WO2022234649A1

WO2022234649A1 - 搬送治具および支持部材並びに作業装置

Info

Publication number: WO2022234649A1
Application number: PCT/JP2021/017488
Authority: WO
Inventors: 良宗横井; 健太郎池田
Original assignee: 株式会社Fuji
Priority date: 2021-05-07
Filing date: 2021-05-07
Publication date: 2022-11-10
Also published as: JPWO2022234649A1; CN117203057A; DE112021007628T5

Abstract

搬送治具は、第１係合部を先端部に有する第１アーム部材と、第２係合部を先端部に有する第２アーム部材と、を備える。第１係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被係合部に係合する。第２係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に対向する第２辺部に設けられると共に第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部に係合するように第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成される。

Description

搬送治具および支持部材並びに作業装置

　本明細書は、搬送治具および支持部材並びに作業装置について開示する。

　従来、基板を支持する基板支持部材を自動交換可能な作業装置が知られている。例えば、特許文献１には、基板支持部材が予め取り付けられた搬送治具を内部に搬入し、搬入した搬送治具から基板支持部材を取り出して支持台（テーブル）上に配置し、基板支持部材を取り出した後の搬送治具を搬出する印刷装置が開示されている。搬送治具は、枠体と、枠体から内側に延びる複数の腕部と、各腕部の先端上面部に配設された突起保持部（凹部）と、を有する。基板支持部材は、本体部の左右から突出するように配設された円柱状の一対の突起部が設けられる。一対の突起部は、搬送治具の対応する突起保持部にそれぞれ保持される。作業者は、予め、基板支持部材を搬送治具に取り付け、当該搬送治具を収容部に収納して印刷装置本体にセットしておく。印刷装置本体は、基板支持部材が支持台の上方に位置するように当該基板支持部材が取り付けられた搬送治具を収容部から取り出して前方に搬送（搬入）する。続いて、印刷装置本体は、支持台を上昇させて基板支持部材の複数の突起部を搬送治具の各突起保持部から浮かせる。更に、印刷装置本体は、搬送治具を後方に移動させてから支持台を下降させ、搬送治具を後方に搬送（搬出）すると共に、支持台上に基板支持部材を固定する。

国際公開第２０１６／１９９２０７号

　上述したように、基板支持部材は、作業者により搬送治具に取り付けられた後、印刷装置本体によって搬送治具ごと印刷装置内に搬入されて自動交換される。このため、作業者の誤りにより搬送治具に対して基板支持部材が左右逆に取り付けられると、支持台上には、基板支持部材が左右逆に設置されてしまう。

　本開示は、簡易な構成により支持部材の設置ミスを防止することを主目的とする。

　本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

　本開示の搬送治具は、テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に前記支持部材を搬入出するための搬送治具であって、前記支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被係合部に係合する第１係合部を先端部に有する第１アーム部材と、前記支持部材の底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部に設けられると共に前記第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部に係合するように、前記第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２係合部を先端部に有する第２アーム部材と、を備えることを要旨とする。

　この本開示の搬送治具は、第１係合部を先端部に有する第１アーム部材と、第２係合部を先端部に有する第２アーム部材と、を備える。第１係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被係合部に係合する。第２係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に対向する第２辺部に設けられると共に第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部に係合するように第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成される。作業者が搬送治具に支持部材を取り付けた際に、支持部材が取付方向が誤っていると、一方の係合部が被係合部と係合できず、支持部材が搬送治具に対して傾く。これにより、支持部材が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。この結果、簡易な構成により支持部材の設置ミスを防止することができる。

　本開示の支持部材は、テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に、搬送治具が有する第１アーム部材および第２アーム部材に保持された状態で搬入出される支持部材であって、底面外縁部における第１辺部に設けられ、前記第１アーム部材の先端部に有する第１係合部に係合される第１被係合部と、前記底面外縁部における前記第１辺部と対向する第２辺部に設けられ、前記第２アーム部材の先端部に有すると共に前記第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２係合部に係合されるように、前記第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部と、を備えることを要旨とする。

　この本開示の支持部材は、搬送治具の第１アーム部材に保持される第１被係合部と、搬送治具の第２アーム部材に保持される第２被係合部とを備える。第１被係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられ、第１アーム部材の先端部に有する第１係合部に係合される。第２被係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部と対向する第２辺部に設けられ、第２アーム部材の先端部に有する第２係合部に係合される。第２アーム部材の第２係合部は、第１アーム部材の第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成され、支持部材の第２被係合部は、第２アーム部材の第２係合部に係合されるように、第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成される。作業者が搬送治具に支持部材を取り付けた際に、支持部材が取付方向が誤っていると、係合部と被係合部とが互いに係合できず、支持部材が搬送治具に対して傾く。これにより、支持部材が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。この結果、簡易な構成により支持部材の設置ミスを防止することができる。

　本開示の作業装置は、テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置であって、搬送治具を用いて前記支持部材を搬入出して前記支持部材を自動交換するよう制御する制御装置を備え、前記搬送治具は、前記支持部材の底面外縁部における第１辺部を支持する第１アーム部材と、前記第１アーム部材と互いの先端部が向かい合うように配置され前記底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部を支持する第２アーム部材と、を含み、前記支持部材は、前記底面外縁部における前記第１辺部に隣接する第３辺部に設けられた第１被読取部と、前記底面外縁部における前記第３辺部に対向する第４辺部に設けられた第２被読取部と、を含み、前記第１被読取部と前記第２被読取部は、互いに前記第３辺部および前記第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられ、前記制御装置は、前記搬送治具が前記テーブルの上方に搬入された状態で該搬送治具に保持された前記支持部材の前記第１被読取部と前記第２被読取部とを読み取り、前記搬送治具に対する前記支持部材の取付状態を判定することを要旨とする。

　この本開示の作業装置は、搬送治具がテーブルの上方に搬入された状態で搬送治具に保持された支持部材の第１被読取部と第２被読取部とを読み取り、搬送治具に対する支持部材の取付状態を判定する。支持部材の第１被読取部と第２被読取部は、互いに第３辺部および第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられているため、第１被読取部と第２被読取部とを読み取ることで、支持部材の取付状態が正常であるか否かを判定することができ、支持部材の設置ミスを防止することができる。

