CN113714207A - 探针卡清理装置 - Google Patents
探针卡清理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113714207A CN113714207A CN202111006799.1A CN202111006799A CN113714207A CN 113714207 A CN113714207 A CN 113714207A CN 202111006799 A CN202111006799 A CN 202111006799A CN 113714207 A CN113714207 A CN 113714207A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe card
- vacuum tube
- cavity
- cleaning apparatus
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 24
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
本发明提供一种探针卡清理装置，探针卡清理装置包括具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。如此配置，可通过真空管以及与真空管连接的抽真空设备将探针卡的针尖上附着的颗粒物抽吸走，相较于现有技术的毛刷清理方式，本发明通过抽吸方式取得的清理效果更佳，颗粒通过真空管排出，可以避免晶圆测试区域环境的污染；由于与探针卡没有直接接触，也避免了探针卡被损坏。此外，本发明的腔体可以使得少部分未进入真空管的颗粒落在腔体内，避免污染晶圆测试区域的环境。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种探针卡清理装置。
背景技术
目前，在晶圆测试系统中，常常辅助采用探针卡来对晶圆进行测试，通常辅助完成对晶圆的电性测试。具体地，请参阅图1，图1是现有技术中探针卡测试晶圆的示意图，探针卡01的针尖扎入晶圆02中，探针卡01外连一测试装置完成对晶圆02的电性测试。进一步，请参阅图2，图2是探针卡脱离晶圆的示意图，在对晶圆02的测试完成之后，探针卡01脱离晶圆02，但是探针卡01的针尖会附着从晶圆02中带出来的颗粒03，如果不及时清除颗粒03，会影响下一片晶圆的测试，导致晶圆缺陷。
现有技术中，通常采用毛刷来刷除探针卡01上附着的颗粒03，但是此种清理方式存在诸多弊端，比如清理过程中毛刷掉毛污染晶圆测试区域的环境，毛刷刷出的颗粒03也会污染晶圆测试区域的环境，对于探针卡01上附着的颗粒03清理不完全，在毛刷刷除的过程中出现人为失误导致探针卡01的针尖断裂。
发明内容
本发明的目的在于提供一种探针卡清理装置，以解决现有的清理方式导致探针卡上附着的颗粒清理不完全以及现有的清理方式会污染晶圆测试区域的环境的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种探针卡清理装置，其包括：
具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；
真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。
可选的，所述探针卡清理装置包括压力开关，所述压力开关布置于所述腔体的开口处，用于支撑所述探针卡。
可选的，所述探针卡清理装置包括至少两个所述压力开关。
可选的，所述探针卡清理装置包括真空开关，所述真空开关设置于所述真空管内，所述真空开关用于在所述压力开关被按压时开启所述真空管，以及在所述压力开关未被按压时关闭所述真空管。
可选的，所述探针卡清理装置包括计时器，所述计时器分别与所述压力开关和所述真空开关连接，所述计时器用于在所述压力开关被按压时开始根据预设时长倒计时，所述真空管用于在所述计时器倒计时结束时关闭所述真空管。
可选的，所述探针卡清理装置包括阀门，所述阀门设置于所述真空管内，用于调整所述真空管的开合度。
可选的，所述探针卡清理装置包括至少两根卡针，所述卡针布置于所述腔体的开口处，并沿竖向延伸，所述卡针用于穿入所述探针卡中。
可选的，所述探针卡清理装置包括信息识别组件，其用于读写所述探针卡之期望信息。
可选的，所述信息识别组件包括RFID读卡器和RFID卡片。
可选的，所述探针卡清理装置包括多根支撑架，所述支撑架与所述腔体连接，以支撑所述腔体。
综上所述，在本发明提供的探针卡清理装置中，探针卡清理装置包括具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。如此配置，可通过真空管以及与真空管连接的抽真空设备将探针卡的针尖上附着的颗粒物抽吸走，相较于现有技术的毛刷清理方式，本发明通过抽吸方式取得的清理效果更佳，颗粒通过真空管排出，可以避免晶圆测试区域环境的污染；由于与探针卡没有直接接触，也避免了探针卡被损坏。此外，本发明的腔体可以使得少部分未进入真空管的颗粒落在腔体内，避免污染晶圆测试区域的环境。
附图说明
本领域的普通技术人员应当理解，提供的附图用于更好地理解本发明，而不对本发明的范围构成任何限定。其中：
图1是现有技术中探针卡测试晶圆的示意图；
图2是探针卡脱离晶圆的示意图；
图3是本发明一实施例的探针卡清理装置的示意图；
图4是本发明一实施例的探针卡清理装置的信息识别组件的示意图。
附图中：
01-探针卡；02-晶圆；03-颗粒；
10-腔体；20-真空管；30-压力开关；40-真空开关；50-计时器；60-阀门；70-卡针；80-信息识别组件；81-RFID读卡器；82-RFID卡片；90-支撑架；100-探针卡；101-探针卡的针尖；102-卡孔；PC-计算机。
