JPWO2017026006A1 - 部品実装装置 - Google Patents

Abstract

部品実装装置は、ＸＹロボット２０と、ＸＹロボット２０のＸ軸スライダ２６にＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたＺ軸スライダ２９と、Ｚ軸スライダ２９に搭載されたヘッド３０と、ヘッド３０にＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたノズルとを備えている。この部品実装装置１０は、部品供給ユニット７０から供給される部品をノズルに吸着して基板Ｓの所定位置へ運んで実装する。Ｙ軸スライダ２２の後方には、外観形状がＵ字状でＸ軸方向及びＺ軸方向に伸縮可能な可撓部５６が配置されている。可撓部５６には、Ｘ軸配線配管の少なくとも一部とＺ軸配線配管の少なくとも一部はひとまとめにされている。

Description

本発明は、部品実装装置に関する。

従来より、部品供給装置から供給される部品をノズルに吸着して基板の所定位置へ運んで実装する部品実装装置が知られている。例えば、特許文献１には、この種の部品実装装置として、Ｙ軸スライダと、そのＹ軸スライダの前面に取り付けられたＸ軸スライダと、そのＸ軸スライダに搭載されたロータリーヘッドと、そのロータリーヘッドにＺ軸方向へ移動可能に取り付けられた複数のノズルとを備えたものが開示されている。こうした部品実装装置において、ノズルのＺ軸方向のストロークが長いと、スループットが悪化する要因となる。そのため、Ｘ軸スライダにＺ軸スライダを取り付け、そのＺ軸スライダにロータリーヘッドを搭載し、ロータリーヘッドを通常よりも下方に位置決めした状態でノズルをＺ軸方向に移動させることにより、ノズルのＺ軸方向へのストロークを通常より短くすることが考えられる。

国際公開第２０１５／０４５０３３号パンフレット

しかしながら、Ｘ軸スライダにＺ軸スライダを取り付けた場合、Ｚ軸スライダに接続されたＺ軸配線を新たに引き回す必要があり、部品実装装置の構造をコンパクトに収められなくなったり、操作性が悪化したりすることが懸念される。この点は、配線だけでなく配管についても同様である。

本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、ＸＹロボットの一方のスライダにＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたＺ軸スライダにヘッドを搭載した部品実装装置において、スループットの向上と配線配管の省スペース化を実現することを主目的とする。

本発明の部品実装装置は、
ＸＹロボットと、該ＸＹロボットの一方のスライダにＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたＺ軸スライダと、前記Ｚ軸スライダに搭載されたヘッドと、前記ヘッドにＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたノズルと、を備え、部品供給装置から供給される部品を前記ノズルに吸着して基板の所定位置へ運んで実装する部品実装装置であって、
前記ＸＹロボットの一方のスライダに搭載された機器に接続され該スライダの動作に追従する第１の配線配管と、
前記Ｚ軸スライダに搭載された機器に接続され該Ｚ軸スライダの動作に追従する第２の配線配管と、
前記第１の配線配管の少なくとも一部と前記第２の配線配管の少なくとも一部とがひとまとめにされ、前記ＸＹロボットの一方のスライダの移動方向及び前記Ｚ軸スライダの移動方向に伸縮可能な可撓部と、
を備えたものである。

この部品実装装置では、ＸＹロボットの一方のスライダにＺ軸スライダを取り付け、そのＺ軸スライダにヘッドを搭載している。そのため、ヘッドを通常よりも下方に位置決めすることができる。この状態でノズルによる部品の吸着・実装を行うと、ノズルのＺ軸方向へのストロークはヘッドを下げた分だけ短くなる。その結果、スループットが向上する。また、第１の配線配管（ＸＹロボットの一方のスライダの配線配管）の少なくとも一部と第２の配線（Ｚ軸スライダの配線配管）の少なくとも一部とをひとまとめにして可撓部にしている。そのため、第１及び第２の配線配管を全く別々に引き回す場合に比べて、配線配管の省スペース化を図ることができる。

本発明の部品実装装置において、前記可撓部は、その可撓部の一端の真下に他端が位置している状態では中間部分がＵ字状（見方を変えればＣ字状）又はＳ字状になっていてもよい。こうした可撓部は、Ｕ字状又はＳ字状の中間部分が変形して伸縮可能なため、比較的シンプルな構造でありながらＸＹロボットの一方のスライダやＺ軸スライダの移動に良好に追従することができる。

