JPWO2017043428A1 - 感光性樹脂組成物、平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子 - Google Patents
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Abstract
本発明は、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該感光性樹脂組成物を用いてなる平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することを目的とする。本発明は、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤と、水系溶媒とを含有する感光性樹脂組成物である。
Description
本発明は、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、該感光性樹脂組成物を用いてなる平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子に関する。
液晶表示素子等の表示素子には、TFTやカラーフォルターの構造による凹凸が液晶の配向にに及ぼす影響を軽減するための平坦化膜や、RGBの発色を得るためのカラーフィルターや、表示コントラストや発色効果を高めるためにカラーフィルターのR、G、Bの着色層間の境界部分設けられるブラックマトリックス等の透明又は着色された感光性樹脂組成物が用いられている。
このような透明又は着色された感光性樹脂組成物としては、通常、光の照射によって硬化して皮膜を形成する光硬化性樹脂を含有するものが用いられている。即ち、ガラス基板等の透明基板の表面に塗布された感光性樹脂組成物上に、予め光を透過する部分と透過しない部分とが設けられたマスクを乗せ、該マスクの上から光を照射し、光に照射された部分の感光性樹脂組成物を硬化させ、光を透過しない部分に残った未硬化の感光性樹脂組成物を取り除いて、所望の形状の皮膜を形成している。
このような透明又は着色された感光性樹脂組成物としては、通常、光の照射によって硬化して皮膜を形成する光硬化性樹脂を含有するものが用いられている。即ち、ガラス基板等の透明基板の表面に塗布された感光性樹脂組成物上に、予め光を透過する部分と透過しない部分とが設けられたマスクを乗せ、該マスクの上から光を照射し、光に照射された部分の感光性樹脂組成物を硬化させ、光を透過しない部分に残った未硬化の感光性樹脂組成物を取り除いて、所望の形状の皮膜を形成している。
感光性樹脂組成物として、例えば、特許文献1、2には、バインダ樹脂、重合性不飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有する化合物、光重合開始剤、着色剤、溶媒、及び、特定の構造を有するチオール化合物を含有する遮光性黒色レジスト組成物が開示されており、特許文献3には、特定の構造を有する光重合性不飽和化合物、光重合開始剤、着色剤、及び、溶媒を含有する着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物が開示されており、特許文献4には、熱可塑性若しくは未架橋の高分子重合体及び/又はエチレン性不飽和結合を有する化合物、特定の光重合開始剤、顔料、並びに、溶媒を含有する感光性樹脂組成物が開示されている。
本発明は、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該感光性樹脂組成物を用いてなる平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することを目的とする。
本発明は、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤と、水系溶媒とを含有する感光性樹脂組成物である。
以下に本発明を詳述する。
以下に本発明を詳述する。
特許文献1〜4に開示されているような従来の感光性樹脂組成物は、有機溶媒を含有するものであるため、乾燥により揮発した有機溶媒が環境中に放出されるおそれがあり、作業者の健康を害したり、環境汚染の原因となったりし得るという問題があった。また、有機溶媒を含有することから、輸送、保管時や使用時において常に引火による火災の危険性を孕んでおり、塗布、乾燥を行うための設備や建屋においても防爆の対応が必要となる等、取扱いの負担が大きかった。そこで本発明者は、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤と、溶媒とを含有する感光性樹脂組成物において、このような有機溶媒に代えて水系溶媒を用いることにより、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物を得ることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を含有することで着色感光性樹脂組成物としても用いることができる。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を含有することで着色感光性樹脂組成物としても用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を含有する。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、水溶性であることから、水系溶媒に溶けるだけでなく、ラジカル重合性化合物と水系溶媒との親和性を高める役割も有する。また、アルカリ可溶性であることから、レジスト現像として一般的なアルカリ現像に用いられるアルカリ現像液に対する溶解性を有する。
なお、本明細書において、上記「水溶性」とは、pH6からpH9の概ね中性の範囲で水に溶解し水溶液を得ることができることを意味し、上記「アルカリ可溶性」とは、pH10からpH12のアルカリ性の範囲でアルカリ性溶液に溶解し水溶液を得ることができることを意味する。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、水溶性であることから、水系溶媒に溶けるだけでなく、ラジカル重合性化合物と水系溶媒との親和性を高める役割も有する。また、アルカリ可溶性であることから、レジスト現像として一般的なアルカリ現像に用いられるアルカリ現像液に対する溶解性を有する。
なお、本明細書において、上記「水溶性」とは、pH6からpH9の概ね中性の範囲で水に溶解し水溶液を得ることができることを意味し、上記「アルカリ可溶性」とは、pH10からpH12のアルカリ性の範囲でアルカリ性溶液に溶解し水溶液を得ることができることを意味する。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、水溶性及びアルカリ可溶性の観点から、カルボン酸アンモニウム塩であることが好ましい。上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物がカルボン酸アンモニウム塩であることで、得られる感光性樹脂組成物を基板に塗布した後の加熱乾燥工程において、上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物からアンモニア又はアミンが揮発脱離する。その結果、アルカリ可溶性の高分子化合物の水溶性が低下し、アルカリ現像時及び純水リンス時における硬化パターンの膨潤や過剰な溶解が抑制されるため、良好なパターンを形成することができる。
なお、本明細書において上記「カルボン酸アンモニウム塩」とは、カルボン酸をアンモニア、一級アミン、二級アミン、又は、三級アミンで中和して得られる塩を意味する。
なお、本明細書において上記「カルボン酸アンモニウム塩」とは、カルボン酸をアンモニア、一級アミン、二級アミン、又は、三級アミンで中和して得られる塩を意味する。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物としては、例えば、カルボン酸アンモニウム塩である単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体や、カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体、又は、不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体を、アンモニア又はアミンにより中和してカルボン酸アンモニウム塩としたもの等が挙げられる。これらは、ランダム共重合体、ブロック共重合体、及び、グラフト共重合体のいずれであってもよい。
上記カルボン酸アンモニウム塩である単官能不飽和化合物としては、例えば、アクリル酸アンモニウム、メタクリル酸アンモニウム、3−アクリロイルオキシプロピオン酸アンモニウム、フマル酸アンモニウム、イタコン酸アンモニウム、マレイン酸アンモニウム、クロトン酸アンモニウム等が挙げられる。
上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、3−アクリロイルオキシプロピオン酸、フマル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸等が挙げられる。なかでも、架橋性及び分散安定性の観点から、メタクリル酸、β−カルボキシエチルアクリレートが好ましい。
上記不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物としては、例えば、無水マレイン酸等が挙げられる。
上記不飽和二重結合を有する単官能化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ベンジル等の(メタ)アクリル酸エステル系単量体が挙げられる。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味する。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味する。
上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と上記不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体、又は、上記不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物と上記不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体を中和する際に用いることができるアミンとしては、例えば、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン等の一級アミンや、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン等の二級アミンや、トリメチルアミン、トリエチルアミン、N,N−ジメチルプロピルアミン、N,N−ジメチルイソプロピルアミン、N,N−ジイソプロピルメチルアミン、N,N−ジイソプロピルエチルアミン等の三級アミンが挙げられる。
また、上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、スチレン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−クロロスチレン等の芳香族ビニル系単量体や、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物や、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミド、ナフチルマレイミド、o−クロロフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミドや、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド等に由来するセグメントを有してもよい。
更に、上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、現像時の溶解性を制御する等の目的で水酸基を有する単官能不飽和化合物に由来するセグメントを有してもよい。
上記水酸基を有する単官能不飽和化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等が挙げられる。
上記水酸基を有する単官能不飽和化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等が挙げられる。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物としては、なかでも、側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボン酸アンモニウム基とを有する(メタ)アクリル共重合体が好適である。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボン酸アンモニウム基とを有する(メタ)アクリル共重合体としては、少なくとも酸性官能基を有する構成単位と水酸基を有する構成単位とからなる主鎖を有し、(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物がそのイソシアネート基を介して、上記酸性官能基の少なくとも一部にアミド結合、及び/又は、上記水酸基の少なくとも一部にウレタン結合を形成している重合体が好適である。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボン酸アンモニウム基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、イソシアネート基の当量比(NCO/OH)が1.0〜2.0となるように上記(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物の仕込み量を調整して得られたものであることが好ましい。
上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上となるように調整することにより、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に高い比率で(メタ)アクリロイル基を導入することが可能となり、感度の高いものとすることができる。また、酸性官能基を有する構成単位の含有割合を適宜調整できることから、得られる(メタ)アクリル共重合体の水溶性とアルカリ可溶性(現像性)とを自由に調整できる。また、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボン酸アンモニウム基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することに加え、水酸基を有する構成単位の含有割合を、仕込み量で14モル%以上として得られたものであることがより好ましい。上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することによりイソシアネート基の導入率を高められ、更に、水酸基を有する構成単位の含有割合を仕込み量で14モル%以上とすることにより、イソシアネート基が反応する部分が増えるため、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に(メタ)アクリロイル基を多量に導入することができ、特に感度の高いものとすることができる。
