WO2016117488A1 - 着色感光性樹脂組成物、ブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子 - Google Patents
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- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
Definitions
- the present invention relates to a colored photosensitive resin composition that is excellent in coatability and can reduce the burden on the environment.
- the present invention also relates to a black matrix, a color filter, and a display element using the colored photosensitive resin composition.
- a black matrix is provided at a boundary portion between the R, G, and B colored layers of the color filter in order to enhance display contrast and color development effect.
- colored photosensitive resin compositions containing black pigments and dyes have been used.
- those containing a photocurable resin that is cured by light irradiation to form a film are usually used. That is, a mask provided with a portion that transmits light and a portion that does not transmit light is placed on a colored photosensitive resin composition applied to the surface of a transparent substrate such as a glass substrate, and light is irradiated from above the mask. Then, the colored photosensitive resin composition in the portion irradiated with light is cured, and the uncured colored photosensitive resin composition remaining in the portion that does not transmit light is removed to form a film having a desired shape. .
- Patent Documents 1 and 2 As the colored photosensitive resin composition, for example, in Patent Documents 1 and 2, a binder resin, a compound having at least one polymerizable unsaturated double bond in the molecule, a photopolymerization initiator, a black pigment, a solvent, and A light-shielding black resist composition containing a thiol compound having a specific structure is disclosed, and Patent Document 3 discloses a photopolymerizable unsaturated compound having a specific structure, a photopolymerization initiator, a coloring material, and A colored alkali-developable photosensitive resin composition containing a solvent is disclosed.
- Patent Document 4 discloses a thermoplastic or uncrosslinked polymer and / or a compound having an ethylenically unsaturated bond, a specific light.
- a photosensitive composition containing a polymerization initiator, a pigment, and a solvent is disclosed.
- An object of this invention is to provide the coloring photosensitive resin composition which is excellent in coating property and can reduce the load to an environment.
- Another object of the present invention is to provide a black matrix, a color filter, and a display element using the colored photosensitive resin composition.
- the present invention includes a water-soluble and alkali-soluble polymer compound having a segment derived from at least one selected from the group consisting of carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate, and a molecular weight of 1000 or less.
- a colored photosensitive resin composition containing a compound having a polymerizable unsaturated double bond and a hydroxyl group, a photopolymerization initiator, a black pigment, and water. The present invention is described in detail below.
- the conventional colored photosensitive resin compositions disclosed in Patent Documents 1 to 4 contain an organic solvent, the organic solvent volatilized by drying may be released into the environment. There was a problem that it could harm the health of the elderly or cause environmental pollution. Therefore, the present inventor considered reducing the environmental load by using water as a solvent instead of such an organic solvent.
- alkali-soluble components and photocurable components used in conventional colored photosensitive resin compositions are insoluble or very insoluble in water, a uniform coating solution can be obtained. could not. Therefore, as a result of further intensive studies, the present inventor has used a specific alkali-soluble polymer compound and a specific photocurable compound in combination, so that a colored photosensitive resin excellent in coatability even when water is used as a solvent. The inventors have found that the composition can be obtained, and have completed the present invention.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention comprises a water-soluble and alkali-soluble polymer compound having a segment derived from at least one selected from the group consisting of carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate ( Hereinafter, it is also referred to as “an alkali-soluble polymer compound according to the present invention”).
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention has a segment derived from at least one selected from the group consisting of carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate in the molecular chain, It can exhibit alkali solubility.
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is water-soluble, it not only dissolves in water as a solvent, but also has a molecular weight of 1000 or less, a compound having a polymerizable unsaturated double bond and a hydroxyl group, and water. It also has a role to increase the affinity of. Further, since it is alkali-soluble, it has solubility in an alkali developer used for general alkali development as resist development.
- water-soluble means that an aqueous solution can be obtained in a neutral range of pH 6 to pH 9
- the term “alkali-soluble” means an alkaline range of pH 10 to pH 12. Means that an aqueous solution can be obtained.
- Examples of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention include a copolymer obtained by copolymerizing a carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and a monofunctional compound having an unsaturated double bond, and a dicarboxylic acid having an unsaturated double bond.
- a copolymer obtained by copolymerizing an acid compound and a monofunctional compound having an unsaturated double bond, a copolymer obtained by copolymerizing a carboxylate having an unsaturated double bond and a monofunctional compound having an unsaturated double bond Examples include coalescence. These copolymers may be any of random copolymers, block copolymers, and graft copolymers.
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention has a copolymer obtained by copolymerizing the carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and a monofunctional compound having an unsaturated double bond, or an unsaturated double bond.
- a copolymer obtained by copolymerizing a dicarboxylic acid compound and a monofunctional compound having an unsaturated double bond may be neutralized with a base to form a carboxylate.
- carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound examples include acrylic acid, methacrylic acid, ⁇ -carboxyethyl acrylate, fumaric acid, itaconic acid, maleic acid, and crotonic acid. Of these, methacrylic acid and ⁇ -carboxyethyl acrylate are preferred from the viewpoints of crosslinkability and dispersion stability.
- Examples of the dicarboxylic acid compound having an unsaturated double bond include maleic anhydride.
- Examples of the carboxylate having an unsaturated double bond include neutralization treatment of acrylic acid, methacrylic acid, ⁇ -carboxyethyl acrylate, fumaric acid, itaconic acid, maleic acid, crotonic acid and the like with a weak base such as ammonia. And carboxylate compounds obtained in this manner.
- Examples of the monofunctional compound having an unsaturated double bond include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 2 -Ethylhexyl, hydroxyethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, (meth) And (meth) acrylic acid ester monomers such as dicyclopentanyl acrylate and benzyl (meth) acrylate.
- the “(meth) acryl” means acryl or methacryl.
- amines are preferable.
- examples of the amines include triethylamine, ethanolamine, dimethylethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, and ammonia.
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention includes aromatic vinyl monomers such as styrene, ⁇ -methylstyrene, p-methylstyrene, and p-chlorostyrene, and vinyl cyanide such as acrylonitrile and methacrylonitrile. It may have segments derived from compounds, aromatic-substituted maleimides such as phenylmaleimide, benzylmaleimide, naphthylmaleimide, o-chlorophenylmaleimide, and alkyl-substituted maleimides such as methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide, isopropylmaleimide, etc. Good.
- aromatic vinyl monomers such as styrene, ⁇ -methylstyrene, p-methylstyrene, and p-chlorostyrene
- vinyl cyanide such as acrylonitrile and methacrylonitrile.
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention may have a segment derived from a monofunctional unsaturated compound having a hydroxyl group for the purpose of controlling solubility during development.
- the monofunctional unsaturated compound having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, and the like. Is mentioned.
- a (meth) acrylic copolymer having a (meth) acryloyl group and a carboxyl group in the side chain is particularly preferable.
- the “(meth) acryloyl” means acryloyl or methacryloyl.
- the (meth) acrylic copolymer having a (meth) acryloyl group and a carboxyl group in the side chain has a main chain composed of at least a structural unit having an acidic functional group and a structural unit having a hydroxyl group.
- a polymer in which the acryloyl group-containing isocyanate compound has an amide bond formed on at least a part of the acidic functional group and / or a urethane bond formed on at least a part of the hydroxyl group via the isocyanate group is suitable. .
- the (meth) acrylic copolymer having a (meth) acryloyl group and a carboxyl group in the side chain has the above (meth) so that the equivalent ratio (NCO / OH) of isocyanate groups is 1.0 to 2.0. It is preferably obtained by adjusting the charged amount of the acryloyl group-containing isocyanate compound. Introducing (meth) acryloyl groups at a high ratio into the side chain of the resulting (meth) acrylic copolymer by adjusting the equivalent ratio of the isocyanate groups (NCO / OH) to be 1.0 or more. Can be achieved and the sensitivity can be increased.
- the content rate of the structural unit which has an acidic functional group can be adjusted suitably, the water solubility and alkali solubility (developability) of the (meth) acrylic copolymer obtained can be adjusted freely.
- the (meth) acrylic copolymer having a (meth) acryloyl group and a carboxyl group in the side chain has a hydroxyl group in addition to adjusting the equivalent ratio (NCO / OH) of the isocyanate group to 1.0 or more. It is more preferable that the content ratio of the structural unit having a content of 14% by mole or more is obtained.
- the introduction ratio of the isocyanate group can be increased, and the content of the structural unit having a hydroxyl group is set to 14 mol% or more in the charged amount.
- the portion where the isocyanate group reacts increases, so that a large amount of (meth) acryloyl group can be introduced into the side chain of the resulting (meth) acrylic copolymer, and the sensitivity can be particularly high. .
- the preferred lower limit of the content ratio of the segment derived from at least one selected from the group consisting of carboxylic acid, dicarboxylic anhydride, and carboxylate is 10% by weight, preferably The upper limit is 40% by weight.
- the content ratio of the segment derived from at least one selected from the group consisting of the carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate is 10% by weight or more, sufficient water solubility and alkali solubility are imparted. it can.
- the content ratio of the segment derived from at least one selected from the group consisting of the carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate is 40% by weight or less, swelling and dissolution during development become remarkable. This can be suppressed and a finer pattern can be formed.
- a more preferable lower limit of the content ratio of the segment derived from at least one selected from the group consisting of the carboxylic acid, dicarboxylic acid anhydride, and carboxylate is 15% by weight, and a more preferable upper limit is 30% by weight.
- Examples of the method for producing the alkali-soluble polymer compound according to the present invention include the use of a radical polymerization initiator and, if necessary, a molecular weight regulator, the carboxyl group-containing monofunctional unsaturated compound and the unsaturated double bond.
