JP3214100U

JP3214100U - 測定装置、及び分類装置

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Publication number: JP3214100U
Application number: JP2017004593U
Authority: JP
Inventors: 威山内
Original assignee: ワイエイシイガーター株式会社
Priority date: 2017-10-06
Filing date: 2017-10-06
Publication date: 2017-12-21
Anticipated expiration: 2027-10-06
Also published as: TWM574694U; CN109633486A; CN209296895U

Abstract

【課題】電子部品の特性を測定する装置において、測定値を安定させる。【解決手段】測定装置１００は、裏面に端子を有する電子部品を載せることで塞がれる貫通孔を含む搬送台１０と、通電孔ｈ１を通じて発光素子Ｌの端子に接触することで通電するプローブ４０と、搬送台から離間する第１位置と、電子部品が収まる閉空間Ｃを搬送台と共に形成する第２位置との間を移動可能な閉空間形成手段３０と、閉空間Ｃ内の気圧が貫通孔内の気圧よりも高くなるように閉空間内に気体を注入する注入部８０と、を有する。【選択図】図３

Description

本考案は、測定装置、及び測定装置を含む分類装置に関する。

従来、発光素子などの電子部品の特性を測定し、測定結果に応じて電子部品を分類する装置が知られている。このような装置において、発光素子を載せる測定台に形成される孔を通じて、発光素子の端子にプローブを接触することで通電し、発光素子の光学特性を測定するものがある。プローブを発光素子の端子に接触させる際に、プローブの押圧力により発光素子の位置ずれが生じないよう、何らかの工夫を施す必要がある。そこで、例えば、特許文献１においては、プローブが接触する方向の反対側から発光素子の発光面の縁部分を押さえ込むことにより、発光素子の位置ずれを抑制している。

特開２００５−２３３６６３号公報

しかしながら、近年、発光素子の微少化が進んでおり、そのような発光素子においては発光面の縁部分の面積が小さく、位置ずれが生じないよう縁部分を押さえつけることが困難な場合がある。また、発光面の縁部分を押さえつける部材が発光面に重なり、光学特性の測定値が不安定になるという問題も生じうる。

本考案は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、電子部品の特性を測定する装置において、測定値を安定させることである。

上記課題を解決するため、本考案の測定装置は、裏面に端子を有する電子部品を載せることで前記電子部品に塞がれる貫通孔を含む１以上の孔が設けられる測定台と、少なくとも１の前記孔を通じて前記端子に接触することで通電するプローブと、前記測定台から離間する第１位置と、前記電子部品が収まる閉空間を前記測定台と共に形成する第２位置との間を移動可能な閉空間形成手段と、前記閉空間内の気圧が前記貫通孔内の気圧よりも高くなるように前記閉空間内に気体を注入する注入手段と、を有する。

また、本考案の一態様において、前記電子部品は発光素子であり、前記閉空間を形成する壁のうち前記閉空間内に収まる前記発光素子の発光面と対向する壁は、光を透過する光透過部材からなり、前記光透過部材を介して、前記発光素子からの光を受光する受光手段を有する。

また、本考案の一態様において、前記プローブが前記端子に接触しない非通電位置から前記端子に接触する通電位置に移動する前に、前記閉空間内に気体を注入するよう前記注入手段を制御する制御手段を有する。

また、本考案の一態様において、前記測定台は、複数の前記電子部品を載せて、前記電子部品の測定を行う測定位置へ前記電子部品を順次搬送するように間欠回転する搬送台であり、前記制御手段は、前記搬送台により前記測定位置に搬送された前記電子部品を、前記閉空間に収めるように前記閉空間形成手段を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させる制御を行う。

また、本考案の一態様において、前記１以上の孔は、吸引孔を含み、前記吸引孔内の気圧を小さくすることで、前記電子部品を前記測定台に対して引きつける吸引手段を有する。

また、本考案の一態様において、前記プローブが前記端子に接触する際に挿通される前記孔は、前記貫通孔である。

また、本考案の一態様において、前記閉空間内の気圧により前記電子部品に加わる力は、前記貫通孔内の気圧により前記電子部品に加わる力と、前記プローブが前記端子に接触することにより前記電子部品に加わる力との合計よりも大きい。