一方、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を2.0以下に調整することで、得られる(メタ)アクリル共重合体中に未反応の(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物が多量に残ることを抑制し、より物性に優れるものとすることができる。
上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上となるように調整することにより、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に高い比率で(メタ)アクリロイル基を導入することが可能となり、感度の高いものとすることができる。また、酸性官能基を有する構成単位の含有割合を適宜調整できることから、得られる(メタ)アクリル共重合体の水溶性とアルカリ可溶性(現像性)とを自由に調整できる。また、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボン酸アンモニウム基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することに加え、水酸基を有する構成単位の含有割合を、仕込み量で14モル%以上として得られたものであることがより好ましい。上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することによりイソシアネート基の導入率を高められ、更に、水酸基を有する構成単位の含有割合を仕込み量で14モル%以上とすることにより、イソシアネート基が反応する部分が増えるため、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に(メタ)アクリロイル基を多量に導入することができ、特に感度の高いものとすることができる。
一方、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を2.0以下に調整することで、得られる(メタ)アクリル共重合体中に未反応の(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物が多量に残ることを抑制し、より物性に優れるものとすることができる。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物における、カルボン酸アンモニウム基の含有割合の好ましい下限は5重量%、好ましい上限は40重量%である。上記カルボン酸アンモニウム基の含有割合を5重量%以上とすることによって、水溶性やアルカリ可溶性により優れるものとなる。上記カルボン酸アンモニウム基の含有割合を40重量%以下とすることによって、現像時の膨潤や溶解を抑え、より良好なパターンを形成することができる。上記カルボン酸アンモニウム基の含有割合のより好ましい下限は10重量%、より好ましい上限は30重量%である。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を製造する方法としては、例えば、ラジカル重合開始剤及び必要に応じて分子量調整剤を用いて、上記カルボン酸アンモニウム塩である単官能不飽和化合物や上記不飽和二重結合を有する単官能化合物等の共重合体を構成するモノマー成分を、塊状重合、溶液重合、懸濁重合、分散重合、乳化重合等の従来公知の方法により重合する方法が挙げられる。なかでも、溶液重合が好適である。
上記溶液重合により上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を製造する場合に用いられる溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、グリコール等の脂肪族アルコール類や、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類や、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類や、酢酸セロソルブ、酢酸カルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類や、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類や、テトラヒドロフラン等の環状エーテル、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類や、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド等の極性を有する有機溶媒等が挙げられる。
また、上記懸濁重合、上記分散重合、上記乳化重合等により水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を製造する場合の媒体としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン等の液状の炭化水素や、その他の非極性の有機溶媒等が挙げられる。
また、上記懸濁重合、上記分散重合、上記乳化重合等により水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を製造する場合の媒体としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン等の液状の炭化水素や、その他の非極性の有機溶媒等が挙げられる。
上記溶液重合において有機溶媒を用いた場合、得られたアルカリ可溶性の高分子化合物の溶液に適当量の水を加えた後に減圧等により有機溶媒を留去することが好ましい。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物を製造する際に用いる上記ラジカル重合開始剤としては、例えば、過酸化物、アゾ開始剤等が挙げられる。
また、上記分子量調整剤としては、例えば、α−メチルスチレンダイマー、メルカプタン系の連鎖移動剤等が挙げられる。
また、上記分子量調整剤としては、例えば、α−メチルスチレンダイマー、メルカプタン系の連鎖移動剤等が挙げられる。
上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の重量平均分子量の好ましい下限は3000、好ましい上限は10万である。上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の重量平均分子量を3000以上とすることで、本発明の感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスパターンを製造する際により良好な現像性を確保することができる。上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の重量平均分子量を10万以下とすることで、本発明の感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスパターンを製造する際の解像度をより高いものとすることができる。上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の重量平均分子量のより好ましい下限は5000、より好ましい上限は5万である。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。GPCによってポリスチレン換算による重量平均分子量を測定する際のカラムとしては、例えば、Shodex LF−804(昭和電工社製)等が挙げられる。また、GPCで用いる溶媒としては、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。GPCによってポリスチレン換算による重量平均分子量を測定する際のカラムとしては、例えば、Shodex LF−804(昭和電工社製)等が挙げられる。また、GPCで用いる溶媒としては、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物の固形分中における、上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の含有量の好ましい下限は10重量%、好ましい上限は60重量%である。上記水溶性かつアルカリ可溶性の含有量を10重量%以上とすることで、得られる感光性樹脂組成物がよりアルカリ可溶性に優れるものとなる。上記水溶性かつアルカリ可溶性の含有量が60重量%以下であることで、アルカリ現像時の現像液による膨潤を抑え、ブラックマトリックスパターンの形状をより均一とすることができる。上記水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の含有量のより好ましい下限は15重量%、より好ましい上限は40重量%である。
なお、本明細書において上記「固形分」とは、溶媒以外の成分の総和を意味する。
なお、本明細書において上記「固形分」とは、溶媒以外の成分の総和を意味する。
本発明の感光性樹脂組成物は、ラジカル重合性化合物を含有する。
上記ラジカル重合性化合物は、分子量が1000以下であることが好ましい。上記ラジカル重合性化合物の分子量が1000以下であることにより、水系溶媒に対してより安定な溶液が得られるとともに、アルカリ現像時の未溶解物が発生し難くなる。上記ラジカル重合性化合物は、分子量が800以下であることがより好ましく、600以下であることが更に好ましい。
なお、上記ラジカル重合性化合物の分子量は、変性部位や変性度が不特定な化合物等については重量平均分子量を用いて表す。
上記ラジカル重合性化合物は、分子量が1000以下であることが好ましい。上記ラジカル重合性化合物の分子量が1000以下であることにより、水系溶媒に対してより安定な溶液が得られるとともに、アルカリ現像時の未溶解物が発生し難くなる。上記ラジカル重合性化合物は、分子量が800以下であることがより好ましく、600以下であることが更に好ましい。
なお、上記ラジカル重合性化合物の分子量は、変性部位や変性度が不特定な化合物等については重量平均分子量を用いて表す。
上記ラジカル重合性化合物は、1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物を含有することが好ましい。上記ラジカル重合性化合物として1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物を含有することにより、得られる感光性樹脂組成物をより均一な塗工液とすることができる。上記ラジカル重合性化合物は、1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基とを有する化合物を含有することがより好ましい。
上記1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物としては、下記式(1)で表される化合物及び/又は下記式(2)で表される化合物が好適に用いられる。
上記1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物としては、下記式(1)で表される化合物及び/又は下記式(2)で表される化合物が好適に用いられる。
式(1)中、R1は、水素原子又はメチル基を表し、Yは、−OH基、−OC2H4OH基、−OC3H6OH基、又は、−C(=O)OH基を表し、Zは、酸素原子、−OC2H4O−結合、又は、−OC3H6O−結合を表す。lは、1又は2である。
式(2)中、R2及びR3は、水素原子又はメチル基を表し、Yは、−OH基、−OC2H4OH基、−OC3H6OH基、又は、−C(=O)OH基を表し、Zは、酸素原子、−OC2H4O−結合、又は、−OC3H6O−結合を表す。mは、1〜3の整数であり、nは、0〜3の整数であり、m+nは、1〜4の整数である。
上記式(1)中、各R1は、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、各Zは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(1)で表される化合物がYを2以上有する場合、各Yは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
また、上記式(2)で表される化合物が、R2を2つ有する場合、各R2は、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、R3を2以上有する場合、各R3は、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、Yを2以上有する場合、各Yは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、Zを2以上有する場合、各Zは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
また、上記式(2)で表される化合物が、R2を2つ有する場合、各R2は、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、R3を2以上有する場合、各R3は、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、Yを2以上有する場合、各Yは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。上記式(2)で表される化合物が、Zを2以上有する場合、各Zは、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
上記1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物としては、具体的には例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレートや、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の3官能以上の(メタ)アクリレート等が挙げられる。なかでも、重合反応の進行が速く、露光感度を向上させやすいことから、3官能以上の(メタ)アクリレートが好ましい。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