本開示の作業装置の概略構成図である。作業装置の内部構成を示す斜視図である。作業装置の内部構成を示す側面図である。作業装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。支持部材を上面側から見た斜視図である。支持部材を底面側から見た斜視図である。支持部材を上面側から見た斜視図である。支持部材を底面側から見た斜視図である。リーダと収容ラックとの関係を示す説明図である。搬送治具の外観斜視図である。支持部材が取り付けられた搬送治具の外観斜視図である。第１アーム部材の概略構成図である。第２アーム部材の概略構成図である。第１および第２アーム部材の保持部材に支持部材が正しい向きに保持された状態を示す底面図である。第１および第２アーム部材の保持部材に支持部材が正しい向きに保持された状態を示す側面図である。第１および第２アーム部材の保持部材に支持部材が誤った向きに保持された状態を示す底面図である。第１および第２アーム部材の保持部材に支持部材が誤った向きに保持された状態を示す側面図である。プッシャの概略構成図である。プッシャの部分拡大図である。搬送治具から支持部材を取り出す際の動作を示す説明図である。搬送治具から支持部材を取り出す際の動作を示す説明図である。搬送治具から支持部材を取り出す際の動作を示す説明図である。支持部材搬入処理の一例を示すフローチャートである。他の実施形態に係る支持部材および搬送治具を示す概略構成図である。

　次に、本開示を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。

　図１は、本開示の作業装置１０の概略構成図である。図２は、作業装置１０の内部構成を示す斜視図である。図３は、作業装置１０の内部構成を示す側面図である。図４は、作業装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。図１～図３において、左右方向をＸ軸とし、前後方向をＹ軸とし、上下方向をＺ軸とする。

　作業装置１０は、基板支持部材９０に支持された基板Ｓに対して所定の作業を行なうものである。本実施形態では、作業装置１０は、所定の作業として、スキージ２２を用いてスクリーンマスクＭ上のはんだペーストをスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔Ｐ１，Ｐ２に押し込むことにより当該パターン孔Ｐ１，Ｐ２を介して下方の基板Ｓにはんだペーストを塗布（印刷）する印刷装置として構成される。作業装置１０は、はんだが印刷された基板Ｓに電子部品を実装する実装装置と組み合わされて部品実装システムを構成する。更に、作業装置１０は、印刷対象を異なる種類の基板Ｓに変更する段取り替えを行なう場合に、スクリーンマスクＭの自動交換や、基板支持部材９０の搬送治具８０を用いた自動交換が可能である。

　作業装置１０は、図１～図４に示すように、作業装置本体１１と交換装置６０と収容ラック７０と制御装置１００とを備える。作業装置本体１１は、ヘッド２１を含むヘッド装置２０と、スクリーンマスクＭや搬送治具８０を支持する支持レール２９と、デュアルレーンにより基板Ｓを搬送・支持する第１および第２基板搬送支持装置３０，４０と、カメラ装置５０と、リーダ６５と、を有する。また、作業装置１０は、当該作業装置本体１１の正面に設置され、各種情報を表示すると共に作業者による各種入力操作が可能な操作パネルも備える。

　ヘッド装置２０は、作業装置本体１１の上段に設置される。ヘッド装置２０は、図１に示すように、ヘッド２１と、ヘッド２１を印刷方向である前後方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動装置２６と、を備える。ヘッド移動装置２６は、前後方向に延在するガイドレール２８に沿って移動するＹ軸スライダ２７と、Ｙ軸スライダ２７を駆動するモータと、を有する。ヘッド２１は、スキージ２２と、例えばエアシリンダによりスキージ２２を昇降させるスキージ昇降装置２３と、プッシャ２４と、例えばエアシリンダによりプッシャ２４を昇降させるプッシャ昇降装置２５と、を有する。スキージ２２は、印刷方向に直交する左右方向（Ｘ軸方向）に延びる板状部材である。プッシャ２４は、プッシャ昇降装置２５により下降して下方に突出した状態でヘッド移動装置２６により前後に移動することで、支持レール２９上のスクリーンマスクＭや搬送治具８０を前後に押して搬送するものである。また、プッシャ２４は、搬送治具８０を用いて基板支持部材９０を交換する場合に、テーブル３６，４６上の基板支持部材９０を支持レール２９上に搬入した搬送治具８０に回収したり、基板支持部材９０を保持した状態で支持レール２９上に搬入した搬送治具８０から基板支持部材９０を取り出してテーブル３６，４６上に載置したりするのにも用いられる。

　スクリーンマスクＭは、金属製の薄板であり、矩形状の枠体Ｆに所定のテンションで固定されている。スクリーンマスクＭには、第１および第２基板搬送支持装置３０，４０により搬送・支持された基板Ｓにそれぞれはんだを印刷するためのパターン孔Ｐ１，Ｐ２が形成されている。

　支持レール２９は、図３に示すように、前後方向（Ｙ軸方向）に延びる左右一対のレールであり、ヘッド装置２０と第１および第２基板搬送支持装置３０，４０との間に設置される。支持レール２９は、スクリーンマスクＭや搬送治具８０を水平姿勢で支持すると共に、プッシャ２４により押されたスクリーンマスクＭや搬送治具８０が前後方向に沿って移動するようにガイドする。

　第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、基板Ｓを搬入して支持すると共に、支持した基板Ｓを支持レール２９上のスクリーンマスクＭに接触・離間させるものである。第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、図２～図４に示すように、コンベア装置３１，４１とコンベア間隔変更装置３４，４４とコンベア昇降装置３５，４５とテーブル３６，４６と支持部材昇降装置３７，４７とを備える。コンベア装置３１，４１は、前後一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓにそれぞれ設けられたコンベアベルトと、コンベアベルトを周回駆動するモータと、を有する。一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓは、ベースフレーム３３ｂ，４３ｂに立設され、一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓの上端部には、基板ガイド３２，４２が設けられている。コンベア間隔変更装置３４，４４は、一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓの一方または双方を近接・離間させることにより、コンベアベルトの間隔を変更（調整）するものである。これにより、第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、異なるサイズの基板Ｓを搬送・支持することができる。コンベア昇降装置３５，４５は、ベースフレーム３３ｂ，４３ｂを支持する支柱を昇降させることでコンベア装置３１，４１（コンベアベルト）を昇降させるものである。テーブル３６，４６は、基板支持部材９０を設置可能な設置面を上面に有する支持台である。支持部材昇降装置３７，４７は、テーブル３６，４６を支持する支柱を昇降させることでテーブル３６，４６に設置された基板支持部材９０を昇降させるものである。

