのチップ形状を1.1×1.1mmとした以外は、比較例2と同様にして、縦型発光ダイオードを作製した。開口部の面積は0.79mm2(開口部数1個)であり、チップの裏面面積に対する開口部の割合は55%である。
2 n型AlXGa1−XN層
3 活性層
4 p型AlYGa1−YN層
5 p型GaN層
6 p電極
7 n電極
8 開口部(光取出し窓)
Claims (7)
- 発光ピーク波長が210〜300nmの範囲にある紫外発光ダイオードであって、
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、部分的に設けられたn電極とを備え、
該反対側の面上のn電極が設けられていない部分の任意の点と、n電極との最短距離が400μm以下であることを特徴とする縦型紫外発光ダイオード。 - 発光ピーク波長が210〜300nmの範囲にある紫外発光ダイオードであって、
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、少なくとも一つの光取出し窓となる開口部を設けて形成されるn電極とを備え、
該n電極の端と開口部における任意の点との最短距離が400μm以下であることを特徴とする縦型紫外発光ダイオード。 - 前記開口部を複数有することを特徴とする請求項2に記載の縦型紫外発光ダイオード。
- 前記n型AlN単結晶基板上の前記n電極が形成される部分において、該部分のn型AlN単結晶基板表面からのダメージ層厚みが50nm以下であることを特徴とする請求項2に記載の縦型紫外発光ダイオード。
- 前記n型AlN単結晶基板上の前記n電極が形成される部分において、該部分のn型AlN単結晶基板表面からのダメージ層厚みが50nm以下であることを特徴とする請求項3に記載の縦型紫外発光ダイオード。
- 前記n型AlN単結晶基板上の前記n電極が形成される部分において、該部分の少なくとも一部が半極性面であることを特徴とする請求項2〜5の何れかに記載の縦型紫外発光ダイオード。
- 発光ピーク波長が210〜300nmの範囲にある紫外発光ダイオードであって、
n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面上に、
n型AlXGa1−XN(但し、xは、0.5≦X≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、活性層、p型AlYGa1−YN(但し、Yは、0.5≦Y≦1.0を満足する有理数である。)で表わされる層、及びp型GaN層をこの順で有し、
該p型GaN層上に形成されるp電極と、
該n型AlN単結晶基板のアルミニウム極性面とは反対側の面上に、n電極を備え、
前記n型AlN単結晶基板上の前記n電極が形成される部分において、該部分の少なくとも一部が半極性面であることを特徴とすること縦型紫外発光ダイオード。
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