JPWO2017022074A1 - 位置補正装置、及びこれを備えた電子部品搬送装置 - Google Patents

Abstract

電子部品にかかる物理的なストレスを増加させることなく、電子部品の位置補正に要する時間を短縮することのできる位置補正装置、及びこれを備える電子部品搬送装置を提供する。電子部品搬送装置２に搭載される位置補正装置１は、回転軸１６を時計回り及び反時計回りに回転させるモータ１５と、モータ１５で回転軸中心に回転するベース１４上に形成され、電子部品４よりも拡がり、電子部品４を収納する穴部１１とを備える。穴部１１は、回転軸１６とは偏位した位置に形成され、モータ１５によって一往復回転移動し、当該穴部１１の縁によって内部の電子部品４を所定位置に案内する。

Description

本発明は、電子部品の位置補正を行う位置補正装置、及び電子部品を搬送しながら、各種処理を行い、各種処理のために電子部品を位置補正する電子部品搬送装置に関する。

電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子等がパッケージングされてなり、半導体素子としては、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等が挙げられる。この電子部品は、組み立て及び検査等の各種の処理を経て完成される。半導体素子の場合、組み立て等の前工程と検査等の後工程において、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、分類、及び実装等を経る。電気特性検査の場合、電子部品の電極に検査装置側の端子を接触させて、電流を流し、電圧を印加し、又は信号を入力し、その結果である出力を測定する。

良品の電子部品を得るには、良好な組み立て及び検査等が少なくとも必要である。そのため、各種処理に際し電子部品の位置決めが重要である。例えば、電子部品が正規位置からズレているために電極と端子との接触不良となっていれば、精度の高い電気特性検査は成し得ない。しかしながら、電子部品は、例えば振動によって電子部品を一定の方向及び姿勢に整列させる振動式パーツフィーダ方式によって搬送経路に供給され、吸着ノズルに吸引されて搬送経路を辿りながら各種処理を受けたり、コンベアで移送されながら各種処理を受けたりするため、必ずしも正規位置と合致した姿勢で搬送されるわけではなく、また一貫して正規位置と合致した姿勢を維持し得ない。

そこで、各種処理の直前で位置補正装置によって電子部品の位置を補正することが多い。位置補正装置には、従来より追い込み方式と落とし込み方式がある。追い込み方式では、位置補正のためのステージ上に電子部品を載置し、四方から延びるガイド部によって電子部品をステージ中心に寄せる（特許文献１参照）。この追い込み方式を採用する位置補正装置は、動力源であるモータと、モータの回転を直線運動に変換するカム機構を有し、各ガイド部がカムフォロアと連結される。また、落とし込み方式では、方状凹部を有する穴に電子部品を当てはめることで、穴の内壁によって電子部品を正規位置と合致した姿勢を採るように案内する（特許文献２参照）。

特開２００９−２６９３６号公報 特開２００５−２０３７１１号公報

近年、電気製品の需要は世界規模で増大しており、電子部品の生産速度の一層の向上が要求される。組立工程や検査工程で行われる電子部品の位置補正の処理についても例外ではなく、位置補正に要する時間の更なる短縮が要望されるところである。

追い込み方式を採用する位置補正装置は、モータとガイド部との間にカム機構等の各種の伝達機構を有する。各伝達機構は、一部材の物理的な動作が他部材の物理的な動作に影響を与えることで力の伝達を達成させている。そのため、各部材が固定されずに動作可能とするには、遊び等のある程度の不安定さが必要となる。この不安定さは伝達機構の応答性に限界を生じさせ、応答性を超えた速度で稼働させようとしても、一部材の動作に他部材が追従できなくなり、正しく動力が伝達できない。従って、追い込み方式を採用する位置補正装置において動力源たるモータの回転速度には制限があり、電子部品の位置補正に要する時間の短縮に限界がある。

落とし込み方式を採用する位置補正装置において、方状凹部を有する穴に電子部品を差し込む速さを上げれば、位置補正に要する時間の短縮が可能となる。しかしながら、電子部品は方状凹部に擦れながら位置が補正されるため、差込速度を上げると電子部品にキズが付き易くなってしまう。キズを付けずに位置補正を実行するには、差込速度を制限せざるを得ず、落とし込み方式を採用する位置補正装置においても位置補正に要する時間の短縮に限界がある。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、電子部品にかかる物理的なストレスを増加させることなく、電子部品の位置補正に要する時間を短縮することのできる位置補正装置、及びこれを備える電子部品搬送装置を提供することを目的とする。

