JP2017126625A - 外部共振器型発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】グレーティング素子を利用した外部共振器型の発光装置において、温度変化に対する安定性を改善する構造を提供することであり、かつレーザ光のパワーを安定化する。【解決手段】グレーティング素子が、半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射部を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された三個以上の周期の異なるブラッググレーティングG1、G2、G3を備える。複数のブラッググレーティングの合成反射率の波長依存性を示すグラフにおいて合成反射率が二個以上のピークP1、P2、P3を有する。最も長波長のピークP3の反射率RG3を最も高くすると共に、各ピークP3、P2の反射率RG3、RG2を各ピークに対して短波長側に隣接するピークP2、P1の反射率RG2、RG1以上とする。【選択図】 図7
Description
本発明は、外部共振器型発光装置に関するものである。
DBRレーザは、活性層の導波路の延長上の導波路面に凹凸を形成し、ブラッグ反射によるミラーを構成し、共振器を実現している。このレーザは、光導波層の両端に回折格子が設けられているので、活性層で発光した光は光導波層を伝搬し、この回折格子で一部が反射され、電流注入部に戻り、増幅される。回折格子から決められた方向に反射するのは、一つの波長の光だけであるので、レーザ光の波長は一定になる。
半導体基板中にモノリシックに形成されるDBRレーザは、活性層の導波路の延長上に回折格子が形成されるために、活性層で発生した熱が直接的に回折格子部分に伝熱することや、電流注入された電子が回折格子部分にも注入されることによって屈折率変動が大きくなり、温度変動により波長が変動したりパワーが変動するといった問題がおこる。このため、ペルチェ素子などにより温度制御するのが一般的である。
また、この応用として、回折格子を、半導体とは異なる部品とし、外部で共振器を形成する、外部共振器型半導体レーザが開発されている。このタイプのレーザは、波長安定性、温度安定性、制御性がよいレーザとなる。外部共振器は、ファイバ・ブラッグ・グレーティング(FBG)や、ボリューム・ホログラム・グレーティング(VHG)がある。
本出願人は、特許文献1(WO 2014−196553)および特許文献2(特許第5641631)において、温度変化に伴うモードホップを抑制するような外部共振器型発光装置の構造を提案した。
また、特許文献3記載のように、グレーティング素子中に複数個のブラッググレーティングを設けることによって、広い温度範囲で使用可能とすることが考えられる。この場合、一般的にグレーティング素子の長さが1mm以上であり、反射率の波長幅(半値全幅FWHM)が1nm以下で設定される。これによって、モードホップを抑制した波長安定性が高い外部共振器型レーザが実現できるとされている。
特許文献4は、半導体レーザ光を発振する光源、および複数の周期の異なるブラッググレーティングを備える外部共振器型発光装置が開示されている。ブラッググレーティングの反射特性は、各々が独立しており、互いに交差することはなく、連続した広い波長の反射特性を有しない。また、本装置では光源側にグレーティングと位相調整領域が形成されており、この位相調整領域の作用によって波長可変させ、温度が変化しても優れた波長安定性を実現するという思想である。
特許文献6は、複数のブラッググレーティングを備えており、各ブラッググレーティングについて、その反射率が光源の出射端の反射率よりも大きい波長領域があり、隣り合う中心波長を有する反射率の波長領域を連続させることを特徴としている。この場合、ブラッググレーティングの反射率が光源の出射端の反射率よりも大きい波長領域においては、そのブラッググレーティングを用いた発振が可能である。そして、環境温度が変化したときには、光源から発振するレーザ光の波長がシフトしたとしても、中心波長が隣りのブラッググレーティングが機能し、発振可能となる。この結果、装置全体としての温度安定性が著しく改善することを見いだした。
また特許文献7は、複数の周期(ピッチ)の異なるブラッググレーティングの反射率を合成した合成反射率が光源の出射端の反射率よりも大きく、合成反射率が合成反射率の最大値Rmaxの50%R50以上となる波長領域△λ50を連続かつ広域にわたって設けることによって、温度安定性がよくなることを見出した。
古河電工時報 平成12年1月 第105号 p24-29
Handbook of Semiconductor Lasersand Photonic Integrated Circuit, pp.363-374, 1994, dited by Y,Suematsuand A.R.Adams
M.Asada,etal, "Gain and intervalence band absorption inquantum-well lasers", IEEE J. Quantumn Electron, QE-2(7), p.745-753, 1984.
Y.Suematsu, A.R.Adams, "Handbook of semiconductor lasers andphotonic integrated circuits", Ohmsha Ltd.,p.153-156, 1994.