また、上記1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物としては、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性された多官能(メタ)アクリレートも好適に用いられる。
上記多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、上述した3官能以上の水酸基を有する(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性した化合物等が挙げられる。なかでも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、又は、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートを、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性したものであることが好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、上述した3官能以上の水酸基を有する(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性した化合物等が挙げられる。なかでも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、又は、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートを、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性したものであることが好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性する場合の変性度は、ベースとなる多官能(メタ)アクリレートの官能基数をnとした場合、該多官能(メタ)アクリレート1モルに対して、15nモル以下であることが好ましい。上記変性度が15nモル以下であることにより、アルカリ現像液による膨潤が顕著となることを抑制し、ブラックマトリックスパターンの形状をより均一なものとすることができる。上記変性度は、10nモル以下であることがより好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性する方法としては、例えば、多価アルコールとエチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイドとを反応させ、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性アルコールを合成した後、該エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性アルコールと(メタ)アクリル酸とをエステル化反応させる方法や、(メタ)アクリル酸とエチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイドとを反応させ、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性(メタ)アクリル酸を合成した後、該エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性(メタ)アクリル酸をアルコールとエステル化反応させる方法や、(メタ)アクリル酸、エチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイド、並びに、多価アルコールを一括反応させる方法等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記ラジカル重合性化合物として、現像性等を損なわない範囲で1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物以外のその他のラジカル重合性化合物を含有してもよい。
上記その他のラジカル重合性化合物のうち2官能のものとしては、例えば、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートや、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジアクリレート等が挙げられる。
上記その他のラジカル重合性化合物のうち3官能以上のものとしては、例えば、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物が上記その他のラジカル重合性化合物を含有する場合、上記その他のラジカル重合性化合物の含有量は、ラジカル重合性化合物全体の40重量%未満であることが好ましい。上記その他のラジカル重合性化合物の含有量が40重量%未満であることにより、より均一な塗膜が得ることができる。上記その他のラジカル重合性化合物の含有量のより好ましい上限は30重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物の固形分中における、上記ラジカル重合性化合物の含有量の好ましい下限は10重量%、好ましい上限は90重量%である。上記ラジカル重合性化合物の含有量が10重量%以上であることにより、得られる感光性樹脂組成物を充分に光硬化させることができ、フォトリソグラフの手法により、より容易に平坦化膜又はブラックマトリックス等のパターンを形成することができる。上記ラジカル重合性化合物の含有量が90重量%以下であることにより、得られる感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフによる樹脂パターンを製造する際に使用するアルカリ現像液への溶解性が不足することなく、製造するパターンの現像性により優れるものとなる。上記ラジカル重合性化合物の含有量のより好ましい下限は15重量%、より好ましい上限は80重量%、更に好ましい下限は20重量%、更に好ましい上限は60重量%、特に好ましい上限は40重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾフェノン、ベンジル、チオキサントン、及び、これらの誘導体等、従来公知の光重合開始剤が挙げられる。
具体的には例えば、(4−(メチルフェニルチオ)フェニル)フェニルメタノン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、O−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(O−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(フラン−2−イル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン等が挙げられる。なかでも、感度の観点から、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤であることが好ましく、オキシムエステル系光重合開始剤であることがより好ましい。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾフェノン、ベンジル、チオキサントン、及び、これらの誘導体等、従来公知の光重合開始剤が挙げられる。
具体的には例えば、(4−(メチルフェニルチオ)フェニル)フェニルメタノン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、O−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(O−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(フラン−2−イル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン等が挙げられる。なかでも、感度の観点から、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤であることが好ましく、オキシムエステル系光重合開始剤であることがより好ましい。
上記オキシムエステル系光重合開始剤は、水性溶媒を用いた場合、pHが7.5を超えると加水分解しやすくなって、得られる感光性樹脂組成物の感度が低下することがあるが、後述するように、得られる感光性樹脂組成物のpHを6.5〜7.5に調整することにより、該加水分解を抑制することができる。
上記オキシムエステル系光重合開始剤は、極性基を有することが好ましい。上記オキシムエステル系光重合開始剤が極性基を有することにより、本発明の感光性樹脂組成物は、均一な塗工液となって感度や現像性により優れるものとなる。また、上記極性基を有することにより、上記オキシムエステル系光重合開始剤が本発明の感光性樹脂組成物中に析出し難くなり、本発明の感光性樹脂組成物をブラックマトリックス等に用いた際に光の散乱によるコントラストの低下や異物欠陥の発生を防止することができる。
上記極性基を有するオキシムエステル系光重合開始剤の極性基は、−OH基、−COOH基、−SH基、−CONH2基、及び、−NH2基からなる群より選択される少なくとも一種であることが好ましく、−OH基及び/又は−COOH基であることがより好ましく、−OH基であることが更に好ましい。
上記極性基を有するオキシムエステル系光重合開始剤としては、具体的には、下記式(3)で表される化合物が好適に用いられる。
式(3)中、Rは、炭素数1〜6のアルキレン基を表し、Xは、硫黄原子又は酸素原子を表す。
上記式(3)中、Rで表される炭素数1〜6のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、イソプロピレン基、n−ブチレン基、1−メチルエチレン基、1−エチルエチレン基、n−ペンチレン基、n−へキシレン基等が挙げられる。なかでも、エチレン基が好ましい。
また、上記式(3)中、Xは、硫黄原子であることが好ましい。
また、上記式(3)中、Xは、硫黄原子であることが好ましい。
上記オキシムエステル系光重合開始剤のうち、極性基を有さないものとしては、例えば、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン2−(O−ベンゾイルオキシム)、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム等が挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物の固形分中における、上記光重合開始剤の含有量の好ましい下限は0.5重量%、好ましい上限は20重量%である。上記光重合開始剤の含有量をこの範囲とすることにより、得られる感光性樹脂組成物がより長い期間に亘って感度に優れるものとなる。上記光重合開始剤の含有量のより好ましい下限は1重量%、より好ましい上限は15重量%、更に好ましい下限は3重量%、更に好ましい上限は10重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を含有してもよい。
上記着色剤としては、ブラックマトリックス等に用いられる従来公知の着色剤を使用することができる。後述する近赤外線アライメントによる位置合わせを行う場合、上記着色剤は、本発明の感光性樹脂組成物の500〜700nmの波長域における透過率を1%以下に調整することができ、かつ、900〜1100nmの波長域における透過率を10%以上に調整することができる着色剤であることが好ましい。
上記着色剤としては、ブラックマトリックス等に用いられる従来公知の着色剤を使用することができる。後述する近赤外線アライメントによる位置合わせを行う場合、上記着色剤は、本発明の感光性樹脂組成物の500〜700nmの波長域における透過率を1%以下に調整することができ、かつ、900〜1100nmの波長域における透過率を10%以上に調整することができる着色剤であることが好ましい。
上記着色剤としては、具体的には例えば、チタンブラック、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、アニリンブラック、ビスベンゾフラノン系着色剤、ペリレン系着色剤、アゾメチン系着色剤、アゾ系着色剤等が挙げられる。また、チタン、マンガン、鉄、銅、コバルト等の複合酸化物等も適宜用いることができる。なかでも、塗膜中の分散性の観点から、チタンブラックとカーボンブラックとを組み合わせて用いることが好ましい。
上記チタンブラックの平均一次粒子径の好ましい下限は20nm、好ましい上限は200nmである。上記チタンブラックの平均一次粒子径がこの範囲であることにより、塗膜中に容易に均一に分散させることができる。上記チタンブラックの平均一次粒子径のより好ましい下限は50nm、より好ましい上限は150nmである。
なお、本明細書において上記平均一次粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定された、体積基準積算粒度分布における積算粒度で50%の粒子径(D50)を意味する。
なお、本明細書において上記平均一次粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定された、体積基準積算粒度分布における積算粒度で50%の粒子径(D50)を意味する。
上記カーボンブラックの平均一次粒子径の好ましい下限は50nm、好ましい上限は180nmである。上記カーボンブラックの平均一次粒子径がこの範囲であることにより、塗膜中に容易に均一に分散させることができる。上記カーボンブラックの平均一次粒子径のより好ましい下限は60nm、より好ましい上限は150nm、更に好ましい下限は70nm、更に好ましい上限は120nmである。
上記チタンブラックと上記カーボンブラックとを組み合わせて用いる場合、上記カーボンブラックの含有量は、上記チタンブラック100重量部に対して、好ましい下限が1重量部、好ましい上限が10重量部である。上記カーボンブラックの含有量が1重量部以上であることにより、後述する光学的なピンホールを抑制する効果により優れるものとなる。上記カーボンブラックの含有量が10重量部以下であることにより、得られる感光性樹脂組成物が現像性等を損なうことなく遮光性により優れるものとなる。上記カーボンブラックの含有量のより好ましい下限は2重量部、より好ましい上限は7重量部である。
上記ビスベンゾフラノン系着色剤としては、例えば、特表2012−528448号公報、特表2010−534726号公報、特表2012−515234号公報等に記載のものが挙げられ、具体的には例えば、下記式(4)で表される化合物等が挙げられる。
上記ペリレン系着色剤としては、例えば、下記式(5−1)〜(5−5)で表される化合物等が挙げられる。
