JP6531344B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Claims (3)
- ウエハをウエハチャックにより支持し、前記ウエハに形成されたチップをプローブカードのプローブに接触させてプローブに接続されたテスタにより前記チップの電気的特性を検査するプローブ装置であって、前記プローブカードのプローブの先端が配置される空間を密閉するシーリング手段と、前記空間を減圧する減圧手段とを備えたプローブ装置において、
前記ウエハチャックに設けられ、前記空間を大気に連通させる通気路と、
前記通気路を閉鎖又は開放するシャッタ手段と、
前記プローブカードのクリーニングの際に、前記シャッタ手段を前記通気路を開放する状態に設定し、かつ、前記ウエハチャックに支持されたクリーニング用のウエハを前記プローブに接触する位置で遠近方向に往復移動させる制御手段と、
を備えたプローブ装置。 - 前記シャッタ手段は、吸引ポンプによる吸引のオンとオフとの切替えにより変位するシャッタ部材であって、前記吸引ポンプの吸引がオフのときに前記通気路を閉鎖する位置に移動し、前記吸引ポンプの吸引がオンのときに前記通気路を開放する位置に移動するシャッタ部材を有する請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記通気路は、前記空間に連通する開口を前記ウエハチャックに支持されるウエハが配置されない位置に有する請求項1又は2に記載のプローブ装置。
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