また、本考案の一態様において、前記閉空間形成手段と前記測定台との間に、前記閉空間を密閉するシール部材を有する。

また、本考案の分類装置は、少なくとも、前記測定装置と、前記測定装置による前記電子部品の特性に関する測定結果に応じて前記電子部品を分類する分類部と、を含む。

本考案によると、電子部品の特性を測定する装置において、測定値を安定させることができる。

本実施形態に係る分類装置の全体構成の概要を模式的に示す上面図である。本実施形態に係る測定装置の断面及びブロック構成の概要を模式的に示す図である。本実施形態に係る測定装置の断面及びブロック構成の概要を模式的に示す図である。ガラス保持部を示す斜視図である。搬送台に載せられる発光素子を拡大して示す拡大上面図である。図５のＶＩ−ＶＩ線で切断した測定装置の断面を示す断面図である。光学特性の測定を行う際の制御部の動作を示すフロー図である。

図面を参照しつつ、本考案の実施形態（以下、本実施形態という）に係る分類装置について説明する。

まず、図１を参照して、本実施形態に係る分類装置１の構成の概要について説明する。図１は、本実施形態に係る分類装置の全体構成の概要を模式的に示す上面図である。分類装置１は、発光素子などの電子部品の特性を測定し、その結果に応じて電子部品を分類する装置である。

分類装置１は、発光素子Ｌを載せて、所定の角度で図中のＲ方向に間欠回転する搬送台１０を含む。搬送台１０は、円盤形状であり、その縁の沿うように複数の発光素子Ｌを載せる。また、搬送台１０は、間欠回転することにより、複数の発光素子Ｌを、図１に示す、供給部１１、位置調整部１２、特性測定部１３、有無検査部１４、分類部１５へ順次搬送する構成となっている。そして、搬送された発光素子Ｌに対して、各部において各処理が行われる。なお、発光素子Ｌは、発光面を表面として、搬送台１０に載せられており、発光面の裏面に端子を有する。

供給部１１においては、例えば、ダイシングされた発光素子Ｌが貼り付けられたシートから、搬送台１０へと発光素子Ｌが供給される。位置調整部１２においては、後述の特性測定部１３における光学特性の測定に先立って、供給部１１から供給されて搬送台１０上に載せられた発光素子Ｌの位置調整が行われる。位置調整は、例えば、搬送台１０により搬送される発光素子Ｌが接触するガイド部材等を設けることにより行うとよい。

特性測定部１３においては、発光素子Ｌの光学特性の測定が行われる。詳細については後述する。

有無検査部１４においては、発光素子Ｌが搬送台１０から落下する等何らかの不具合が生じていないか否か、すなわち発光素子Ｌが正規の位置に存在するか否かが検査される。分類部１５においては、特性測定部１３における測定結果に応じて発光素子Ｌが分類される。例えば、輝度の大きさをランク付けし、ランクに応じて発光素子Ｌを複数のグループに分類するとよい。分類された発光素子Ｌはダイシングシートに貼り付けられて、搬送台１０から次の処理を行う工程へと送られるとよい。また、分類部１５の下流に設けられる排出部１６が、何らかの不具合により搬送台１０上に残ってしまった発光素子Ｌを搬送台１０から取り除くとよい。これにより、供給部１１により発光素子Ｌが供給される際に、供給先の搬送台１０上に、既に測定済みの発光素子Ｌが残ってしまっていることを防止することができる。

なお、図１に示す分類装置１は一例であって、これに限られるものではない。すなわち、上述した処理以外の処理を発光素子Ｌに対して行うための構成を追加したり、上述した処理を行う構成の一部を省略したり、処理内容を適宜変更しても構わない。