上記アゾメチン系着色剤としては、例えば、特開平1−170601号公報、特開平2−34664号公報等に記載のものが挙げられ、具体的には例えば、下記式(6)で表される化合物等が挙げられる。
上記アゾ系着色剤としては、例えば、下記式(7)で表される化合物等が挙げられる。
上記ビスベンゾフラノン系着色剤、上記ペリレン系着色剤、上記アゾメチン系着色剤、又は、上記アゾ系着色剤の市販品としては、例えば、IRGAPHOR BK、PALIOGEN BLACK L0084、PALIOGEN BLACK L0086、LUMOGEN BLACK FK4280、LUMOGEN BLACK FK4281(いずれもBASF社製)、クロモファインブラックA1103(大日精化社製)等が挙げられる。
上記着色剤として上記ビスベンゾフラノン系着色剤、上記ペリレン系着色剤、上記アゾメチン系着色剤、又は、上記アゾ系着色剤を用いる場合、これらの着色剤の平均一次粒子径の好ましい下限は20nm、好ましい上限は200nmである。上記着色剤の平均一次粒子径がこの範囲であることにより、塗膜中に容易に均一に分散させることができる。上記着色剤の平均一次粒子径のより好ましい下限は50nm、より好ましい上限は150nmである。
上記着色剤としては、より均一に分散させて遮光性を向上させる観点から、表面処理がなされたものを使用することもできる。ブラックマトリックスに用いられる着色剤では、溶媒として水を用いた場合に凝集を生じやすく、局所的に着色剤濃度の低い部分、いわゆる光学的なピンホールが発生し、遮光性が低下する場合があるが、表面処理がなされた着色剤を用いることにより、光学的なピンホールの発生が抑制され、均一で高度な遮光性を有する高品質のブラックマトリックスを形成することができる。
上記チタンブラックを表面処理する方法としては、例えば、予め表面処理剤を用いて紛体状のチタンブラックの表面に表面処理を施しておく方法や、チタンブラックの水分散液に、表面処理剤を添加して処理する方法等が挙げられる。
上記表面処理剤は、チタンブラックの表面と反応して分散性を向上できるものであれば特に限定されないが、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤等のカップリング剤が好ましく、チタネート系カップリング剤がより好ましい。
上記チタネート系カップリング剤として市販されているものとしては、例えば、プレンアクト(登録商標)44、プレンアクト(登録商標)ET(いずれも味の素ファインテクノ社製)等が挙げられる。
上記チタネート系カップリング剤として市販されているものとしては、例えば、プレンアクト(登録商標)44、プレンアクト(登録商標)ET(いずれも味の素ファインテクノ社製)等が挙げられる。
上記チタンブラックを表面処理する際の上記表面処理剤の添加量は、チタンブラック100重量部に対して、好ましい下限が0.1重量部、好ましい上限が5重量部である。上記表面処理剤の添加量が0.1重量部以上であることにより、表面を充分に処理することができ、より分散性の改善効果を発揮できる。上記表面処理剤の添加量が5重量部以下であることにより、上記表面処理剤が相分離することを抑制し、より均一な塗膜を得ることができる。上記表面処理剤の添加量のより好ましい下限は0.3重量部、より好ましい上限は2重量部である。
上記カーボンブラックを表面処理する方法としては、例えば、種々の酸化剤を用いて酸化処理する方法や、ジアゾニウム塩のカップリング反応により、スルホン酸基、リン酸基、カルボキシル基、リン酸エステル基等の酸性基を導入する方法等が挙げられる。また、親水性基としてカルボキシル基と水酸基とを導入する方法も好適に用いられる。
上記酸化剤を用いて酸化処理する方法としては、未処理のカーボンブラックを、高温下で遊離酸素と接触させて酸化する方法や、オゾン、NO2等によって酸化する方法や、臭素及び水によって常圧下又は加圧下で処理する方法や、過酸化水素水、硝酸、硫酸等の酸化性の溶液で酸化する方法や、これらの方法を組合せた方法等が挙げられる。また、表面を酸化処理したカーボンブラックを更に対イオンで中和してもよい。
表面処理がなされたカーボンブラックとして市販されているものとしては、例えば、AquaBlack(登録商標)162、AquaBlack(登録商標)164(いずれも東海カーボン社製)、CAB−O−JET200、CAB−O−JET300、CAB−O−JET400(いずれもキャボット・スペシャリティ社製)等が挙げられる。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、高抵抗値化や色調の調整のために、遮光性能を低下させない範囲で、上記着色剤として他の着色剤を含有してもよい。具体的には例えば、カーボンブラックに由来する赤みがかった色調を抑え、全体としてより好ましい黒色にするために、御国色素社製の「バイオレット分散液(バイオレット顔料10%含有)」、御国色素社製の「ブルー顔料分散液CFブルー(ブルー顔料20%含有)」等を含有してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物の固形分中における、上記着色剤の含有量は30重量%を超え80重量%以下であることが好ましい。上記着色剤の含有量を、30重量%を超えるものとすることにより、遮光性に優れたブラックマトリックスを形成することができる。上記着色剤の含有量が80重量%以下であることにより、得られる感光性樹脂組成物の感度、硬化後の塗膜の耐熱性、及び、耐薬品性が良好に保たれる。上記着色剤の含有量のより好ましい下限は40重量%、より好ましい上限は70重量%、更に好ましい下限は50重量%である。
上記着色剤の含有量が上述した好ましい範囲内であることにより、より遮光性に優れる感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、上記着色剤の含有量を、30重量%を超えるものとすることにより、本発明の感光性樹脂組成物を用いて厚さ5μmのブラックマトリックスを形成した場合における光学密度(OD値)を2.0以上とすることができる。上記OD値は、3.0以上であることが好ましく、4.0以上であることがより好ましい。
なお、上記OD値は、透過濃度計を用いて測定することができる。
なお、上記OD値は、透過濃度計を用いて測定することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、水系溶媒を含有する。
上記水系溶媒を用いることにより、感光性樹脂組成物を塗工・乾燥する際の有機化学物質の排出等の環境への負荷を低減することができる。
なお、上記「水系溶媒」とは、水、又は、水と親水性溶媒との混合溶媒であって水の含有量が50重量%以上である溶媒を意味する。
上記水系溶媒を用いることにより、感光性樹脂組成物を塗工・乾燥する際の有機化学物質の排出等の環境への負荷を低減することができる。
なお、上記「水系溶媒」とは、水、又は、水と親水性溶媒との混合溶媒であって水の含有量が50重量%以上である溶媒を意味する。
上記水系溶媒としては、例えば、水や、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等の親水性溶媒と水との混合溶媒が挙げられる。なかでも、水のみを用いることが好ましい。
上記水系溶媒が水と親水性溶媒との混合溶媒である場合、該混合溶媒中における水の含有割合の好ましい下限は70重量%、より好ましい下限は90重量%である。
上記水系溶媒が水と親水性溶媒との混合溶媒である場合、該混合溶媒中における水の含有割合の好ましい下限は70重量%、より好ましい下限は90重量%である。
本発明の感光性樹脂組成物における水系溶媒の含有量は特に制限されず、塗布方法等に適した粘度となるように適宜設定されるが、固形分の濃度が1〜50重量%となる量であることが好ましく、10〜40重量%となる量であることがより好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、塗布性の調整や着色剤の分散性を向上すること等を目的として、上記水系溶媒に加えてその他の溶媒を含有してもよいが、環境への負荷を低減するという本発明の目的から、その他の溶媒を含有しないことが好ましい。上記その他の溶媒を含有する場合、その含有量は、溶媒全体の30重量%以下であることが好ましく、10重量%以下であることがより好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤の分散性を向上することを目的として、分散剤を含有してもよい。
上記分散剤としては、例えば、ポリビニルアルコール類、ポリビニルピロリドン類、アクリル酸−アクリル酸エステル共重合体等のアクリル樹脂、スチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−メタクリル酸共重合体、スチレン−メタクリル酸−アクリル酸エステル共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸共重合体、スチレン−α−メチルスチレン−アクリル酸−アクリル酸エステル共重合体等のスチレン−アクリル樹脂、スチレン−マレイン酸共重合体、スチレン−無水マレイン酸共重合体、ビニルナフタレン−アクリル酸共重合体、及び、これらの塩が挙げられる。
上記分散剤のうち市販されているものとしては、例えば、ルーブリゾール社製のSOLSPERSEシリーズ、ビックケミー社製のDISPER BYKシリーズ、BASF社製のEFKAシリーズ等が挙げられる。上記分散剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記分散剤のうち市販されているものとしては、例えば、ルーブリゾール社製のSOLSPERSEシリーズ、ビックケミー社製のDISPER BYKシリーズ、BASF社製のEFKAシリーズ等が挙げられる。上記分散剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記着色剤100重量部に対する上記分散剤の含有量は、好ましい下限が10重量部、好ましい上限が100重量部である。上記分散剤の含有量がこの範囲であることにより、上記着色剤の分散性をより向上させることができる。上記分散剤の含有量のより好ましい下限は20重量部、より好ましい上限は50重量部である。
本発明の感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有していてもよい。
上記シランカップリング剤は、本発明の感光性樹脂組成物によるパターンと基板との密着性を向上させる役割を有する。
上記シランカップリング剤としては、(メタ)アクリロイル基を有するものが好ましい。
上記シランカップリング剤は、本発明の感光性樹脂組成物によるパターンと基板との密着性を向上させる役割を有する。
上記シランカップリング剤としては、(メタ)アクリロイル基を有するものが好ましい。
上記シランカップリング剤としては、具体的には例えば、3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
これらのシランカップリング剤は単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
これらのシランカップリング剤は単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物の固形分中における上記シランカップリング剤の含有量の好ましい下限は0.1重量部、好ましい上限は10重量部である。上記シランカップリング剤の含有量がこの範囲であることにより、硬化性の低下やアルカリ現像時の残渣の発生を抑制しつつ、基板との密着性をより向上させることができる。上記シランカップリング剤の含有量のより好ましい下限は1重量部、より好ましい上限は5重量部である。
本発明の感光性樹脂組成物は、酸素による反応障害を軽減するために反応助剤を含有してもよい。上記反応助剤を用いることにより、光照射したときの硬化速度を向上させることができる。
上記反応助剤としては、例えば、n−ブチルアミン、ジ−n−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリエチレンテトラミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル等のアミン系反応助剤や、トリ−n−ブチルホスフィン等のホスフィン系反応助剤や、s−ベンジルイソチウロニウム−p−トルエンスルフィネート等のスルホン酸系反応助剤等を用いることができる。これらの反応助剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、必要に応じて、その他のカップリング剤、熱重合禁止剤、消泡剤、レベリング剤、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、分散助剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等の公知の各種添加剤を含有してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物を製造する方法としては、例えば、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤と、水系溶媒と、必要に応じて用いられる添加剤等とを、通常の撹拌装置にて混合する方法により得られる。また、着色剤を含有する場合には、ペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ビーズミル、ロールミル、アトライター、ジェットミル、ホモジナイザー等の撹拌機(分散機)を用いて混合する方法等が挙げられる。これら各成分を混合した際にpHが6.5〜7.5の範囲外である場合には、後述するように、中和により6.5〜7.5の範囲内とすることが好ましい。
また、異物等の混入を防止するため、撹拌後、フィルターを用いて濾過を行うことが好ましい。
また、異物等の混入を防止するため、撹拌後、フィルターを用いて濾過を行うことが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、pHが6.5〜7.5であることが好ましい。
上記pHが6.5以上であることにより、得られる感光性樹脂組成物のゲル化を抑制することができる。上記pHが7.5以下であることにより、水系溶媒とオキシムエステル系光重合開始剤とを組み合わせて用いた場合でも感度の低下を抑制することができる。上記pHのより好ましい下限は6.7、より好ましい上限は7.3であり、更に好ましい下限は6.9、更に好ましい上限は7.1である。
なお、上記pHは、25℃において、pHメーター(例えば、堀場製作所社製、「卓上型pHメーター F−71」)を用いて測定することができる。