　基板支持部材９０は、基板Ｓを下面側から支持するものであり、図５Ａ，図５Ｂ，図６Ａおよび図６Ｂに示すように、基板Ｓに応じて当該基板Ｓを支持するのに適したサイズのものに交換される。基板支持部材９０は、支持部材本体９１と、支持部材本体９１の底面に着脱可能に取り付けられるアダプタ９２と、を備える。支持部材本体９１の上面は、凹部９１ａが形成されている。凹部９１ａは、例えば、表裏両面に部品を実装した基板Ｓを生産する場合において、基板Ｓの一方の面にはんだペーストを印刷して部品を実装した後、基板Ｓの他方の面にはんだペーストを印刷する際に、実装済みの部品と干渉しないように設けられる。このため、支持部材本体９１はその基板Ｓを生産するための専用品となるが、アダプタ９２は支持部材本体９１に対して着脱可能であるから、生産する基板Ｓを変更する場合には、サイズが適合すれば、支持部材本体９１のみを交換すれば足り、アダプタ９２はそのまま用いることが可能となる。

　アダプタ９２の底面外縁部における第１辺部９２ａには、基板支持部材９０を保持する搬送治具８０の一対のアーム部材のうちの一方である第１アーム部材８２ａに係合される一対の第１ピン部材９４ａ（第１被係合部）が設けられている。また、アダプタ９２の底面外縁部における第１辺部９２ａと対向する第２辺部９２ｂには、上記一対のアーム部材のうちの他方である第２アーム部材８２ｂに係合される一対の第２ピン部材９４ｂ（第２被係合部）が設けられている。更に、第１辺部９２ａにおける一対の第１ピン部材９４ａの間には、位置決め用の第１突起９５ａが設けられている。また、第２辺部９２ｂにおける一対の第２ピン部材９４ｂの間には、位置決め用の第２突起９５ｂが設けられている。

　また、アダプタ９２の底面外縁部における第１辺部９２ａに隣接（直交）する第３辺部９２ｃには、２つの第１認識マーク９３ｃが形成されている。更に、アダプタ９２の底面外縁部における第３辺部９２ｃに対向する第４辺部９２ｄにも、２つの第２認識マーク９３ｄが形成されている。第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄは、作業装置本体１１が基板支持部材９０を交換する際に基板支持部材９０の位置やサイズ（前後方向幅）を認識するためのものである。本実施形態では、図５Ｂおよび図６Ｂに示すように、第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄは、それぞれ第３辺部９２ｃおよび第４辺部９２ｄの延在方向に対してずれた位置に形成されている。

　カメラ装置５０は、図１および図２に示すように、カメラ本体５１と、カメラ本体５１を前後左右（ＸＹ方向）に移動させるカメラ移動装置５５と、を備える。カメラ移動装置５５は、Ｘ軸スライダ５６と、Ｘ軸スライダ５６を駆動するモータと、Ｙ軸スライダ５８と、Ｙ軸スライダ５８を駆動するモータと、を有する。Ｙ軸スライダ５８は、左右に延在すると共に左右一対のＹ軸ガイドレール５９に架け渡された長尺部材であり、Ｙ軸ガイドレール５９に沿って前後に移動する。Ｘ軸スライダ５６は、Ｙ軸スライダ５８に設けられたＸ軸ガイドレール５７に沿って左右に移動する。カメラ本体５１は、Ｘ軸スライダ５６に固定され、上下に２つの撮像視野（上読取部５２，下読取部５３）を有する。カメラ装置５０は、第１および第２基板搬送支持装置３０，４０により搬入・支持された基板Ｓの上面に形成されたマークを下読取部５３で撮像して基板Ｓの位置を取得する。また、カメラ装置５０は、支持レール２９上に搬送治具８０と共に搬入された基板支持部材９０（アダプタ９２）の底面に形成されたマーク（第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄ）を上読取部５２で撮像して基板支持部材９０の位置やサイズ（前後方向幅）を取得する。

　交換装置６０は、スクリーンマスクＭや搬送治具８０といった交換部材を収容した収容ラック７０を受け入れ、収容ラック７０と作業装置本体１１との間で交換部材を搬送するものである。交換装置６０は、作業装置本体１１の前面における左側に設置された左側ユニット６１ａと、作業装置本体１１の前面における右側に設置された右側ユニット６１ｂと、を備える。左側ユニット６１ａおよび右側ユニット６１ｂは、収容ラック７０を受け入れてその下面を左右両側から支持するラック支持部材６２と、ラック支持部材６２を昇降させるラック昇降装置６３と、を有する。ラック昇降装置６３は、例えばボールねじ機構とモータとの組み合わせや、リニアモータにより構成される。ラック支持部材６２に支持された収容ラック７０は、ラック昇降装置６３よりラック支持部材６２と共に昇降する。更に、左側ユニット６１ａおよび右側ユニット６１ｂは、収容ラック７０内の交換部材の枠をベルトやローラ等により左右両側から前後に送る枠前後移動装置６４を有する。

　収容ラック７０は、左右一対の支持レール７１を上下に複数段有し、各支持レール７１に交換部材を収容可能な収容体である。また、収容ラック７０の作業装置本体１１と前面と背面とには開口部７２，７３が形成されている。交換部材は、前面側の開口部７２を介して作業者等により出し入れされ、背面側の開口部７３を介して枠前後移動装置６４により搬入出される。枠前後移動装置６４は、交換装置６０に収容ラック７０が受け入れられた状態で、収容ラック７０の複数段の支持レール７１のうちラック昇降装置６３により作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さに位置する支持レール７１に支持された交換部材を作業装置本体１１へ送り出す。また、枠前後移動装置６４は、作業装置本体１１の支持レール２９に支持された交換部材を当該支持レール２９と略同じ高さに位置する収容ラック７０の支持レール７１に送り入れる。なお、収容ラック７０は、作業者により交換装置６０の受け入れ位置まで搬送されてもよいし、自動搬送装置（ＡＧＶ）に搭載されて自動搬送装置によって交換装置６０の受け入れ位置まで自動搬送されてもよい。