次に、図１〜図６を参照して、本実施形態に係る分類装置１に含まれる測定装置１００について説明する。図２は、本実施形態に係る測定装置の断面及びブロック構成の概要を模式的に示す図であって、発光素子の光学特性の測定前後の状態を示す図である。図３は、本実施形態に係る測定装置の断面及びブロック構成の概要を模式的に示す図であって、発光素子の光学特性の測定中の状態を示す図である。図４は、ガラス保持部を示す斜視図であって、ガラス保持部がガラスを保持する前の状態を示す図である。図５は、搬送台に載せられる発光素子を拡大して示す拡大上面図である。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線で切断した測定装置の断面を示す断面図である。

測定装置１００は、図１で示した特性測定部１３に配置され、発光素子Ｌの光学特性を測定するための装置である。具体的には、測定装置１００は、搬送台１０に載せられる発光素子Ｌにプローブ４０を接触することで給電して発光素子Ｌを発光させ、発光素子Ｌからの光を受光部９０で受光し、発光素子Ｌの光学特性を測定するものである。ここで。光学特性とは、発光素子Ｌの輝度や発光面積等である。以下、さらに詳細について説明する。

測定装置１００は、図２、図３に示すように、発光素子Ｌが載せられる搬送台１０と、制御部２０と、閉空間形成手段３０と、プローブ４０と、第１昇降機構５０と、第２昇降機構６０と、給電部７０と、注入部８０と、受光部９０を含む。

搬送台１０は、図１を参照して上述したように、円盤形状であり、間欠回転することにより、搬送台１０の縁に沿うように載せられる複数の発光素子Ｌを特性測定部１３へ順次搬送する。図２は、複数の発光素子のうち１の発光素子Ｌが特性測定部１３にある状態を示している。

測定装置１００が備える各構成は、制御部２０によってその動作が制御されている。制御部２０は、ＣＰＵ（中央演算装置）及びその作業領域であるＲＡＭ（Random Access Memory）等を含んだコンピュータ又はＰＬＣ（Programmable Logic Controller）として構成されている。また、制御部２０は、ＣＰＵの動作に必要なプログラム及びデータを記憶する記憶装置を含んでいる。

給電部７０は、制御部２０からの指令に応じて、プローブ４０を通じて発光素子Ｌに給電し、発光素子Ｌを発光させるものである。受光部９０は、例えば、カメラ等の撮像装置であって、発光素子Ｌの発光面に対向して配置されており、発光素子Ｌからの光を受光する。そして、光学特性の測定用の測定コンピュータ９１が、画像データ等の発光素子Ｌの光学特性に関する情報を取り込み、測定結果及び測定が終わったことに関する情報を制御部２０へと送る。測定が終わったことに関する情報を受け取った制御部２０は、次の発光素子Ｌの光学特性の測定を行うための動作を開始する。

閉空間形成手段３０は、図１〜図３に示すように、上面視において、搬送台１０のうち発光素子Ｌの光学特性の測定が行われる測定位置と一部が重なるように配置されるアーム形状の部材である。閉空間形成手段３０は、後述の閉空間Ｃを形成するためのガラス保持部３１を有する。ガラス保持部３１は、測定位置にある発光素子Ｌ上に配置される。また、閉空間形成手段３０は、第１昇降機構５０が駆動することにより、昇降する。具体的には、閉空間形成手段３０は、搬送台１０から離間した第１位置と、搬送台１０に接触し、発光素子Ｌが収まる閉空間Ｃを搬送台１０と共に形成する第２位置との間を移動する。図２は、閉空間形成手段３０が第１位置にある状態を示しており、図３は、閉空間形成手段３０が第２位置にある状態を示している。昇降機構５０は、例えば、モータと、モータの軸回転によって駆動する歯車やカム等の各種機械要素と、を含む機構であるとよい。