上記pHが6.5以上であることにより、得られる感光性樹脂組成物のゲル化を抑制することができる。上記pHが7.5以下であることにより、水系溶媒とオキシムエステル系光重合開始剤とを組み合わせて用いた場合でも感度の低下を抑制することができる。上記pHのより好ましい下限は6.7、より好ましい上限は7.3であり、更に好ましい下限は6.9、更に好ましい上限は7.1である。
なお、上記pHは、25℃において、pHメーター(例えば、堀場製作所社製、「卓上型pHメーター F−71」)を用いて測定することができる。
本発明の感光性樹脂組成物のpHを6.5〜7.5とする方法としては、例えば、感光性樹脂組成物の各成分を混合する際又は混合した後に中和する方法や、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の作製時の中和工程において当量点で反応を終える方法等が挙げられる。
上記感光性樹脂組成物の各成分を混合する際又は混合した後に中和する方法において、pHが6.5未満である場合には、アンモニア、ジエチルアミン等を用いて中和することが好ましく、pHが7.5を超えている場合には、酢酸、プロピオン酸等を用いて中和することが好ましい。
フォトリソグラフィにおいて、被露光対象物にフォトマスクを乗せる場合、被露光対象物とフォトマスクとの位置合わせに近赤外線アライメントが用いられている。例えば、特開2002−55458号公報には、被露光対象物とフォトマスクに近赤外線を照射して、両者にあらかじめ付けておいたマークを近赤外線カメラで認識し、それらのマークを基準としてマスクの位置合わせを行う近赤外線アライメントについて開示されている。この方法は、画像認識に近赤外線を用いるため、被露光対象物にフォトレジストが塗布されている場合でもマークが認識しやすいという利点がある。
しかし、従来のブラックマトリックスに用いられるカーボンブラック等の顔料は、可視領域の光だけでなく近赤外領域の光も遮断してしまうため、上記近赤外線アライメントによる位置合わせができないという問題があった。
しかし、従来のブラックマトリックスに用いられるカーボンブラック等の顔料は、可視領域の光だけでなく近赤外領域の光も遮断してしまうため、上記近赤外線アライメントによる位置合わせができないという問題があった。
本発明の感光性樹脂組成物は、500〜700nmの光透過率が1%以下であり、900〜1100nmの光透過率が10%以上であることが好ましい。上記500〜700nmの光透過率が1%以下であることにより、ブラックマトリックスとしてのより好適な遮光性を付与できる。また、上記900〜1100nmの光透過率が10%以上であることにより、近赤外線透過性に優れるものとなる。上記500〜700nmの光透過率は、より好ましくは0.5%以下、更に好ましくは0.1%以下である。また、900〜1100nmの光透過率は、より好ましくは20%以上、更に好ましくは40%以上である。
なお、上記光透過率は、厚さ5μmの乾燥後硬化膜について、分光光度計によって測定することができる。
なお、上記光透過率は、厚さ5μmの乾燥後硬化膜について、分光光度計によって測定することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、平坦化膜として好適に用いられる。本発明の感光性樹脂組成物からなる平坦化膜もまた、本発明の1つである。
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルターに形成されるブラックマトリックス材料としても好適に用いられる。本発明の感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックスもまた、本発明の1つである。また、本発明のブラックマトリックスを有するカラーフィルターもまた、本発明の1つである。
本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルターに形成されるブラックマトリックス材料としても好適に用いられる。本発明の感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックスもまた、本発明の1つである。また、本発明のブラックマトリックスを有するカラーフィルターもまた、本発明の1つである。
本発明の感光性樹脂組成物を用いて本発明のブラックマトリックスを形成する方法の一例を以下に説明する。
まず、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等からなる基板上に、本発明の感光性樹脂組成物を、ロールコータ、リバースコーター、グラビアコーター、コンマコーター、バーコーター等の接触型塗布装置や、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
次いで、塗布された感光性樹脂組成物を、例えば、真空乾燥装置を用いて室温にて減圧乾燥し、その後、ホットプレートやオーブンにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒間以上180秒間以下乾燥する方法等により乾燥させて塗膜を形成する。
得られた塗膜に、ネガ型のマスクを介して紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。なお、活性エネルギー線を照射する前に、得られた塗膜とネガ型のマスクに近赤外線を照射して、近赤外線アライメントによる両者の位置合わせを行うことが好ましい。
照射するエネルギー線量は、用いる本発明の感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、100〜2000mJ/cm2であることが好ましい。
露光後の塗膜を、アルカリ水溶液により現像することによって所望の形状にパターニングする。上記アルカリ水溶液による現像方法としては、例えば、浸漬法、スプレー法、パドル法等を用いることができる。現像液として用いるアルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、水酸化テトラメチルアンモニウム、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
一般に、このようなアルカリ水溶液からなる現像液を使用した場合、現像後に純水で洗浄(リンス)して余剰の現像液を除去する。
現像後のパターンに対して、必要に応じて、220℃〜250℃程度、好ましくは230℃〜240℃程度でポストベークを行う。この際、ポストベークに先立って、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
以上により、所定のパターン形状を有するブラックマトリックスを形成することができる。
まず、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等からなる基板上に、本発明の感光性樹脂組成物を、ロールコータ、リバースコーター、グラビアコーター、コンマコーター、バーコーター等の接触型塗布装置や、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
次いで、塗布された感光性樹脂組成物を、例えば、真空乾燥装置を用いて室温にて減圧乾燥し、その後、ホットプレートやオーブンにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒間以上180秒間以下乾燥する方法等により乾燥させて塗膜を形成する。
得られた塗膜に、ネガ型のマスクを介して紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。なお、活性エネルギー線を照射する前に、得られた塗膜とネガ型のマスクに近赤外線を照射して、近赤外線アライメントによる両者の位置合わせを行うことが好ましい。
照射するエネルギー線量は、用いる本発明の感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、100〜2000mJ/cm2であることが好ましい。
露光後の塗膜を、アルカリ水溶液により現像することによって所望の形状にパターニングする。上記アルカリ水溶液による現像方法としては、例えば、浸漬法、スプレー法、パドル法等を用いることができる。現像液として用いるアルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、水酸化テトラメチルアンモニウム、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
一般に、このようなアルカリ水溶液からなる現像液を使用した場合、現像後に純水で洗浄(リンス)して余剰の現像液を除去する。
現像後のパターンに対して、必要に応じて、220℃〜250℃程度、好ましくは230℃〜240℃程度でポストベークを行う。この際、ポストベークに先立って、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
以上により、所定のパターン形状を有するブラックマトリックスを形成することができる。
また、上述した本発明のブラックマトリックスを形成する方法の操作を、赤色顔料が分散された感光性樹脂組成物、緑色顔料が分散された感光性樹脂組成物、及び、青色顔料が分散された感光性樹脂組成物についても行い、各色の画素パターンを形成することで、本発明のカラーフィルターを形成することができる。
上記赤色顔料が分散された感光性樹脂組成物、上記緑色顔料が分散された感光性樹脂組成物、及び、上記青色顔料が分散された感光性樹脂組成物は、従来公知のものを使用することができる。
なお、本発明のカラーフィルターは、本発明のブラックマトリックスによって区画された各領域に赤色、緑色、及び、青色の各色のインクをインクジェットノズルから吐出し、溜められたインクを熱又は光で硬化させる方法によっても製造することもできる。
上記赤色顔料が分散された感光性樹脂組成物、上記緑色顔料が分散された感光性樹脂組成物、及び、上記青色顔料が分散された感光性樹脂組成物は、従来公知のものを使用することができる。
なお、本発明のカラーフィルターは、本発明のブラックマトリックスによって区画された各領域に赤色、緑色、及び、青色の各色のインクをインクジェットノズルから吐出し、溜められたインクを熱又は光で硬化させる方法によっても製造することもできる。
本発明の平坦化膜又は本発明のカラーフィルターを有する表示素子もまた、本発明の1つである。
本発明の表示素子としては、液晶表示素子等が挙げられる。
上記液晶表示素子は、基板上に本発明の平坦化膜又は本発明のカラーフィルターを形成した後、電極、スペーサー等を順次形成し、これと電極等を形成した別の基板とを貼り合わせ、得られた空セルに所定量の液晶を注入、封止する方法等、従来公知の方法により製造することができる。
本発明の表示素子としては、液晶表示素子等が挙げられる。
上記液晶表示素子は、基板上に本発明の平坦化膜又は本発明のカラーフィルターを形成した後、電極、スペーサー等を順次形成し、これと電極等を形成した別の基板とを貼り合わせ、得られた空セルに所定量の液晶を注入、封止する方法等、従来公知の方法により製造することができる。
本発明によれば、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該感光性樹脂組成物を用いてなる平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することができる。
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
(実施例1)
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル60重量部、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル30重量部、t−ブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20重量部に対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解し、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液(固形分率20.6重量%)を得た。
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル60重量部、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル30重量部、t−ブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20重量部に対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解し、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液(固形分率20.6重量%)を得た。
(2)感光性樹脂組成物の調製
上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート10重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)0.2重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)0.6重量部、及び、水100重量部を加え、撹拌機で30分間混合した。得られた混合物のpHを10重量%酢酸水溶液0.3重量部を用いて調整した後、孔径2μmのメンブレンフィルターで濾過し、感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製した。
上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート10重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)0.2重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)0.6重量部、及び、水100重量部を加え、撹拌機で30分間混合した。得られた混合物のpHを10重量%酢酸水溶液0.3重量部を用いて調整した後、孔径2μmのメンブレンフィルターで濾過し、感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製した。
(3)塗膜の形成
得られた感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、ホットプレート上で80℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
なお、塗膜は、後述する評価に応じたものをそれぞれ作製した。
得られた感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、ホットプレート上で80℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
