JPWO2015190569A1 - 外部共振器型発光装置 - Google Patents
外部共振器型発光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015190569A1 JPWO2015190569A1 JP2016527868A JP2016527868A JPWO2015190569A1 JP WO2015190569 A1 JPWO2015190569 A1 JP WO2015190569A1 JP 2016527868 A JP2016527868 A JP 2016527868A JP 2016527868 A JP2016527868 A JP 2016527868A JP WO2015190569 A1 JPWO2015190569 A1 JP WO2015190569A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- wavelength
- reflectance
- bragg
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29358—Multiple beam interferometer external to a light guide, e.g. Fabry-Pérot, etalon, VIPA plate, OTDL plate, continuous interferometer, parallel plate resonator
- G02B6/29359—Cavity formed by light guide ends, e.g. fibre Fabry Pérot [FFP]
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1003—Waveguide having a modified shape along the axis, e.g. branched, curved, tapered, voids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1003—Waveguide having a modified shape along the axis, e.g. branched, curved, tapered, voids
- H01S5/1014—Tapered waveguide, e.g. spotsize converter
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1025—Extended cavities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1206—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers having a non constant or multiplicity of periods
- H01S5/1215—Multiplicity of periods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1237—Lateral grating, i.e. grating only adjacent ridge or mesa
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/146—External cavity lasers using a fiber as external cavity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
特許文献8は、半導体レーザ光を発振する光源、および複数の周期の異なるブラッググレーティングを備える外部共振器型発光装置が開示されている。ブラッググレーティングの反射特性は、各々が独立しており、互いに交差することはなく、連続した広い波長の反射特性を有しない。また、本装置では光源側にグレーティングと位相調整領域が形成されており、この位相調整領域の作用によって波長可変させ、温度が変化しても優れた波長安定性を実現するという思想である。
前記光源が、前記半導体レーザ光を発振する活性層を備えており、
前記グレーティング素子が、前記半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射面を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された複数のブラッググレーティングを備えていることを特徴とする。
図4の上側には、半導体レーザ光のゲイン(利得)の波長に対する依存性を示し、図4の下側には、四つのブラッググレーティングG1、G2、G3、G4の反射率の波長特性を示す。
反射率よりも大きい波長領域がそれぞれ存在しており、隣り合う中心波長を有するブラッググレーティングの前記波長領域が連続している。
ここで、各ブラッググレーティングの反射率が、外部共振器モードでレーザ発振するのに必要なグレーティングの反射率の最小値R
以上である各波長領域の波長幅(波長上限と波長下限との差)をE1、E2、E3、E4(En)とする。
外部共振器モードでレーザ発振するのに必要なグレーティングの反射率の最小値Rは、半導体レーザとグレーティングにより形成される外部共振器のゲイン閾値を満足するために必要な反射率である。外部共振器のゲイン閾値は、後述する数7により決定される。図5に示す半導体レーザのみの場合と比較して、半導体レーザとグレーティグ素子の結合効率やグレーティング素子部等の損失がゲインを小さくする要因となる。このため外部共振器モードでレーザ発振するための最低の反射率Rは、通常は半導体レーザの出射端の反射率R2よりも大きくする。ただし、結合効率が100%であって損失がない場合にはR=R2となる。
すなわち、(1/10)×△λLDg≦En≦△λLDgとすることが好ましく、(1/5)×△λLDg≦En≦(3/4)×△λLDgとすることが更に好ましい。
ただし、△λLDgは、半導体レーザのゲインが発振しきい値gthの場合のゲインカーブの波長幅(最大波長と最小波長との差)である(図6参照)。
λg(n+1)−λg(n)≦(△λG(n+1)+ △λGn)×1/2
さらに、以下のようにすることが好ましい。
λg(n+1)−λg(n)≦(E(n+1)+En)×1/2
(△λG(n+1)+△λGn)は、隣接するグレーティング素子GnとG(n+1)のブラッググレーティングの反射率の半値幅の和である。
(E(n+1)+En)は、隣接するブラッググレーティングGnにおけるEnとブラッググレーティング素子G(n+1)におけるE(n+1)の合計値である。
λg(n+1)−λg(n)≧(E(n+1)+En)×1/4
さらに、以下のようにすることが好ましい。
λg(n+1)−λg(n)≧(△λG(n+1)+ △λGn)×1/4
このような条件になるように、グレーティングピッチを調整することが好ましい。
また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、1050μm以下が好ましく、800μm以下が更に好ましい。また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、300μm以上が好ましい。