本発明に係る位置補正装置は、電子部品の位置補正装置であって、回転軸を回転させるモータと、前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、を備え、前記穴部は、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、前記モータによって移動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定位置に案内すること、を特徴とする。

前記モータは、回転軸を時計回り及び反時計回りに回転させ、前記ベースは、時計回り及び反時計回りに回転し、前記穴部は、前記モータによって遥動するようにしてもよい。

前記穴部は、前記電子部品の対向両辺を案内する両縁が、当該対向両辺のなす角度よりも所定角度分だけ開き、前記電子部品の一方の対向辺を案内する一方の縁は、前記モータによる時計回りの回転により、正規位置の前記電子部品が占める領域を画する一辺に倣い、前記電子部品の他方の対向辺を案内する他方の縁は、前記モータによる反時計回りの回転により、正規位置の前記電子部品が占める領域の前記一辺との対向辺に倣うようにしてもよい。

前記穴部は、前記ベースを貫通して形成され、前記ベースの下層に位置し、前記穴部の底面を形成するとともに、位置不動のステージを更に備えるようにしてもよい。

前記穴部は、縁と底面とが一体であり、回転移動によって前記電子部品を慣性によって前記底面を滑らせて前記縁と当接させるようにしてもよい。

前記穴部は、角と、前記電子部品の辺に当接するとともに、前記角と接する２つの縁とを有し、前記角には、前記穴部を拡張して成る異物溜めを有するようにしてもよい。

また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記電子部品に対して各種処理を行う各種の処理ユニットと、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記処理ユニットのために、前記電子部品の位置補正を行う位置補正ユニットと、を備え、前記位置補正ユニットは、回転軸を回転させるモータと、前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、を含み、前記穴部は、前記搬送経路の直下であり、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、前記保持手段によって前記電子部品が内部に差し込まれ、前記モータによって移動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定位置に案内すること、を特徴とする。

前記保持手段は、前記電子部品を前記穴部の底面から浮かせたまま、保持を維持し、前記穴部は、当該穴部の縁によって前記電子部品を前記保持手段に対してシフトさせることで、前記所定位置に案内するようにしてもよい。

本発明によれば、電子部品の位置補正の際、穴部を遥動させればよいので、モータの回転を伝達したり、力の方向へ変換したりするための伝達機構の点数を減らすことができるので、穴部が遥動動作する応答性は非常に高く、位置補正に要する時間を短縮することができる。

第１の実施形態に係る位置決め装置の斜視図である。 第１の実施形態に係る穴部を開口側から見た平面図である。 第１の実施形態に係る穴部の第１番目の動作過程を示す平面図である。 第１の実施形態に係る穴部の第２番目の動作過程を示す平面図である。 第１の実施形態に係る穴部の第３番目の動作過程を示す平面図である。 第１の実施形態に係る穴部の第４番目の動作過程を示す平面図である。 第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の上面図である。 第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の側面図である。 第２の実施形態に係る電子部品搬送装置において穴部に電子部品を差し入れた際の状態を示す断面図である。 第２の実施形態に係る電子部品搬送装置において穴部による電子部品の案内の態様を示す断面図である。 第３の実施形態に係る位置決め装置の穴部付近の断面図である。

以下、本発明に係る位置補正装置及びこれを備えた電子部品搬送装置の第１乃至第３の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

（第１の実施形態）
（位置補正装置）
図１に示すように、第１の実施形態に係る位置補正装置１は、保持部２２に保持されて搬送経路２１を辿る電子部品４を正しい姿勢に補正する。正しい姿勢は、搬送経路２１中で各処理を実行する際に、電子部品４が正しい位置及び向きで処理ステージに置かれるように予め採られる保持部２２との位置関係である。保持部２２と処理ステージは予め位置決めがされており、位置補正装置１は、電子部品４の中心と保持部２２の中心とを合わせ、電子部品４の向きを規定方向に補正する。これにより、保持部２２が電子部品４を処理ステージに運ぶと、電子部品４が正しい位置及び向きで処理ステージに載置される。