　リーダ６５は、収容ラック７０に収容された搬送治具８０の収容向きを検出したり搬送治具８０の識別情報を取得したりするものである。リーダ６５は、図７に示すように、交換装置６０が収容ラック７０を受け入れた状態において、収容ラック７０に収容された搬送治具８０（枠体８１）の側面と向かい合うように作業装置本体１１の前面に設けられている。搬送治具８０の一つの側面には、当該搬送治具８０を認識するための認識マーク８３が設けられている。認識マーク８３は、本実施形態では、搬送治具８０を識別するための固有の情報が記されたＩＤコードである。搬送治具８０の収容向きは、搬送治具８０を収容した収容ラック７０がラック昇降装置６３により昇降し、搬送治具８０の側面がリーダ６５の正面を通過する際にリーダ６５が認識マーク８３を読み取ることにより取得される。搬送治具８０の収容向きは、リーダ６５が認識マーク８３を認識できた場合には、正しいと判定され、リーダ６５が搬送治具８０の認識マーク８３を認識できなかった場合には、誤っていると判定される。

　搬送治具８０は、基板支持部材９０の搬入出に用いられる治具であり、図８および図９に示すように、矩形状の枠体８１と、互いの先端部が向かい合うように枠体８１に固定されて基板支持部材９０を両側から保持する一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂと、を備える。本実施形態では、搬送治具８０は、基板支持部材９０を保持する一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂを２組有し、それぞれ第１および第２基板搬送支持装置３０，４０で用いられる基板支持部材９０を一度に搬送可能である。

　第１アーム部材８２ａは、図１０Ａに示すように、ベース部材８２１とアームプレート８２２と第１保持部材８２３ａとサイドプレート８２５とロックプレート８２６とロックブロック８２７とを有する。また、第２アーム部材８２ｂは、図１０Ｂに示すように、第１アーム部材８２ａと同様のベース部材８２１とアームプレート８２２とサイドプレート８２５とロックプレート８２６とロックブロック８２７とを有すると共に、第１アーム部材８２ａの第１保持部材８２３ａと大きさ（幅）が異なる第２保持部材８２３ｂを有する。なお、構成の理解を容易にするため、図１０Ａおよび図１０Ｂ中、手前側のサイドプレート８２５およびロックプレート８２６は破線で示した。ベース部材８２１は、枠体８１に固定される。アームプレート８２２は、基端部がベース部材８２１に回動可能に支持され、アームプレート８２２の先端部には、第１保持部材８２３ａまたは第２保持部材８２３ｂが回動可能に取り付けられている。サイドプレート８２５は、アームプレート８２２の両側に設けられている。サイドプレート８２５は、基端部がベース部材８２１に回動可能に支持され、サイドプレート８２５の先端部には、第１保持部材８２３ａまたは第２保持部材８２３ｂが回動可能に取り付けられている。更に、サイドプレート８２５は、ベース部材８２１側の回動軸に設けられたねじりコイルばね８２４の付勢力を受けてアームプレート８２２を上方に付勢する。また、サイドプレート８２５は、ベース部材８２１に形成されたストッパにより略水平姿勢とされ、アームプレート８２２を略水平姿勢に保持する。

　第１アーム部材８２ａの第１保持部材８２３ａは、第１アーム部材８２ａの第１係合部を構成するものであり、基板支持部材９０の第１辺部９２ａに設けられた一対の第１ピン部材９４ａの間隔Ｌ１よりも若干広い幅ｄ１を有する（図１１Ａ参照）。また、第２アーム部材８２ｂの第２保持部材８２３ｂは、第２アーム部材８２ｂの第２係合部を構成するものであり、基板支持部材９０の第１辺部９２ａと対向する第２辺部９２ｂに設けられた一対の第２ピン部材９４ｂの間隔Ｌ２よりも若干広い幅ｄ２を有する（図１１Ａ参照）。そして、対をなす第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂは、第１保持部材８２３ａが一対の第１ピン部材９４ａ間に係合すると共に第２保持部材８２３ｂが一対の第２ピン部材９４ｂ間に係合することで、基板支持部材９０を水平姿勢で保持する。本実施形態では、第１保持部材８２３ａには、第１溝部８２９ａが形成されており、第１溝部８２９ａには、第１保持部材８２３ａが一対の第１ピン部材９４ａ間に係合した状態で、第１ピン部材９４ａ間に設けられた第１突起９５ａが嵌合する。また、第２保持部材８２３ｂには、第２溝部８２９ｂが形成されており、第２溝部８２９ｂには、第２保持部材８２３ｂが一対の第２ピン部材９４ｂ間に係合した状態で、第２ピン部材９４ｂ間に設けられた第２突起９５ｂが嵌合する。これにより、基板支持部材９０が第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂに対して位置決めされる。第１および第２保持部材８２３ａ，８２３ｂに保持された基板支持部材９０は、テーブル３６，４６の上方において、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂの各アームプレート８２２が押下されて押し広げられることで、搬送治具８０から脱離し、テーブル３６，４６に載置される。

　更に、図１１Ａに示すように、第１保持部材８２３ａの幅ｄ１は、第２保持部材８２３ｂの幅ｄ２よりも狭く、第１保持部材８２３ａが係合される一対の第１ピン部材９４ａの間隔Ｌ１は、第２保持部材８２３ｂが係合される一対の第２ピン部材９４ｂの間隔Ｌ２よりも狭くなるように構成される。これにより、図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、基板支持部材９０は、搬送治具８０に対して左右が正しい方向に取り付けられている場合には、水平姿勢に保持される。一方、図１２Ａおよび図１２Ｂに示すように、基板支持部材９０は、搬送治具８０に対して左右が１８０度反転して取り付けられている場合には、第１ピン部材９４ａ間の間隔Ｌ１よりも広い幅ｄ２を有する第２保持部材９４ｂが第１ピン部材９４ａ間に係合しないため、搬送治具８０に対して傾いた状態で保持される。これにより、基板支持部材９０が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。なお、第１保持部材８２３ａの幅ｄ１は、作業装置１０で使用可能な基板支持部材９０のうち最も小さい幅よりも小さい。