具体实施方式
为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
如在本发明中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本发明中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本发明提供一种探针卡清理装置，以解决现有的清理方式导致探针卡上附着的颗粒清理不完全以及现有的清理方式会污染晶圆测试区域的环境的问题。
以下请参考附图对本实施例的探针卡清理装置进行描述。
如图3所示，图3是本发明一实施例的探针卡清理装置的示意图，本实施的探针卡清理装置包括：具有沿竖向(即重力的方向)开口的腔体10，所述腔体10的开口用于承载探针卡100；真空管20，其与所述腔体10连通，所述真空管20的第一端用于对准所述探针卡的针尖101，所述真空管20的第二端外接一抽真空设备(未图示)。具体地，探针卡100由于重力的作用落在腔体10的开口处，而后类似于吸尘器的工作方式通过真空管20以及与真空管20连接的抽真空设备将探针卡的针尖101上附着的颗粒物抽吸走，相较于现有技术的毛刷清理方式，本发明通过抽吸方式取得的清理效果更佳，颗粒通过真空管20排出，可以避免晶圆测试区域环境的污染；由于与探针卡100没有直接接触，也避免了探针卡100被损坏。此外，本发明的腔体10可以使得少部分未进入真空管20的颗粒落在腔体10内，避免污染晶圆测试区域的环境。
可理解的是，本实施例不限制腔体10的具体形状，可以是圆柱形、椭圆柱形、球形、棱柱形等。真空管20与腔体10连通，指的是真空管20贯穿腔体10，本实施例不限制真空管20贯通腔体10的具体位置，比如可以是图3中真空管20贯穿腔体10的底部，当然也可以是贯穿腔体10的侧壁。优选地，为了满足实际的应用场景及真空管20的线路，本实施例配置的真空管20为软管。此外，本实施例提到的抽真空设备，比如可以是真空抽气泵、真空机。
可选的，所述探针卡清理装置包括多根支撑架90，所述支撑架90与所述腔体10连接，以支撑所述腔体10。
优选的，所述探针卡清理装置包括至少两根卡针70，所述卡针70布置于所述腔体10的开口处，并沿竖向延伸，所述卡针70用于穿入所述探针卡100中。具体地，探针卡100上具有与卡针70数量相对应的卡孔102，卡针70穿入对应的卡孔102中，限制探针卡100的位置，避免探针卡100水平向偏移。关于卡针70的具体布置，可认为腔体10的开口处的侧壁向着水平向向外延伸一部分，而卡针70设置于延伸的这部分。
进一步，所述探针卡清理装置包括压力开关30，所述压力开关30布置于所述腔体10的开口处，用于支撑所述探针卡100。优选的，所述探针卡清理装置包括至少两个所述压力开关30，且至少两个压力开关30沿着腔体10的开口周向分布。压力开关30在与探针卡100接触后被按压。具体言之，可认为腔体10的开口处的侧壁向着水平向向外延伸一部分，而压力开关30设置于延伸的这部分。
更进一步，所述探针卡清理装置包括真空开关40，所述真空开关40设置于所述真空管20内，所述真空开关40用于在所述压力开关30被按压时开启所述真空管20，以及在所述压力开关30未被按压时关闭所述真空管20。
再进一步，所述探针卡清理装置包括计时器50，所述计时器50分别与所述压力开关30和所述真空开关40连接，所述计时器50用于在所述压力开关30被按压时开始根据预设时长倒计时，所述真空管20用于在所述计时器50倒计时结束时关闭所述真空管20。本实施例对于计时器50的具体设置位置不做限制，比如可以是图3中所示设置于腔体10的外壁。可理解的是，这里的预设时长可以是60秒、70秒、80秒等，本领域技术人员可根据实际需求而相应设定。具体而言，压力开关30被探针卡100按压后，向计时器50发出一控制信号，计时器50开始倒计时(本实施例可以设定从60秒开始倒计时)，此时真空管20打开，抽真空设备开始抽吸探针卡的针尖101上的颗粒，计时器50倒计时结束后，真空管20将关闭，此时操作人员可以将探针卡100移走，开始下一个探针卡100的清理工作。
通过配置计时器50，可以将探针卡100的清理设置统一的标准，即每个探针卡100的清理时间均为预设时长。在压力开关30被按压时，整个装置就开始自动清洁探针卡的针尖101上附着的颗粒，计时器50、压力开关30和真空管20三者的配合工作体现了所述探针卡清理装置的自动化，减少人力耗费。
可选的，所述探针卡清理装置包括阀门60，所述阀门60设置于所述真空管20内，用于调整所述真空管20的开合度。在准备开始清理颗粒之前，可人为将阀门60开启。需说明的是，这里的开合度，指的是真空管20开启的程度，真空管20完全开启时的开合度为1，真空管20完全闭合时的开合度为0，真空管20的开合度介于0与1之间，且包括0和1，本领域技术人员可根据实际情况配置真空管20的开合度，比如可以是1/2，3/4。对于本实施例所述的阀门60，本实施例不做具体限制，比如可以是手动阀或电磁阀。
可选的，所述探针卡清理装置包括信息识别组件80，其用于读写所述探针卡100之期望信息。比如，期望信息包括探针卡100的ID(编号)，可以知道哪些探针卡100的颗粒已经被清理了，相较于现有技术的人为登记记录，本实施例配置信息识别组件80体现了自动化、大大提到了登记效率，避免认为登记失误。
在一示范性的实施例中，请参阅图4，图4是本发明一实施例的探针卡清理装置的信息识别组件的示意图，所述信息识别组件80包括RFID(射频识别)读卡器81和RFID(射频识别)卡片82，二者通信连接。RFID卡片82设置于探针卡100上，RFID读卡器81与外部的计算机PC连接，RFID卡片82内置各种信息，比如RFID卡片82内置对应的探针卡100的ID信息，在探针卡100清理完成后，RFID读卡器81读取ID信息并上传至计算机PC中，刷新计算机PC中的记录系统，将此探针卡100的清理工作记作“完成”。
