JPWO2016199207A1 - 印刷装置及び対基板作業装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板支持部材上に固定された基板に対してスクリーンマスクを用いて粘性流体の印刷処理を行う印刷装置であって、
前記スクリーンマスク及び前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象のスクリーンマスクを搬出するマスク搬出処理及び搬入対象の前記スクリーンマスクを搬入するマスク搬入処理を含むマスク交換処理を実行可能であり、前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理及び搬入対象の前記基板支持部材を搬入する支持部材搬入処理とを含む支持部材交換処理を実行可能である交換制御部と、
を備えたものである。
基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置であって、
前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記基板支持部材を配置可能であり、前記対基板作業を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記基板固定部に配置された前記基板支持部材を移動させて該基板支持部材の水平方向の位置決めを行う位置決め部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理と、前記支持部材搬送部を制御して搬入対象の前記基板支持部材を前記基板固定部まで搬送し、前記位置決め部を制御して該搬送された基板支持部材の位置決めを行う支持部材搬入処理と、を含む支持部材交換処理を行う交換制御部と、
を備えたものである。
Claims (7)
- 基板支持部材上に固定された基板に対してスクリーンマスクを用いて粘性流体の印刷処理を行う印刷装置であって、
前記スクリーンマスク及び前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象のスクリーンマスクを搬出するマスク搬出処理及び搬入対象の前記スクリーンマスクを搬入するマスク搬入処理を含むマスク交換処理を実行可能であり、前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理及び搬入対象の前記基板支持部材を搬入する支持部材搬入処理とを含む支持部材交換処理を実行可能である交換制御部と、
を備えた印刷装置。 - 請求項1に記載の印刷装置であって、
前記基板支持部材を配置可能であり、前記印刷処理を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記基板固定部に配置された前記基板支持部材を移動させて該基板支持部材の水平方向の位置決めを行う位置決め部と、
を備え、
前記交換制御部は、前記支持部材搬入処理において、前記支持部材搬送部を制御して前記搬入対象の基板支持部材を前記基板固定部まで搬送し、前記位置決め部を制御して該搬送された基板支持部材の前記位置決めを行う、
印刷装置。 - 請求項1又は2に記載の印刷装置であって、
前記基板支持部材を配置可能であり、前記印刷処理を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記基板を所定の基板搬送方向に搬送する基板搬送部と、
前記基板固定部に配置された前記基板支持部材の前記基板搬送方向の位置に関する位置情報を取得する位置情報取得部と、
前記取得された位置情報に基づいて、前記基板搬送部が前記基板を搬送する際の前記基板支持部材上の停止位置を補正する補正部と、
を備えた印刷装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の印刷装置であって、
前記基板支持部材を配置可能な支持台を有し、前記印刷処理を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記支持台を昇降させることで該支持台に配置された基板支持部材を昇降させる支持部材昇降部と、
を備え、
前記支持部材搬送部は、前記基板支持部材を取り付け可能な搬送治具を搬出入し、
前記交換制御部は、前記支持部材搬出処理において、前記支持部材搬送部及び前記支持部材昇降部を制御して、前記搬送治具を搬送して前記基板固定部の上方まで搬送し、前記支持台に配置された前記搬出対象の基板支持部材を上昇させて前記搬送治具に取り付け、該取り付け後の搬送治具を搬出する処理を行い、前記支持部材搬入処理において、前記支持部材搬送部及び前記支持部材昇降部を制御して、前記搬入対象の基板支持部材が取り付けられた前記搬送治具を前記基板固定部の上方まで搬送し、前記支持台を上昇させて該搬入対象の基板支持部材を前記搬送治具から取り外して該支持台上に配置し、該取り外し後の搬送治具を搬出する処理を行う、
印刷装置。 - 前記搬送治具は、複数の前記基板支持部材を取り付け可能であり、
前記交換制御部は、前記支持部材交換処理において、前記支持部材搬送部及び前記支持部材昇降部を制御して、前記搬入対象の前記基板支持部材が取り付けられた前記搬送治具を前記基板固定部の上方まで搬送し、前記支持台に配置された前記搬出対象の基板支持部材を上昇させて前記搬送治具に取り付け、該取り付け後の前記搬送治具を搬送して前記支持台の上方に前記搬入対象の基板支持部材を搬送し、前記支持台を上昇させて該搬入対象の基板支持部材を前記搬送治具から取り外して該支持台上に配置し、該取り外し後の搬送治具を搬出する処理を行うことで、該支持部材搬出処理と前記支持部材搬入処理とを並行して行う、
請求項4に記載の印刷装置。 - 前記基板固定部は、前記基板支持部材を配置可能な第1支持台を有し前記印刷処理を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する第1基板固定部と、前記基板支持部材を配置可能な第2支持台を有し前記印刷処理を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する第2基板固定部と、を有しており、
前記支持部材昇降部は、前記第1支持台を昇降させることで該第1支持台に配置された基板支持部材を昇降させる第1支持部材昇降部と、前記第2支持台を昇降させることで該第2支持台に配置された基板支持部材を昇降させる第2支持部材昇降部と、を有しており、
前記支持部材搬送部は、前記基板支持部材を複数取り付け可能な搬送治具を搬出入し、
前記交換制御部は、前記支持部材搬出処理において、前記支持部材搬送部及び前記第1,第2支持部材昇降部を制御して、前記搬送治具を搬入し、前記第1,第2支持台に配置された前記搬出対象の基板支持部材の各々を上昇させて前記搬送治具に取り付け、該取り付け後の搬送治具を搬出する処理を行い、前記支持部材搬入処理において、前記支持部材搬送部及び前記第1,第2支持部材昇降部を制御して、前記第1,第2支持台にそれぞれ配置する搬入対象の基板支持部材が取り付けられた前記搬送治具を搬入し、前記第1,第2支持台を上昇させて該搬入対象の基板支持部材の各々を前記搬送治具から取り外して第1,第2支持台上にそれぞれ配置し、該取り外し後の搬送治具を搬出する処理を行うことで、前記第1支持台に配置される基板支持部材の交換と前記第2支持台に配置される基板支持部材の交換とを並行して行う、
請求項4又は5に記載の印刷装置。 - 基板支持部材上に固定された基板に対して対基板作業を行う対基板作業装置であって、
前記基板支持部材を搬出入する支持部材搬送部と、
前記基板支持部材を配置可能であり、前記対基板作業を行う際に該配置された基板支持部材により前記基板を固定する基板固定部と、
前記基板固定部に配置された前記基板支持部材を移動させて該基板支持部材の水平方向の位置決めを行う位置決め部と、
前記支持部材搬送部を制御して搬出対象の前記基板支持部材を搬出する支持部材搬出処理と、前記支持部材搬送部を制御して搬入対象の前記基板支持部材を前記基板固定部まで搬送し、前記位置決め部を制御して該搬送された基板支持部材の位置決めを行う支持部材搬入処理と、を含む支持部材交換処理を行う交換制御部と、
を備えた対基板作業装置。
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