- the monomer component which comprises copolymers, such as a monofunctional compound which has this The method of superposing
- Examples of the solvent used when producing the alkali-soluble polymer compound according to the present invention by the above solution polymerization include aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol and glycol, cellosolves such as cellosolve and butyl cellosolve, Carbitols such as carbitol and butyl carbitol, esters such as cellosolve acetate, carbitol acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate, ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, cyclic ethers such as tetrahydrofuran, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, methyl Examples include ketones such as isobutyl ketone, and polar organic solvents such as dimethyl sulfoxide and dimethylformamide.
- aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol and glycol
- cellosolves such as cellosolve
- Examples of the medium for producing the alkali-soluble polymer compound according to the present invention by the suspension polymerization, the dispersion polymerization, the emulsion polymerization, and the like include liquid hydrocarbons such as benzene, toluene, hexane, and cyclohexane, And other non-polar organic solvents.
- radical polymerization initiator used when manufacturing the alkali-soluble high molecular compound which concerns on this invention, a peroxide, an azo initiator, etc. are mentioned, for example.
- the molecular weight modifier include ⁇ -methylstyrene dimer, mercaptan chain transfer agent, and the like.
- the preferable lower limit of the weight average molecular weight of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 3000, and the preferable upper limit is 100,000.
- the weight average molecular weight of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 3000 or more, the developability when producing the black matrix pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention is improved.
- the weight average molecular weight of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 100,000 or less, the resolution at the time of producing a black matrix pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention becomes superior.
- the minimum with a more preferable weight average molecular weight of the alkali-soluble high molecular compound which concerns on this invention is 5000, and a more preferable upper limit is 50,000.
- the said weight average molecular weight is a value calculated
- GPC gel permeation chromatography
- Examples of the column for measuring the weight average molecular weight in terms of polystyrene by GPC include Shodex LF-804 (manufactured by Showa Denko KK).
- tetrahydrofuran etc. are mentioned as a solvent used by GPC.
- the minimum with preferable content of the alkali-soluble high molecular compound which concerns on this invention in solid content of the coloring photosensitive resin composition of this invention is 10 weight%, and a preferable upper limit is 90 weight%.
- the content of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 10% by weight or more, sufficient alkali solubility can be imparted to the resulting colored photosensitive resin composition.
- the content of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 90% by weight or less, swelling due to a developing solution during alkali development can be suppressed, and the shape of the black matrix pattern can be made more uniform.
- the more preferable lower limit of the content of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention is 20% by weight, and the more preferable upper limit is 60% by weight.
- the “solid content” means the sum of components other than the solvent.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention has a molecular weight of 1000 or less and contains a compound having a polymerizable unsaturated double bond and a hydroxyl group (hereinafter also referred to as “polymerizable compound according to the present invention”).
- polymerizable compound according to the present invention a compound having a polymerizable unsaturated double bond and a hydroxyl group
- the colored photosensitive resin composition of the present invention uses water as a solvent while being uniformly coated. It can be a working liquid.
- the polymerizable compound according to the present invention has a molecular weight of 1000 or less, a solution that is stable with respect to water as a solvent can be obtained, and undissolved substances are hardly generated during alkali development.
- the polymerizable compound according to the present invention preferably has a molecular weight of 800 or less, and more preferably 600 or less.
- the molecular weight of the polymerizable compound according to the present invention is expressed using a weight average molecular weight for a compound or the like whose modification site or modification degree is unspecified.
- a compound represented by the following formula (1) and / or a compound represented by the following formula (2) is preferably used.
- R represents a hydrogen atom or a methyl group
- X represents an oxygen atom, —OC 2 H 4 O—, or —OC 3 H 6 O—.
- l is 1 or 2.
- R represents a hydrogen atom or a methyl group
- X represents an oxygen atom, —OC 2 H 4 O—, or —OC 3 H 6 O—.
- m is an integer of 1 to 3
- n is an integer of 0 to 3
- m + n is an integer of 1 to 4.
- polymerizable compound according to the present invention examples include pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, and ditrimethylolpropane di (meth) acrylate.
- Difunctional (meth) acrylates such as glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) Trifunctional or higher functional (meth) acrylates such as acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are exemplified. Of these, trifunctional or higher functional (meth) acrylates are preferred because the polymerization reaction proceeds rapidly and the exposure sensitivity is easily improved. These polymerizable compounds according to the present invention may be used alone or in combination of two or more. In the present specification, the “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate.
- a polyfunctional (meth) acrylate modified with ethylene oxide and / or propylene oxide is also preferably used.
- said polyfunctional (meth) acrylate the compound etc. which modified
- pentaerythritol tri (meth) acrylate ditrimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, or dipentaerythritol penta (meth) acrylate
- the polyfunctional (meth) acrylate is 1 when the number of functional groups of the base polyfunctional (meth) acrylate is n. It is preferable that it is 15 nmol or less with respect to mol. When the degree of modification is 15 nmol or less, swelling due to the alkali developer can be suppressed, and the shape of the black matrix pattern can be made more uniform. The degree of modification is more preferably 10 nmol or less.
- Examples of the method for modifying the polyfunctional (meth) acrylate with ethylene oxide and / or propylene oxide include, for example, reacting a polyhydric alcohol with ethylene oxide and / or propylene oxide to modify ethylene oxide and / or propylene oxide modified alcohol. After synthesizing the ethylene oxide-modified and / or propylene oxide-modified alcohol with (meth) acrylic acid, or by reacting (meth) acrylic acid with ethylene oxide and / or propylene oxide, After synthesizing oxide-modified and / or propylene oxide-modified (meth) acrylic acid, the ethylene oxide-modified and / or propylene oxide-modified (meth) acrylic acid is esterified with alcohol. Methods and, (meth) acrylic acid to ethylene oxide and / or propylene oxide, and a method such as to collectively reacting polyhydric alcohols.
- the minimum with preferable content of the polymeric compound which concerns on this invention in solid content of the coloring photosensitive resin composition of this invention is 10 weight%, and a preferable upper limit is 90 weight%.
- the content of the polymerizable compound according to the present invention is 10% by weight or more, the resulting colored photosensitive resin composition can be sufficiently photocured, and the black matrix can be more easily formed by photolithography. A pattern can be formed.
- the content of the polymerizable compound according to the present invention is 90% by weight or less, the solubility in an alkaline developer used for producing a black matrix using the obtained colored photosensitive resin composition is insufficient. In this case, the developability of the black matrix pattern to be produced is excellent.
- the minimum with more preferable content of the polymeric compound which concerns on this invention is 20 weight%, and a more preferable upper limit is 80 weight%.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention includes a compound having a polymerizable unsaturated double bond that does not have a hydroxyl group within a range that does not impair developability (hereinafter referred to as “others”. May also be included ”.
- examples of the bifunctional compound include diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, and hexaethylene glycol di (meth) acrylate.
- Polyethylene glycol di (meth) acrylate such as nonaethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2-butyl-2 -Ethyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester diacrylate, etc. It is below.
- those having three or more functional groups include, for example, trimethylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) And polyfunctional (meth) acrylates such as acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.
- the content of the other polymerizable compound is the total amount of the polymerizable compound according to the present invention and the other polymerizable compound. Preferably, it is less than 40% by weight. When the content of the other polymerizable compound is less than 40% by weight, a more uniform coating film can be obtained.
- the upper limit with more preferable content of the said other polymeric compound is 30 weight%. Moreover, the minimum with preferable content of the said other polymeric compound in solid content of the coloring photosensitive resin composition of this invention is 5 weight%, and a preferable upper limit is 50 weight%.
- the minimum with more preferable content of the said other polymeric compound is 10 weight%, and a more preferable upper limit is 40 weight%.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator.
- the photopolymerization initiator include conventionally known photopolymerization initiators such as benzoin, benzophenone, benzyl, thioxanthone, and derivatives thereof.
- an ⁇ -aminoalkylphenone photopolymerization initiator and / or an oxime ester photopolymerization initiator may be used independently and 2 or more types may be used together.
- the minimum with preferable content of the said photoinitiator in solid content of the coloring photosensitive resin composition of this invention is 0.5 weight%, and a preferable upper limit is 20 weight%.
- a preferable upper limit is 20 weight%.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention contains a black pigment.
- the said black pigment is not specifically limited,
- the conventionally well-known black pigment used for a black matrix can be used.
- Specific examples include titanium black, carbon black, chromium oxide, iron oxide, aniline black, and perylene pigment.
- composite oxides such as titanium, manganese, iron, copper, and cobalt can be used as appropriate.
- the titanium black is preferably subjected to a surface treatment from the viewpoint of more uniformly dispersing and improving light shielding properties.
- Conventionally known black pigments used in black matrices tend to agglomerate when water is used as a solvent, and a portion having a low black pigment concentration, a so-called optical pinhole is locally generated, resulting in a reduction in light shielding properties.
- the use of surface-treated titanium black improves dispersibility, suppresses the generation of optical pinholes, and forms a high-quality black matrix with uniform and high light-shielding properties. Can do.
- a surface treatment is performed on the surface of the powdery titanium black in advance using a surface treatment agent, or a surface treatment agent is added to an aqueous dispersion of titanium black. And the like.
- the surface treatment agent is not particularly limited as long as it can react with the surface of titanium black to improve dispersibility, but a coupling agent such as a titanate coupling agent or an aluminate coupling agent is preferable, and a titanate type A coupling agent is more preferable.
- a coupling agent such as a titanate coupling agent or an aluminate coupling agent
- a titanate type A coupling agent is more preferable.
- commercially available titanate coupling agents include Prenact (registered trademark) 44 and Prenact (registered trademark) ET (both manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.).
- the amount of the surface treatment agent added is preferably 0.1 parts by weight and preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of titanium black.
- the addition amount of the surface treatment agent is 0.1 parts by weight or more, the surface can be sufficiently treated, and the effect of improving dispersibility can be exhibited.