電子部品４は、０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）又は０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）等の４隅が直角の正方形又は長方形を有する。保持部２２は、電子部品４を保持して搬送経路２１を移動するユニットであり、例えば吸着ノズル、静電チャック、ベルヌーイチャック又は機械的なチャックであり、吸引力、静電力又は物理的な係合によって電子部品４を保持し、他装置による外力を受けて搬送経路２１を移動する。

位置補正装置１は、穴部１１を搬送経路２１の直下に備え、電子部品４を保持部２２から一時的に受け取って穴部１１に収容する。穴部１１は、直上の搬送経路２１に向く開口を有し、電子部品４よりも大きな面積で拡がり、有底である。この穴部１１は電子部品４を収容して、深さと直交する水平方向に移動する。

電子部品４は、遥動する穴部１１内で慣性の法則に従って滑り、穴部１１の縁に案内されて電子部品４の正規位置１２に寄せられる（図２参照）。正規位置１２は、正しい姿勢を採る電子部品４を穴部１１に向けて投影した領域であり、電子部品４に対応して４隅が直角で対向辺が平行な矩形である。穴部１１は、電子部品４と当接する各縁が揺動の結果として個別に正規位置１２の対応辺に沿うように、設置箇所、形状及び移動範囲が調整されている。そのため、縁による案内過程で、電子部品４が正規位置１２に補正される。電子部品４を寄せる過程では、電子部品４の辺が穴部１１の縁に沿って適合し、電子部品４の向きも矯正される。

この位置補正装置１は、平面を搬送経路２１に向けた円筒状のベース１４と、当該ベース１４を回転させるモータ１５を備える。ベース１４は、モータ１５の回転軸１６に平面を直交させて軸支されている。穴部１１は、ベース１４の平面に形成され、開口を搬送経路２１側へ向けている。穴部１１は、ベース１４の平面に直立する４つのブロック１３を一領域を囲むように組むことで、ブロック１３に囲まれた空間として形成されてもよいし、ベース１４の平面に凹設されてもよい。

図２に示すように、穴部１１は、回転軸１６から偏位した位置に形成されている。モータ１５は、ベース１４を移動させる。そのため、穴部１１も回転軸１６を中心にして移動する。穴部１１は、電子部品４の正規位置１２の領域を含み、遥動によっても常に正規位置１２が完全に包含されるように各所が拡大されている。

電子部品４は、正規位置１２から回転軸１６の時計回り方向に位置ズレしている可能性もあるし、反時計回り方向に位置ズレしている可能性もある。モータ１５がベース１４を反時計回り方向に回転させると、穴部１１は、反時計回りに回転移動し、時計回り方向に位置ズレしている電子部品４を正規位置１２に倣わせる。モータ１５がベース１４を時計回り方向に回転させると、穴部１１は、時計回りに回転移動し、反時計回り方向に位置ズレしている電子部品４を正規位置１２に倣わせる。

位置補正装置１は、電子部品４が時計回り方向又は反時計回り方向の一方に位置ズレしていることが予め認識可能な場合、電子部品４の位置ズレ方向と反対側に穴部１１を回転移動させればよい。例えば、位置補正装置１は、電子部品４の位置ズレが検出可能なカメラ等を備え、電子部品４の位置ズレ方向と反対側に穴部１１を回転移動させる。

また、モータ１５が時計回り及び反時計回りにベース１４を回転させることで、穴部１１を往復遥動させるようにしてもよい。電子部品４の位置ズレ方向を検出せずに、電子部品４を正規位置１２に倣わせることができる。

この穴部１１は、電子部品４の四方各辺に対応する４つの縁１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄを少なくとも有する。縁１１ａと１１ｂの組と縁１１ｃと１１ｄの組とは、正規位置１２を挟んで向かい合っている。その他の縁は、電子部品４の邪魔にならない程度に正規位置１２から離れた位置に後退している。すなわち、穴部１１は、四角形以上の多角形形状を有する。４つの縁以外は湾曲部分を備えていてもよい。

まず、穴部１１は、一箇所の角１１ｅに接する第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂを有する。また、穴部１１は、角１１ｅから穴部１１の中心を通って対角に位置する他箇所の角１１ｆに接する第３の縁１１ｃと第４の縁１１ｄを有する。角１１ｅ、１１ｆは直角である。第１の縁１１ａと第３の縁１１ｃは、回転軸１６から離れる方向に平行よりも所定角度αだけ開いている。また、第２の縁１１ｂと第４の縁１１ｄも、平行よりも所定角度αだけ開いている。