しかし、実際には、外部共振器型発光装置全体の温度安定性を向上させることには限界があり、ペルチェ素子などの温度調節機構が必要なことが多い。特に、通常よりも幅広い温度変化に対しては、従来の外部共振器型発光装置によって対応することは難しい。このため、レーザ光源の温度変化に対する光パワーの安定性を一層改善することが望まれる。
本発明の課題は、グレーティング素子を利用した外部共振器型の発光装置において、温度変化に対する安定性を改善する構造を提供することであり、かつレーザ光のパワーを安定化することである。
本発明は、半導体レーザ光を発振する光源、およびこの光源と外部共振器を構成するグレーティング素子を備える外部共振器型発光装置であって、
光源が、半導体レーザ光を発振する活性層を備えており、
グレーティング素子が、半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射部を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された三個以上の周期の異なるブラッググレーティングを備えており、
複数のブラッググレーティングの合成反射率の波長依存性を示すグラフにおいて前記合成反射率が二個以上のピークを有しており、前記ピークの反射率の中で最も長波長のピークの反射率が最も高く、前記各ピークの反射率が各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率以上であることを特徴とする。
光源が、半導体レーザ光を発振する活性層を備えており、
グレーティング素子が、半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射部を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された三個以上の周期の異なるブラッググレーティングを備えており、
複数のブラッググレーティングの合成反射率の波長依存性を示すグラフにおいて前記合成反射率が二個以上のピークを有しており、前記ピークの反射率の中で最も長波長のピークの反射率が最も高く、前記各ピークの反射率が各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率以上であることを特徴とする。
本発明者は、特許文献6、7記載のように、複数の周期(ピッチ)の異なるブラッググレーティングの反射率を合成した合成反射率が光源の出射端の反射率よりも大きく、合成反射率が合成反射率の最大値Rmaxの50%R50以上となる波長領域△λ50を連続かつ広域にわたって設けることによって、温度安定性が良くなることに着目した。しかし、これでも、大きな温度変化に対しては未だ限界があった。
本発明者は、こうした外部共振器型発光装置の動作について種々検討した結果、次の知見を得た。
まず、ブラッググレーティングが一つ設けられた例について述べる。図5に示すように、温度T1において光源レーザのゲインと、グレーティング反射カーブ内で共振器の位相条件を満足する縦モードの積として最も大きいゲインを得る波長で、レーザ発振がおこる。
ここで、T1から温度が上昇する場合、レーザのゲインピーク値は、0.2nm/℃から0.4nm/℃の温度係数を有する。一方、グレーティング反射率の中心波長の温度係数はこれよりも小さく、温度係数が零の場合もある。また、非特許文献3や4に示すように、半導体レーザは、温度上昇によりゲインの最大値が低下し、かつ発振しきい値電流が上昇することがわかっている。このため、半導体レーザを電流一定駆動させた場合には、環境温度が変動した場合に光出力が変動することを示唆している。
このことから、温度T2においてはレーザのゲインカーブとグレーティング反射率のピーク値がズレてしまい、レーザ発振のしきい値以上のゲインは得られるものの、発振したレーザ光のパワーは小さくなる。
さらに、温度T3においては、レーザのゲインカーブのピーク値とグレーティング反射率のピーク値との差が大きくなり、しきい値以上のゲインが得られず、レーザ発振しない。
図6には、例えば三個のブラッググレーティングを素子内に設けた場合について述べる。グレーティング反射率の温度特性のグラフとしては、三個のブラッググレーティングの合成反射率を示す。このグラフには、三個のピークP1、P2、P3が含まれており、各ピークは互いに連続している。
この場合、素子の温度がT1からT3に上昇するときには、図5の場合と同様に、レーザゲインが長波長側にシフトし、ゲインが低下してしまう。しかし、合成反射率のグラフの半値幅Δλ(反射率R50以上となる波長範囲)が温度T1からT3の範囲で半導体レーザのゲインピークの波長をカバーし、発振しきい値を超えることができるので、この範囲においてはレーザ発振が可能となる。
しかし、温度が上昇すると、半導体レーザのゲイン低下とともにレーザ光のパワーが低下する。このため、レーザ光パワー安定化を図るには、ゲイン低下を補償するだけ、レーザの駆動電流を大きくする必要がある。しかし、駆動電流には、レーザ光源の構造に由来する限界の最大値がある。これを超えるとレーザ光源が破損するために、パワー安定化できる温度領域は限られてしまう。
これに対して、ブラッググレーティングの合成反射率が二個以上のピークを有している場合に、最も長波長のピークの反射率を最も高くすると共に、各ピークの反射率を各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率以上とすることを想到した。これによって、温度上昇が起こってレーザ光源のゲインが低下しても、ブラッググレーティングからの反射光による帰還光が増加することにより、しきい値電流の増大を抑制でき、広い温度範囲においてレーザ駆動電流制御範囲内で、装置全体としての温度安定性が著しく改善することを見いだした。
すなわち、図7に示すように、グレーティングの合成反射率のピークP1、P2、P3が連続しているとき、ピークP3の反射率RG3がピークP1の反射率RG1より大きくなるようにする。また、ピークP3の反射率RG3がピークP2の反射率RG2以上となるようにし、ピークP2の反射率RG2がピークP1の反射率RG1以上となるようにする。また、各ピークはR50以上で連続している。この場合、温度がT1からT2やT3まで高くなると、レーザの波長が長波長にシフトし、ゲインが小さくなる。しかし、長波長側にいくほど合成反射率のピーク値は大きくなっていくので、駆動電流を大きくしなくとも、レーザ光のパワー変動が小さくなる。パワー安定化のために駆動電流を大きくすることが必要な場合であっても、駆動電流がしきい値を超えることを防止できる。
図1は、本発明で適用可能なグレーティング素子2Bを示す模式図であり、図2は、グレーティング素子2Bを用いた外部共振器型発光装置を示す。