- the addition amount of the surface treatment agent is 5 parts by weight or less, it is possible to suppress phase separation of the surface treatment agent and obtain a more uniform coating film.
- the more preferable lower limit of the addition amount of the surface treatment agent is 0.3 parts by weight, and the more preferable upper limit is 2 parts by weight.
- the preferable lower limit of the average primary particle diameter of the titanium black is 20 nm, and the preferable upper limit is 200 nm. When the average primary particle diameter of the titanium black is within this range, it can be easily and uniformly dispersed in the coating film.
- a more preferable lower limit of the average primary particle diameter of the titanium black is 50 nm, and a more preferable upper limit is 150 nm.
- the average primary particle size means a particle size (D50) of 50% in terms of the cumulative particle size in the volume-based cumulative particle size distribution measured by a laser diffraction particle size distribution measuring device.
- the carbon black is preferably subjected to a hydrophilic surface treatment from the viewpoint of more uniformly dispersing and improving light shielding properties.
- a hydrophilic surface treatment By containing carbon black with a hydrophilic surface treatment in combination with the above titanium black, the generation of optical pinholes is suppressed, and a high-quality black matrix having uniform and high light-shielding properties can be formed. it can.
- an acidic group such as a sulfonic acid group, a phosphoric acid group, a carboxyl group, or a phosphoric acid ester group is introduced by an oxidation treatment using various oxidizing agents or a coupling reaction of a diazonium salt. And the like.
- a treatment for introducing a carboxyl group and a hydroxyl group as hydrophilic groups is preferable.
- untreated carbon black is oxidized by contacting with free oxygen at a high temperature, a method of oxidizing with ozone, NO 2 or the like, or a normal pressure with bromine and water. Or the method of processing under pressure, the method of oxidizing with oxidizing solutions, such as hydrogen peroxide solution, nitric acid, and a sulfuric acid, the method of combining these methods, etc. are mentioned. Further, the carbon black whose surface is oxidized may be further neutralized with a counter ion.
- Examples of commercially available carbon black subjected to the hydrophilic surface treatment include AquaBlack (registered trademark) 162, AquaBlack (registered trademark) 164 (both manufactured by Tokai Carbon Co., Ltd.), CAB-O-JET200, CAB. -O-JET300, CAB-O-JET400 (both manufactured by Cabot Specialty). *
- the preferable lower limit of the average particle diameter of the carbon black is 50 nm, and the preferable upper limit is 180 nm. When the average particle diameter of the carbon black is within this range, it can be easily and uniformly dispersed in the coating film.
- the more preferable lower limit of the average particle diameter of the carbon black is 60 nm, the more preferable upper limit is 150 nm, the still more preferable lower limit is 70 nm, and the still more preferable upper limit is 120 nm.
- the content of the carbon black is preferably 1 part by weight and preferably 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the titanium black. It is.
- the content of the carbon black is 1 part by weight or more, the above-described optical pinhole can be sufficiently suppressed.
- the content of the carbon black is 10 parts by weight or less, sufficient light shielding properties can be exhibited without impairing developability and the like.
- a more preferable lower limit of the carbon black content is 2 parts by weight, and a more preferable upper limit is 7 parts by weight.
- the content of the black pigment in the solid content of the colored photosensitive resin composition of the present invention is preferably more than 30% by weight and 70% by weight or less. By setting the content of the black pigment to more than 30% by weight, a black matrix having excellent light shielding properties can be formed.
- the content of the black pigment is 70% by weight or less, the sensitivity of the obtained colored photosensitive resin composition, the heat resistance of the coated film after curing, and the chemical resistance are kept good.
- content of the said black pigment it is more preferable that it is 40 weight% or more, and it is still more preferable that it is 50 weight% or more.
- the optical density when a black matrix having a thickness of 5 ⁇ m is formed using the colored photosensitive resin composition of the present invention by setting the content of the black pigment to more than 30% by weight can be a preferable value of 2.0 or more.
- the OD value is more preferably 3.0 or more, and still more preferably 4.0 or more.
- the OD value can be measured using a transmission densitometer.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention contains other colorants such as organic pigments and dyes in addition to the above black pigments in order to increase the resistance value and adjust the color tone, as long as the light shielding performance is not deteriorated.
- You may contain. Specifically, for example, in order to suppress the reddish color tone derived from carbon black and to make a more preferable black as a whole, “Violet dispersion liquid (containing 10% violet pigment)” manufactured by Mikuni Color Co., Ltd. “Blue pigment dispersion CF blue (containing 20% blue pigment)” or the like may also be contained.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention contains water as a solvent. By using the water as a solvent, it is possible to reduce environmental burdens such as discharge of organic chemical substances when the colored photosensitive resin composition is applied and dried.
- the water content in the colored photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited and is appropriately set so as to have a viscosity suitable for the coating method and the like, but the solid content concentration is 1 to 50% by weight or less.
- the amount is preferably 10 to 40% by weight or less.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention may contain other solvents such as organic solvents in addition to the above water for the purpose of improving the dispersibility of the black pigment.
- other solvents such as organic solvents in addition to the above water for the purpose of improving the dispersibility of the black pigment.
- the content is 30 weight% or less of the whole solvent, and it is more preferable that it is 10 weight% or less.
- organic solvents with low toxicity such as propylene glycols, such as propylene glycol monomethyl ether acetate, alcohols, such as ethyl alcohol and isopropyl alcohol, are mentioned, for example.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention may contain a reaction aid in order to reduce reaction disturbance due to oxygen.
- a reaction aid in combination with a hydrogen abstraction type photopolymerization initiator, the curing rate when irradiated with light can be improved.
- reaction aid examples include amine-based reaction aids such as n-butylamine, di-n-butylamine, triethylamine, triethylenetetramine, ethyl p-dimethylaminobenzoate, isoamyl p-dimethylaminobenzoate, A phosphine-based reaction aid such as —n-butylphosphine, or a sulfonic acid-based reaction aid such as s-benzylisothuronium-p-toluenesulfinate can be used. These reaction aids may be used alone or in combination of two or more.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention is, as necessary, a coupling agent, a thermal polymerization inhibitor, an antifoaming agent, a leveling agent, a sensitizer, a curing accelerator, as long as the object of the present invention is not impaired.
- Various known additives such as photocrosslinking agents, photosensitizers, dispersants, dispersion aids, fillers, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, and aggregation inhibitors may be contained.
- a polymer dispersant such as a urethane resin dispersant is preferably used.
- the alkali-soluble polymer compound according to the present invention for example, the alkali-soluble polymer compound according to the present invention, the polymerizable compound according to the present invention, the photopolymerization initiator, the black pigment, The method etc. which mix the said water and the additive etc. which are used as needed using a stirrer are mentioned. Moreover, it is preferable to filter using a filter after stirring so that it may become a uniform mixture.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention is suitably used as a black matrix material constituting a color filter.
- a black matrix comprising the colored photosensitive resin composition of the present invention is also one aspect of the present invention.
- the color filter having the black matrix of the present invention is also one aspect of the present invention.
- the colored photosensitive resin composition of the present invention is applied to a contact type coating device such as a roll coater, reverse coater, gravure coater, comma coater, bar coater, etc. Coating is performed using a non-contact type coating apparatus such as a spin coater, a slit coater, or a curtain flow coater.
- a contact type coating device such as a roll coater, reverse coater, gravure coater, comma coater, bar coater, etc.
- Coating is performed using a non-contact type coating apparatus such as a spin coater, a slit coater, or a curtain flow coater.
- the applied colored photosensitive resin composition is dried under reduced pressure at room temperature using, for example, a vacuum drying apparatus, and then 80 ° C. or higher and 120 ° C.
- the coated film after exposure is developed into a desired shape by developing with an aqueous alkaline solution.
- the developing method using the alkaline aqueous solution for example, an immersion method, a spray method, or the like can be used.
- the alkaline aqueous solution used as the developer include aqueous solutions of sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, tetramethylammonium hydroxide, quaternary ammonium salt and the like.
- post-baking is performed on the developed pattern at about 220 ° C. to 250 ° C., preferably about 230 ° C. to 240 ° C. At this time, it is preferable to expose the entire surface of the formed pattern. As described above, a black matrix having a predetermined pattern shape can be formed.
- the operation of the method for forming the black matrix of the present invention described above is carried out by using a colored photosensitive resin composition in which a red pigment is dispersed, a colored photosensitive resin composition in which a green pigment is dispersed, and a blue pigment.
- the color filter of the present invention can be formed by forming the colored photosensitive resin composition and forming a pixel pattern of each color.
- the colored photosensitive resin composition in which the red pigment is dispersed, the colored photosensitive resin composition in which the green pigment is dispersed, and the colored photosensitive resin composition in which the blue pigment is dispersed are conventionally known ones. Can be used.
- the color filter of the present invention ejects red, green, and blue inks from the inkjet nozzles to the areas partitioned by the black matrix of the present invention, and cures the stored ink with heat or light. It can also be manufactured by a method.
- a display element having the color filter of the present invention is also one aspect of the present invention.
- Examples of the display element of the present invention include a liquid crystal display element.
- the liquid crystal display element after forming the color filter of the present invention on a substrate, electrodes, spacers, etc. are sequentially formed, and this is bonded to another substrate on which the electrodes, etc. are formed. It can be manufactured by a conventionally known method such as a method of injecting and sealing the liquid crystal.
- the colored photosensitive resin composition which is excellent in coating property and can reduce the load to an environment can be provided.
- the black matrix, color filter, and display element which use this colored photosensitive resin composition can be provided.