ガラス保持部３１は、図４に示すように、閉空間Ｃを形成するための第１空間Ｃ１と、ガラス３２が保持される第２空間Ｃ２とを含む円筒状の部材である。ガラス３２は、第２空間Ｃ２の形状、大きさに対応した円盤状の部材である。第１空間Ｃ１の径は、第２空間Ｃ２の径よりも小さいため、ガラス３２を第２空間Ｃ２に嵌めた状態において、ガラス３２はガラス保持部３１により保持されることとなる。なお、ガラス３２は、その周面が第２空間Ｃ２を形成する側壁に対して接着材等により接着され、ガラス保持部３１に対して隙間無く勘合されるとよい。

また、ガラス保持部３１は、閉空間形成手段３０の本体に対して接着材等により接着され、閉空間形成手段３０の本体に対して隙間無く設けられるとよい。また、ガラス保持部３１のうち搬送台１０に接触する接触領域３５（図６参照）に、Ｏリング３４が設けられるとよい。Ｏリング３４が設けられることにより、閉空間形成手段３０が第２位置にある状態において、閉空間Ｃの気密性が保たれる。なお、Ｏリング３４は閉空間形成手段３０ではなく、搬送台１０に埋め込まれるように設けられていてもよい。なお、Ｏリング３４に限られるものではなく、閉空間Ｃを密封するものであれば他のシール部材を用いてもよい。なお、図４においては、Ｏリング３４の図示は省略している。

また、ガラス保持部３１は、第１空間Ｃ１を形成する側壁に、注入孔Ｈ１を有する。注入孔Ｈ１は、閉空間形成手段３０の本体に形成される注入経路Ｈ２と繋がっている。注入経路Ｈ２には気体の経路となるチューブ等が設けられるとよい。このような構成により、閉空間Ｃは、注入孔Ｈ１及び注入経路Ｈ２を通じて注入部８０と繋がっている。注入部８０は、閉空間Ｃへ圧縮空気等の気体を注入し、閉空間Ｃ内の気圧を高くするものであればよい。

なお、本実施形態においては、ガラス３２を例に挙げたが、これに限られるものではなく、発光素子Ｌからの光が透過し、閉空間Ｃの外部へ放射されるものであれば、他の光透過部材であっても構わない。

閉空間形成手段３０は、第２位置にある状態において、搬送台１０と共に閉空間Ｃを形成する。閉空間Ｃは、気密空間であるとよいが、気体が注入された際に内部の気圧が高くなる程度に密封された空間であればよい。また、閉空間形成手段３０は、閉空間Ｃ内の気圧を高くした場合においても、閉空間Ｃ内の気密性を維持できる程度の剛性、重量、強度を有するとよい。

プローブ４０は、図２等に示すように、給電部７０に電気的に接続されており、プローブ保持部４１に保持されている。プローブ保持部４１は、第２昇降機構６０が駆動することにより、昇降する。プローブ４０は、プローブ保持部４１が昇降することにより、発光素子Ｌの端子から離間した非通電位置と、搬送台１０に形成される給電孔ｈ１に挿通されて発光素子Ｌの端子に接触し通電する通電位置との間を移動する。図２は、保持部４１が非通電位置にある状態を示しており、図３は、保持部４１が通電位置にある状態を示している。第２昇降機構６０は、例えば、モータと、モータの軸回転によって駆動する歯車やカム等の各種機械要素と、を含む機構であるとよい。

給電孔ｈ１は、プローブ４０の形状、数に対応して設けられるとよい。本実施形態においては、プローブ４０がプローブ保持部４１に４本保持され、給電孔ｈ１が４つ設けられる例について示す（図５参照）。ただし、プローブ４０及び通電孔ｈ１の数はこれに限られるものではなく、本実施形態で示す例よりも少なくても多くても構わない。

搬送台１０には、給電孔ｈ１に加えて、閉空間Ｃと外部空間とを繋げる貫通孔ｈ２が設けられる。給電孔ｈ１及び貫通孔ｈ２は、測定位置にある発光素子Ｌに覆われるように設けられる。図５は、搬送台１０に載せられる発光素子Ｌを示しており、図５中の破線は給電孔ｈ１及び貫通孔ｈ２を示している。