図2の外部共振器型発光装置は、半導体レーザ光を発振する光源1とグレーティング素子2Bとを備えている。光源1とグレーティング素子2Bとは、図示しない共通基板上にマウントしてもよい。
図2の外部共振器型発光装置は、半導体レーザ光を発振する光源1とグレーティング素子2Bとを備えている。光源1とグレーティング素子2Bとは、図示しない共通基板上にマウントしてもよい。
光源1は、半導体レーザ光を発振する活性層3を備えている。本実施形態では、活性層3は基体4に設けられている。活性層3の外側端面3aには反射膜5Aが設けられており、活性層3のグレーティング素子側の端面3bには無反射膜5Bが形成されている。Laは活性層の光軸方向の長さである。
グレーティング素子2Bでは、支持基板6上に、半導体レーザ光が入射する入射面7aと所望波長の出射光を出射する出射面7bを有する光導波路7が設けられている。光導波路7内には、複数のブラッググレーティングG1、G2、G3が形成されている。本例ではブラッググレーティングの個数は三個であるが、四個以上であってもよい。本例では、ブラッググレーティングの間には、それぞれ、回折格子のない中間伝搬部がなく、隣接するブラッググレーティングが連続している。
光導波路7の入射面7aとブラッググレーティングG1との間には、回折格子のない入射側伝搬部8が設けられており、入射側伝搬部8が活性層3と間隙11を介して対向している。5Cは、光導波路7の入射面側に設けられた無反射膜である。光導波路7の出射面7bとブラッググレーティングG4との間には、回折格子のない出射側伝搬部9が設けられている。5Dは、光導波路7の出射面側に設けられた無反射膜である。
図3の発光装置は、図2の発光装置とほぼ同様のものである。ただし、図3のグレーティング素子2においては、光導波路7の入射側伝搬部8と出射側伝搬部9との間に、四つのブラッググレーティングG1、G2、G3、G4が設けられている。隣り合うブラッググレーティングG1とG2との間、G2とG3との間、G3とG4との間に、それぞれ、回折格子のない中間伝搬部10が設けられている。
図4は、対照例の発光装置を示す模式図である。本装置のグレーティング素子では、光導波路7の入射側伝搬部8と出射側伝搬部9との間に一体のブラッググレーティングRGが設けられている。
なお、前記の例では光導波路の出射部を出射面としたが、光導波路の出射部を他のデバイスに直接連結しても良い。
なお、前記の例では光導波路の出射部を出射面としたが、光導波路の出射部を他のデバイスに直接連結しても良い。
本発明においては、周期が互いに異なる三個以上のブラッググレーティングをグレーティング素子中に設ける。しかし、これらの三個のブラッググレーティングのうちの一つと周期が同一のブラッググレーティングを、更に一つまたは複数設けることも可能である。
ここで、本発明においては、例えば図7に示すような、複数のブラッググレーティングの合成反射率の波長依存性を示すグラフにおいて、合成反射率が複数のピークP1、P2、P3を有している。そして、複数のピークのうち最も長波長のピークP3の反射率RG3が最も短波長のピークP1の反射率RG1よりも高い。これに加えて、各ピークの反射率が、各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率以上である。すなわち、本例では、ピークP3の反射率RG3が、ピークP3に対して短波長側に隣接するピークP2の反射率RG2以上であり、ピークP2の反射率RG2が、ピークP2に対して短波長側に隣接するピークP1の反射率RG1以上である。
最も反射率の高いピークP3よりも長波長側にピークがあった場合においても、反射率がR50以下の場合にはそのピークに起因したレーザー発振は起らないので本願の発明に関わる構造とすることができる。
最も反射率の高いピークP3よりも長波長側にピークがあった場合においても、反射率がR50以下の場合にはそのピークに起因したレーザー発振は起らないので本願の発明に関わる構造とすることができる。
本発明では、複数のピークのうち最も長波長のピークの反射率が最も短波長のピークの反射率よりも高いが、この差は5%以上が好ましく、8%以上が更に好ましい。また、この差は、20%以下が好ましい。
また、本発明においては、各ピークの反射率が、各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率と等しくとも良い。あるいは、各ピークの反射率が、各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率よりも高くとも良い。この場合には、各ピークの反射率と、各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率との差は1%以上が好ましく、3%以上が更に好ましい。
本発明にしたがって、合成反射率の各ピークの高さを調整する方法としては以下があげられる。
(1) 第一の方法では、最も短周期(反射ピークが短波長)のブラッググレーティングの周期と二番目に周期の短い(反射ピークが波長の短い)ブラッググレーティングの周期との周期差を、最も長周期(反射ピークが長波長)のブラッググレーティングの周期と二番目に周期の長い(反射ピークが波長の長い)ブラッググレーティングの周期との周期差よりも大きくする。また、周期が隣り合うブラッググレーティングの周期差については、周期差をゼロにするか、あるいは、周期が長くなるにつれて周期差が大きくなるようにする。
(1) 第一の方法では、最も短周期(反射ピークが短波長)のブラッググレーティングの周期と二番目に周期の短い(反射ピークが波長の短い)ブラッググレーティングの周期との周期差を、最も長周期(反射ピークが長波長)のブラッググレーティングの周期と二番目に周期の長い(反射ピークが波長の長い)ブラッググレーティングの周期との周期差よりも大きくする。また、周期が隣り合うブラッググレーティングの周期差については、周期差をゼロにするか、あるいは、周期が長くなるにつれて周期差が大きくなるようにする。
(2) 第二の方法では、最も長周期(反射ピークが長波長)のブラッググレーティングが、最も短周期(反射ピークが短波長)のブラッググレーティングよりも長くなるように設計する。好適な実施形態においては、ブラッググレーティングの周期が長くなる(反射ピークの波長が長くなる)のにつれて、ブラッググレーティングが長くなるように設計する。この際、好ましくは、隣接するブラッググレーティングの周期差は一定になるようにすることができる。
さらには、第一の方法と第二の方法を組み合わせて調整することも可能である。
以下、本発明の外部共振器型発光装置の動作について更に述べる。
図9の上段には、半導体レーザ光のゲイン(利得)の波長に対する依存性を示し、図9の下段には、三つのブラッググレーティングG1、G2、G3の合成反射率の波長特性例を示す。