穴部１１は、反時計回りに旋回すると、第１の縁１１ａが正規位置１２の一辺ａｂと一致し、時計回りに旋回すると、第３の縁１１ｃが正規位置１２の一辺ａｂと対向する辺ｃｄと一致するように、向き及び大きさが調整されている。換言すると、穴部１１は、反時計回りに旋回すると、第２の縁１１ｂが正規位置１２の辺ａｄと一致し、時計回りに旋回すると、第４の縁１１ｄが正規位置１２の辺ｂｃと一致するように、向き及び大きさが調整されている。

また、この穴部１１は、電子部品４と当接する縁の隅、例えば第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂとが突き合わされて成る角１１ｅに異物溜め１１ｇを備えている。異物溜め１１ｇは、塵や埃等の電子部品４とは異なる異物を捕獲する空間であり、穴部１１を広げるように、電子部品４と当接する縁の隅を拡張して形成される。この異物溜め１１ｇは、第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂとが突き合わされる角１１ｅ、第３の縁１１ｃと第４の縁１１ｄとが突き合わされる角１１ｆ、又はその両方に形成することができる。

このような位置補正装置１の具体的な動作を図３乃至図６に基づき説明する。図３に示すように、穴部１１は、第１の縁１１ａが正規位置１２の一辺ａｂから時計回りに角度βだけ旋回した位置を初期状態とする。角度β＜角度αである。角度βだけ旋回させておくのは、位置がズレた電子部品４が穴部１１の縁に衝突せずに収納可能とするためである。この初期状態では、穴部１１の各縁１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄは正規位置１２から離れている。そのため、電子部品４は、穴部１１の縁と接触することなく、穴部１１内に迎え入れられる。

次に、図４に示すように、モータ１５は、穴部１１の初期状態から、第１の縁１１ａが正規位置１２の一辺ａｂと一致する角度βだけ反時計回りに穴部１１を旋回させる。このとき、電子部品４が時計回り方向に正規位置１２から偏位している場合、電子部品４は穴部１１内を滑り、迫り来る第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂに当接し、更に旋回する第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂによって正規位置１２へ押し込まれる。

更に、図５に示すように、モータ１５は、第３の縁１１ｃが正規位置１２の対向辺ｃｄと一致するように、第１の縁１１ａと第３の縁１１ｃの開き角度αだけ時計回りに穴部１１を旋回させる。このとき、電子部品４が反時計回り方向に正規位置１２から偏位している場合、電子部品４は穴部１１内を滑り、迫り来る第３の縁１１ｃと第４の縁１１ｄに当接し、更に旋回する第３の縁１１ｃと第４の縁１１ｄによって正規位置１２へ押し込まれる。

そして、図６に示すように、モータ１５は、穴部１１を初期状態に戻すように、反時計回りに角度（α−β）分だけ穴部１１を回転させ、正規位置１２の電子部品４と穴部１１の第３の縁１１ｃ及び第４の縁１１ｄとの係わり合いを解除する。この後、保持部２２によって電子部品４は再度保持され、穴部１１から離脱する。

この一連の駆動の際、穴部１１に異物が存在していれば、異物は第１の縁１１ａと第２の縁１１ｂによって異物溜め１１ｇに案内され、異物溜め１１ｇに貯留される。そのため、異物は、電子部品４の正規位置１２から取り除かれており、次に収納される電子部品４に付着することが抑止されている。

（電子部品搬送装置）
このような位置補正装置１を備える電子部品搬送装置について説明する。図７は、電子部品搬送装置の上面図であり、図８は電子部品搬送装置の側面図である。

図７及び８に示す電子部品搬送装置２は、保持部２２を備え、電子部品４を搬送する。この電子部品搬送装置２は、ターンテーブル２３と、当該ターンテーブル２３を間欠回転させるダイレクトドライブモータ２４を有する。保持部２２は、ターンテーブル２３の外周に沿って円周等配位置で複数取り付けられている。搬送経路２１は、このターンテーブル２３の回転により形成され、換言すると、ターンテーブル２３の回転による保持部２２の移動軌跡である。保持部２２の配置間隔とターンテーブル２３の１ピッチの回転角度は等しく、全ての保持部２２が各角度の同一停止位置に順番に停止する。