- Example 1 Preparation of alkali-soluble polymer compound A according to the present invention
- a reactor equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a nitrogen gas inlet tube, and a dropping funnel was prepared in a four-neck separable flask having a capacity of 1000 mL. 50 parts by weight of tetrahydrofuran was placed in the flask, and nitrogen gas was introduced and bubbled to remove dissolved oxygen.
- Erythritol triacrylate 20 parts by weight, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one (“IRGACURE907” manufactured by BASF) as an ⁇ -aminoalkylphenone photopolymerization initiator 1 30 parts by weight of titanium black (Mitsubishi Materials Co., “13M-C”) as a black pigment and a self-dispersing carbon black (manufactured by Tokai Carbon Co., Ltd.) with a hydrophilic surface treatment that introduces carboxyl groups on the surface.
- titanium black Mitsubishi Materials Co., “13M-C”
- 13M-C self-dispersing carbon black
- a functional resin composition was prepared.
- Example 2 to 14 A colored photosensitive resin composition was prepared and a coating film was obtained in the same manner as in Example 1 except that each material having a blending ratio described in Tables 1 and 2 was used.
- Example 3401MA and “Acryt 3401MA modified (Acrit 3SQ-424)” are aqueous solutions of the alkali-soluble polymer compound according to the present invention.
- the copolymer resin was isolated with methanol from the obtained resin solution, purified, and then dried under reduced pressure to obtain a resin solid. Next, 37 parts by weight of 1 mol / L ammonia water and 43 parts by weight of water were added to 20 g of the obtained resin solid, and the mixture was neutralized while heating and stirring at 80 ° C. to dissolve. There wasn't. Therefore, 80 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 20 g of the obtained resin solid to prepare a propylene glycol monomethyl ether acetate solution of an alkali-soluble polymer compound (an alkali-soluble polymer compound A that is not water-soluble). .
- a colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the obtained non-water-soluble alkali-soluble polymer compound A in propylene glycol monomethyl ether acetate was used. However, it was not possible to obtain a uniform composition that could be used as a coating solution.
- the OD value was measured using the transmission densitometer (The X light company make, "Model 361T"). When the OD value is 4.0 or more, “ ⁇ ”, when the OD value is 3.0 or more and less than 4.0, “ ⁇ ”, when the OD value is less than 3.0, “ ⁇ ” The light-shielding property was evaluated.
- Example and Comparative Example 4 On each coating film obtained in Example and Comparative Example 4, a negative photomask having a line pattern that can be exposed with a line width of 2 ⁇ m from 4 ⁇ m to 20 ⁇ m was installed, and an exposure apparatus (Dainippon) with a proximity of 200 ⁇ m. Using an “MA-10 type” manufactured by Kaken Co., Ltd., ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm were exposed at an exposure amount of 1000 mJ / cm 2 .
- the colored photosensitive resin composition which is excellent in coating property and can reduce the load to an environment can be provided.
- the black matrix, color filter, and display element which use this colored photosensitive resin composition can be provided.
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Abstract
本発明は、塗工性に優れ、かつ、環境への負荷を低減することができる着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該着色感光性樹脂組成物を用いてなるブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することを目的とする。 本発明は、カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントを有する水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物と、光重合開始剤と、黒色顔料と、水とを含有する着色感光性樹脂組成物である。
Description
本発明は、塗工性に優れ、かつ、環境への負荷を低減することができる着色感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、該着色感光性樹脂組成物を用いてなるブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子に関する。
液晶表示素子等の表示素子には、表示コントラストや発色効果を高めるためにカラーフィルターのR、G、Bの着色層間の境界部分にブラックマトリックスが設けられており、該ブラックマトリックスに用いる材料として、近年、黒色の顔料や染料を含有する着色感光性樹脂組成物が用いられている。
このような着色感光性樹脂組成物としては、通常、光の照射によって硬化して皮膜を形成する光硬化性樹脂を含有するものが用いられている。即ち、ガラス基板等の透明基板の表面に塗布された着色感光性樹脂組成物上に、予め光を透過する部分と透過しない部分とが設けられたマスクを乗せ、該マスクの上から光を照射し、光に照射された部分の着色感光性樹脂組成物を硬化させ、光を透過しない部分に残った未硬化の着色感光性樹脂組成物を取り除いて、所望の形状の皮膜を形成している。
このような着色感光性樹脂組成物としては、通常、光の照射によって硬化して皮膜を形成する光硬化性樹脂を含有するものが用いられている。即ち、ガラス基板等の透明基板の表面に塗布された着色感光性樹脂組成物上に、予め光を透過する部分と透過しない部分とが設けられたマスクを乗せ、該マスクの上から光を照射し、光に照射された部分の着色感光性樹脂組成物を硬化させ、光を透過しない部分に残った未硬化の着色感光性樹脂組成物を取り除いて、所望の形状の皮膜を形成している。
着色感光性樹脂組成物として、例えば、特許文献1、2には、バインダ樹脂、重合性不飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有する化合物、光重合開始剤、黒色顔料、溶剤、及び、特定の構造を有するチオール化合物を含有する遮光性黒色レジスト組成物が開示されており、特許文献3には、特定の構造を有する光重合性不飽和化合物、光重合開始剤、色材、及び、溶媒を含有する着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物が開示されており、特許文献4には、熱可塑性若しくは未架橋の高分子重合体及び/又はエチレン性不飽和結合を有する化合物、特定の光重合開始剤、顔料、並びに、溶剤を含有する感光性組成物が開示されている。
本発明は、塗工性に優れ、かつ、環境への負荷を低減することができる着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該着色感光性樹脂組成物を用いてなるブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することを目的とする。
本発明は、カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントを有する水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物と、光重合開始剤と、黒色顔料と、水とを含有する着色感光性樹脂組成物である。
以下に本発明を詳述する。
以下に本発明を詳述する。
特許文献1~4に開示されているような従来の着色感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有するものであるため、乾燥により揮発した有機溶剤が環境中に放出されるおそれがあり、作業者の健康を害したり、環境汚染の原因となったりし得るという問題があった。そこで本発明者は、このような有機溶剤に代えて水を溶剤として用いることにより、環境への負荷を低減することを考えた。しかしながら、従来の着色感光性樹脂組成物に用いられていたアルカリ可溶性の成分や光硬化性の成分は、水に溶けない又は非常に溶け難いものであったため、均一な塗工液とすることができなかった。そこで本発明者は更に鋭意検討した結果、特定のアルカリ可溶性高分子化合物と特定の光硬化性化合物とを組み合わせて用いることで、溶剤として水を用いた場合でも塗工性に優れる着色感光性樹脂組成物とすることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントを有する水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物(以下、「本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物」ともいう)を含有する。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントを分子鎖中に有することにより、水溶性及びアルカリ可溶性を発揮することができる。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、水溶性であることから、溶剤である水に溶けるだけでなく、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物と水との親和性を高める役割も有する。また、アルカリ可溶性であることから、レジスト現像として一般的なアルカリ現像に用いられるアルカリ現像液に対する溶解性を有する。
なお、本明細書において、上記「水溶性」とは、pH6からpH9の概ね中性の範囲で水溶液を得ることができることを意味し、上記「アルカリ可溶性」とは、pH10からpH12のアルカリ性の範囲で水溶液を得ることができることを意味する。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、水溶性であることから、溶剤である水に溶けるだけでなく、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物と水との親和性を高める役割も有する。また、アルカリ可溶性であることから、レジスト現像として一般的なアルカリ現像に用いられるアルカリ現像液に対する溶解性を有する。
なお、本明細書において、上記「水溶性」とは、pH6からpH9の概ね中性の範囲で水溶液を得ることができることを意味し、上記「アルカリ可溶性」とは、pH10からpH12のアルカリ性の範囲で水溶液を得ることができることを意味する。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物としては、例えば、カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体、不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体、不飽和二重結合を有するカルボン酸塩と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体等が挙げられる。これらの共重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、及び、グラフト共重合体のいずれであってもよい。
また、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体や、不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体を、塩基により中和してカルボン酸塩としたものであってもよい。
また、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体や、不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物と不飽和二重結合を有する単官能化合物とを共重合した共重合体を、塩基により中和してカルボン酸塩としたものであってもよい。
上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、β-カルボキシエチルアクリレート、フマル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸等が挙げられる。なかでも、架橋性及び分散安定性の観点から、メタクリル酸、β-カルボキシエチルアクリレートが好ましい。
上記不飽和二重結合を有するジカルボン酸化合物としては、例えば、無水マレイン酸等が挙げられる。
上記不飽和二重結合を有するカルボン酸塩としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、β-カルボキシエチルアクリレート、フマル酸、イタコン酸、マレイン酸、クロトン酸等をアンモニア等の弱塩基で中和処理して得たカルボン酸塩化合物等が挙げられる。
上記不飽和二重結合を有する単官能化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2-メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ベンジル等の(メタ)アクリル酸エステル系単量体が挙げられる。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味する。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味する。