図9の上段には、半導体レーザ光のゲイン(利得)の波長に対する依存性を示し、図9の下段には、三つのブラッググレーティングG1、G2、G3の合成反射率の波長特性例を示す。
本発明においては、複数のブラッググレーティングの周期(ピッチ)が互いに異なっており、合成反射率の波長特性がブラッググレーティングごとに異なる。例えば、図8に示す例では、三つのブラッググレーティングG1、G2、G3の各反射率の波長特性はそれぞれ異なっている。
そして、図9に示すように,レーザの発振閾値をgthとし、ゲインの半値幅をΔλLDgとする。一方、各ブラッググレーティングG1、G2、G3の反射率の中心波長をλG1、λG2、λG3とし(図8)、各ブラッググレーティングの反射率の半値全幅をΔλG1、ΔλG2、ΔλG3、とする。また、光源の出射端における反射率をR2とする。
また、三つのブラッググレーティングの合成反射率の最大値をRmaxとし、その50%となる反射率をR50とする。また、反射率がR50以上となる波長領域の波長全幅をW50とし、その中心波長をλGCとする。
W50は、反射率R50以上となる波長領域が連続していることが好ましいが、反射率がR50以上となる波長領域が連続していなくてもかまわない。反射率がR50以上となる波長領域が連続していない場合には、連続していない波長間でモードホップが起きてしまうが、その波長差が7nm以下であればシングルモード発振を維持でき、パワー変動も小さくできる。
W50は、反射率R50以上となる波長領域が連続していることが好ましいが、反射率がR50以上となる波長領域が連続していなくてもかまわない。反射率がR50以上となる波長領域が連続していない場合には、連続していない波長間でモードホップが起きてしまうが、その波長差が7nm以下であればシングルモード発振を維持でき、パワー変動も小さくできる。
ここで、複数のブラッググレーティングの合成反射率が光源の出射端の反射率R2より大きい波長領域が存在している。各ブラッググレーティングG1、G2、G3は、合成された反射特性を得るための要素である。各ブラッググレーティングの個別の反射率は、光源の出射端の反射率R2より大きい波長領域があってもよく、なくてもよい。
なお、本例では、各ブラッググレーティングの隣り合う波長領域ΔλG1、ΔλG2、とΔλG3が一部分で重複していると言える。
これを言い換えると、各ブラッググレーティングの反射率のグラフが、各々のΔλG1、ΔλG2、ΔλG3となる反射率以上で交差している。
これを言い換えると、各ブラッググレーティングの反射率のグラフが、各々のΔλG1、ΔλG2、ΔλG3となる反射率以上で交差している。
レーザ光の発振波長は、グレーティングにより反射される波長で決定される。グレーティングによる反射光がレーザのゲイン閾値を上回れば発振条件を満足し、活性層のグレーティング素子側の端面からの反射光よりもゲインを大きくすることにより優先的にレーザ発振を維持することができる。これにより波長安定性の高いレーザ光を得ることができる。
このためには、グレーティングからの帰還量を大きくすればよく、この観点からグレーティングの反射率は活性層の端面における反射率よりも大きくする。これによりもともとの半導体レーザの共振器で得られるゲインよりもグレーティングによる共振器で得られるゲインの方が大きくなり、グレーティングによる共振器で安定なレーザ発振が可能となる。
この結果、光源のゲインピーク波長が温度変化に応じてシフトしたときに、複数のブラッググレーティングの合成反射率の波長領域△λ50において発振が確保される。この結果、温度変化に対してレーザ発振する波長が変化してもその波長で安定し、同時にパワー安定性を著しく高めることができる。
ここで、本実施形態では、図8に示すように、ブラッググレーティングG3の中心波長λG3とブラッググレーティングG2の中心波長λG2との差を、ブラッググレーティングG2の中心波長λG2とブラッググレーティングG1の中心波長λG1との差よりも小さくしている。これによって、合成反射率には三つのピークP1、P2、P3が生じている。
すなわち、図7、図9に示すように、グレーティングの合成反射率のピークP1、P2、P3が連続しているとき、ピークP3の反射率RG3がピークP1の反射率RG1より大きくなるようにし、またピークP3の反射率RG3がピークP2の反射率RG2以上となるようにし、ピークP2の反射率RG2がピークP1の反射率RG1以上となるようにする。また、各ピークはR50以上で連続している。この場合、温度がT1からT2やT3まで高くなると、レーザの波長が長波長にシフトし、ゲインが小さくなる。しかし、長波長側にいくほど合成反射率のピーク値は大きくなっていくので、駆動電流を大きくしなくとも、レーザ光のパワー変動が小さくなる。パワー安定化のために駆動電流を大きくすることが必要な場合であっても、駆動電流がしきい値を超えることを防止できる。
本実施形態では、R50が、光源の出力端の反射率R2よりも大きい。この観点からは、R50/R2は、1.01以上が好ましく、1.05以上が更に好ましい。R50/R2は、さらに、波長安定性、パワー安定性を高めるという観点で1.2以上が好ましい。
好適な実施形態においては、合成されたブラッググレーティングの反射特性において、前記R50が光源の出射端の反射率R2以上で連続する波長領域が存在する。この際、この連続する波長領域の波長上限と下限との差は、10nm以上あることが好ましく、12nm以上であることが更に好ましい。
また、前記合成反射率が前記半値反射率R50以上となる波長領域Δλ50が連続して10nm以上、30nm以下で設けられていることが好ましい。これは12μm以上連続していることが更に好ましく、また、25nm以下連続していることが好ましい。
半値反射率R50は3%以上とし、これによって安定な発振が可能となる。半値反射率R50は5%以上が好ましく、7%以上が更に好ましい。半値反射率R50の上限は特にないが、60%以下であってもよい。
半値反射率R50は3%以上とし、これによって安定な発振が可能となる。半値反射率R50は5%以上が好ましく、7%以上が更に好ましい。半値反射率R50の上限は特にないが、60%以下であってもよい。
△λ50を前記の数値範囲とするために、各ブラッググレーティングの反射率の最大値の50%となる波長領域の波長幅(半値全幅)は、5nm以上が好ましく、さらに10nm以上が一層好ましい。一方、この上限値は30nm以下が好ましく、さらに25nm以下が一層好ましい。
レーザ発振の波長安定性、およびパワー安定性の温度許容幅を広げるという観点からは、複数のブラッググレーティングの合成反射率の半値全幅W50を大きくすることが好ましい。