保持部２２は、ターンテーブル２３の広がり平面に対して直交した軸を有し、ターンテーブル２３から下方に垂れ下げられている。ターンテーブル２３は、外縁に軸受けを有し、保持部２２は、この軸受けに上下動可能に支持されている。保持部２２は、例えば吸着ノズルである。吸着ノズルは、内部が中空のパイプである。パイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズルによりなる保持部２２は、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品４を吸着し、真空破壊によって電子部品４を離脱させる。

位置補正装置１は、保持部２２の停止位置の直下に穴部１１が位置するように、ターンテーブル２３の外縁直下に設置される。搬送経路２１を挟んで穴部１１と反対側には、進退駆動部２５が設けられている。進退駆動部２５は、保持部２２を下方に押し出すロッド２５ｂと、このロッド２５ｂに推力を付与するアクチュエータ２５ａを備えている。進退駆動部２５は、アクチュエータ２５ａを作動させてロッド２５ｂを保持部２２に向けて前進させることでロッド２５ｂの先端と保持部２２の後端とを当接させ、更にロッド２５ｂを前進させることで、保持部２２を穴部１１へ向けて移動させる。尚、進退駆動部２５は、保持部２２を上方へ付勢する圧縮バネ２５ｃを更に備えており、アクチュエータ２５ａによるロッド２５ｂへの推力付与が解除されると、圧縮バネ２５ｃが保持部２２を上方へ押し戻す。

ターンテーブル２３の周りには、位置補正装置１のほか、各種の処理ユニット３が保持部２２の停止位置に配置される。処理ユニット３としては、例えば位置補正装置１よりも搬送方向下流に配置されたテストユニット、パーツフィーダ、マーキングユニット、外観検査ユニット、分類ソートユニット、テーピングユニット、不良品排出ユニット等が挙げられる。

テストユニットは、電子部品４への通電用に接触子を備えている。位置補正装置１によって電子部品４と保持部２２との位置関係が適正に補正された状態では、電子部品４の電極が接触子に接触する。このテストユニットは、接触子を介して電子部品４に電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品４の電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する。

パーツフィーダは、電子部品搬送装置２に電子部品４を供給する装置である。このパーツフィーダは、例えば、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、ターンテーブル２３の外周端直下の搬送経路２１終端まで多数の電子部品４を整列させて連続的に搬送する。

マーキングユニットは、電子部品４に臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品４に照射してマーキングを行う。位置補正装置１によって保持部２２との位置関係が適正に補正された電子部品４に対し、正しい位置及び範囲にマーキングが行われる。外観検査ユニットは、カメラを有し、電子部品４を撮影し、画像から電子部品４の電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。分類ソートユニットは、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品４を不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。テーピングユニットは、良品と判定された電子部品４を収納する。不良品排出ユニットは、テーピング梱包されなかった電子部品４を電子部品搬送装置２から排出する。

この電子部品搬送装置２では、パーツフィーダから供給された電子部品４を保持部２２で保持し、各処理ユニット３を巡って電子部品４を搬送経路２１に沿って搬送する。電子部品４を保持した保持部２２が位置補正装置１の直上に到達して停止すると、進退駆動部２５が保持部２２を位置補正装置１に向けて押し出す。保持部２２は、進退駆動部２５によって穴部１１に向けて下降し、穴部１１に電子部品４を差し入れると、電子部品４を穴部１１内に離脱させる。保持部２２が吸着ノズルの場合、真空破壊又は大気破壊によって吸引力を解除すると、電子部品４は穴部１１の底部に載置される。

穴部１１に電子部品４を収容すると、位置補正装置１は、穴部１１を一往復遥動させることで、電子部品４を正規位置１２に合わせる位置補正を行う。位置補正が完了すると、保持部２２は穴部１１内の電子部品４を保持する。保持部２２が吸着ノズルの場合、真空発生装置により吸着ノズルの先端で電子部品４を吸引する。進退駆動部２５は、電子部品４を保持した保持部２２に対し、ロッド２５ｂによる推進力を解除し、圧縮バネ２５ｃの付勢力を発揮させることで、位置補正された電子部品４を保持した保持部２２を上昇させる。

位置補正された電子部品４は、位置補正装置１を経た後、テストユニット、マーキングユニット、外観検査ユニット、分類ソートユニット及びテーピングユニットを巡ることとなる。この際、保持部２２との位置関係が適正に補正された電子部品４は、テストユニット等の処理ユニット３との位置関係も適正に保たれ、信頼性のある処理が行われる。