たとえばGaAs半導体レーザの温度特性は0.3nm/℃であり、10℃温度が上昇すると3nm長波長側に発振波長がシフトする。△λLDgは、半導体レーザによって異なるが一般的に4nmから10nm程度の範囲である。
△T= {Σ(En)+△λlow+△λhigh}/0.3nm/℃
となる。通常のレーザの場合、△λlow、△λhighは、2nmから3nmの数値の範囲である(図6参照)。
さらに、グレーティング素子の反射波長の温度シフトが0.1nm/℃の場合には、
△T={Σ(En)+△λlow+△λhigh}/(0.3−0.1)nm/℃
となり、図6のときには、動作温度範囲は、100℃から110℃となる。
幅Woutに向かって徐々に小さくなっている。
なお、本例では、連結部9aにおける光導波路の幅Wgrが一定であり、出射部9cにおける光導波路の幅Woutも一定である。
なお、Aはグレーティング素子への入射光であり、Bはグレーティング素子からの出射光であり、Cはグレーティング反射光である。
なお、半導体レーザとグレーティング素子との組み合わせでパワー安定化を行う方法は、下記に開示されている。
(非特許文献3: 古河電工時報 平成12年1月 第105号 p24-29)
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
接着層の材質は、無機接着剤であってよく、有機接着剤であってよく、無機接着剤と有機接着剤との組み合わせであってよい。
ただし、数式は抽象的で理解しにくいので、最初に、従来技術の典型的な形態と本実施形態とを端的に比較し、本実施形態の特徴を述べる。次いで、本実施形態の各条件について述べていくこととする。
図13は、図2および図7(b)の構造において、グレーティング長さに対するグレーティング反射率、および反射特性の半値幅の計算値を示す。グレーティング溝深さtdは100nm、125nm、150nmとした。
光学材料層はTa2O5、支持基板は石英、上側クラッド、下側クラッド層はSiO2とした。
この結果、例えば、グレーティング深さtd125nmにおいてグレーティング長さ25μmの場合、反射率18%、半値幅6nmの特性を得ることができる。
光学材料層はTa2O5、支持基板は石英、上側クラッド、下側クラッド層はSiO2とした。
この結果、例えば、グレーティング深さtd200nmにおいてグレーティング長さ40μmの場合、反射率19%、半値幅3.8nmの特性を得ることができる。
図2および図7(b)に示すような発光装置を作製した。
具体的には、石英からなる支持基板6にスパッタ装置にて下側バッファ層13になるSiO2層を0.5μm、またその上にTa2O5を1.2μm成膜して光学材料層30を形成した。次に、光学材料層上にTiを成膜して、EB描画装置によりグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、ピッチ間隔Λ206nm、長さLb 25μmと、 Λ207nm、Lb 25μmの2つのブラッググレーティングG1、G2を形成した。中間伝搬部10の長さは5μmである。グレーティングの溝深さtdは125nmとした。
最後に上側バッファ層14となるSiO2層を0.5μmスパッタにて形成した。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、それぞれ846nm、850nmであり、反射率は18%であった。また反射率14%で両者の反射特性が交差しており、14%以上の波長領域が844nmから852nmの8nmあることを確認した。
光源素子仕様:
中心波長: 844nm
出力 20mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 250μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
図3、図7(b)に示すような発光装置を作製した。
具体的には、石英からなる支持基板にスパッタ装置にて下側バッファ層13になるSiO2層を0.5μm、またその上にTa2O5を1.2μm成膜し、光学材料層30を形成した。次に、光学材料層30上にTiを成膜して、EB描画装置によりグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、ピッチ間隔Λ206nm、長さLb 25μmのブラッググレーティングG1を形成した。グレーティングの溝深さtdは125nmとした。
光源素子仕様:
中心波長: 844nm
出力 20mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 250μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
実施例2と同じような発光装置を作製した。
ただし、グレーティングについては、ピッチ間隔Λ206nm、長さLb 25μmと、 Λ207nm、Lb 25μmの2つのブラッググレーティングG1、G2を形成した。中間伝搬部10の長さは0μmとした。また、その他のパラメータは実施例2と同じとした。
光源素子仕様:
中心波長: 844nm
出力 20mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 250μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
Claims (10)
- 半導体レーザ光を発振する光源、およびこの光源と外部共振器を構成するグレーティング素子を備える外部共振器型発光装置であって、
前記光源が、前記半導体レーザ光を発振する活性層を備えており、
前記グレーティング素子が、前記半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射面を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された複数のブラッググレーティングを備えていることを特徴とする、外部共振器型発光装置。 - 前記各ブラッググレーティングについて、前記ブラッググレーティングの反射率が前記光源の出射端の反射率よりも大きい波長領域がそれぞれ存在しており、隣り合う中心波長を有する前記ブラッググレーティングの前記波長領域が連続していることを特徴とする、請求項1の装置。
- 隣り合う中心波長を有する前記ブラッググレーティングの前記反射率が所定波長で一致しており、外部共振器モードでレーザ発振するのに必要なグレーティングの反射率の最小値が、前記光源の出射端の反射率以上であり、かつ前記所定波長における前記ブラッググレーティングの前記反射率以下である、請求項2記載の装置。
- 以下の式(1)を満足することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
λg(n+1)−λg(n)≦(△λG(n+1)+△λGn)
×1/2 (1)
(式(1)において、
(λg(n+1)−λg(n))は、グレーティング素子Gnの中心波長λg(n)と、前記グレーティング素子Gnに隣接するグレーティング素子G(n+1)の中心波長λg(n+1)の間隔である。
(△λG(n+1)+△λGn)は、グレーティング素子Gnのブラッググレーティングの反射率の半値幅△λGnと、前記グレーティング素子Gnに隣接するグレーティング素子G(n+1)の反射率の半値幅△λG(n+1)との和である。) - 隣り合う前記ブラッググレーティングの間に回折格子のない伝搬部がなく、隣り合う前記ブラッググレーティングが連続していることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光源の出射端と反対側の反射端と、前記複数のブラッググレーティングの出射側終点との間隔が1mm以下であり、下記式(2)および式(3)の関係が満足されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の装置。