外部共振器モードでレーザ発振するのに必要なグレーティングの反射率の最小値RGminは、半導体レーザとグレーティングにより形成される外部共振器のゲイン閾値を満足するために必要な最低の反射率である。半導体レーザのみの場合と比較して、半導体レーザとグレーティグ素子の結合効率やグレーティング素子部等の損失がゲインを小さくする要因となる。このため外部共振器モードでレーザ発振するための最低の反射率RGminは、半導体レーザの出射端の反射率R2よりも大きい。ただし、結合効率が100%、損失がない場合にはRGmin=R2となる。したがって、R50はRGmin以上であることが好ましい。
半値全幅W50は、半導体レーザ光源のゲインカーブに対応して決めることができる。
半値全幅W50を所望の数値にするためには、各ブラッググレーティングの反射中心波長の間隔は重要なパラメータである。すなわち、好適な実施形態においては、となり合う反射中心波長の間隔は、以下のようにすることが好ましい。
4nm ≦λG(n+1)−λG(n)≦20nm
(ただし、λG(n+1)−λG(n)は、λG(n)−λG(n−1)以上になっている。
また、(λG(n+1)−λG(n))は、波長軸で隣接するグレーティングの中心波長の間隔である。
4nm ≦λG(n+1)−λG(n)≦20nm
(ただし、λG(n+1)−λG(n)は、λG(n)−λG(n−1)以上になっている。
また、(λG(n+1)−λG(n))は、波長軸で隣接するグレーティングの中心波長の間隔である。
ブラッググレーティングの周期(ピッチ)の間隔△Λ{(n+1)−n}は以下のように表すことができる。
△Λ{(n+1)−n}=1/2neff×{λG(n+1)−λG(n)}
ここで、neffは等価屈折率(実効屈折率)である。
△Λ{(n+1)−n}=1/2neff×{λG(n+1)−λG(n)}
ここで、neffは等価屈折率(実効屈折率)である。
neffが2であるときには、△Λ{(n+1)−n}は以下のようにすることが好ましい。
1nm ≦ △Λ{(n+1)−n} ≦ 5nm
(ただし、△Λ{(n+1)−n}は、ピッチΛが大きくなるにつれて大きくすることができる。)
1nm ≦ △Λ{(n+1)−n} ≦ 5nm
(ただし、△Λ{(n+1)−n}は、ピッチΛが大きくなるにつれて大きくすることができる。)
このように、複数の周期(ピッチ)の異なるブラッググレーティングでは、構成する各ブラッググレーティングの半値全幅の和Σ(△λG(n))は、合成反射率の半値全幅W50より大きくなる。レーザ発振の温度安定性、パワー安定性の観点では、以下の条件であることが好ましい。
W50≦ 0.7×Σ(△λG(n))
W50≦ 0.7×Σ(△λG(n))
複数のブラッググレーティングの個数nは3以上となる。上限について特に制限はないが、nが大きいと、ブラッググレーティングの長さが長くなり、外部共振器の共振器長が長くなるために、10以下が好ましい。
各ブラッググレーティングの長さは1μm以上であることが好ましく、異なる周期のグレーティングの後に同じ周期のグレーティングを配置してもよい。
各ブラッググレーティングの長さは1μm以上であることが好ましく、異なる周期のグレーティングの後に同じ周期のグレーティングを配置してもよい。
合成されたブラッググレーティングの反射特性は、パワー安定性の観点でピークの平坦性は高いことが好ましい。このために反射率の最大値Rmaxに対して70%以上となる波長領域△λ70を広くすることがよい。この波長領域△λ70の幅は10nm以上であることが好ましい。この波長領域が大きすぎると波長変動の大きなモードホップがおきパワー変動が大きくなるので、△λ70は25nm以下とすることが好ましい。
△λ70は、最大値Rmaxに対して70%以上が連続していなくてもよい。
△λ70は、最大値Rmaxに対して70%以上が連続していなくてもよい。
複数のグレーティングの配置は特に限定はされないが、例えば、光源の入力側に周期の短いグレーティングを配置し、順次長い周期のグレーティングを配置することができる。これにより、温度変化に対応し外部共振器長が徐々に増加、減少するので、モードホップを抑制することができる。
さらに、各ブラッググレーティングの反射率、△λG(n)は、同じであってもよく、異なっていてもよい。このためグレーティングの長さは各々異なっていてよく、合成したグレーティングが上記の条件を満足できればどのような構造であってよい。
以下、本発明の作用について更に補足する。
たとえばGaAs半導体レーザの温度特性は0.3nm/℃であり、10℃温度が上昇すると3nm長波長側に発振波長がシフトする。△λLDgは、半導体レーザによって異なるが一般的に4nmから10nm程度の範囲である。
たとえばGaAs半導体レーザの温度特性は0.3nm/℃であり、10℃温度が上昇すると3nm長波長側に発振波長がシフトする。△λLDgは、半導体レーザによって異なるが一般的に4nmから10nm程度の範囲である。
温度動作範囲は、TminおよびTmaxにおける半導体レーザのゲインの中心波長の差を温度特性で割ることにより求めることができる。この波長差は、波長領域△λ50とこの波長領域の短波長側、および長波長側にそれぞれ△λlow、および△λhighを加えたものになる。この場合、温度動作範囲は、グレーティング素子の反射波長の温度シフトが0nm/℃の場合に、△T= {△λ50+△λlow+△λhigh}/0.3nm/℃となる。通常のレーザの場合、△λlow、△λhighは、2nmから3nmの数値の範囲である(図7参照)。
たとえば、図1に示すように3個のグレーティングG1、G2、G3を直列に接続したものとする。この場合には、W50はそれぞれ21nmであり、動作温度範囲は約83℃から約93℃となる。
さらに、グレーティング素子の反射波長の温度シフトが0.1nm/℃の場合には、△T={△λ50+△λlow+△λhigh}/(0.3−0.1)nm/℃となり、図7、図8のときには、動作温度範囲は、125℃から140℃となる。
好適な実施形態として、4個のグレーティングを間隔なしで形成したグレーティング素子の例を示す。各ブラッググレーティングG1、G2、G3、G4の周期は、それぞれ190nm、191nm、192nm、193とする。
これらのブラッググレーティングの合成反射率は、波長784.7nmで30%、波長787.5nmで36%、波長790.4nmで37%、波長793.4nmで37.4%、R50は約18%、半値全幅△λ50は約16nmである。また、R70は約25%であり、△λ70は約12nmである。
次に、ブラッググレーティング4個を間隔なしで形成したグレーティング素子の例をに示す。各グレーティングG1、G2、G3、G4の周期を190nm、191nm、192nm、192.4nmとした。この場合の合成反射率は、波長787nmで28%、波長793.4nmで45%、R50は22.5%、半値全幅△λ50は約9.5nmである。