本発明の部品実装装置において、前記Ｚ軸スライダは、該Ｚ軸スライダの下部から前記ＸＹロボットの他方のスライダの下方空間を通過して前記Ｚ軸スライダが取り付けられた側とは反対側の空間へ達するケースを備え、前記可撓部は、前記反対側の空間において前記ケースから前記他方のスライダの上部までの区間に設けられていてもよい。こうすれば、可撓部はＸＹロボットの他方のスライダのうちＺ軸スライダやヘッドが取り付けられた側とは反対側の空間に配置されるため、例えばＺ軸スライダに取り付けられたヘッドを交換する際に可撓部が邪魔になることがない。

この場合、前記可撓部は、前記反対側の空間の所定領域からはみ出すことなく撓むように構成されていてもよい。こうすれば、部品実装装置が作動するのに必要な空間をコンパクトにすることができる。前記所定領域の少なくとも一部は、前記ＸＹロボットの他方のスライダによって囲まれた空間と重複するようにしてもよい。

部品実装装置１０の概略を示す斜視図。 ヘッド３０の斜視図。 部品実装装置１０の主要部分の側面図。 部品実装装置１０の主要部分の側面図。 部品実装装置１０の主要部分を後方からみた斜視図。

本発明を実施するための形態を図面を用いて以下に説明する。図１は部品実装装置１０の概略を示す斜視図、図２はヘッド３０の斜視図、図３は部品実装装置１０の主要部分の側面図である。なお、図１の左右方向がＸ軸方向であり、前後方向がＹ軸方向であり、上下方向がＺ軸方向である。

部品実装装置１０は、図１に示すように、基板搬送ユニット１２と、ＸＹロボット２０と、ヘッド３０と、パーツカメラ６６と、部品供給ユニット７０と、コントローラ７６とを備えている。

基板搬送ユニット１２は、前後それぞれに設けられたコンベアユニット１４により基板Ｓを左から右へと搬送する。また、基板搬送ユニット１２は、搬送されてきた基板Ｓの下方から支持ピン１６を突き上げることによりコンベアユニット１４から基板Ｓを持ち上げて支持し、基板Ｓを支持している支持ピン１６を下降させることにより基板Ｓをコンベアユニット１４に戻す。

ＸＹロボット２０は、Ｙ軸スライダ２２と、Ｘ軸スライダ２６とを備えている。Ｙ軸スライダ２２は、本体枠１１の上段部に前後方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた左右一対のＹ軸ガイドレール２４に架け渡された状態で、Ｙ軸ガイドレール２４に沿って移動可能となっている。Ｘ軸スライダ２６は、Ｙ軸スライダ２２の前面に左右方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられたＸ軸ガイドレール２８に取り付けられ、Ｘ軸ガイドレール２８に沿って移動可能となっている。Ｘ軸ガイドレール２８は、Ｙ軸スライダ２２の左右幅とほぼ同じ長さである。このＸＹロボット２０は、コントローラ７６によって制御され、ＸＹ平面上の任意の位置にヘッド３０を移動させることができる。

ヘッド３０は、Ｘ軸スライダ２６の前面にＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたＺ軸スライダ２９に着脱可能に搭載されている。このヘッド３０は、図２に示すように、フレーム３８を備え、そのフレーム３８にオートツール３３やＲ軸モータ３４、θ軸モータ３５、Ｚ軸モータ３６などを備える。オートツール３３は、円筒形状であり、ノズル３１が着脱可能なノズルホルダ３２を円周方向に沿って複数本備えている。Ｒ軸モータ３４は、オートツール３３をその軸心線（Ｒ軸）周りで回転させることで各ノズルホルダ３２に装着されたノズル３１をオートツール３３の円周方向に旋回させる。θ軸モータ３５は、オートツール３３に装着された各ノズルホルダ３２をその軸心線（θ軸）周りで回転（自転）させる。Ｚ軸モータ３６は、ノズル昇降機構３７を構成する部材であり、ノズル３１の旋回軌道上の所定位置でノズルホルダ３２をノズル３１と共に下降させる。ノズルホルダ３２に装着されたノズル３１は、エア配管を通じてその吸引口に負圧を作用させて部品を吸着（保持）したり、吸引口に正圧を作用させて部品の吸着を解除（保持を解除）したりすることができる。なお、オートツール３３は、ヘッド３０に着脱可能に取り付けられており、ノズル３１の数の異なるオートツールに交換することも可能である。