Lbtotal ≦500μm ・・・(2)
La ≦500μm ・・・(3)
(式(2)において、Lbtotalは、前記複数のブラッググレーティングの開始点から前記出射側終点までの長さである。
式(3)において、Laは、前記活性層の長さである。) - 下記式(4)の関係を満足することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の装置。
2nm≦ΔλGn≦6nm ・・・(4)
(式(4)において、ΔλGnは、前記各ブラッググレーティングの反射率の各波長特性の各半値幅である。)
- 前記ブラッググレーティングを構成する材質の屈折率nbが1.7以上であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光導波路が、前記ブラッググレーティングと前記入射面との間に入射側伝搬部を有しており、前記入射側伝搬部が、前記光導波路の幅が変化するテーパ部を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光源の前記活性層の前記グレーティング素子側の端面に形成された反射膜を備えることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一つの請求項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122620 | 2014-06-13 | ||
JP2014122620 | 2014-06-13 | ||
PCT/JP2015/066923 WO2015190569A1 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-11 | 外部共振器型発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015190569A1 true JPWO2015190569A1 (ja) | 2017-04-20 |
Family
ID=54833656
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016527868A Ceased JPWO2015190569A1 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-11 | 外部共振器型発光装置 |
JP2016527869A Active JP6629194B2 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-11 | 外部共振器型発光装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016527869A Active JP6629194B2 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-11 | 外部共振器型発光装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10003175B2 (ja) |
JP (2) | JPWO2015190569A1 (ja) |
WO (2) | WO2015190569A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015190569A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
CN110380326B (zh) | 2019-07-29 | 2020-10-23 | 武汉电信器件有限公司 | 一种光信号输出装置及方法、存储介质 |
US11848539B2 (en) * | 2021-02-18 | 2023-12-19 | Ioptis Corp. | Narrow linewidth semiconductor laser device |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0735933A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-02-07 | Nec Corp | 導波路型光デバイスの光導波路と光半導体素子の 結合構造 |
JPH0774426A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Canon Inc | 波長可変レーザ、波長可変フィルタおよび波長選択検出素子 |
JPH1084168A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-03-31 | Northern Telecom Ltd | 半導体基板上に個別デバイスをハイブリット集積するための方法および光電子デバイス |
JPH10293234A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザモジュール |
JPH1140883A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-02-12 | Ando Electric Co Ltd | 可変波長半導体レーザ光源 |
JPH11251690A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-09-17 | Hewlett Packard Co <Hp> | レ―ザ光の発生方法及び同調レ―ザ装置 |
WO2001022544A1 (en) * | 1999-09-21 | 2001-03-29 | Nortel Networks Optical Components (Switzerland) Gmbh | Stabilized laser source |
JP2001144370A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 外部共振器型半導体レーザ |
JP2001185807A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ファイバグレーティング半導体レーザ |
JP2003069147A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-03-07 | Lucent Technol Inc | 半導体レーザー |
JP2003298184A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール及び該半導体レーザモジュールを用いた波長合成器 |
WO2005031930A1 (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-07 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 半導体レーザ装置 |