（作用効果）
以上のように、位置補正装置１は、回転軸１６を時計回り及び反時計回りに回転させるモータ１５と、モータ１５で回転軸１６中心に回転するベース１４上に形成され、電子部品４よりも拡がり、電子部品４を収納する穴部１１とを備える。穴部１１は、回転軸１６とは偏位した位置に形成され、モータ１５によって一往復遥動し、当該穴部１１の縁によって内部の電子部品４を所定位置に案内するようにした。

この位置補正装置１は、穴部１１を一往復回転移動させれば足りるので、力を伝達したり、力の方向を変換したりする複数段の伝達機構を、穴部１１が形成されたベース１４とモータ１５との間に多数設ける必要はない。そのため、穴部１１が遥動動作する応答性は非常に高くなり、穴部１１を高速に遥動動作させることが可能となる。従って、この位置補正装置１によれば、位置補正に要する時間を短縮することが可能となる。

また、穴部１１は、電子部品４の対向両辺を案内する両縁が、当該対向両辺のなす角度よりも所定角度分だけ開いているようにした。そして、電子部品４の一方の対向辺を案内する一方の縁は、モータ１５による時計回りの回転により、正規位置１２の前記電子部品４が占める領域を画する一辺に倣い、また、電子部品４の他方の対向辺を案内する他方の縁は、モータ１５による反時計回りの回転により、正規位置１２の電子部品４が占める領域の前記一辺との対向辺に倣うようにした。これにより、電子部品４の位置及び向きを精度よく位置補正することができる。

また、穴部１１は、電子部品４の辺に当接する２つの縁が接する角１１ｅに、穴部１１を拡張して成る異物溜め１１ｇを有するようにした。これにより、穴部１１内の異物は異物溜め１１ｇに案内され、電子部品４に付着することを防止できる。

（第２の実施形態）
（電子部品搬送装置）
第２の実施形態に係る電子部品搬送装置２について図面を参照しつつ詳細に説明する。位置補正装置１及び電子部品搬送装置２につき、第１の実施形態と同一構成及び同一機能については同一符号を付して詳細な説明を省略する。

図９に示すように、進退駆動部２５による下降力が解除された保持部２２と穴部１１の底面との間の距離をＤ１とし、電子部品４の厚みをＴ１とする。進退駆動部２５は、電子部品４を穴部１１に収納する際、保持部２２を距離（Ｄ１−Ｔ１−Ｄ２）だけ下降させる。穴部１１の深さをＤ３とすると、０＜Ｄ２≦Ｄ３であり、Ｄ２は零超且つ穴部１１の深さ以内である。

また、保持部２２は、位置補正装置１による電子部品４の位置補正の際、電子部品４を保持したままにする。保持部２２が吸着ノズルである場合、保持部２２は吸引力を維持しておく。すなわち、穴部１１に収納された電子部品４は、穴部１１の底面に着地せずに内部で中に浮いた状態を維持する。位置補正装置１は、電子部品４が穴部１１の内部で中に浮いた状態で、穴部１１を一往復遥動させ、電子部品４の位置補正を行う。

図１０に示すように、穴部１１は、電子部品４に縁を当てることにより、吸引力や静電力等の保持力が働く方向と直交する水平方向に移動力を与える。この移動力により、電子部品４を保持部２２に対して水平にシフトさせ、電子部品４を正規位置１２に合わせるように移動させる。ここで、保持部２２による電子部品４の保持力をＮ、保持部２２と電子部品４との間に働く摩擦力をμＮ、電子部品４に対して穴部１１の縁が与える移動力をＦとする。

このとき、保持部２２及び穴部１１を旋回させるモータ１５において、保持力Ｎ及び移動力Ｆは、μＮ＜Ｆとなり、且つ位置補正の際に電子部品４が保持部２２から脱落しない程度に調整される。保持力Ｎは、搬送経路２１に沿った移動中を含めて一定としてもよいし、位置補正の際にのみμＮ＜Ｆとなるように変更されてもよい。

このように、この電子部品搬送装置２では、保持部２２は、電子部品４を穴部１１の底面から浮かせたまま、保持を維持する。そして、穴部１１は、当該穴部１１の縁によって電子部品４を保持部２２に対してシフトさせることで、所定位置に案内するようにした。これにより、穴部１１の底面と電子部品４とは係わり合いがなく、電子部品４を穴部１１から取り出す際に穴部１１を初期状態に戻したとしても、位置補正した電子部品４が再度ズレてしまう虞がなく、精度の高い位置補正が可能となる。