上記塩基としては、アミン類が好ましい。
上記アミン類としては、トリエチルアミン、エタノールアミン、ジメチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、アンモニア等が挙げられる。
上記アミン類としては、トリエチルアミン、エタノールアミン、ジメチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、アンモニア等が挙げられる。
また、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、スチレン、α-メチルスチレン、p-メチルスチレン、p-クロロスチレン等の芳香族ビニル系単量体や、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアン化ビニル化合物や、フェニルマレイミド、ベンジルマレイミド、ナフチルマレイミド、o-クロロフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミドや、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド等に由来するセグメントを有してもよい。
更に、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物は、現像時の溶解性を制御する等の目的で水酸基を有する単官能不飽和化合物に由来するセグメントを有してもよい。
上記水酸基を有する単官能不飽和化合物としては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート等が挙げられる。
上記水酸基を有する単官能不飽和化合物としては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、4-ヒドロキシブチルメタクリレート等が挙げられる。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物としては、なかでも、側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有する(メタ)アクリル共重合体が好適である。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有する(メタ)アクリル共重合体としては、少なくとも酸性官能基を有する構成単位と水酸基を有する構成単位とからなる主鎖を有し、(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物がそのイソシアネート基を介して、上記酸性官能基の少なくとも一部にアミド結合、及び/又は、上記水酸基の少なくとも一部にウレタン結合を形成している重合体が好適である。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、イソシアネート基の当量比(NCO/OH)が1.0~2.0となるように上記(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物の仕込み量を調整して得られたものであることが好ましい。
上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上となるように調整することにより、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に高い比率で(メタ)アクリロイル基を導入することが可能となり、感度の高いものとすることができる。また、酸性官能基を有する構成単位の含有割合を適宜調整できることから、得られる(メタ)アクリル共重合体の水溶性とアルカリ可溶性(現像性)とを自由に調整できる。また、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することに加え、水酸基を有する構成単位の含有割合を、仕込み量で14モル%以上として得られたものであることがより好ましい。上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することによりイソシアネート基の導入率を高められ、更に、水酸基を有する構成単位の含有割合を仕込み量で14モル%以上とすることにより、イソシアネート基が反応する部分が増えるため、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に(メタ)アクリロイル基を多量に導入することができ、特に感度の高いものとすることができる。
一方、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)が2.0以下であることにより、得られる(メタ)アクリル共重合体中に未反応の(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物が多量に残ることを抑制し、より物性に優れるものとなる。
上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上となるように調整することにより、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に高い比率で(メタ)アクリロイル基を導入することが可能となり、感度の高いものとすることができる。また、酸性官能基を有する構成単位の含有割合を適宜調整できることから、得られる(メタ)アクリル共重合体の水溶性とアルカリ可溶性(現像性)とを自由に調整できる。また、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基とカルボキシル基とを有する(メタ)アクリル共重合体は、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することに加え、水酸基を有する構成単位の含有割合を、仕込み量で14モル%以上として得られたものであることがより好ましい。上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)を1.0以上に調整することによりイソシアネート基の導入率を高められ、更に、水酸基を有する構成単位の含有割合を仕込み量で14モル%以上とすることにより、イソシアネート基が反応する部分が増えるため、得られる(メタ)アクリル共重合体の側鎖に(メタ)アクリロイル基を多量に導入することができ、特に感度の高いものとすることができる。
一方、上記イソシアネート基の当量比(NCO/OH)が2.0以下であることにより、得られる(メタ)アクリル共重合体中に未反応の(メタ)アクリロイル基含有イソシアネート化合物が多量に残ることを抑制し、より物性に優れるものとなる。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物における、カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントの含有割合の好ましい下限は10重量%、好ましい上限は40重量%である。上記カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントの含有割合が10重量%以上であることにより、水溶性やアルカリ可溶性を充分に付与できる。上記カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントの含有割合が40重量%以下であることにより、現像時の膨潤や溶解が著しくなることを抑制し、より微細なパターンを形成することができる。上記カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントの含有割合のより好ましい下限は15重量%、より好ましい上限は30重量%である。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物を製造する方法としては、例えば、ラジカル重合開始剤及び必要に応じて分子量調整剤を用いて、上記カルボキシル基含有単官能不飽和化合物や上記不飽和二重結合を有する単官能化合物等の共重合体を構成するモノマー成分を、塊状重合、溶液重合、懸濁重合、分散重合、乳化重合等の従来公知の方法により重合する方法が挙げられる。なかでも、溶液重合が好適である。
上記溶液重合により本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物を製造する場合に用いられる溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、グリコール等の脂肪族アルコール類や、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類や、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類や、酢酸セロソルブ、酢酸カルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のエステル類や、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類や、テトラヒドロフラン等の環状エーテル、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類や、ジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド等の極性を有する有機溶剤等が挙げられる。
また、上記懸濁重合、上記分散重合、上記乳化重合等により本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物を製造する場合の媒体としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン等の液状の炭化水素や、その他の非極性の有機溶剤等が挙げられる。
また、上記懸濁重合、上記分散重合、上記乳化重合等により本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物を製造する場合の媒体としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン等の液状の炭化水素や、その他の非極性の有機溶剤等が挙げられる。
上記溶液重合において有機溶剤を用いた場合、得られたアルカリ可溶性高分子溶液に適当量の水を加えた後に減圧等により有機溶剤を留去することが好ましい。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物を製造する際に用いる上記ラジカル重合開始剤としては、例えば、過酸化物、アゾ開始剤等が挙げられる。
また、上記分子量調整剤としては、例えば、α-メチルスチレンダイマー、メルカプタン系の連鎖移動剤等が挙げられる。
また、上記分子量調整剤としては、例えば、α-メチルスチレンダイマー、メルカプタン系の連鎖移動剤等が挙げられる。
本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の重量平均分子量の好ましい下限は3000、好ましい上限は10万である。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の重量平均分子量が3000以上であることにより、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスパターンを製造する際の現像性により優れるものとなる。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の重量平均分子量が10万以下であることにより、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスパターンを製造する際の解像度により優れるものとなる。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の重量平均分子量のより好ましい下限は5000、より好ましい上限は5万である。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。GPCによってポリスチレン換算による重量平均分子量を測定する際のカラムとしては、例えば、Shodex LF-804(昭和電工社製)等が挙げられる。また、GPCで用いる溶媒としては、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
なお、本明細書において上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。GPCによってポリスチレン換算による重量平均分子量を測定する際のカラムとしては、例えば、Shodex LF-804(昭和電工社製)等が挙げられる。また、GPCで用いる溶媒としては、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の含有量の好ましい下限は10重量%、好ましい上限は90重量%である。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の含有量が10重量%以上であることにより、得られる着色感光性樹脂組成物に充分にアルカリ可溶性を付与できる。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の含有量が90重量%以下であることにより、アルカリ現像時の現像液による膨潤を抑制し、ブラックマトリックスパターンの形状をより均一なものとすることができる。本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の含有量のより好ましい下限は20重量%、より好ましい上限は60重量%である。
なお、本明細書において上記「固形分」とは、溶剤以外の成分の総和を意味する。
なお、本明細書において上記「固形分」とは、溶剤以外の成分の総和を意味する。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物(以下、「本発明に係る重合性化合物」ともいう)を含有する。本発明に係る重合性化合物を、上述した本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物と組み合わせて用いることにより、本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤として水を用いるものでありながら均一な塗工液とすることができる。
本発明に係る重合性化合物は、分子量が1000以下であることにより、溶剤である水に対して安定な溶液が得られるとともに、アルカリ現像時の未溶解物が発生しにくくなる。本発明に係る重合性化合物は、分子量が800以下であることが好ましく、600以下であることがより好ましい。
なお、本発明に係る重合性化合物の分子量は、変性部位や変性度が不特定な化合物等については重量平均分子量を用いて表す。
なお、本発明に係る重合性化合物の分子量は、変性部位や変性度が不特定な化合物等については重量平均分子量を用いて表す。
本発明に係る重合性化合物としては、下記式(1)で表される化合物及び/又は下記式(2)で表される化合物が好適に用いられる。
式(1)中、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Xは、酸素原子、-OC2H4O-、又は、-OC3H6O-を表す。lは、1又は2である。
式(2)中、Rは、水素原子又はメチル基を表し、Xは、酸素原子、-OC2H4O-、又は、-OC3H6O-を表す。mは、1~3の整数であり、nは、0~3の整数であり、m+nは、1~4の整数である。
本発明に係る重合性化合物としては、具体的には例えば、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレートや、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の3官能以上の(メタ)アクリレート等が挙げられる。なかでも、重合反応の進行が速く、露光感度を向上させやすいことから、3官能以上の(メタ)アクリレートが好ましい。
これらの本発明に係る重合性化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
これらの本発明に係る重合性化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
なお、本明細書において上記「(メタ)アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。
また、本発明に係る重合性化合物としては、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性された多官能(メタ)アクリレートも好適に用いられる。