ここで、発光素子Ｌの光学特性を測定するために、プローブ４０を発光素子Ｌの端子に接触させた際に、プローブ４０からの押圧力により発光素子Ｌが移動し、位置ずれを生じてしまうおそれがある。発光素子Ｌの位置がずれてしまうと、プローブ４０からの給電に失敗する等、測定値が不安定になるおそれがある。

そこで、本実施形態に係る測定装置１００においては、閉空間Ｃの気圧を高くすることにより、プローブ４０が接触した際に発光素子Ｌの位置がずれることを抑制する構成を採用した。具体的には、注入部８０が注入孔Ｈ１及び注入経路Ｈ２を通じて、閉空間Ｃ内に気体を注入し、閉空間Ｃ内の気圧を高くする。これにより、閉空間Ｃ内の気圧は、貫通孔ｈ２内の気圧よりも高くなり、発光素子Ｌは搬送台１０に対して押しつけられ、位置ずれの発生が抑制される。本実施形態においては、位置ずれを抑制するための発光素子Ｌに対して物理的に接触力等を加える必要がない。そのため、全体の面積に対して発光面の占める面積が高く発光面の縁部分の領域が小さい発光素子Ｌの光学測定において特に有効である。また、縁部分の領域が小さい発光素子Ｌであっても、発光面の全面が露出した状態で光学測定を行うことができるため、測定値が安定する。

図６を参照して、発光素子Ｌが搬送台１０に対して押しつけられる原理について説明する。発光素子Ｌのうち貫通孔ｈ２を塞ぐ領域の面積をＳとし、閉空間Ｃ内の気圧をＰ１とし、貫通孔ｈ２内の気圧をＰ２とする。この場合、閉空間Ｃの内部気圧の影響により発光素子Ｌの発光面側に対して加わる力Ｆ１は、Ｆ１＝Ｐ１×Ｓとなる。また、貫通孔ｈ２内の内部気圧の影響により発光素子Ｌの裏面側に対して加わる力Ｆ２は、Ｆ２＝Ｐ２×Ｓとなる。また、１つのプローブ４０が接触することにより発光素子Ｌに加わる力をｆ３とし、複数のプローブ４０が接触することにより発光素子Ｌに加わる力の合計をＦ３とする。この場合、貫通孔ｈ２の内部気圧の影響及びプローブ４０の接触により発光素子Ｌの裏面側に加わる力Ｆ４は、Ｆ４＝Ｆ２＋Ｆ３となる。なお、ここでは、プローブ４０が通電孔ｈ１に隙間無く挿通されており、通電孔ｈ１内の気圧の影響による力は無視できるものと仮定する。

Ｆ１＞Ｆ４の関係を満たす場合、発光素子Ｌの裏面側にかかる力よりも発光面側にかかる力が大きくなり、発光素子Ｌは搬送台１０に対して押しつけられることとなる。そのため、実施形態においては、Ｆ１＞Ｆ４となるように、閉空間Ｃ内の気圧Ｐ１を調整した。すなわち、Ｐ１×Ｓ＞Ｐ２×Ｓ＋Ｆ３となるように、気圧Ｐ１を調整した。このような関係を満たすことにより、閉空間Ｃ内に収容される発光素子Ｌは、搬送台１０に対して押さえつけられることとなり、発光素子Ｌの裏面の端子にプローブ４０が接触しても、発光素子Ｌは搬送台１０に接触する状態を維持する。これにより、発光素子Ｌの位置ずれにより光学測定の測定結果が不安定になることが抑制される。また、発光素子Ｌを搬送台１０に対して押しつけることにより、発光素子Ｌをプローブ４０に対しても押しつけることとなり、プローブ４０と発光素子Ｌの接触状態を維持し、確実に給電を行い、安定した測定結果を得ることが可能となる。