尚、第１の実施形態にように電子部品４を穴部１１の底面に載置し、慣性の法則に従って滑らせる場合、電子部品４を穴部１１の内部であって、底面に接触しない状態に降ろす必要がないため、電子部品４を穴部１１内に収納するための保持部２２の制御が簡便である。従って、電子部品４の重量等を鑑みて、第１の実施形態又は第２の実施形態の態様を選択すればよい。

（第３の実施形態）
（位置補正装置）
第３の実施形態に係る位置補正装置１について図面を参照しつつ詳細に説明する。位置補正装置１及び電子部品搬送装置２につき、第１の実施形態と同一構成及び同一機能については同一符号を付して詳細な説明を省略する。

図１１は、位置補正装置１が備える穴部１１付近の断面図である。図１１に示すように、穴部１１はベース１４を貫通して形成される。穴部１１は、両面が開口し、縁のみを有する底無しである。位置補正装置１は、ベース１４が上面に積層されるステージ１７を有する。穴部１１の底面は、このステージ１７によって形成される。モータ１５の回転軸１６は、ステージ１７に遊貫されてベース１４まで延設され、ベース１４と接続される。ステージ１７とモータ１５の回転軸１６とは非接触である。すなわち、ベース１４はモータ１５によってステージ１７上を摺動回転する。一方、ステージ１７は不動である。

この位置補正装置１によると、穴部１１の縁が電子部品４に当接するまでは電子部品４は静止した状態となる。電子部品４は、穴部１１の縁に押されてステージ１７の表面を滑り、正規位置１２に案内される。

このように、この位置補正装置１では、穴部１１はベース１４を貫通して形成される。ベース１４の下層には位置不動のステージ１７を配置し、このステージ１７によって穴部１１の底面を形成する。すなわち、穴部１１が遥動しても電子部品４が載置されるステージ１７は不動となる。これにより、穴部１１の底面と電子部品４とは係わり合いがなく、電子部品４を穴部１１から取り出す際に穴部１１を初期状態に戻したとしても、位置補正した電子部品４が再度ズレてしまう虞がなく、精度の高い位置補正が可能となる。

（他の実施形態）
以上のような電子部品搬送装置２においては、ターンテーブル２３を用いた回転搬送方式の他、直線搬送方式や、複数のターンテーブル２３で一の搬送経路２１を構成するようにしてもよい。また、位置補正装置１を有するものであれば、上記した種類の処理ユニット３に限られず、その他の種類の工程処理を実施するユニットと置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。

また、この位置補正装置１は、矩形の電子部品４に限らず、各種多角形の電子部品４に対応可能である。穴部１１の形状は、電子部品４の一辺と他の一辺とのなす角度よりも、それら各辺と対応する各縁のなす角度を所定角度だけ開くようにすれよく、偏位した穴部１１の遥動により正規位置１２に寄せることが可能である。

１ 位置補正装置
１１ 穴部
１１ａ 第１の縁
１１ｂ 第２の縁
１１ｃ 第３の縁
１１ｄ 第４の縁
１１ｅ 角
１１ｆ 角
１１ｇ 異物溜め
１２ 正規位置
１３ ブロック
１４ ベース
１５ モータ
１６ 回転軸
１７ ステージ
２ 電子部品搬送装置
２１ 搬送経路
２２ 保持部
２３ ターンテーブル
２４ ダイレクトドライブモータ
２５ 進退駆動部
２５ａ アクチュエータ
２５ｂ ロッド
２５ｃ 圧縮バネ
３ 処理ユニット
４ 電子部品

本発明に係る位置補正装置は、電子部品の位置補正装置であって、回転軸を回転させるモータと、前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、を備え、前記モータは、回転軸を時計回り及び反時計回りに回転させ、前記ベースは、時計回り及び反時計回りに回転し、 前記穴部は、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、前記モータによって揺動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定の正規位置に案内するものであって、前記電子部品の対向両辺を案内する穴部の両縁は、当該対向両辺のなす角度よりも所定角度α分だけ開き、前記電子部品の一方の対向辺を案内する一方の縁は、前記モータによる時計回りの回転により、前記正規位置の一辺に倣い、前記電子部品の他方の対向辺を案内する他方の縁は、前記モータによる反時計回りの回転により、前記正規位置の前記一辺との対向辺に倣うこと、を特徴とする。