US20060002443A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Gennady Farber | Multimode external cavity semiconductor lasers |
JP2007081215A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光源、波長変換装置および蛍光顕微鏡装置 |
JP2009088192A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ |
US20090290613A1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Applied Optoelectronics, Inc. | External cavity laser assembly including external chirped exit reflector for improved linearity |
JP2010171252A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Fujitsu Ltd | 光送信装置 |
US20120093178A1 (en) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Wavelength tunable external cavity laser generating device |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49128689A (ja) | 1973-04-06 | 1974-12-10 | ||
JPS56148880A (en) | 1980-04-21 | 1981-11-18 | Nec Corp | Single longitudinal mode semiconductor laser |
JP2000082864A (ja) | 1998-09-04 | 2000-03-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | レーザ装置 |
US6301408B1 (en) * | 1998-09-24 | 2001-10-09 | Lucent Technologies Inc | Tapered optical fiber grating devices with variable index coatings for modifying guide properties of the fundamental mode |
JP2002006148A (ja) | 2000-06-23 | 2002-01-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | ファイバグレーティング及びファイバグレーティングの製造方法 |
JP3667209B2 (ja) | 2000-08-01 | 2005-07-06 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ |
JP2002134833A (ja) | 2000-10-23 | 2002-05-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 温度無依存型レーザ |
KR100420950B1 (ko) | 2001-12-12 | 2004-03-02 | 한국전자통신연구원 | 파장 가변 레이저 광원 |
JP3729170B2 (ja) * | 2002-10-18 | 2005-12-21 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ |
US7151789B2 (en) * | 2002-12-20 | 2006-12-19 | Spectalis Corp | External-cavity lasers |
JP2006222399A (ja) | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体レーザ装置 |
WO2013034813A2 (en) | 2011-09-07 | 2013-03-14 | Epicrystals Oy | Wavelength conversion unit |
US9184564B2 (en) | 2013-06-07 | 2015-11-10 | Ngk Insulators, Ltd. | External resonator type light emitting system |
CN105765802B (zh) * | 2013-11-27 | 2020-01-07 | 日本碍子株式会社 | 外部谐振器型发光装置 |
JP5641631B1 (ja) | 2014-06-04 | 2014-12-17 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
WO2015190569A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
-
2015
- 2015-06-11 WO PCT/JP2015/066923 patent/WO2015190569A1/ja active Application Filing
- 2015-06-11 JP JP2016527868A patent/JPWO2015190569A1/ja not_active Ceased
- 2015-06-11 JP JP2016527869A patent/JP6629194B2/ja active Active
- 2015-06-11 WO PCT/JP2015/066924 patent/WO2015190570A1/ja active Application Filing
-
2016
- 2016-12-12 US US15/375,550 patent/US10003175B2/en active Active
- 2016-12-12 US US15/375,587 patent/US9979157B2/en active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0735933A (ja) * | 1993-07-19 | 1995-02-07 | Nec Corp | 導波路型光デバイスの光導波路と光半導体素子の 結合構造 |
JPH0774426A (ja) * | 1993-09-02 | 1995-03-17 | Canon Inc | 波長可変レーザ、波長可変フィルタおよび波長選択検出素子 |
JPH1084168A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-03-31 | Northern Telecom Ltd | 半導体基板上に個別デバイスをハイブリット集積するための方法および光電子デバイス |
JPH10293234A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザモジュール |
JPH1140883A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-02-12 | Ando Electric Co Ltd | 可変波長半導体レーザ光源 |