ここで、ヘッド３０の周辺装置について、図３に基づいて説明する。Ｙ軸ガイドレール２４にガイド２３を介してＹ軸方向にスライド可能に取り付けられたＹ軸スライダ２２は、左右方向に延びるフレーム本体に逆直角三角形からなる側面が設けられたＹ軸フレーム２２ａと、そのＹ軸フレーム２２ａの後方の数カ所に形成された逆直角三角形からなる補強リブ２２ｂとを備えている。Ｘ軸スライダ２６は、Ｙ軸フレーム２２ａの前面に左右方向に延びる上下一対のＸ軸ガイドレール２８に、ガイド２５を介してＸ軸方向にスライド可能に取り付けられている。このＸ軸スライダ２６は、Ｙ軸フレーム２２ａの前面にＸ方向の駆動源（Ｘ軸駆動源）を備えている。このＸ軸駆動源は、モータとボールネジとの組合せでもよいし、リニアモータでもよい。Ｚ軸スライダ２９は、Ｘ軸スライダ２６の前面に上下方向に延びる左右一対のＺ軸ガイドレール５０に、ガイド５２を介してＺ軸方向にスライド可能に取り付けられている。このＺ軸スライダ２９は、図示しないＺ軸ボールネジ機構によってＺ軸方向へ移動可能となっている。Ｚ軸スライダ２９は、Ｚ軸スライダ２９の下部からＹ軸スライダ２２の下方空間を通過してＹ軸スライダ２２の後方空間（ヘッド３０を保持したＺ軸スライダ２９が設けられた側とは反対側の空間）へ達するケース５４を備えている。このケース５４には、Ｘ軸スライダ２６に搭載された機器に接続された配線配管（Ｘ軸配線配管）の一部又は全部とＺ軸スライダ２９に搭載された機器に接続された配線配管（Ｚ軸配線配管）の一部又は全部とがひとまとめにされてＹ軸スライダ２２の後方空間へ導かれている。Ｘ軸スライダ２６に搭載された機器としては、例えばバックアップピン用シリンダ（図示しない）やＺ軸ボールネジ機構、Ｘ軸駆動源などが挙げられる。Ｚ軸スライダ２９に搭載された機器としては、例えば各モータ３４，３５，３６やノズル３１へ負圧・正圧を供給するエア配管などが挙げられる。Ｙ軸スライダ２２の後方空間へ導かれた配線配管は、下方から上方に向かって形成された可撓部５６を経てＹ軸スライダ２２の後方上部に至り、本体枠１１のうちＹ軸方向に延びるＹ軸枠１１ａの中をＹ軸方向に伸縮可能な状態で通され、最終的にコントローラ７６や図示しない真空ポンプ、電源などに接続される。可撓部５６は、可撓性を有するＸ軸配線配管の少なくとも一部と可撓性を有するＺ軸スライダの配線配管の少なくとも一部とを平型（一段）に並べて樹脂で固めて全体が可撓性を持つようにしたものである。この可撓部５６は、可撓部５６の上端の真下に下端が位置する状態では、中間部分がＣ字状（Ｕ字状）に屈曲している（図５参照）。また、Ｚ軸スライダ２９の保持部２９ａは、ヘッド３０の後面に設けられた被係合部３０ａを上下から挟み込んで着脱可能に固定する係合部２９ｂを有している。

パーツカメラ６６は、部品供給ユニット７０と基板搬送ユニット１２との間であって左右方向の長さの略中央にて、撮像方向が上向きとなるように設置されている。このパーツカメラ６６は、その上方を通過するノズル３１に吸着された部品を撮像し、撮像により得られた画像をコントローラ７６へ出力する。

部品供給ユニット７０は、リール７２と、フィーダ７４とを備えている。リール７２には、部品を収容した凹部が長手方向に沿って並ぶように形成されたテープが巻かれている。フィーダ７４は、リール７２に巻かれたテープの部品を所定の部品供給位置へ送り出す。リール７２に巻かれたテープは部品を覆うフィルムを有しているが、部品供給位置に至るとフィルムが剥がされるようになっている。そのため、部品供給位置に配置された部品はヘッド３０に搭載されたオートツール３３のノズル３１によって吸着可能な状態となる。