上記多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、上述した3官能以上の水酸基を有する(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性した化合物等が挙げられる。なかでも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、又は、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートを、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性したものであることが好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、上述した3官能以上の水酸基を有する(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性した化合物等が挙げられる。なかでも、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、又は、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートを、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性したものであることが好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性する場合の変性度は、ベースとなる多官能(メタ)アクリレートの官能基数をnとした場合、該多官能(メタ)アクリレート1モルに対して、15nモル以下であることが好ましい。上記変性度が15nモル以下であることにより、アルカリ現像液による膨潤を抑制し、ブラックマトリックスパターンの形状をより均一なものとすることができる。上記変性度は、10nモル以下であることがより好ましい。
上記多官能(メタ)アクリレートをエチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性する方法としては、例えば、多価アルコールとエチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイドとを反応させ、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性アルコールを合成した後、該エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性アルコールと(メタ)アクリル酸とをエステル化反応させる方法や、(メタ)アクリル酸とエチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイドとを反応させ、エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性(メタ)アクリル酸を合成した後、該エチレンオキサイド変性及び/又はプロピレンオキサイド変性(メタ)アクリル酸をアルコールとエステル化反応させる方法や、(メタ)アクリル酸、エチレンオキサイド及び/又はプロピレンオキサイド、並びに、多価アルコールを一括反応させる方法等が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における、本発明に係る重合性化合物の含有量の好ましい下限は10重量%、好ましい上限は90重量%である。本発明に係る重合性化合物の含有量が10重量%以上であることにより、得られる着色感光性樹脂組成物を充分に光硬化させることができ、フォトリソグラフの手法により、より容易にブラックマトリックスのパターンを形成することができる。本発明に係る重合性化合物の含有量が90重量%以下であることにより、得られる着色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスを製造する際に使用するアルカリ現像液への溶解性が不足することなく、製造するブラックマトリックスのパターンの現像性により優れるものとなる。本発明に係る重合性化合物の含有量のより好ましい下限は20重量%、より好ましい上限は80重量%である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明に係る重合性化合物に加えて、現像性等を損なわない範囲で水酸基を有さない重合性不飽和二重結合を有する化合物(以下、「その他の重合性化合物」ともいう)を含有してもよい。
上記その他の重合性化合物のうち2官能のものとしては、例えば、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートや、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3-メチル-1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2-ブチル-2-エチル-1,3-プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジアクリレート等が挙げられる。
上記その他の重合性化合物のうち3官能以上のものとしては、例えば、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート等が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物が上記その他の重合性化合物を含有する場合、該その他の重合性化合物の含有量は、本発明に係る重合性化合物と該その他の重合性化合物との合計量の40重量%未満であることが好ましい。上記その他の重合性化合物の含有量が40重量%未満であることにより、より均一な塗膜を得ることができる。上記その他の重合性化合物の含有量のより好ましい上限は30重量%である。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における、上記その他の重合性化合物の含有量の好ましい下限は5重量%、好ましい上限は50重量%である。上記その他の重合性化合物の含有量をこの範囲とすることにより、得られる着色感光性樹脂組成物の感度、現像性、及び、解像性のバランスがとりやすくなる。上記その他の重合性化合物の含有量のより好ましい下限は10重量%、より好ましい上限は40重量%である。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における、上記その他の重合性化合物の含有量の好ましい下限は5重量%、好ましい上限は50重量%である。上記その他の重合性化合物の含有量をこの範囲とすることにより、得られる着色感光性樹脂組成物の感度、現像性、及び、解像性のバランスがとりやすくなる。上記その他の重合性化合物の含有量のより好ましい下限は10重量%、より好ましい上限は40重量%である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有する。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾフェノン、ベンジル、チオキサントン、及び、これらの誘導体等、従来公知の光重合開始剤が挙げられる。
具体的には例えば、(4-(メチルフェニルチオ)フェニル)フェニルメタノン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、1-(4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-(4-ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、ビス(4-ジメチルアミノフェニル)ケトン、1-(4-(フェニルチオ)フェニル)-1,2-オクタンジオン2-(O-ベンゾイルオキシム)、O-アセチル-1-(6-(2-メチルベンゾイル)-9-エチル-9H-カルバゾール-3-イル)エタノンオキシム、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4-ベンゾイル-4’-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ-2-エチルヘキシル安息香酸、4-ジメチルアミノ-2-イソアミル安息香酸、ベンジル-β-メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(O-エトキシカルボニル)オキシム、O-ベンゾイル安息香酸メチル、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、チオキサンテン、2-クロロチオキサンテン、2,4-ジエチルチオキサンテン、2-メチルチオキサンテン、2-イソプロピルチオキサンテン、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2-メルカプトベンゾイミダール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-(O-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)-イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、3,3-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルジクロロアセトフェノン、α,α-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、ジベンゾスベロン、ペンチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス-(9-アクリジニル)ヘプタン、1,5-ビス-(9-アクリジニル)ペンタン、1,3-ビス-(9-アクリジニル)プロパン、p-メトキシトリアジン、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(フラン-2-イル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(3,4-ジメトキシフェニル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-エトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-n-ブトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン等が挙げられる。なかでも、感度の観点から、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤を含有することが好ましい。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾフェノン、ベンジル、チオキサントン、及び、これらの誘導体等、従来公知の光重合開始剤が挙げられる。
具体的には例えば、(4-(メチルフェニルチオ)フェニル)フェニルメタノン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニル-プロパン-1-オン、1-(4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-フォスフィンオキサイド、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-(4-ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、ビス(4-ジメチルアミノフェニル)ケトン、1-(4-(フェニルチオ)フェニル)-1,2-オクタンジオン2-(O-ベンゾイルオキシム)、O-アセチル-1-(6-(2-メチルベンゾイル)-9-エチル-9H-カルバゾール-3-イル)エタノンオキシム、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4-ベンゾイル-4’-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ-2-エチルヘキシル安息香酸、4-ジメチルアミノ-2-イソアミル安息香酸、ベンジル-β-メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(O-エトキシカルボニル)オキシム、O-ベンゾイル安息香酸メチル、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、チオキサンテン、2-クロロチオキサンテン、2,4-ジエチルチオキサンテン、2-メチルチオキサンテン、2-イソプロピルチオキサンテン、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2-メルカプトベンゾイミダール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-(O-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)-イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、3,3-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルジクロロアセトフェノン、α,α-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、ジベンゾスベロン、ペンチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス-(9-アクリジニル)ヘプタン、1,5-ビス-(9-アクリジニル)ペンタン、1,3-ビス-(9-アクリジニル)プロパン、p-メトキシトリアジン、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(フラン-2-イル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(2-(3,4-ジメトキシフェニル)エテニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-エトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-n-ブトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン等が挙げられる。なかでも、感度の観点から、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤を含有することが好ましい。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における、上記光重合開始剤の含有量の好ましい下限は0.5重量%、好ましい上限は20重量%である。上記光重合開始剤の含有量をこの範囲とすることにより、充分な硬化性が得られ、良好なブラックマトリックスパターンを形成することができる。上記光重合開始剤の含有量のより好ましい下限は1重量%、より好ましい上限は10重量%である。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含有する。
上記黒色顔料は特に限定されず、ブラックマトリックスに用いられる従来公知の黒色顔料を使用することができる。具体的には例えば、チタンブラック、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、アニリンブラック、ペリレン系顔料等が挙げられる。また、チタン、マンガン、鉄、銅、コバルト等の複合酸化物等も適宜用いることができる。なかでも、塗膜中の分散性の観点から、チタンブラックを含有することが好ましく、チタンブラック及びカーボンブラックを含有することがより好ましい。
上記黒色顔料は特に限定されず、ブラックマトリックスに用いられる従来公知の黒色顔料を使用することができる。具体的には例えば、チタンブラック、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、アニリンブラック、ペリレン系顔料等が挙げられる。また、チタン、マンガン、鉄、銅、コバルト等の複合酸化物等も適宜用いることができる。なかでも、塗膜中の分散性の観点から、チタンブラックを含有することが好ましく、チタンブラック及びカーボンブラックを含有することがより好ましい。
上記チタンブラックは、より均一に分散させて遮光性を向上させる観点から、表面処理がなされたものであることが好ましい。ブラックマトリックスに用いられる従来公知の黒色顔料では、溶媒として水を用いた場合に凝集を生じやすく、局所的に黒色顔料濃度の低い部分、いわゆる光学的なピンホールが発生し、遮光性が低下する場合があるが、表面処理がなされたチタンブラックを用いることによって分散性が向上し、光学的なピンホールの発生が抑制され、均一で高度な遮光性を有する高品質のブラックマトリックスを形成することができる。
上記チタンブラックを表面処理する方法としては、例えば、予め表面処理剤を用いて紛体状のチタンブラックの表面に表面処理を施しておく方法や、チタンブラックの水分散液に表面処理剤を添加して処理する方法等が挙げられる。
上記表面処理剤は、チタンブラックの表面と反応して分散性を向上できるものであれば特に限定されないが、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤等のカップリング剤が好ましく、チタネート系カップリング剤がより好ましい。上記チタネート系カップリング剤として市販されているものとしては、例えば、プレンアクト(登録商標)44、プレンアクト(登録商標)ET(いずれも味の素ファインテクノ社製)等が挙げられる。