　ロックプレート８２６は、アームプレート８２２を押下不能にロックするものである。ロックプレート８２６は、アームプレート８２２の両側に配置され、両ロックプレート８２６の間にはアームプレート８２２の下方に位置するようにロックブロック８２７が固定される。ロックプレート８２６は、ベース部材８２１におけるアームプレート８２２の基端部側の回動軸に対して偏心した位置に基端部が回動可能に取り付けられ、基端部よりも先端側においてロックプレート８２６とアームプレート８２２とに係止された引っ張りばね８２８の付勢力によりアームプレート８２２側に引っ張られている。ロックブロック８２７は、アームプレート８２２の下面に形成された切り欠き８２２ｃに係合することで、アームプレート８２２を押下不能にロックする。更に、両ロックプレート８２６の先端部は、ロックブロック８２７がアームプレート８２２の切り欠き８２２ｃに係合した状態においてアームプレート８２２の上方へ突出する。

　こうして構成された第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂにおいて、アームプレート８２２は、引っ張りばね８２８の付勢力によりロックブロック８２７がアームプレート８２２の切り欠き８２２ｃに係合することで、押下不能にロックされている。このため、基板支持部材９０やアームプレート８２２に対して意図しない力が作用しても、第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂ（アームプレート８２２）が押下されることはなく、基板支持部材９０の脱離が防止される。ロックプレート８２６のロックは、アームプレート８２２よりも上方に突出するロックプレート８２６の先端部を押下することにより解除することができる。

　ロックプレート８２６のロック解除とアームプレート８２２の押下は、１つのプッシャ２４により行なわれる。図１３および図１４に示すように、プッシャ２４は、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂの間隔に対応した間隔をおいて左右にそれぞれ配置された前後一対のプッシャプレート２４１と、各前後一対のプッシャプレート２４１の間に配置されるプッシャローラ２４２と、を有する。プッシャ２４は、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂの上方においてプッシャ昇降装置２５により下降すると、一対のプッシャプレート２４１の下端部がロックプレート８２６の先端部に当接し、ロックプレート８２６の先端部は、プッシャプレート２４１によって押下される（図１５参照）。ロックプレート８２６の先端部が押下されると、ロックブロック８２７が下降し、ロックブロック８２７とアームプレート８２２の切り欠き８２２ｃとの係合が解除される（図１６参照）。これにより、アームプレート８２２のロックが解除される。プッシャ２４が更に下降すると、プッシャローラ２４２がアームプレート８２２に当接し、アームプレート８２２は、プッシャローラ２４２によって押下される（図１７参照）。これにより、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂが押し広げられ、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂに保持された基板支持部材９０は、第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂから脱離する。

　制御装置１００は、ＣＰＵを中心としたマイクロプロセッサとして構成され、ＣＰＵの他に、ＲＯＭやＲＡＭ、入出力ポート等を備える。制御装置１００は、ヘッド装置２０や第１および第２基板搬送支持装置３０，４０、カメラ装置５０、交換装置６０、リーダ６５等に対して信号をやり取りする。また、制御装置１００は、作業装置１０を含む作業システム全体を管理する管理装置２００と通信可能に接続される。管理装置２００は、作業装置１０を含むラインの進捗状況等を管理する。

　こうして構成された作業装置１０の動作について説明する。特に、スクリーンマスクＭや基板支持部材９０を交換する段取り替えの動作について説明する。段取り替えは、収容ラック７０を交換装置６０にセットした状態で、マスク搬出処理と支持部材搬出処理と支持部材搬入処理とマスク搬入処理とをこの順に実行することにより行なわれる。

　マスク搬出処理は、作業装置本体１１の支持レール２９に支持されているスクリーンマスクＭを搬出して収容ラック７０に収容する処理である。このマスク搬出処理では、制御装置１００は、収容ラック７０の空いている支持レール７１が作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さになるようにラック昇降装置６３を制御する。続いて、制御装置１００は、支持レール２９に支持されているスクリーンマスクＭがプッシャ２４により前方に押されて作業装置本体１１から搬出されるようヘッド移動装置２６を制御する。そして、制御装置１００は、搬出されたスクリーンマスクＭが収容ラック７０に収容されるよう枠前後移動装置６４を制御する。なお、マスク搬入処理は、基本的には、マスク搬出処理と逆の動作により実行されるため、その説明は省略する。

　支持部材搬出処理は、搬送治具８０を用いて作業装置本体１１のテーブル３６，４６から基板支持部材９０を搬出して収容ラック７０に収容する処理であり、支持部材搬入処理は、搬送治具８０を用いて収容ラック７０から基板支持部材９０を搬入して作業装置本体１１のテーブル３６，４６上に設置する処理である。図１８は、制御装置１００により実行される支持部材搬入処理の一例を示すフローチャートである。なお、支持部材搬出処理は、基本的には、支持部材搬入処理と逆の動作により実行されるため、その説明は省略する。

　支持部材搬入処理では、制御装置１００は、まず、これから搬入しようとする搬送治具８０を支持した支持レール７１が作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さになるまで収容ラック７０が上昇するようラック昇降装置６３を制御する（ステップＳ１００）。続いて、制御装置１００は、搬送治具８０（枠体８１）の側面がリーダ６５を通過する際にリーダ６５により搬送治具８０の側面に設けられた認識マーク８３を読み取る読み取り動作を行ない（ステップＳ１１０）、読み取りに成功したか否かを判定する（ステップＳ１２０）。制御装置１００は、読み取りに失敗したと判定すると、収容ラック７０に対する搬送治具８０の収容向きが誤っている可能性があると判断し、搬送治具８０を搬入することなく、操作パネルにエラーを出力して（ステップＳ１３０）、支持部材搬入処理を終了する。

　一方、制御装置１００は、読み取りに成功したと判定すると、次に、搬送治具８０に保持された基板支持部材９０が第１および第２基板搬送支持装置３０，４０の各テーブル３６，４６の上方に搬送されるよう制御する（ステップＳ１４０）。すなわち、制御装置１００は、収容ラック７０から支持レール２９へ搬送治具８０が送り出されるよう枠前後移動装置６４を制御する。そして、制御装置１００は、プッシャ昇降装置２５によりプッシャ２４を下降させると共に、プッシャ２４により支持レール２９上の搬送治具８０を後方に押して搬入するようヘッド移動装置２６を制御する。