なお、上記のような関係に限られるものではなく、少なくともＰ１＞Ｐ２の関係を満たすように、閉空間Ｃ内と貫通孔ｈ２内との間に気圧差を設けるとよい。これにより少なくとも、気圧の影響により発光素子Ｌにかかる力が、発光素子Ｌの裏面側より発光面側の方が大きくなり、発光素子Ｌは位置ずれを生じにくくなるためである。なお、図５に示すように、貫通孔ｈ２は、測定位置にある発光素子Ｌの略中心に対応する位置に設けられるとよい。これにより、発光素子Ｌの位置精度がより安定することとなる。

図７を参照して、発光素子Ｌの光学特性の測定における制御部２０の動作について説明する。図７は、光学特性の測定を行う際の制御部の動作を示すフロー図である。

まず、制御部２０は搬送台１０を間欠回転させて、光学特性の測定の対象となる発光素子Ｌを特性測定部１３へと搬送する（Ｓ１）。これにより、測定装置１００は図２に示す状態となる。そして、制御部２０は、第１昇降機構５０を駆動させて閉空間形成手段３０を下降させることにより、閉空間Ｃを形成する（Ｓ２）。これにより、測定装置１００は図３に示す状態となる。

そして、制御部２０は、注入部８０を駆動させることにより、閉空間Ｃ内の気圧を高くする。具体的には、注入部８０が、貫通孔ｈ２内の気圧よりも閉空間Ｃ内の気圧が高くなるように、閉空間Ｃ内に気体を注入する（Ｓ３）。

その後、制御部２０は、第２昇降機構６０を駆動させてプローブ４０を保持するプローブ保持部４１を上昇させることにより、給電孔ｈ１を通じてプローブ４０を発光素子Ｌの端子に接触させる（Ｓ４）。これにより、発光素子Ｌが発光する。そして、発光素子Ｌからの光を受光部９０が受光し、制御部２０は、発光素子Ｌの光学特性に関する情報を取得する（Ｓ５）。

その後、制御部２０は、第２昇降機構６０を駆動させてプローブ保持部４１を下降させて（Ｓ６）、注入部８０による気体の注入を停止させる（Ｓ７）。さらに、第１昇降機構５０を駆動することにより、閉空間形成手段３０を上昇させる（Ｓ８）。これにより、測定装置１００は図２に示す状態になる。さらに、制御部２０は、搬送台１０を間欠回転させることにより、次の測定対象となる発光素子Ｌを特性測定部１３へと搬送し（Ｓ１）、Ｓ２〜Ｓ８の各ステップを繰り返し実行する。

なお、本実施形態においては、電子部品として発光素子Ｌを例に挙げて説明したが、これに限られるものではなく、プローブ４０を接触させることで給電し、その特性が測定されるものであれば他の電子部品でも構わない。その場合、例えば、給電された電子部品の電圧値等を測定値として測定するとよい。なお、発光素子Ｌ以外の電子部品の測定を行う場合、測定装置１００は、ガラス保持部３１及び受光部９０を有しない構成としてよい。

また、本実施形態においては、間欠回転する搬送台１０に発光素子Ｌを載せる例について説明したが、これに限られるものではなく、発光素子Ｌが載せられるものであれば回転等の移動を行わない他の測定台を用いても構わない。この場合、例えば、発光素子Ｌを測定台へ受け渡しや引き取り可能な吸着機構やアーム機構等を用いるとよい。

また、本実施形態においては、搬送台１０が貫通孔ｈ２を有し、貫通孔ｈ２内部の気圧が大気圧と同等になっている例について示したが、これに限られるものではなく、例えば、貫通孔ｈ２が真空器等の吸引部と繋がっており、吸引部が貫通孔ｈ２の気圧を下げる構成を採用してもよい。このような構成とすることにより、閉空間Ｃ内と貫通孔ｈ２内の気圧差を大きくすることができ、発光素子Ｌをより強い力で搬送台１０に対して押しつけることができる。なお、吸引部による吸引動作は、測定装置１００による光学特性の測定中にのみ行われてもよいが、搬送台１０により発光素子Ｌを搬送する間常に行われてもよい。これにより、搬送台１０が間欠回転する際に発光素子Ｌに位置ずれが生じることを抑制できる。