このときの合成反射率のグラフを図11に示す。
このときの合成反射率のグラフを図11に示す。
次に、合成反射率の定義および求め方について述べる。
合成反射率は、複数のグレーティングの反射特性を合成したものを現す。グレーティングにより回折する光の反射特性は、グレーティングの構造(深さ、周期、形状、長さ)やこれを形成する材料の屈折率によって決められる。例えば、非特許文献2に示すように数値計算にて求めることができる。また、Coupled-Mode Theoryを利用した電磁界シミュレーションにより計算することができる。
これらによると、グレーティングの反射率は複素数によって表され、複数のグレーティングの場合は、それぞれの位置によって合成される反射特性が変わることになる。つまり、グレーティングの間隔を変えることによって反射特性が変わることになる。
合成反射率は、複数のグレーティングの反射特性を合成したものを現す。グレーティングにより回折する光の反射特性は、グレーティングの構造(深さ、周期、形状、長さ)やこれを形成する材料の屈折率によって決められる。例えば、非特許文献2に示すように数値計算にて求めることができる。また、Coupled-Mode Theoryを利用した電磁界シミュレーションにより計算することができる。
これらによると、グレーティングの反射率は複素数によって表され、複数のグレーティングの場合は、それぞれの位置によって合成される反射特性が変わることになる。つまり、グレーティングの間隔を変えることによって反射特性が変わることになる。
好適な実施形態においては、光導波路7はリッジ型光導波路であり、光学材料層に設けられている。この場合、光導波路7は、ブラッググレーティングと同一面に形成されていてもよく、相対する面に形成されていてもよい。
低反射層5B、5C、5Dの反射率は、グレーティング反射率よりも小さい値であればよく、さらに0.1%以下が好ましい。しかし、端面における反射率がグレーティング反射率よりも小さい値であれば、低反射層はなくてもよく、反射膜であってもよい。活性層のグレーティング素子側の端面に低反射層を設けず、その代わりに反射膜を形成すると、通常の半導体レーザの形態になる。この場合は、光源が単独でレーザ発振できるものとなる。
好適な実施形態においては、図12(a)に示すように、基板6上に下側バッファ層13を介して光学材料層30が形成されている。光学材料層30には例えば一対のリッジ溝16が形成されており、リッジ溝の間にリッジ型の光導波路15が形成されている。この場合、ブラッググレーティングは平坦面上に形成していてもよく、リッジ溝面に形成していてもよい。17は薄肉部であり、18は延在部である。なお、バッファ層13と支持基板6との間に接着層を設けることもできる。
図12(b)に示す素子では、光学材料層30上に更に上側バッファ層14が形成されている。
また、図12(c)に示すように、基板6上に下側バッファ層13を介して光学材料層30が形成されている。光学材料層30には例えば一対のリッジ溝16が形成されており、リッジ溝の間にリッジ型の光導波路15が形成されている。本例ではリッジ溝がバッファ層13側に設けられている。この場合、ブラッググレーティングは平坦面側に形成していてもよく、リッジ溝面に形成していてもよい。17は薄肉部であり、18は延在部である。なお、バッファ層13と支持基板6との間に接着層を設けることもできる。
好適な実施形態においては、光導波路が、光学材料からなるコアからなり、コアの周りをクラッドが包囲している。このコアの横断面(光の伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は凸図形となるようにする。
凸図形とは、コアの横断面の外側輪郭線の任意の二点を結ぶ線分が、コアの横断面の外側輪郭線の内側に位置することを意味する。凸図形は、一般的な幾何学用語である。このような図形としては、三角形、四角形、六角形、八角形などの多角形、円形、楕円形などを例示できる。四角形としては、特に、上辺と下辺と一対の側面を有する四角形が好ましく、台形が特に好ましい。
たとえば図13(a)に示すように、基板6上に下側バッファ層13を介して、光学材料よりなるコアからなる光導波路21が形成されている。この光導波路21の下側には、クラッドとして機能する下側バッファ層13が存在している。光導波路11の側面および上面には上側バッファ層が設けられていない。このため、光導波路21の側面および上面は雰囲気に露出しており、雰囲気がクラッドとして機能する。光導波路21の横断面形状は台形であり、上面21aが下面21bよりも狭い。なお、バッファ層13と支持基板6との間に接着層を形成することもできる。
図13(b)に示す素子では、基板6上にバッファ層22内が設けられており、バッファ層22内に、光学材料よりなるコアからなる光導波路21が埋設されている。バッファ層22は、光導波路の上面を被覆する上面被覆部22b、光導波路の側面を被覆する側面被覆部22cおよび光導波路の底面を被覆する底面被覆部22aを有する。
図13(c)に示す素子では、基板6上にバッファ層22内か設けられており、バッファ層22内に、光学材料よりなるコアからなる光導波路21Aが埋設されている。バッファ層22は、光導波路の上面を被覆する上面被覆部22b、光導波路の側面を被覆する側面被覆部22cおよび光導波路の底面を被覆する底面被覆図22aを有する。
また、図14(a)に示す素子では、基板6上に下側バッファ層13を介して、光学材料よりなるコアからなる光導波路21が形成されている。光導波路21の側面および上面21aには、やはりクラッドとして機能する上側バッファ層23が形成され、光導波路21を被覆している。上側バッファ層23は、光導波路11の側面を被覆する側面被覆部23bおよび上面を被覆する上面被覆部23aを有する。
また、図14(b)に示す素子では、光学材料よりなるコアからなる光導波路21Aが形成されている。光導波路21Aの横断面形状は台形であり、下面が上面よりも狭い。上側クラッド層23は、光導波路11の側面を被覆する側面被覆部23bおよび上面を被覆する上面被覆部23aを有する。
なお、光導波路の幅Wは、横断面において光導波路の幅の最小値を意味する。光導波路の形状が上面が狭い台形の場合には、光導波路の幅Wは上面の幅であり、光導波路の形状が下面が狭い台形の場合には、光導波路の幅Wは下面の幅である。なお、Wは、Win、Wout、Wgrを包含する概念である。
好適な実施形態においては、図3に示すように、光導波路7の入射面7aとブラッググレーティングの開始点との間に、回折格子のない入射側伝搬部が設けられており、また、ブラッググレーティングの終点と出射面との間に、回折格子のない出射側伝搬部が設けられている。