综上所述，在本发明提供的探针卡清理装置中，探针卡清理装置包括具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。如此配置，可通过真空管以及与真空管连接的抽真空设备将探针卡的针尖上附着的颗粒物抽吸走，相较于现有技术的毛刷清理方式，本发明通过抽吸方式取得的清理效果更佳，颗粒通过真空管排出，可以避免晶圆测试区域环境的污染；由于与探针卡没有直接接触，也避免了探针卡被损坏。此外，本发明的腔体可以使得少部分未进入真空管的颗粒落在腔体内，避免污染晶圆测试区域的环境。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。
Claims (10)
1.一种探针卡清理装置，其特征在于，包括：
具有沿竖向开口的腔体，所述腔体的开口用于承载探针卡；
真空管，其与所述腔体连通，所述真空管的第一端用于对准所述探针卡的针尖，所述真空管的第二端外接一抽真空设备。
2.根据权利要求1所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括压力开关，所述压力开关布置于所述腔体的开口处，用于支撑所述探针卡。
3.根据权利要求2所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括至少两个所述压力开关。
4.根据权利要求2所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括真空开关，所述真空开关设置于所述真空管内，所述真空开关用于在所述压力开关被按压时开启所述真空管，以及在所述压力开关未被按压时关闭所述真空管。
5.根据权利要求4所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括计时器，所述计时器分别与所述压力开关和所述真空开关连接，所述计时器用于在所述压力开关被按压时开始根据预设时长倒计时，所述真空管用于在所述计时器倒计时结束时关闭所述真空管。
6.根据权利要求1所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括阀门，所述阀门设置于所述真空管内，用于调整所述真空管的开合度。
7.根据权利要求1所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括至少两根卡针，所述卡针布置于所述腔体的开口处，并沿竖向延伸，所述卡针用于穿入所述探针卡中。
8.根据权利要求1所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括信息识别组件，其用于读写所述探针卡之期望信息。
9.根据权利要求8所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述信息识别组件包括RFID读卡器和RFID卡片。
10.根据权利要求1所述的探针卡清理装置，其特征在于，所述探针卡清理装置包括多根支撑架，所述支撑架与所述腔体连接，以支撑所述腔体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111006799.1A CN113714207A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 探针卡清理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111006799.1A CN113714207A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 探针卡清理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113714207A true CN113714207A (zh) | 2021-11-30 |
Family
ID=78679251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111006799.1A Pending CN113714207A (zh) | 2021-08-30 | 2021-08-30 | 探针卡清理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113714207A (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08250557A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| US6420891B1 (en) * | 2000-06-23 | 2002-07-16 | Powerchip Semiconductor Corporation | Wafer prober for in-line cleaning probe card |
| JP2007120961A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プローバー装置，プローブ触針クリーニング方法および半導体チップ検査装置ならびに半導体チップ検査方法 |
| CN202305579U (zh) * | 2011-10-18 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 自动清理探针卡的探针台 |
| CN103878150A (zh) * | 2014-03-05 | 2014-06-25 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