なお、塗膜は、後述する評価に応じたものをそれぞれ作製した。
(実施例2)
10重量%酢酸水溶液の使用量を0.9重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
10重量%酢酸水溶液の使用量を0.9重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(実施例3)
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部を、水95重量部とエタノール5重量部との混合溶媒に変更し、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.9重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部を、水95重量部とエタノール5重量部との混合溶媒に変更し、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.9重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(実施例4)
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
なお、「アクリット3SQ−424B」は、メチルメタクリレート、n−ブチルアクリレートと、メタクリル酸(15モル%)の共重合ポリマーのアンモニア中和物である水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の水溶液である。
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
なお、「アクリット3SQ−424B」は、メチルメタクリレート、n−ブチルアクリレートと、メタクリル酸(15モル%)の共重合ポリマーのアンモニア中和物である水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物の水溶液である。
(実施例5)
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、アクリット3SQ−424Bの配合量を82重量部に変更し、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート10重量部に代えてエチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート8重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、アクリット3SQ−424Bの配合量を82重量部に変更し、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート10重量部に代えてエチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート8重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
(実施例6)
(1)着色感光性樹脂組成物の調製
実施例1の「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」と同様にして得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)3重量部、着色剤としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M−C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua−Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)1重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)10重量部、及び、水100重量部を加え、撹拌機で2時間混合した。得られた混合物のpHを10重量%酢酸水溶液0.9重量部を用いて調整した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製した。
(1)着色感光性樹脂組成物の調製
実施例1の「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」と同様にして得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)3重量部、着色剤としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M−C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua−Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)1重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)10重量部、及び、水100重量部を加え、撹拌機で2時間混合した。得られた混合物のpHを10重量%酢酸水溶液0.9重量部を用いて調整した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製した。
(2)塗膜の形成
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
なお、塗膜は、後述する評価に応じたものをそれぞれ作製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
なお、塗膜は、後述する評価に応じたものをそれぞれ作製した。
(実施例7)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.5重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.6)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.5重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.6)を調製し、塗膜を得た。
(実施例8)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.3重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.3重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製し、塗膜を得た。
(実施例9)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(実施例10)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム(BASF社製、「IRGACURE OXE02」)3重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム(BASF社製、「IRGACURE OXE02」)3重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(実施例11)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(実施例12)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.3重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.8)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.3重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.8)を調製し、塗膜を得た。
(実施例13)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部に代えて、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部を用い、10重量%酢酸水溶液の使用量を0.6重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.2)を調製し、塗膜を得た。
(実施例14)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部に代えて、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート20重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部に代えて、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート20重量部を用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(比較例1)
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部をメチルエチルケトン100重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製し、塗膜を得た。
「(2)感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部をメチルエチルケトン100重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、感光性樹脂組成物(pH7.4)を調製し、塗膜を得た。
(比較例2)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部をメチルエチルケトン100重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、水100重量部をメチルエチルケトン100重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
(参考例1)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.7重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.4)を調製したが、ゲル化が生じたため塗膜は得なかった。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液の使用量を1.7重量部に変更したこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH6.4)を調製したが、ゲル化が生じたため塗膜は得なかった。
(参考例2)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
(参考例3)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部を用い、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部を用い、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
(参考例4)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム(BASF社製、「IRGACURE OXE02」)3重量部を用い、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、O−アセチル−1−(6−(2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エタノンオキシム(BASF社製、「IRGACURE OXE02」)3重量部を用い、10重量%酢酸水溶液を使用せず、着色感光性樹脂組成物のpHを調整しなかったこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.6)を調製し、塗膜を得た。
(参考例5)
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(BASF社製、「IRGACURE907」)2重量部と1−(4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(BASF社製、「IRGACURE2959」)5重量部とを用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
「(1)着色感光性樹脂組成物の調製」において、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物3重量部に代えて、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(BASF社製、「IRGACURE907」)2重量部と1−(4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(BASF社製、「IRGACURE2959」)5重量部とを用いたこと以外は実施例6と同様にして、着色感光性樹脂組成物(pH7.0)を調製し、塗膜を得た。
<評価>
実施例1〜14、比較例1、2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜について、以下の評価を行った。結果を表1〜3に示した。
なお、実施例1〜5及び比較例1で得られた塗膜は透明であるため、遮光性の評価は行っておらず、参考例1で得られた着色感光性樹脂組成物は、ゲル化が生じたため以下の評価は行わなかった。
実施例1〜14、比較例1、2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜について、以下の評価を行った。結果を表1〜3に示した。
なお、実施例1〜5及び比較例1で得られた塗膜は透明であるため、遮光性の評価は行っておらず、参考例1で得られた着色感光性樹脂組成物は、ゲル化が生じたため以下の評価は行わなかった。
(遮光性)
実施例6〜14、比較例2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
実施例6〜14、比較例2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
(現像性)
実施例1〜14、比較例1、2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスして現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