上記表面処理剤の添加量は、チタンブラック100重量部に対して、好ましい下限が0.1重量部、好ましい上限が5重量部である。上記表面処理剤の添加量が0.1重量部以上であることにより、表面を充分に処理することができ、より分散性の改善効果を発揮できる。上記表面処理剤の添加量が5重量部以下であることにより、上記表面処理剤が相分離することを抑制し、より均一な塗膜を得ることができる。上記表面処理剤の添加量のより好ましい下限は0.3重量部、より好ましい上限は2重量部である。
上記チタンブラックの平均一次粒子径の好ましい下限は20nm、好ましい上限は200nmである。上記チタンブラックの平均一次粒子径がこの範囲であることにより、塗膜中に容易に均一に分散させることができる。上記チタンブラックの平均一次粒子径のより好ましい下限は50nm、より好ましい上限は150nmである。
なお、本明細書において上記平均一次粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定された、体積基準積算粒度分布における積算粒度で50%の粒子径(D50)を意味する。
なお、本明細書において上記平均一次粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置により測定された、体積基準積算粒度分布における積算粒度で50%の粒子径(D50)を意味する。
上記カーボンブラックは、より均一に分散させて遮光性を向上させる観点から、親水性表面処理がなされたものであることが好ましい。親水性表面処理がなされたカーボンブラックを上記チタンブラックと組み合わせて含有することにより、光学的なピンホールの発生が抑制され、均一で高度な遮光性を有する高品質のブラックマトリックスを形成することができる。
上記親水性表面処理としては、例えば、種々の酸化剤を用いた酸化処理や、ジアゾニウム塩のカップリング反応により、スルホン酸基、リン酸基、カルボキシル基、リン酸エステル基等の酸性基を導入する処理等が挙げられる。なかでも、親水性基としてカルボキシル基と水酸基とを導入する処理が好ましい。
上記酸化剤を用いた酸化処理方法としては、未処理のカーボンブラックを、高温下で遊離酸素と接触させて酸化する方法や、オゾン、NO2等によって酸化する方法や、臭素及び水によって常圧下又は加圧下で処理する方法や、過酸化水素水、硝酸、硫酸等の酸化性の溶液で酸化する方法や、これらの方法を組合せた方法等が挙げられる。また、表面を酸化処理したカーボンブラックを更に対イオンで中和してもよい。
上記親水性表面処理がなされたカーボンブラックとして市販されているものとしては、例えば、AquaBlack(登録商標)162、AquaBlack(登録商標)164(いずれも東海カーボン社製)、CAB-O-JET200、CAB-O-JET300、CAB-O-JET400(いずれもキャボット・スペシャリティ社製)等が挙げられる。
上記カーボンブラックの平均粒子径の好ましい下限は50nm、好ましい上限は180nmである。上記カーボンブラックの平均粒子径がこの範囲であることにより、塗膜中に容易に均一に分散させることができる。上記カーボンブラックの平均粒子径のより好ましい下限は60nm、より好ましい上限は150nm、更に好ましい下限は70nm、更に好ましい上限は120nmである。
上記黒色顔料として上記チタンブラックと上記カーボンブラックとの両方を含有する場合、上記カーボンブラックの含有量は、上記チタンブラック100重量部に対して、好ましい下限が1重量部、好ましい上限が10重量部である。上記カーボンブラックの含有量が1重量部以上であることにより、上述した光学的なピンホールを充分に抑制できる。上記カーボンブラックの含有量が10重量部以下であることにより、現像性等を損なうことなく充分な遮光性を発揮できる。上記カーボンブラックの含有量のより好ましい下限は2重量部、より好ましい上限は7重量部である。
本発明の着色感光性樹脂組成物の固形分中における上記黒色顔料の含有量は、30重量%を超え70重量%以下であることが好ましい。上記黒色顔料の含有量を30重量%を超えるものとすることにより、遮光性に優れたブラックマトリックスを形成することができる。上記黒色顔料の含有量が70重量%以下であることにより、得られる着色感光性樹脂組成物の感度、硬化後の塗膜の耐熱性、及び、耐薬品性が良好に保たれる。上記黒色顔料の含有量は、40重量%以上であることがより好ましく、50重量%以上であることが更に好ましい。
上記黒色顔料の含有量が上述した好ましい範囲内であることにより、より遮光性に優れる着色感光性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、上記黒色顔料の含有量を、30重量%を超えるものとすることにより、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて厚さ5μmのブラックマトリックスを形成した場合における光学密度(OD値)を2.0以上の好ましい値とすることができる。上記OD値は、3.0以上であることがより好ましく、4.0以上であることが更に好ましい。
なお、上記OD値は、透過濃度計を用いて測定することができる。
なお、上記OD値は、透過濃度計を用いて測定することができる。
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、高抵抗値化や色調の調整のために、遮光性能を低下させない範囲で、上記黒色顔料に加えて有機顔料や染料等の他の着色剤を含有してもよい。具体的には例えば、カーボンブラックに由来する赤みがかった色調を抑え、全体としてより好ましい黒色にするために、御国色素社製の「バイオレット分散液(バイオレット顔料10%含有)」、御国色素社製の「ブルー顔料分散液CFブルー(ブルー顔料20%含有)」等を含有してもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤として水を含有する。
上記水を溶剤として用いることにより、着色感光性樹脂組成物を塗工する際及び乾燥する際の有機化学物質の排出等の環境への負荷を低減することができる。
上記水を溶剤として用いることにより、着色感光性樹脂組成物を塗工する際及び乾燥する際の有機化学物質の排出等の環境への負荷を低減することができる。
本発明の着色感光性樹脂組成物における水の含有量は特に制限されず、塗布方法等に適した粘度となるように適宜設定されるが、固形分の濃度が1~50重量%以下となる量であることが好ましく、10~40重量%以下となる量であることがより好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、黒色顔料の分散性を向上すること等を目的として、上記水に加えて有機溶剤等のその他の溶剤を含有してもよいが、環境への負荷を低減するという本発明の目的から、その他の溶剤を含有しないことが好ましい。上記その他の溶剤を含有する場合、その含有量は、溶剤全体の30重量%以下であることが好ましく、10重量%以下であることがより好ましい。
上記その他の溶剤としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のプロピレングリコール類や、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等のアルコール類等の有害性の低い有機溶剤が挙げられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、酸素による反応障害を軽減するために反応助剤を含有してもよい。上記反応助剤を水素引き抜き型の光重合開始剤と併用することにより、光照射したときの硬化速度を向上させることができる。
上記反応助剤としては、例えば、n-ブチルアミン、ジ-n-ブチルアミン、トリエチルアミン、トリエチレンテトラミン、p-ジメチルアミノ安息香酸エチル、p-ジメチルアミノ安息香酸イソアミル等のアミン系反応助剤や、トリ-n-ブチルホスフィン等のホスフィン系反応助剤や、s-ベンジルイソチウロニウム-p-トルエンスルフィネート等のスルホン酸系反応助剤等を用いることができる。これらの反応助剤は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、必要に応じて、カップリング剤、熱重合禁止剤、消泡剤、レベリング剤、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散剤、分散助剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等の公知の各種添加剤を含有してもよい。
上記分散剤としては、ウレタン樹脂系分散剤等の高分子分散剤が好ましく用いられる。
上記分散剤としては、ウレタン樹脂系分散剤等の高分子分散剤が好ましく用いられる。
本発明の着色感光性樹脂組成物を製造する方法としては、例えば、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物と、本発明に係る重合性化合物と、上記光重合開始剤と、上記黒色顔料と、上記水と、必要に応じて用いられる添加剤等とを、撹拌機を用いて混合する方法等が挙げられる。また、均一な混合物となるよう、撹拌後、フィルターを用いて濾過を行うことが好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルターを構成するブラックマトリックス材料として好適に用いられる。本発明の着色感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックスもまた、本発明の1つである。また、本発明のブラックマトリックスを有するカラーフィルターもまた、本発明の1つである。
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて本発明のブラックマトリックスを形成する方法の一例を以下に説明する。
まず、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等からなる基板上に、本発明の着色感光性樹脂組成物を、ロールコーター、リバースコーター、グラビアコーター、コンマコーター、バーコーター等の接触型塗布装置や、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
次いで、塗布された着色感光性樹脂組成物を、例えば、真空乾燥装置を用いて室温にて減圧乾燥し、その後、ホットプレートやオーブンにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒以上180秒以下乾燥する方法等により乾燥させて塗膜を形成する。
得られた塗膜に、ネガ型のマスクを介して紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、用いる本発明の着色感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、100~2000mJ/cm2であることが好ましい。
露光後の塗膜を、アルカリ水溶液により現像することによって所望の形状にパターニングする。上記アルカリ水溶液による現像方法としては、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液として用いるアルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、水酸化テトラメチルアンモニウム、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
現像後のパターンに対して、必要に応じて、220℃~250℃程度、好ましくは230℃~240℃程度でポストベークを行う。この際、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
以上により、所定のパターン形状を有するブラックマトリックスを形成することができる。
まず、ガラス、ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等からなる基板上に、本発明の着色感光性樹脂組成物を、ロールコーター、リバースコーター、グラビアコーター、コンマコーター、バーコーター等の接触型塗布装置や、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
次いで、塗布された着色感光性樹脂組成物を、例えば、真空乾燥装置を用いて室温にて減圧乾燥し、その後、ホットプレートやオーブンにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒以上180秒以下乾燥する方法等により乾燥させて塗膜を形成する。
得られた塗膜に、ネガ型のマスクを介して紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、用いる本発明の着色感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、100~2000mJ/cm2であることが好ましい。
露光後の塗膜を、アルカリ水溶液により現像することによって所望の形状にパターニングする。上記アルカリ水溶液による現像方法としては、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液として用いるアルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、水酸化テトラメチルアンモニウム、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
現像後のパターンに対して、必要に応じて、220℃~250℃程度、好ましくは230℃~240℃程度でポストベークを行う。この際、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
以上により、所定のパターン形状を有するブラックマトリックスを形成することができる。
また、上述した本発明のブラックマトリックスを形成する方法の操作を、赤色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、緑色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、及び、青色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物についても行い、各色の画素パターンを形成することで、本発明のカラーフィルターを形成することができる。
上記赤色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、上記緑色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、及び、上記青色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物は、従来公知のものを使用することができる。
なお、本発明のカラーフィルターは、本発明のブラックマトリックスによって区画された各領域に赤色、緑色、及び、青色の各色のインクをインクジェットノズルから吐出し、溜められたインクを熱又は光で硬化させる方法によっても製造することもできる。
上記赤色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、上記緑色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物、及び、上記青色顔料が分散された着色感光性樹脂組成物は、従来公知のものを使用することができる。
なお、本発明のカラーフィルターは、本発明のブラックマトリックスによって区画された各領域に赤色、緑色、及び、青色の各色のインクをインクジェットノズルから吐出し、溜められたインクを熱又は光で硬化させる方法によっても製造することもできる。
本発明のカラーフィルターを有する表示素子もまた、本発明の1つである。
本発明の表示素子としては、液晶表示素子等が挙げられる。
上記液晶表示素子は、基板上に本発明のカラーフィルターを形成した後、電極、スペーサー等を順次形成し、これを電極等を形成した別の基板と貼り合わせ、得られた空セルに所定量の液晶を注入、封止する方法等、従来公知の方法により製造することができる。
本発明の表示素子としては、液晶表示素子等が挙げられる。
上記液晶表示素子は、基板上に本発明のカラーフィルターを形成した後、電極、スペーサー等を順次形成し、これを電極等を形成した別の基板と貼り合わせ、得られた空セルに所定量の液晶を注入、封止する方法等、従来公知の方法により製造することができる。
本発明によれば、塗工性に優れ、かつ、環境への負荷を低減することができる着色感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該着色感光性樹脂組成物を用いてなるブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することができる。
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
(表面処理チタンブラックAの作製)
チタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M-C」)100重量部を純水100重量部に投入し、ディスパーで撹拌して均一な分散とした後、撹拌を行いながら、チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクト44」)1.0重量部を加えてさらに30分間撹拌を続け、表面処理チタンブラックAの水分散液を得た。
チタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M-C」)100重量部を純水100重量部に投入し、ディスパーで撹拌して均一な分散とした後、撹拌を行いながら、チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクト44」)1.0重量部を加えてさらに30分間撹拌を続け、表面処理チタンブラックAの水分散液を得た。
(表面処理チタンブラックBの作製)
チタネート系カップリング剤の添加量を0.2重量部に変更したこと以外は、「(表面処理チタンブラックAの作製)」と同様にして、表面処理チタンブラックBの水分散液を得た。
チタネート系カップリング剤の添加量を0.2重量部に変更したこと以外は、「(表面処理チタンブラックAの作製)」と同様にして、表面処理チタンブラックBの水分散液を得た。
(表面処理チタンブラックCの作製)
チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクト44」)1.0重量部に代えて、チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクトET」)0.5重量部を用いたこと以外は「(表面処理チタンブラックAの作製)」と同様にして、表面処理チタンブラックCの水分散液を得た。
チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクト44」)1.0重量部に代えて、チタネート系カップリング剤(味の素ファインテクノ社製、「プレンアクトET」)0.5重量部を用いたこと以外は「(表面処理チタンブラックAの作製)」と同様にして、表面処理チタンブラックCの水分散液を得た。
(実施例1)
(1)本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル60重量部、アクリル酸-2-ヒドロキシエチル30重量部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20gに対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解し、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物(本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物A)の水溶液を得た。
(1)本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル60重量部、アクリル酸-2-ヒドロキシエチル30重量部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20gに対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解し、水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物(本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物A)の水溶液を得た。
(2)着色感光性樹脂組成物の調製
得られた本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物Aの水溶液100重量部(固形分率20.6重量%)に、本発明に係る重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤として2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン(BASF社製、「IRGACURE907」)1重量部、黒色顔料としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M-C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua-Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、カップリング剤として3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM-403」)1重量部、及び、水200重量部を加え、撹拌機で2時間混合した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物Aの水溶液100重量部(固形分率20.6重量%)に、本発明に係る重合性化合物としてペンタエリスリトールトリアクリレート20重量部、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤として2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン(BASF社製、「IRGACURE907」)1重量部、黒色顔料としてチタンブラック(三菱マテリアル社製、「13M-C」)30重量部及び表面にカルボキシル基を導入する親水性表面処理がなされた自己分散型カーボンブラック(東海カーボン社製、「Aqua-Black162」、19.2重量%水分散液)1重量部、カップリング剤として3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、「KBM-403」)1重量部、及び、水200重量部を加え、撹拌機で2時間混合した後、孔径5μmのメンブレンフィルターで濾過し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
(3)塗膜の形成
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
得られた着色感光性樹脂組成物を、スピンコート法により150mm×150mmのガラス基板上に塗布した後、66Paで30秒間減圧乾燥し、次いで100℃で180秒間プリベークして約5.0μmの膜厚を有する塗膜を得た。
(実施例2~14)
表1、2に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
なお、表中における「アクリット3401MA」及び「アクリット3401MA変性(アクリット3SQ-424)」は、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の水溶液である。
表1、2に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製し、塗膜を得た。
なお、表中における「アクリット3401MA」及び「アクリット3401MA変性(アクリット3SQ-424)」は、本発明に係るアルカリ可溶性高分子化合物の水溶液である。
(比較例1)
(1)水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル20重量部、メタクリル酸-n-ブチル30重量部、アクリル酸-2-エチルヘキシル30重量部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20gに対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解しようとしたが溶解できなかった。そこで、得られた樹脂固形物20gに対して、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80重量部を加えてアルカリ可溶性高分子化合物(水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物A)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を作製した。
(1)水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物Aの調製
容量1000mLの四つ口セパラブルフラスコに、撹拌機、還流冷却器、温度計、窒素ガス導入管、及び、滴下漏斗を備えた反応装置を準備した。該フラスコ中にテトラヒドロフラン50重量部を入れ、窒素ガスを導入してバブリングし、溶存酸素を除去した。アクリル酸20重量部、メタクリル酸メチル20重量部、メタクリル酸-n-ブチル30重量部、アクリル酸-2-エチルヘキシル30重量部、t-ブチルパーオキシ-2-エチルへキサノエート1.3重量部、及び、テトラヒドロフラン50重量部を予め混合してモノマー溶液を調製し、上記テトラヒドロフランの入ったフラスコ内を撹拌しながら該モノマー溶液を1時間かけて滴下し、その後80℃にて3時間還流して共重合反応を行い、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液から共重合樹脂をメタノールで単離し、精製した後、減圧乾燥して樹脂固形物を得た。
次に、得られた樹脂固形物20gに対して1mol/Lのアンモニア水37重量部と水43重量部とを添加し、中和しつつ80℃で加熱撹拌して溶解しようとしたが溶解できなかった。そこで、得られた樹脂固形物20gに対して、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80重量部を加えてアルカリ可溶性高分子化合物(水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物A)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を作製した。
(2)着色感光性樹脂組成物の調製
得られた水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物Aのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製することを試みたが、塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかった。
得られた水溶性でないアルカリ可溶性高分子化合物Aのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製することを試みたが、塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかった。
(比較例2~4)
表3に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製することを試みたが、比較例2、3では塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかった。
表3に記載された配合比の各材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、着色感光性樹脂組成物を調製することを試みたが、比較例2、3では塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかった。
<評価>
実施例及び比較例で得られた各着色感光性樹脂組成物及び塗膜について、以下の評価を行った。結果を表1~3に示した。
なお、比較例1~3では塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかったため、以下の評価は行わなかった。
実施例及び比較例で得られた各着色感光性樹脂組成物及び塗膜について、以下の評価を行った。結果を表1~3に示した。
なお、比較例1~3では塗工液とできる均一な組成物を得ることができなかったため、以下の評価は行わなかった。
(遮光性)
実施例及び比較例4で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
実施例及び比較例4で得られた各塗膜について、透過濃度計(エックスライト社製、「Model 361T」)を用いてOD値を測定した。
OD値が4.0以上であった場合を「○」、OD値が3.0以上4.0未満であった場合を「△」、OD値が3.0未満であった場合を「×」として遮光性を評価した。
(現像性)
実施例及び比較例4で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA-10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスしてブラックマトリックスの現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でブラックマトリックスパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではブラックマトリックスパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
実施例及び比較例4で得られた各塗膜上に、4μmから20μmまで2μm刻みの線幅で露光可能なラインパターンを有するネガ型フォトマスクを設置し、プロキシミティ200μmで露光装置(大日本科研社製、「MA-10型」)を用いて波長365nmの紫外線を1000mJ/cm2の露光量で露光した。
その後、現像装置(アクセス社製)を用いて0.05重量%の水酸化カリウム水溶液のシャワーにより40秒間の現像を行い、続けて純水のシャワーにより30秒間リンスしてブラックマトリックスの現像パターンを得た。
10μm及び20μmの線幅における現像パターンを確認し、10μmの線幅でブラックマトリックスパターンが得られた場合を「○」、10μmの線幅ではブラックマトリックスパターンが得られなかったものの、20μmの線幅ではパターンが得られた場合を「△」、20μmの線幅でもパターンが得られなかった場合を「×」として現像性を評価した。
(感度)
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
上記「(現像性)」の評価において、露光量を500mJ/cm2に変更して露光を行って現像パターンを得た。
20μmの線幅における現像パターンを確認し、500mJ/cm2の露光量で20μmの線幅のパターンが得られた場合を「○」、1000mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られたものの、500mJ/cm2の露光量では20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「△」、1000mJ/cm2の露光量でも20μmの線幅のパターンが得られなかった場合を「×」として感度を評価した。
本発明によれば、塗工性に優れ、かつ、環境への負荷を低減することができる着色感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該着色感光性樹脂組成物を用いてなるブラックマトリックス、カラーフィルター、及び、表示素子を提供することができる。
Claims (12)
- カルボン酸、ジカルボン酸無水物、及び、カルボン酸塩からなる群より選択される少なくとも1種に由来するセグメントを有する水溶性かつアルカリ可溶性の高分子化合物と、分子量が1000以下であり、重合性不飽和二重結合及び水酸基を有する化合物と、光重合開始剤と、黒色顔料と、水とを含有する
ことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。 - 光重合開始剤は、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及び/又はオキシムエステル系光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の着色感光性樹脂組成物。
- 黒色顔料は、チタンブラックを含有することを特徴とする請求項1、2又は3記載の着色感光性樹脂組成物。
- チタンブラックは表面処理がなされたものであることを特徴とする請求項4記載の着色感光性樹脂組成物。
- 黒色顔料は、チタンブラック及びカーボンブラックを含有することを特徴とする請求項4又は5記載の着色感光性樹脂組成物。
- カーボンブラックは、親水性表面処理がなされたものであることを特徴とする請求項6記載の着色感光性樹脂組成物。
- チタンブラック100重量部に対して、カーボンブラックを1~10重量部含有することを特徴とする請求項6又は7記載の着色感光性樹脂組成物。
- 固形分中における黒色顔料の含有量が、30重量%を超え70重量%以下であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7又は8記載の着色感光性樹脂組成物。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8又は9記載の着色感光性樹脂組成物からなることを特徴とするブラックマトリックス。
- 請求項10記載のブラックマトリックスを有することを特徴とするカラーフィルター。
- 請求項11記載のカラーフィルターを有することを特徴とする表示素子。
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