コントローラ７６は、ＣＰＵを中心とした周知のマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵの他に、ＲＯＭ、ＨＤＤ、ＲＡＭなどを備える。コントローラ７６には、Ｘ軸スライダ２６の位置を検知するＸ軸位置センサからの位置信号や、Ｙ軸スライダ２２の位置を検知するＹ軸位置センサからの位置信号、Ｚ軸スライダ２９の位置を検知するＺ軸位置センサからの位置信号、ノズル３１の高さを検知するノズルセンサからの位置信号、ノズル３１に吸着された部品を撮像可能なパーツカメラ６６からの画像信号などが入力される。一方、コントローラ７６からは、部品供給ユニット７０への制御信号や、基板搬送ユニット１２への制御信号、Ｘ軸スライダ２６を移動させるＸ軸モータへの駆動信号、Ｙ軸スライダ２２を移動させるＹ軸モータへの駆動信号、Ｚ軸モータ３６への駆動信号、Ｚ軸ボールネジ機構のモータへの駆動信号、ヘッド３０への駆動信号などが出力される。

次に、部品実装装置１０の動作、特に部品供給ユニット７０によって供給される部品をノズルに吸着して基板Ｓの所定位置に実装する動作について説明する。

まず、コントローラ７６は、Ｒ軸モータ３４を制御してオートツール３３を自転させることにより、ノズル昇降機構３７が設けられている位置へ１番目のノズル３１を移動させる。次に、コントローラ７６は、ＸＹロボット２０を制御して１番目のノズル３１が部品供給位置の上方に来るようにヘッド３０を移動させる。次に、コントローラ７６は、図示しないＺ軸ボールネジ機構を制御してＺ軸スライダ２９を通常位置から所定の下方位置へ移動させる。Ｚ軸スライダ２９が通常位置にあるとき、図３に示すように、基準面からヘッド３０の下面までの高さはＨ１となる。一方、保持部２９ａが一体化されたＺ軸スライダ２９やヘッド３０、ケース５４がＸ軸スライダ２６に対して下降して所定の下方位置に至ると、図４に示すように、基準面からヘッド３０の下面までの高さがＨ２（＜Ｈ１）となる。この状態でノズル３１による部品の吸着・実装を行うと、ノズル３１のＺ軸方向へのストロークはヘッド３０を下げた分（＝Ｈ１−Ｈ２）だけ通常より短くなる。次に、コントローラ７６は、Ｚ軸モータ３６を制御して１番目のノズル３１を下降させ、ノズル３１に負圧が供給されるようにエア配管の圧力調整弁を制御する。これにより、部品は１番目のノズルに吸着される。コントローラ７６は、２番目以降のノズル３１についても、同様にして部品を吸着させ、最終的にオートツール３３のすべてのノズル３１に部品を吸着させる。その後、コントローラ７６は、ＸＹロボット２０を制御してヘッド３０をパーツカメラ６６の上方へ移動させた後、Ｒ軸モータ３４及びパーツカメラ６６を制御して、パーツカメラ６６にすべてのノズル３１に吸着された部品を順次撮像させる。コントローラ７６は、この撮像画像を解析することにより部品の姿勢を把握する。次に、コントローラ７６は、ＸＹロボット２０を制御してヘッド３０を基板Ｓ上へ移動させ、１番目のノズル３１に吸着された部品から順に基板Ｓへ実装していく。実装手順は、吸着手順のほぼ逆の手順であるが、吸着時にはノズル３１に負圧が供給されるようにエア配管の圧力調整弁を制御したのに対して実装時にはノズル３１に正圧が供給されるようにする。なお、コントローラ７６は、ノズル３１に部品を吸着する際やノズル３１に吸着された部品を基板Ｓの所定位置へ実装する際、適宜、θ軸モータ３５を制御してノズル３１を回転させて部品の姿勢を調整する。