実施例1〜14、比較例1、2、及び、参考例2〜5で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスして現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
(感度)
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
感度の評価は、製造直後の感光性樹脂組成物を用いて作製した塗膜と、製造後、密封して23℃の環境下に3日間静置した後の感光性樹脂組成物を用いて作製した塗膜とにおいて行った。
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
感度の評価は、製造直後の感光性樹脂組成物を用いて作製した塗膜と、製造後、密封して23℃の環境下に3日間静置した後の感光性樹脂組成物を用いて作製した塗膜とにおいて行った。
(実施例15)
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
実施例1と同様にして、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液を得た。
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
実施例1と同様にして、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液を得た。
(2)着色剤分散液Aの調製
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、黒色着色剤としてクロモファインブラック A1103(大日精化工業社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:40〜65%)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−191(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液A(固形分率40.0重量%)を得た。
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、黒色着色剤としてクロモファインブラック A1103(大日精化工業社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:40〜65%)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−191(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液A(固形分率40.0重量%)を得た。
(3)着色感光性樹脂組成物の調製
上記「(2)着色剤分散液Aの調製」で得られた着色剤分散液A100重量部に、水60重量部、上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液80重量部、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
上記「(2)着色剤分散液Aの調製」で得られた着色剤分散液A100重量部に、水60重量部、上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液80重量部、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
(4)塗膜の形成
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
(実施例16)
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。その後、110℃に昇温し、メタクリル酸30重量部、メタクリル酸メチル60重量部、メタクリル酸n−ブチル10重量部、及び、t−ブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート3.5重量部の混合液を、上記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの入ったフラスコ内を撹拌しながら1時間かけて滴下し、その後3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。
次に、室温に冷却した樹脂溶液に1mol/Lのアンモニア水350重量部を添加し、中和しつつ撹拌し、次いで減圧によって溶剤と水の一部を留去し、固形分率30.0重量%の水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの水溶液(固形分率30.0重量%)を得た。
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。その後、110℃に昇温し、メタクリル酸30重量部、メタクリル酸メチル60重量部、メタクリル酸n−ブチル10重量部、及び、t−ブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート3.5重量部の混合液を、上記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの入ったフラスコ内を撹拌しながら1時間かけて滴下し、その後3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。
次に、室温に冷却した樹脂溶液に1mol/Lのアンモニア水350重量部を添加し、中和しつつ撹拌し、次いで減圧によって溶剤と水の一部を留去し、固形分率30.0重量%の水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの水溶液(固形分率30.0重量%)を得た。
(2)着色剤分散液Bの調製
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、黒色着色剤としてLUMOGEN BLACK FK4280(BASF社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:50〜70%)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−191(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液B(固形分率40.0重量%)を得た。
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、黒色着色剤としてLUMOGEN BLACK FK4280(BASF社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:50〜70%)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−191(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液B(固形分率40.0重量%)を得た。
(3)着色感光性樹脂組成物の調製
上記「(2)着色剤分散液Bの調製」で得られた着色剤分散液B100重量部に、純水100重量部、上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの水溶液100重量部(固形分率30.0重量%)、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート30重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)4重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1.5重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
上記「(2)着色剤分散液Bの調製」で得られた着色剤分散液B100重量部に、純水100重量部、上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Bの水溶液100重量部(固形分率30.0重量%)、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート30重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)4重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1.5重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
(4)塗膜の形成
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約3.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
(実施例17〜26)
表4に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
表4に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
(参考例6〜8)
表5に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
表5に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
(参考例9)
(1)着色剤分散液Cの調製
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、カーボンブラック黒色着色剤としてトーカブラック#7350F(東海カーボン社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:1%以下)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液C(固形分率40.0重量%)を得た。
(1)着色剤分散液Cの調製
容量500mLのポリエチレン製広口瓶に、カーボンブラック黒色着色剤としてトーカブラック#7350F(東海カーボン社製、900〜1100nmの範囲における光透過率:1%以下)60重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)20重量部、及び、分散媒として水120重量部を入れ、ディスパーにて30分間撹拌した。
得られた混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用してビーズミル(ウィリー・エ・バッコーフェン社製、「DYNO−MILLリサーチラボ」)で分散処理を行い、着色剤分散液C(固形分率40.0重量%)を得た。
(2)着色感光性樹脂組成物の調製及び塗膜の形成
表5に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
表5に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例15と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
(参考例10)
実施例16の「(2)着色剤分散液Bの調製」と同様にして得られた着色剤分散液B100重量部に、水60重量部、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部、ラジカル重合性化合物としてトリメチロールプロパントリアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例15と同様にして塗膜を得た。
実施例16の「(2)着色剤分散液Bの調製」と同様にして得られた着色剤分散液B100重量部に、水60重量部、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部、ラジカル重合性化合物としてトリメチロールプロパントリアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例15と同様にして塗膜を得た。
(参考例11)
実施例16の「(2)着色剤分散液Bの調製」と同様にして得られた着色剤分散液B100重量部に、水60重量部、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部、ラジカル重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例15と同様にして塗膜を得た。
実施例16の「(2)着色剤分散液Bの調製」と同様にして得られた着色剤分散液B100重量部に、水60重量部、アクリット3SQ−424B(大成ファインケミカル社製、水溶液、固形分率25.0重量%)80重量部、ラジカル重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート20重量部、光重合開始剤として1−(4−(フェニルチオ)フェニル)−1,2−オクタンジオン−2−(O−ベンゾイルオキシム)(BASF社製、「IRGACURE OXE01」)3重量部、及び、シランカップリング剤として3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−503」)1重量部を加え、撹拌機で2時間撹拌を行った。その後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例15と同様にして塗膜を得た。
<評価>
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各着色感光性樹脂組成物及び塗膜について、以下の評価を行った。結果を表4、5に示した。
なお、参考例10、11で得られた塗膜は不均一であったため、以下の評価を行うことができなかった。
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各着色感光性樹脂組成物及び塗膜について、以下の評価を行った。結果を表4、5に示した。
なお、参考例10、11で得られた塗膜は不均一であったため、以下の評価を行うことができなかった。
(500〜700nm及び900〜1100nmの光透過率)
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、分光光度計(日立ハイテクサイエンス社製、「U−2900」)を用いて透過スペクトルを測定し、500nm〜700nm及び900nm〜1100nmの波長の光透過率をそれぞれ確認した。表4、5に示した結果から、実施例15〜26及び参考例6〜8で得られた各着色感光性樹脂組成物は、900nm〜1100nmにおける透過性が高いため、フォトリソグラフィ工程の際に近赤外線アライメントによる位置合わせが可能であることが分かった。しかしながら、参考例9で得られた着色感光性樹脂組成物は、近赤外透過性が低いため近赤外線アライメントによる位置合わせが行えないことが分かった。