前記穴部は、電子部品を収納する前及び離脱させる前には、前記電子部品の一方の対向辺を案内する一方の縁が、案内する前記正規位置の一辺から所定角度β分だけ回転した状態であり、前記所定角度β＜前記所定角度αにしてもよい。

また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記電子部品に対して各種処理を行う各種の処理ユニットと、前記搬送経路上の一地点に配置され、前記処理ユニットのために、前記電子部品の位置補正を行う位置補正ユニットと、を備え、前記位置補正ユニットは、回転軸を回転させるモータと、前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、を含み、前記穴部は、前記搬送経路の直下であり、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、前記保持手段によって前記電子部品が内部に差し込まれ、前記モータによって移動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定の正規位置に案内するものであって、前記電子部品の対向両辺を案内する穴部の両縁は、当該対向両辺のなす角度よりも所定角度α分だけ開き、前記電子部品の一方の対向辺を案内する一方の縁は、前記モータによる時計回りの回転により、前記正規位置の一辺に倣い、前記電子部品の他方の対向辺を案内する他方の縁は、前記モータによる反時計回りの回転により、前記正規位置の前記一辺との対向辺に倣うこと、を特徴とする。

Claims (8)

1. 電子部品の位置補正装置であって、
   回転軸を回転させるモータと、
   前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、
   前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、
   を備え、
   前記穴部は、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、前記モータによって移動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定位置に案内すること、
   を特徴とする位置補正装置。
2. 前記モータは、回転軸を時計回り及び反時計回りに回転させ、
   前記ベースは、時計回り及び反時計回りに回転し、
   前記穴部は、前記モータによって遥動すること、
   を特徴とする請求項１記載の位置補正装置。
3. 前記穴部は、前記電子部品の対向両辺を案内する両縁が、当該対向両辺のなす角度よりも所定角度分だけ開き、
   前記電子部品の一方の対向辺を案内する一方の縁は、前記モータによる時計回りの回転により、正規位置の前記電子部品が占める領域を画する一辺に倣い、
   前記電子部品の他方の対向辺を案内する他方の縁は、前記モータによる反時計回りの回転により、正規位置の前記電子部品が占める領域の前記一辺との対向辺に倣うこと、
   を特徴とする請求項２記載の位置補正装置。
4. 前記穴部は、前記ベースを貫通して形成され、
   前記ベースの下層に位置し、前記穴部の底面を形成するとともに、位置不動のステージを更に備えること、
   を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の位置補正装置。
5. 前記穴部は、縁と底面とが一体であり、回転移動によって前記電子部品を慣性によって前記底面を滑らせて前記縁と当接させること、
   を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の位置補正装置。
6. 前記穴部は、角と、前記電子部品の辺に当接するとともに、前記角と接する２つの縁とを有し、
   前記角には、前記穴部を拡張して成る異物溜めを有すること、
   を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の位置補正装置。
7. 電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
   前記電子部品の搬送経路と、
   前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、
   前記搬送経路上の一地点に配置され、前記電子部品に対して各種処理を行う各種の処理ユニットと、
   前記搬送経路上の一地点に配置され、前記処理ユニットのために、前記電子部品の位置補正を行う位置補正ユニットと、
   を備え、
   前記位置補正ユニットは、
   回転軸を回転させるモータと、
   前記回転軸に軸支され、前記モータによって回転するベースと、
   前記ベース上に形成され、前記電子部品よりも拡がり、電子部品を収納する穴部と、
   を含み、
   前記穴部は、
   前記搬送経路の直下であり、前記回転軸とは偏位した位置に形成され、
   前記保持手段によって前記電子部品が内部に差し込まれ、
   前記モータによって移動し、当該穴部の縁によって内部の前記電子部品を所定位置に案内すること、
   を特徴とする電子部品搬送装置。
8. 前記保持手段は、
   前記電子部品を前記穴部の底面から浮かせたまま、保持を維持し、
   前記穴部は、当該穴部の縁によって前記電子部品を前記保持手段に対してシフトさせることで、前記所定位置に案内すること、
   を特徴とする請求項７記載の電子部品搬送装置。

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