　次に、制御装置１００は、カメラ本体５１の上読取部５２で、搬入した搬送治具８０に保持された基板支持部材９０の底面に設けられた第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄを予め定められた位置で読み取るようカメラ装置５０を制御し（ステップＳ１５０）、読み取りに成功したか否かを判定する（ステップＳ１６０）。上述したように、第１認識マーク９３ｃおよび第２認識マーク９３ｄは、それぞれ第３辺部９２ｃおよび第４辺部９２ｄの延在方向に対してずれた位置に形成されている。このため、基板支持部材９０が搬送治具８０に対して左右逆に保持されていると、第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄの位置がそれぞれ本来とは異なり、カメラ装置５０で第１および第２認識マーク９３ｃ，９３ｄを正しく読み取ることができなくなる。制御装置１００は、読み取りに失敗したと判定すると、基板支持部材９０が搬送治具８０に正しく保持されていないと判断し、搬送治具８０を収容ラック７０へ搬出する（ステップＳ１７０）。すなわち、制御装置１００は、プッシャ２４により支持レール２９上の搬送治具８０を前方に押して搬出するようヘッド移動装置２６を制御すると共に、当該搬送治具８０が支持レール２９から収容ラック７０へ移載されるよう枠前後移動装置６４を制御する。そして、制御装置１００は、操作パネルにエラーを出力して（ステップＳ１３０）、支持部材搬入処理を終了する。

　一方、制御装置１００は、読み取りに成功したと判定すると、テーブル３６または４６が印刷高さまで上昇するよう支持部材昇降装置３７または４７を制御する（ステップＳ１８０）。続いて、制御装置１００は、上昇したテーブルの真上でプッシャ２４が下降するようプッシャ昇降装置２５を制御すると共に（ステップＳ１９０）、所定時間が経過するのを待つ（ステップＳ２００）。ここで、所定時間は、基板支持部材９０が搬送治具８０から脱離してテーブル３６または４６に載置されるまでの待ち時間である。上述したように、プッシャ２４が下降すると、最初に左右一対のプッシャプレート２４１が第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂのロックプレート８２６に当接してこれらを押下し、アームプレート８２２のロックが解除される。そして、プッシャ２４が更に下降すると、左右一対のプッシャローラ２４２がそれぞれ対応するアームプレート８２２に当接してこれらを押下し、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂが押し広げられる。これにより、基板支持部材９０は、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂから脱離してテーブル上に載置される。このように、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂの真上からプッシャ２４を下降させるだけの簡易な制御により搬送治具８０から基板支持部材９０を脱離させてテーブル上に載置することができる。

　制御装置１００は、基板支持部材９０をテーブル３６または４６に載置すると、テーブル３６または４６が初期位置まで下降するよう支持部材昇降装置３７または４７を制御する（ステップＳ２１０）。なお、制御装置１００は、同様の制御により搬送治具８０に保持されたもう一方の基板支持部材９０をもう一方のテーブルに載置する。そして、制御装置１００は、２つの基板支持部材９０を取り出した搬送治具８０を収容ラック７０へ搬出して（ステップＳ２２０）、支持部材搬入処理を終了する。すなわち、制御装置１００は、支持レール２９に支持されている搬送治具８０がプッシャ２４により前方に押されて作業装置本体１１から搬出され、収容ラック７０に収容されるようヘッド移動装置２６と枠前後移動装置６４とを制御する。

　ここで、実施形態の主要な要素と請求の範囲に記載した本開示の主要な要素との対応関係について説明する。即ち、基板支持部材９０が支持部材に相当し、作業装置１０が作業装置に相当し、搬送治具８０が搬送治具に相当し、第１アーム部材８２ａが第１アーム部材に相当し、一対の第１ピン部材９４ａが第１被係合部に相当し、第１保持部材８２３ａが第１係合部に相当し、第２アーム部材８２ｂが第２アーム部材に相当し、一対の第２ピン部材９４ｂが第２被係合部に相当し、第２保持部材８２３ｂが第２係合部に相当する。また、第１突起９５ａが第１被嵌合部に相当し、第１溝部８２９ａが第１嵌合部に相当し、第２突起９５ｂが第２被嵌合部に相当し、第２溝部８２９ｂが第２嵌合部に相当する。また、第１認識マーク９３ｃが第１被読取部に相当し、第２認識マーク９３ｄが第２被読取部に相当する。また、制御装置１００が制御装置に相当する。また、プッシャ２４が押下部材に相当し、プッシャ昇降装置２５が昇降装置に相当する。

　なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

　例えば、上述した実施形態では、一対の第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂは、第１保持部材８２３ａ（第１係合部）が第１ピン部材９４ａ間（第１被係合部）に係合し、第２保持部材８２３ｂ（第２係合部）が第２ピン部材９４ｂ間（第２被係合部）に係合することで基板支持部材９０を保持するものとした。これに対して、他の実施形態に係る第１保持部材１８２３ａ（第１係合部）および第２保持部材１８２３ｂ（第２係合部）は、図１９に示すように、それぞれ二股状に分岐した先端を有し、基板支持部材９０の対向する第１および第２辺部９２ａ，９２ｂに設けられた第１被係合部１９４ａおよび第２被係合部１９４ｂを挟むように係合することで基板支持部材９０を保持する。第１保持部材１８２３ａの二股の幅ｄ１は、第２保持部材１８２３ｂの幅ｄ２よりも狭く、第１保持部材１８２３ａに係合される第１被係合部１９４ａの幅Ｌ１は、第２保持部材１８２３ｂに係合される第２被係合部１９４ｂの幅Ｌ２よりも狭い。これにより、本実施形態と同様に、基板支持部材９０は、搬送治具８０に対して左右が正しい方向に取り付けられている場合には、水平姿勢に保持され、左右が１８０度反転して取り付けられている場合には、第１保持部材１８２３ａが第２被係合部１９４ｂに係合できないため、傾いた状態となる。このため、基板支持部材９０が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。このように、第１係合部は第１被係合部に係合するが第２被係合部に係合しないように、第１および第２係合部を互いに異なる形状や形態、大きさに形成すると共に第１および第２被係合部を互いに異なる形状や形態、大きさに形成するものであれば、如何なる構成をも採用し得る。

　なお、基板支持部材９０側の第１および第２被係合部は省略されてもよい。この場合でも、第１保持部材８２３ａの第１溝部８２９ａが第１突起９５ａに嵌合し、第２保持部材８２３ｂの第２溝部８２９ｂが第２突起９５ｂに嵌合するため、第１および第２アーム部材８２ａ，８２ｂにより基板支持部材９０を保持しつつ位置決めすることができる。