好適な実施形態においては、たとえば図15(a)、(b)に示すように、入射側伝搬部8は、入射面から連続する入射部8a、ブラッググレーティングにつながる狭幅部8cおよび光導波路幅が徐々に変化するテーパ部8bを有する。入射部8aの幅Winは、狭幅部8cの幅Wgrよりも大きくする。
また、出射側伝搬部における光導波路幅Woutは、図15(a)の例ではWgrと同じになっている。しかし、Woutは、Wgrより大きくとも良く、小さくとも良い。図15(b)の例では、出射側伝搬部9が、ブラッググレーティングから連続する連結部9aと、出射端部に向かうテーパ部9cとを有している。テーパ部9cにおける光導波路幅は、出射端部における光導波路幅Woutに向かって徐々に小さくなっている。
図16の斜視図の例では、出射側伝搬部9が、ブラッググレーティングから連続する連結部9aと、出射端部に連結する出射部9cと、連結部9aと出射部9cとの間のテーパ部9bとを有している。テーパ部9bにおける光導波路幅は、出射端部における光導波路幅Woutに向かって徐々に小さくなっている。
なお、本例では、連結部9aにおける光導波路の幅Wgrが一定であり、出射部9cにおける光導波路の幅Woutも一定である。
なお、Aはグレーティング素子への入射光であり、Bはグレーティング素子からの出射光であり、Cはグレーティング反射光である。
なお、本例では、連結部9aにおける光導波路の幅Wgrが一定であり、出射部9cにおける光導波路の幅Woutも一定である。
なお、Aはグレーティング素子への入射光であり、Bはグレーティング素子からの出射光であり、Cはグレーティング反射光である。
モードホップを抑制し、装置の温度安定性を確保するためには、共振器長を短くしてモードホップ間隔を大きくする必要がある。この観点から、半導体レーザの外側反射端から複数ブラッググレーティングの出射側終点までの長さL(図2、図3参照)は、1mm以下が好ましい、さらに、モードホップを抑制するために外部共振器の縦モード間隔を大きくするという観点では、Lは700μm以下が好ましく、500μm以下が最も好ましい。
上記の関係を満足するために、ブラッググレーティングの始点から終点までの長さLbtotalは、500μm以下が好ましく、300μm以下が更に好ましく、100μm以下が特に好ましい。また、レーザ発振するために必要な光の帰還率を得るためにはLbtotalは、10μm以上が好ましく、20μm以上が更に好ましい。
共振器長を短くするという観点からは、各ブラッググレーティングの長さは、それぞれ200μm以下であることが好ましい。また、グレーティングの長さが長くなるほど△λGnは小さくなるので、これを大きくするためには各ブラッググレーティングの長さは100μm以下が好ましい。また、レーザ発振するために必要な光の帰還率を得るためには△λGnは、10μm以上が好ましい。
グレーティング素子の長さを短くし、かつ反射率を半導体レーザの出射端の反射率よりも大きくするには、グレーティングを形成する光導波路部の屈折率nbとクラッド部ncの屈折率差を大きくすることが好ましく、nbは1.7以上が好ましく、1.8以上が更に好ましい。
また、グレーティング反射率を半導体レーザの出射端面よりも大きくするには、グレーティング深さtd(図16参照)は、20nm以上が好ましい。また、グレーティング深さtdは、グレーティング長を短くするという観点で600nm以下が好ましく、450nm以下が更に好ましい。
光導波路の高さ(厚さ)Ts(図12〜図14参照)は、半導体レーザの結合効率の向上という観点からは、0.5μm以上、3.0μm以下であることが好ましい。
ブラッググレーティングにおける光導波路の幅Wgr(図15参照)は、シングルモード導波路という観点からは、0.5μm以上、4μm以下が好ましい。
好適な実施形態においては、光源の出射面と光導波路の入射部との距離Lg(図2、図3)は、0でも良いが、各素子の温度変化による熱膨張による応力を緩和するという観点で1μm以上、10μm以下とする。これによって安定した発振が可能となる。また、入射側伝搬部の長さLmは0でも良いが、1〜100μmが好ましく、5〜20μmが更に好ましい。
光源の活性層の長さLaは、500μm以下である事が好ましい。
また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、1050μm以下が好ましく、800μm以下が更に好ましい。また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、150μm以上が好ましい。
また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、1050μm以下が好ましく、800μm以下が更に好ましい。また、La+Lg+Lm+Lbtotalは、150μm以上が好ましい。
光源としては、高い信頼性を有するGaAs系やInP系材料によるレーザが好適である。本願構造の応用として、例えば、非線形光学素子を利用して第2高調波である緑色レーザを発振させる場合は、波長1064nm付近で発振するGaAs系のレーザを用いることになる。GaAs系やInP系のレーザは信頼性が高いため、一次元状に配列したレーザレイ等の光源も実現可能である。スーパールミネッセンスダイオードや半導体光アンプ(SOA)であってもよい。また、活性層の材質や波長も適宜選択できる。
なお、半導体レーザとグレーティング素子との組み合わせでパワー安定化を行う方法は、下記に開示されている。
(非特許文献3: 古河電工時報 平成12年1月 第105号 p24-29)
(非特許文献3: 古河電工時報 平成12年1月 第105号 p24-29)
光導波路は、例えば外周刃による切削加工やレーザブレーション加工することによって物理的に加工し、成形することによって得られる。
ブラッググレーティングは以下のようにして物理的、あるいは化学的なエッチングにより形成することができる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
光導波路中には、光導波路の耐光損傷性を更に向上させるために、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させてもよく、この場合、マグネシウムが特に好ましい。また結晶中には、ドープ成分として、希土類元素を含有させることができる。希土類元素としては、特にNd、Er、Tm、Ho、Dy、Prが好ましい。
接着層の材質は、無機接着剤であってよく、有機接着剤であってよく、無機接着剤と有機接着剤との組み合わせであってよい。
また、光学材料層30は、支持基体上に薄膜形成法によって成膜して形成してもよい。こうした薄膜形成法としては、スパッタ、蒸着、CVDを例示できる。この場合には、光学材料層30は支持基体に直接形成されており、上述した接着層は存在しない。