また、図６においては、搬送台１０に貫通孔ｈ２が形成される例について示したが、これに限られるものではなく、閉空間形成手段３０に貫通孔が形成されていてもよい。この場合、閉空間形成手段３０のうち閉空間Ｃを形成する側壁に貫通孔が形成されるとよい、そして、発光素子Ｌが、閉空間Ｃ内に納められた測定位置において、その側面が閉空間Ｃの側壁に接触するように設けられるとよい。このような構成においては、閉空間Ｃ内の気圧が貫通孔内の気圧よりも高くなることにより、発光素子Ｌは、閉空間形成手段３０に対して押しつけられる。その結果、発光素子Ｌの位置ずれが生じにくくなり、光学測定の測定結果が安定することとなる。

また、給電孔ｈ１を貫通孔とし、プローブ４０と給電孔ｈ１との間に隙間を設けることにより、貫通孔ｈ２を省略してもよい。このような構成においては、発光素子Ｌを搬送台１０に対して押しつけるよう、閉空間Ｃ内と給電孔ｈ１内との間に気圧差を設けるとよい。

以上、本考案の実施形態について説明したが、本考案は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。

１分類装置、１０搬送台、１１供給部、１２位置調整部、１３特性測定部、１４有無検査部、１５分類部、１６排出部、２０制御部、３０閉空間形成手段、３１ガラス保持部、３２ガラス、３４Ｏリング、３５接触領域、４０プローブ、４１プローブ保持部、５０第１昇降機構、６０第２昇降機構、７０給電部、８０注入部、９０受光部、ｈ１給電孔、ｈ２貫通孔、Ｈ１注入孔、Ｈ２注入経路、Ｌ発光素子。

Claims

裏面に端子を有する電子部品を載せることで前記電子部品に塞がれる貫通孔を含む１以上の孔が設けられる測定台と、
少なくとも１の前記孔を通じて前記端子に接触することで通電するプローブと、
前記測定台から離間する第１位置と、前記電子部品が収まる閉空間を前記測定台と共に形成する第２位置との間を移動可能な閉空間形成手段と、
前記閉空間内の気圧が前記貫通孔内の気圧よりも高くなるように前記閉空間内に気体を注入する注入手段と、
を有する測定装置。
前記電子部品は発光素子であり、
前記閉空間を形成する壁のうち前記閉空間内に収まる前記発光素子の発光面と対向する壁は、光を透過する光透過部材からなり、
前記光透過部材を介して、前記発光素子からの光を受光する受光手段を有する、
請求項１に記載の測定装置。
前記プローブが前記端子に接触しない非通電位置から前記端子に接触する通電位置に移動する前に、前記閉空間内に気体を注入するよう前記注入手段を制御する制御手段を有する、
請求項１又は２に記載の測定装置。
前記測定台は、複数の前記電子部品を載せて、前記電子部品の測定を行う測定位置へ前記電子部品を順次搬送するように間欠回転する搬送台であり、
前記制御手段は、前記搬送台により前記測定位置に搬送された前記電子部品を、前記閉空間に収めるように前記閉空間形成手段を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させる制御を行う、
請求項３に記載の測定装置。
前記１以上の孔は、吸引孔を含み、
前記吸引孔内の気圧を小さくすることで、前記電子部品を前記測定台に対して引きつける吸引手段を有する、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の測定装置。
前記プローブが前記端子に接触する際に挿通される前記孔は、前記貫通孔である、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の測定装置。
前記閉空間内の気圧により前記電子部品に加わる力は、前記貫通孔内の気圧により前記電子部品に加わる力と、前記プローブが前記端子に接触することにより前記電子部品に加わる力との合計よりも大きい、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の測定装置。
前記閉空間形成手段と前記測定台との間に、前記閉空間を密閉するシール部材を有する、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の測定装置。
少なくとも、請求項１〜８のいずれか１項に記載の測定装置と、前記測定装置による前記電子部品の特性に関する測定結果に応じて前記電子部品を分類する分類部と、を含む分類装置。