　また、上述した実施形態では、第１および第２アーム部材８２ａ、８２ｂに対して基板支持部材９０を位置決めするために、基板支持部材９０に第１および第２突起９５ａ，９５ｂを設け、第１および第２アーム部材８２ａ、８２ｂに第１および第２溝部８２９ａ，８２９ｂを設けるものとした。しかし、基板支持部材９０に第１および第２溝部を設け、第１および第２アーム部材８２ａ、８２ｂに第１および第２突起を設けてもよい。また、第１および第２保持部材８２３ａ，８２３ｂと第１および第２ピン部材９４ａ，９４ｂで基板支持部材９０を位置決めするものとし、第１および第２突起と第１および第２溝部とを省略してもよい。

　また、上述した実施形態では、作業装置１０は、基板Ｓを搬送・支持するレーンを２つ備えるものとしたが、レーンを１つだけ備えてもよい。

　また、上述した実施形態では、本開示の作業装置を印刷装置に適用して説明したが、これに限定されるものではなく、例えば部品実装装置など、支持部材に支持された基板に対して作業を行なう作業装置であって当該支持部材を自動交換可能なものであれば、如何なる作業装置に適用してもよい。

　以上説明したように、本開示の搬送治具は、第１係合部を先端部に有する第１アーム部材と、第２係合部を先端部に有する第２アーム部材と、を備える。第１係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被係合部に係合する。第２係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に対向する第２辺部に設けられると共に第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部に係合するように第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成される。作業者が搬送治具に支持部材を取り付けた際に、支持部材が取付方向が誤っていると、一方の係合部が被係合部と係合できず、支持部材が搬送治具に対して傾く。これにより、支持部材が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。この結果、簡易な構成により支持部材の設置ミスを防止することができる。

　こうした本開示の搬送治具において、前記第１アーム部材は、前記支持部材を位置決めするように前記第１辺部に設けられた第１被嵌合部に嵌合する第１嵌合部を前記先端部に更に有し、前記第２アーム部材は、前記支持部材を位置決めするように前記第２辺部に設けられた第２被嵌合部に嵌合する第２嵌合部を前記先端部に更に有してもよい。こうすれば、搬送治具に保持された支持部材の位置ずれをより確実に抑制することができる。

　また、本開示の搬送治具において、前記第１アーム部材および前記第２アーム部材は、互いに平行に配置される回動軸を中心に回動可能に構成され、互いの先端部が向かい合う所定の回動位置において前記支持部材を保持し、互いに押下されることで前記支持部材の保持を解除してもよい。こうすれば、より容易に支持部材の保持を解除することができる。

　また、本開示の第２の搬送治具は、テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に前記支持部材を搬入出するための搬送治具であって、前記支持部材を位置決めするように前記支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被嵌合部に嵌合する第１嵌合部を先端部に有する第１アーム部材と、前記支持部材を位置決めするように前記支持部材の底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部に設けられた第２被嵌合部に嵌合する第２嵌合部を先端部に有する第２アーム部材と、を備えることを要旨とする。

　本開示の支持部材は、搬送治具の第１アーム部材に保持される第１被係合部と、搬送治具の第２アーム部材に保持される第２被係合部とを備える。第１被係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられ、第１アーム部材の先端部に有する第１係合部に係合される。第２被係合部は、支持部材の底面外縁部における第１辺部と対向する第２辺部に設けられ、第２アーム部材の先端部に有する第２係合部に係合される。第２アーム部材の第２係合部は、第１アーム部材の第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成され、支持部材の第２被係合部は、第２アーム部材の第２係合部に係合されるように、第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成される。作業者が搬送治具に支持部材を取り付けた際に、支持部材が取付方向が誤っていると、一方の係合部が被係合部と係合できず、支持部材が搬送治具に対して傾く。これにより、支持部材が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。この結果、簡易な構成により支持部材の設置ミスを防止することができる。

　こうした本開示の支持部材において、記底面外縁部における前記第１辺部に隣接する第３辺部に、前記作業装置により読み取られる第１被読取部と、前記底面外縁部における前記第３辺部に対向する第４辺部に、前記作業装置により読み取られる第２被読取部と、を備え、前記第１被読取部と前記第２被読取部は、互いに前記第３辺部および前記第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられてもよい。こうすれば、作業装置は、支持部材の第１被読取部と第２被読取部とを読み取ることで、搬送治具に対する支持部材の取付方向に誤りがないかを判定することができる。

　本開示の作業装置は、搬送治具がテーブルの上方に搬入された状態で搬送治具に保持された支持部材の第１被読取部と第２被読取部とを読み取り、搬送治具に対する支持部材の取付状態を判定する。支持部材の第１被読取部と第２被読取部は、互いに第３辺部および第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられているため、第１被読取部と第２被読取部とを読み取ることで、支持部材の取付状態が正常であるか否かを判定することができ、支持部材の設置ミスを防止することができる。

　こうした本開示の作業装置において、押下部材と、前記押下部材を昇降させる昇降装置と、を備え、前記第１アーム部材および前記第２アーム部材は、互いに平行に配置される回動軸を中心に回動可能に構成され、互いの先端部が向かい合う所定の回動位置において前記支持部材を保持し、互いに押下されることで前記支持部材の保持を解除するものであり、前記制御装置は、前記支持部材の取付状態が正常と判定すると、前記昇降装置を制御して前記押下部材を下降させることにより、前記押下部材により前記第１アーム部材および前記第２アーム部材部材を押下して前記支持部材を前記テーブル上に載置してもよい。こうすれば、簡易な制御により支持部材を自動交換することができる。