JPH11251690A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-09-17 | Hewlett Packard Co <Hp> | レ―ザ光の発生方法及び同調レ―ザ装置 |
WO2001022544A1 (en) * | 1999-09-21 | 2001-03-29 | Nortel Networks Optical Components (Switzerland) Gmbh | Stabilized laser source |
JP2001144370A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 外部共振器型半導体レーザ |
JP2001185807A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ファイバグレーティング半導体レーザ |
JP2003069147A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-03-07 | Lucent Technol Inc | 半導体レーザー |
JP2003298184A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Anritsu Corp | 半導体レーザモジュール及び該半導体レーザモジュールを用いた波長合成器 |
WO2005031930A1 (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-07 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 半導体レーザ装置 |
US20060002443A1 (en) * | 2004-06-30 | 2006-01-05 | Gennady Farber | Multimode external cavity semiconductor lasers |
JP2007081215A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光源、波長変換装置および蛍光顕微鏡装置 |
JP2009088192A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ |
US20090290613A1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Applied Optoelectronics, Inc. | External cavity laser assembly including external chirped exit reflector for improved linearity |
JP2010171252A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Fujitsu Ltd | 光送信装置 |
US20120093178A1 (en) * | 2010-10-14 | 2012-04-19 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Wavelength tunable external cavity laser generating device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10003175B2 (en) | 2018-06-19 |
US20170093127A1 (en) | 2017-03-30 |
JP6629194B2 (ja) | 2020-01-15 |
US20170093126A1 (en) | 2017-03-30 |
WO2015190570A1 (ja) | 2015-12-17 |
JPWO2015190570A1 (ja) | 2017-04-20 |
US9979157B2 (en) | 2018-05-22 |
WO2015190569A1 (ja) | 2015-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6125631B2 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP5936771B2 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
US10074962B2 (en) | Grating element and external resonator type light emitting device | |
WO2015107960A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP5641631B1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
US9859684B2 (en) | Grating element and external-resonator-type light emitting device | |
WO2015190569A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP6572209B2 (ja) | 光学デバイスおよび光学デバイスの製造方法 | |
JP2017126625A (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
WO2015190385A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
WO2015108197A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
WO2016093187A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP2015039011A (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP2016171219A (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
WO2016152730A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
WO2017043222A1 (ja) | 光学デバイス | |
WO2016125746A1 (ja) | 光導波路素子および光学デバイス | |
WO2015087914A1 (ja) | 外部共振器型発光装置 | |
JP2015103732A (ja) | グレーティング素子および外部共振器型発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190124 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190325 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190522 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191105 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20200326 |