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、分光光度計(日立ハイテクサイエンス社製、「U−2900」)を用いて透過スペクトルを測定し、500nm〜700nm及び900nm〜1100nmの波長の光透過率をそれぞれ確認した。表4、5に示した結果から、実施例15〜26及び参考例6〜8で得られた各着色感光性樹脂組成物は、900nm〜1100nmにおける透過性が高いため、フォトリソグラフィ工程の際に近赤外線アライメントによる位置合わせが可能であることが分かった。しかしながら、参考例9で得られた着色感光性樹脂組成物は、近赤外透過性が低いため近赤外線アライメントによる位置合わせが行えないことが分かった。
(塗工性)
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、目視にて確認し、塗膜が均一であった場合を「○」、塗膜に析出物等が見られた場合を「△」、均一な塗膜が得られなかった場合を「×」として塗工性を評価した。
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、目視にて確認し、塗膜が均一であった場合を「○」、塗膜に析出物等が見られた場合を「△」、均一な塗膜が得られなかった場合を「×」として塗工性を評価した。
(遮光性)
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が3.0以上であった場合を「○」、OD値が2.0以上3.0未満であった場合を「△」、OD値が2.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が3.0以上であった場合を「○」、OD値が2.0以上3.0未満であった場合を「△」、OD値が2.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
(現像性)
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を2000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(滝沢産業社製、「AD−1200」)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより20秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスして現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
実施例15〜26及び参考例6〜9で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を2000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(滝沢産業社製、「AD−1200」)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより20秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスして現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
(感度)
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
(実施例27)
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
実施例1と同様にして、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液を得た。
(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製
実施例1と同様にして、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液を得た。
(2)着色感光性樹脂組成物の調製
上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部(固形分率20.6重量%)に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)5重量部、着色剤としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M−C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua−Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)1重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)10重量部、及び、水120重量部を加え、撹拌機で2時間混合した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
上記「(1)水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの調製」で得られた水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物Aの水溶液100重量部(固形分率20.6重量%)に、ラジカル重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、光重合開始剤として上記式(3)におけるRがエチレン基であり、Xが硫黄原子である化合物(ADEKA社製、「NCI−930」)5重量部、着色剤としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M−C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua−Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、シランカップリング剤として3−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM−5103」)1重量部、分散剤としてDISPER BYK−2013(ビックケミー社製)10重量部、及び、水120重量部を加え、撹拌機で2時間混合した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
(3)塗膜の形成
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
(実施例28〜31、参考例12、13)
表6に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例27と同様にして、実施例28〜31及び参考例12、13の着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
表6に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例27と同様にして、実施例28〜31及び参考例12、13の着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
<評価>
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜について、以下の評価を行った。結果を表6に示した。
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜について、以下の評価を行った。結果を表6に示した。
(遮光性)
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
(現像性)
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスしてブラックマトリックスの現像パターンを得た。
4μmから20μmまで2μm刻みの線幅における現像パターンを確認し、10μm以下の線幅でパターンが得られた場合を「◎」、10μm以下の線幅ではパターンが得られなかったものの、14μmの線幅ではパターンが得られた場合を「○」、14μm以下の線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
実施例28〜31及び参考例12、13で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA−10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスしてブラックマトリックスの現像パターンを得た。
4μmから20μmまで2μm刻みの線幅における現像パターンを確認し、10μm以下の線幅でパターンが得られた場合を「◎」、10μm以下の線幅ではパターンが得られなかったものの、14μmの線幅ではパターンが得られた場合を「○」、14μm以下の線幅ではパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
(感度)
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
10μm、20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で10μmの線幅のパターンが得られた場合を「◎」、500mJ/cm2の露光量で10μmの線幅のパターンが得られなかったものの、20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られなかったものの、1000mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
10μm、20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で10μmの線幅のパターンが得られた場合を「◎」、500mJ/cm2の露光量で10μmの線幅のパターンが得られなかったものの、20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られなかったものの、1000mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
本発明によれば、環境への負荷を低減することができる感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該感光性樹脂組成物を用いてなる平坦化膜、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することができる。
Claims (21)
- 水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、ラジカル重合性化合物と、光重合開始剤と、水系溶媒とを含有する
ことを特徴とする感光性樹脂組成物。 - 水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物は、カルボン酸アンモニウム塩であることを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。
- ラジカル重合性化合物は、分子量が1000以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
- ラジカル重合性化合物は、1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物を含有することを特徴とする請求項1、2又は3記載の感光性樹脂組成物。
- ラジカル重合性化合物は、1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基とを有する化合物を含有することを特徴とする請求項4記載の感光性樹脂組成物。
- 1分子中に2つ以上の重合性不飽和二重結合と1つ以上の水酸基又はカルボキシル基とを有する化合物は、下記式(1)で表される化合物及び/又は下記式(2)で表される化合物であることを特徴とする請求項4記載の感光性樹脂組成物。
- 光重合開始剤は、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の感光性樹脂組成物。
- 光重合開始剤は、オキシムエステル系光重合開始剤であることを特徴とする請求項7記載の感光性樹脂組成物。
- オキシムエステル系光重合開始剤は、極性基を有することを特徴とする請求項8記載の感光性樹脂組成物。
- 極性基は、−OH基、−COOH基、−SH基、−CONH2基、及び、−NH2基からなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項9記載の感光性樹脂組成物。
- 極性基は、−OH基及び/又は−COOH基であることを特徴とする請求項10記載の感光性樹脂組成物。
- 着色剤を含有することを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11又は12記載の感光性樹脂組成物。
- 着色剤の含有量が、固形分中において、30重量%を超え80重量%以下であることを特徴とする請求項13記載の感光性樹脂組成物。
- 分散剤を含有することを特徴とする請求項13又は14記載の感光性樹脂組成物。
- pHが6.5〜7.5であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14又は15記載の感光性樹脂組成物。
- 500〜700nmの範囲における光透過率が1%以下であり、900〜1100nmの範囲における光透過率が10%以上であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15又は16記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16又は17記載の感光性樹脂組成物からなることを特徴とする平坦化膜。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16又は17記載の感光性樹脂組成物からなることを特徴とするブラックマトリックス。
- 請求項19記載のブラックマトリックスを有することを特徴とするカラーフィルター。
- 請求項18記載の平坦化膜又は請求項20記載のカラーフィルターを有することを特徴とする表示素子。
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