　本開示は、搬送治具や支持部材、作業装置の製造産業などに利用可能である。

　１０　作業装置、１１　作業装置本体、２０　ヘッド装置、２１　ヘッド、２２　スキージ、２３　スキージ昇降装置、２４　プッシャ、２５　プッシャ昇降装置、２６　ヘッド移動装置、２７　Ｙ軸スライダ、２８　ガイドレール、２９　支持レール、３０　第１基板搬送支持装置、３１，４１　コンベア装置、３２，４２　基板ガイド、３３ｂ，４３ｂ　ベースフレーム、３３ｓ，４３ｓ　サイドフレーム、３４，４４　コンベア間隔変更装置、３５，４５　コンベア昇降装置、３６，４６　テーブル、３７，４７　支持部材昇降装置、４０　第２基板搬送支持装置、５０　カメラ装置、５１　カメラ本体、５２　上読取部、５３　下読取部、５５　カメラ移動装置、５６　Ｘ軸スライダ、５７　Ｘ軸ガイドレール、５８　Ｙ軸スライダ、５９　Ｙ軸ガイドレール、６０　交換装置、６１ａ　左側ユニット、６１ｂ　右側ユニット、６２　ラック支持部材、６３　ラック昇降装置、６４　枠前後移動装置、６５　リーダ、７０　収容ラック、７１　支持レール、７２，７３　開口部、８０　搬送治具、８１　枠体、８２ａ　第１アーム部材、８２ｂ　第２アーム部材、８３　認識マーク、９０　基板支持部材、９１　支持部材本体、９１ａ　凹部、９２　アダプタ、９２ａ　第１辺部、９２ｂ　第２辺部、９２ｃ　第３辺部、９２ｄ　第４辺部、９３ｃ　第１認識マーク、９３ｄ　第２認識マーク、９４ａ　第１ピン部材、９４ｂ　第２ピン部材、９５ａ　第１突起、９５ｂ　第２突起、１００　制御装置、１９４ａ　第１被係合部、１９４ｂ　第２被係合部、２００　管理装置、２４１　プッシャプレート、２４２　プッシャローラ、８２１　ベース部材、８２２　アームプレート、８２２ｃ　切り欠き、８２３ａ，１８２３ａ　第１保持部材、８２３ｂ，１８２３ｂ　第２保持部材、８２４　ねじりコイルばね、８２５　サイドプレート、８２６　ロックプレート、８２７　ロックブロック、８２８　引っ張りばね、８２９ａ　第１溝部、８２９ｂ　第２溝部、Ｆ　枠体、Ｍ　スクリーンマスク、Ｐ１，Ｐ２　パターン孔、Ｓ　基板。

Claims

　テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に前記支持部材を搬入出するための搬送治具であって、
　前記支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被係合部に係合する第１係合部を先端部に有する第１アーム部材と、
　前記支持部材の底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部に設けられると共に前記第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部に係合するように、前記第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２係合部を先端部に有する第２アーム部材と、
　を備える搬送治具。
　請求項１に記載の搬送治具であって、
　前記第１アーム部材は、前記支持部材を位置決めするように前記第１辺部に設けられた第１被嵌合部に嵌合する第１嵌合部を前記先端部に更に有し、
　前記第２アーム部材は、前記支持部材を位置決めするように前記第２辺部に設けられた第２被嵌合部に嵌合する第２嵌合部を前記先端部に更に有する、
　搬送治具。
　請求項１または２に記載の搬送治具であって、
　前記第１アーム部材および前記第２アーム部材は、互いに平行に配置される回動軸を中心に回動可能に構成され、互いの先端部が向かい合う所定の回動位置において前記支持部材を保持し、互いに押下されることで前記支持部材の保持を解除する、
　搬送治具。
　テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に前記支持部材を搬入出するための搬送治具であって、
　前記支持部材を位置決めするように前記支持部材の底面外縁部における第１辺部に設けられた第１被嵌合部に嵌合する第１嵌合部を先端部に有する第１アーム部材と、
　前記支持部材を位置決めするように前記支持部材の底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部に設けられた第２被嵌合部に嵌合する第２嵌合部を先端部に有する第２アーム部材と、
　を備える搬送治具。
　テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置に、搬送治具が有する第１アーム部材および第２アーム部材に保持された状態で搬入出される支持部材であって、
　底面外縁部における第１辺部に設けられ、前記第１アーム部材の先端部に有する第１係合部に係合される第１被係合部と、
　前記底面外縁部における前記第１辺部と対向する第２辺部に設けられ、前記第２アーム部材の先端部に有すると共に前記第１係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２係合部に係合されるように、前記第１被係合部と異なる形状、形態または大きさにより形成された第２被係合部と、
　を備える支持部材。
　請求項５に記載の支持部材であって、
　前記底面外縁部における前記第１辺部に隣接する第３辺部に、前記作業装置により読み取られる第１被読取部と、
　前記底面外縁部における前記第３辺部に対向する第４辺部に、前記作業装置により読み取られる第２被読取部と、
　を備え、
　前記第１被読取部と前記第２被読取部は、互いに前記第３辺部および前記第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられている、
　支持部材。
　テーブルに設置される支持部材上の基板に対して作業を行なう作業装置であって、
　搬送治具を用いて前記支持部材を搬入出して前記支持部材を自動交換するよう制御する制御装置を備え、
　前記搬送治具は、前記支持部材の底面外縁部における第１辺部を支持する第１アーム部材と、前記第１アーム部材と互いの先端部が向かい合うように配置され前記底面外縁部における前記第１辺部に対向する第２辺部を支持する第２アーム部材と、を含み、
　前記支持部材は、前記底面外縁部における前記第１辺部に隣接する第３辺部に設けられた第１被読取部と、前記底面外縁部における前記第３辺部に対向する第４辺部に設けられた第２被読取部と、を含み、
　前記第１被読取部と前記第２被読取部は、互いに前記第３辺部および前記第４辺部の延在方向にずれた位置に設けられ、
　前記制御装置は、前記搬送治具が前記テーブルの上方に搬入された状態で該搬送治具に保持された前記支持部材の前記第１被読取部と前記第２被読取部とを読み取り、前記搬送治具に対する前記支持部材の取付状態を判定する、
　作業装置。
　請求項７に記載の作業装置であって、
　押下部材と、
　前記押下部材を昇降させる昇降装置と、
　を備え、
　前記第１アーム部材および前記第２アーム部材は、互いに平行に配置される回動軸を中心に回動可能に構成され、互いの先端部が向かい合う所定の回動位置において前記支持部材を保持し、互いに押下されることで前記支持部材の保持を解除するものであり、
　前記制御装置は、前記支持部材の取付状態が正常と判定すると、前記昇降装置を制御して前記押下部材を下降させることにより、前記押下部材により前記第１アーム部材および前記第２アーム部材部材を押下して前記支持部材を前記テーブル上に載置する、
　作業装置。