| JP2016152334A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 株式会社東京精密 | プローブ装置 |
| CN108772379A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-09 | 成都威士达粉末冶金有限公司 | 皮带轮碎屑清除装置 |
| TWI660813B (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-01 | 浮雕精密有限公司 | 戳針機 |
-
2021
- 2021-08-30 CN CN202111006799.1A patent/CN113714207A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08250557A (ja) * | 1995-01-19 | 1996-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| US6420891B1 (en) * | 2000-06-23 | 2002-07-16 | Powerchip Semiconductor Corporation | Wafer prober for in-line cleaning probe card |
| JP2007120961A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プローバー装置，プローブ触針クリーニング方法および半導体チップ検査装置ならびに半導体チップ検査方法 |
| CN202305579U (zh) * | 2011-10-18 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 自动清理探针卡的探针台 |
| CN103878150A (zh) * | 2014-03-05 | 2014-06-25 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 探针的清洁方法及探针清洁装置 |
| JP2016152334A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 株式会社東京精密 | プローブ装置 |
| TWI660813B (zh) * | 2017-12-01 | 2019-06-01 | 浮雕精密有限公司 | 戳針機 |
| CN108772379A (zh) * | 2018-07-19 | 2018-11-09 | 成都威士达粉末冶金有限公司 | 皮带轮碎屑清除装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103878150B (zh) | 探针的清洁方法及探针清洁装置 | |
| CN106597706B (zh) | 液晶屏自动点灯治具 | |
| EP3021649A1 (en) | Method for managing and device for managing nozzle cleaning period | |
| JPH11204546A (ja) | ピックアンドプレイス装置における誤りインサート検知 | |
| KR102279705B1 (ko) | 번인보드 자동 세정장치 | |
| CN113714207A (zh) | 探针卡清理装置 | |
| CN112351175A (zh) | 一种aoi摄像头清洁机构 | |
| CN114300388A (zh) | 晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法 | |
| US20080224723A1 (en) | Method for testing a semiconductor wafer and apparatus thereof | |
| JP6903078B2 (ja) | メンテナンス用基板 | |
| CN214109453U (zh) | 一种自动化滤芯装载机 | |
| JPWO2006006220A1 (ja) | 押圧部材および電子部品ハンドリング装置 | |
| CN210207729U (zh) | 卡和读卡器测试机 | |
| KR100898409B1 (ko) | 리드프레임 방식 칩 패키지용 번인 소켓 | |
| CN211866056U (zh) | 清洗定位组件及清洗装置 | |
| JP6349181B2 (ja) | クリーニング方法及びクリーニング機構 | |
| CN209238546U (zh) | 一种gpp全自动探针台针头积墨清理装置 | |
| CN112407835A (zh) | 一种aoi设备的送板滚筒及输送机构 | |
| CN210156355U (zh) | 一种led芯片分选设备清洁装置 | |
| JP2009121943A (ja) | 半導体装置の検査用装置 | |
| TW201713956A (zh) | 能夠雷射清潔探針卡之晶圓探針儀 | |
| CN220312833U (zh) | 一种测试边框安装孔的测试仪 | |
| CN220913180U (zh) | 一种芯片测试用探针台 | |
| CN117463739A (zh) | 芯片测试座自动清洁装置及设备 | |
| JP4536525B2 (ja) | 半導体装置の試験装置及び試験方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20211130 |