このようにコントローラ７６が基板Ｓへの部品の実装を行っている間、Ｘ軸スライダ２６がＸ軸方向へ移動したりＺ軸スライダ２９がＺ軸方向へ移動したりするのに伴い、配線・配管の可撓部５６がそれらと同じ方向に伸縮する。このときの様子を図５に示す。図５は部品実装装置１０の主要部分を後方からみた斜視図である。図５では、便宜上、Ｘ軸スライダ２６やＺ軸スライダ２９、ヘッド３０を省略した。ケース５４は、Ｘ軸スライダ２６にＺ軸方向へ移動できるように取り付けられたＺ軸スライダ２９に一体化されている（図３参照）。そのため、このケース５４は、ＸＺ軸方向へ移動可能である。このケース５４が左側（図５で右側）の最上位に位置しているときには（図５の実線参照）、可撓部５６の上端のほぼ真下に下端が配置されており、可撓部５６の中間部分の外観形状はＣ字状となっている。その状態から、ケース５４が右側（図５で左側）へ移動すると、ケース５４はその高さを保ったまま右側へ移動し、可撓部５６のＣ字状の部分が横に伸びてＺ字状になる（図５の１点鎖線参照）。一方、ケース５４が左側の最上位に位置している状態（図５の実線参照）から下側へ移動すると、ケース５４はＸＹ座標の位置を保ったまま下側へ移動し、可撓部５６のＣ字状の部分が縦に伸びた形状となる。このように、可撓部５６は、Ｘ軸方向やＺ軸方向に伸縮可能なためＸ軸スライダ２６やＺ軸スライダ２９の動作に追従することができる。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のＸ軸スライダ２６が、本発明のＸＹロボットの一方のスライダに相当し、Ｙ軸スライダ２２が他方のスライダに相当する。また、Ｘ軸スライダ２６の動作に追従するＸ軸配線配管が第１の配線配管に相当し、Ｚ軸スライダの動作に追従するＺ軸配線配管が第２の配線配管に相当する。

以上詳述した部品実装装置１０では、ヘッド３０を通常よりも下方に位置決めした状態でノズルによる部品の吸着・実装を行うと、ノズル３１のＺ軸方向のストロークはヘッド３０を下げた分だけ通常より短くなる。その結果、スループットが向上する。また、Ｘ軸配線配管とＺ軸配線配管とをひとまとめにして可撓部５６にしているため、Ｘ軸配線配管とＺ軸配線配管とを全く別々に引き回す場合に比べて、配線配管の省スペース化を図ることができる。

また、可撓部５６は、その可撓部５６の一端のほぼ真下に他端が位置している状態では中間部分がＣ字状（Ｕ字状）になっていてこの中間部分が変形してＸ軸方向やＺ軸方向に伸縮可能なため、比較的シンプルな構造でありながらＸ軸スライダ２６やＺ軸スライダ２９の移動に良好に追従することができる。

更に、可撓部５６はＹ軸スライダ２２のうちＺ軸スライダ２９が取り付けられた側とは反対側の空間に配置されるため、Ｚ軸スライダ２９に取り付けられたヘッド３０を交換する際に可撓部５６が邪魔になることがない。このとき、可撓部５６はその反対側の空間の所定領域（左右両側の補強リブ２２ｂの上辺後側の点同士を結んだ線を含む仮想垂直面を後方限界とする領域）からはみ出すことなく撓むように構成されている。そのため、部品実装装置１０が作動するのに必要な空間をコンパクトにすることができる。また、所定領域はＹ軸スライダ２２の構成部材である左右両側の補強リブ２２ｂによって囲まれた空間と重複しているため、可撓部５６が動く空間をよりコンパクトにすることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

上述した実施形態では、Ｙ軸スライダ２２にＸ軸スライダ２６をＸ軸方向への移動が可能なように取り付けた部品実装装置１０において、Ｘ軸スライダ２６にＺ軸スライダ２９をＺ軸方向への移動が可能なように取り付けたが、特にこれに限定されない。例えば、Ｘ軸スライダをＹ軸スライダにＹ軸方向への移動が可能なように取り付けた部品実装装置において、Ｙ軸スライダにＺ軸スライダをＺ軸方向ヘの移動が可能なように取り付けてもよい。その場合、Ｙ軸配線配管の少なくとも一部とＺ軸配線配管の少なくとも一部とを可撓部にひとまとめにすればよく、可撓部をＹ軸スライダの移動方向及びＺ軸スライダの移動方向に伸縮できるようにすればよい。

上述した実施形態では、Ｘ軸配線配管の少なくとも一部とＺ軸配線配管の少なくとも一部とを可撓部５６にひとまとめにしたが、更に可撓部５６にＹ軸配線配管の少なくとも一部もまとめるようにしてもよい。

上述した実施形態では、可撓性のあるＸ軸配線配管の少なくとも一部と可撓性のあるＺ軸スライダの配線配管の少なくとも一部とを平型（一段）に並べて樹脂で固めたものを可撓部５６としたが、特にこれに限定されない。例えば、これらの配線配管を複数段（例えば二段）に積んで樹脂で固めたものを可撓部５６としてもよいし、これらの配線配管をフレキシブルチューブに挿入したものを可撓部５６としてもよいし、配線配管をひとまとめにして適当な間隔をあけてバンドでクランプしたものを可撓部５６としてもよい。

上述した実施形態では、可撓部５６がＸ軸スライダ２６とＺ軸スライダ２９の動きに追従して動く空間を、Ｙ軸スライダ２２の左右両側の補強リブ２２ｂによって囲まれた空間（三角柱状の空間）に重複するようにしたが、例えば補強リブを逆直角三角形ではなく長方形とし、その長方形の補強リブによって囲まれた空間（直方体の空間）に収まるようにしてもよい。

上述した実施形態では、可撓部５６の中間部分をＣ字状（Ｕ字状）とすることでＸ軸方向及びＺ軸方向に伸縮可能としたが、Ｘ軸方向及びＺ軸方向へ伸縮可能な形状であれば特にこの形状に限定されない。例えば、可撓部５６の中間部分をＳ字状としてもよい。また、可撓部５６の中間部分がＣ字状（Ｕ字状）又はＳ字状であればその他の部分はどのような形状であってもよい。

上述した実施形態では、オートツール３３は円筒体の円周方向に沿って複数のノズル３１を備えたものとしたが、１本のノズルを備えたものであっても構わない。

本発明は、部品実装装置や部品実装装置を組み込んだ部品実装システムなどに利用可能である。

１０ 部品実装装置、１１ 本体枠、１１ａ Ｙ軸枠、１２ 基板搬送ユニット、１４ コンベアユニット、１６ 支持ピン、２０ ＸＹロボット、２２ Ｙ軸スライダ、２２ａ Ｙ軸フレーム、２２ｂ 補強リブ、２３ ガイド、２４ Ｙ軸ガイドレール、２５ ガイド、２６ Ｘ軸スライダ、２８ Ｘ軸ガイドレール、２９ Ｚ軸スライダ、２９ａ 保持部、２９ｂ 係合部、３０ ヘッド、３０ａ 被係合部、３１ ノズル、３２ ノズルホルダ、３３ オートツール、３４ Ｒ軸モータ、３５ θ軸モータ、３６ Ｚ軸モータ、３７ ノズル昇降機構、３８ フレーム、５０ Ｚ軸ガイドレール、５２ ガイド、５４ ケース、５６ 可撓部、６６ パーツカメラ、７０ 部品供給ユニット、７２ リール、７４ フィーダ、７６ コントローラ。

Claims (5)

1. ＸＹロボットと、該ＸＹロボットの一方のスライダにＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたＺ軸スライダと、前記Ｚ軸スライダに搭載されたヘッドと、前記ヘッドにＺ軸方向への移動が可能なように取り付けられたノズルと、を備え、部品供給装置から供給される部品を前記ノズルに吸着して基板の所定位置へ運んで実装する部品実装装置であって、
   前記ＸＹロボットの一方のスライダに搭載された機器に接続され該スライダの動作に追従する第１の配線配管と、
   前記Ｚ軸スライダに搭載された機器に接続され該Ｚ軸スライダの動作に追従する第２の配線配管と、
   前記第１の配線配管の少なくとも一部と前記第２の配線配管の少なくとも一部とがひとまとめにされ、前記ＸＹロボットの一方のスライダの移動方向及び前記Ｚ軸スライダの移動方向に伸縮可能な可撓部と、
   を備えた部品実装装置。
2. 前記可撓部は、該可撓部の一端の真下に他端が位置している状態では中間部分がＵ字状又はＳ字状になっている、
   請求項１に記載の部品実装装置。
3. 前記Ｚ軸スライダは、該Ｚ軸スライダの下部から前記ＸＹロボットの他方のスライダの下方空間を通過して前記Ｚ軸スライダが取り付けられた側とは反対側の空間へ達するケースを備え、
   前記可撓部は、前記反対側の空間において前記ケースから前記他方のスライダの上部までの区間に設けられている、
   請求項１又は２に記載の部品実装装置。
4. 前記可撓部は、前記反対側の空間の所定領域からはみ出すことなく撓むように構成されている、
   請求項３に記載の部品実装装置。
5. 前記所定領域は、前記ＸＹロボットの他方のスライダの構成部材によって囲まれた空間と重複する、
   請求項４に記載の部品実装装置。

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