支持基板の具体的材質は特に限定されず,ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、石英ガラスなどのガラスや水晶、Siなどを例示することができる。
無反射層の反射率は、グレーティング反射率以下である必要があり、無反射層に成膜する膜材としては、二酸化珪素、五酸化タンタル、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウムなどの酸化物で積層した膜や、金属類も使用可能である。
また、光源素子、グレーティング素子の各端面は、それぞれ、端面反射を抑制するために斜めカットしていてもよい。また、グレーティング素子と支持基板の接合は、接着固定でもよく、直接接合でもよい。
(実施例1)
図3に示す外部共振器型レーザモジュールを作製した。グレーティング素子の断面構造は図12(b)の構造である。
図3に示す外部共振器型レーザモジュールを作製した。グレーティング素子の断面構造は図12(b)の構造である。
具体的には、石英からなる支持基板6にスパッタ装置にて下側バッファ層13になるSiO2層を1μm成膜し、またその上にTa2O5を2μm成膜して光学材料層30を形成した。次に、光学材料層上にTiを成膜して、EB描画装置によりグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、4つのブラッググレーティングG1、G2、G3、G4を形成した。ただし、図3とは異なり、各中間伝搬部10の長さは0μmである。グレーティングの溝深さtdは250nmとした。
G1:ピッチ間隔Λ190nm、長さLb 6μm
G2:ピッチ間隔Λ191nm、長さLb 6μm
G3:ピッチ間隔Λ192nm、長さLb 6μm
G4:ピッチ間隔Λ193nm、長さLb 16μm
G1:ピッチ間隔Λ190nm、長さLb 6μm
G2:ピッチ間隔Λ191nm、長さLb 6μm
G3:ピッチ間隔Λ192nm、長さLb 6μm
G4:ピッチ間隔Λ193nm、長さLb 16μm
さらに光導波路を形成するために、上記と同様な方法で反応性イオンエッチングし、幅W3μm、溝深さ1.6μmのリッジ形状を形成した。最後に上側バッファ層14となるSiO2層を0.5μmスパッタにて形成した。
その後、ダイシング装置にてバー状に切断し、両端面を光学研磨し、両端面を0.1%のARコートを形成し、最後にチップ切断を行いグレーティング素子を作製した。素子サイズは幅1mm、長さLwg500μmとした。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の最大反射率の波長は、783.2nmであり、最大反射率Rmaxは40%であった。また、半値全幅W50は17nm、△λ70は13nmであった。
この合成反射率のグラフを図10に示す。
測定したグレーティング素子の最大反射率の波長は、783.2nmであり、最大反射率Rmaxは40%であった。また、半値全幅W50は17nm、△λ70は13nmであった。
この合成反射率のグラフを図10に示す。
次に、このグレーティング素子を使用した外部共振器型レーザの特性評価のために、図3に示すようにレーザモジュールを実装した。光源素子としてGaAs系レーザ構造を有し、片端面には高反射膜、もう一方の出射端面の反射率は8%であった。
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度15℃にて中心波長784nmでレーザ発振し、出力13mWが得られた。
次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、高温側では温度70℃にて発振波長795nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。また、低温側では5℃にて発振波長783.5nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。しかし、これ以下の温度では、結露してしまい、測定することができなかった。このとき、パワー安定化のために制御した電流値の差は5mAであった。
10個中全ての素子で同様な実験結果を得た。
次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、高温側では温度70℃にて発振波長795nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。また、低温側では5℃にて発振波長783.5nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。しかし、これ以下の温度では、結露してしまい、測定することができなかった。このとき、パワー安定化のために制御した電流値の差は5mAであった。
10個中全ての素子で同様な実験結果を得た。
(比較例1)
図1、図2に示す外部共振器型レーザモジュールを作製した。グレーティング素子の断面構造は、図12(b)の構造である。
図1、図2に示す外部共振器型レーザモジュールを作製した。グレーティング素子の断面構造は、図12(b)の構造である。
実施例1と同様に素子を作製した。ただし、実施例1とは異なり、が、三つのグレーティンクG1、G2、G3を形成した。中間伝搬部10の長さは0μmである。グレーティングの溝深さtdは200nmとした。
G1:ピッチ間隔Λ190nm、長さLb 8μm
G2:ピッチ間隔Λ192.5nm、長さLb 8μm
G3:ピッチ間隔Λ195nm、長さLb 8μm
G1:ピッチ間隔Λ190nm、長さLb 8μm
G2:ピッチ間隔Λ192.5nm、長さLb 8μm
G3:ピッチ間隔Λ195nm、長さLb 8μm
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、791nmであり、最大反射率Rmaxは36%であった。また、半値全幅△λ50は21nm、△λ70は20nmであった
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、791nmであり、最大反射率Rmaxは36%であった。また、半値全幅△λ50は21nm、△λ70は20nmであった
次に、このグレーティング素子を使用した外部共振器型レーザの特性評価のために、図2に示すようにレーザモジュールを実装した。光源素子としてGaAs系レーザ構造を有し、片端面には高反射膜、もう一方の出射端面の反射率は8%であった。
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度25℃にて中心波長791nmでレーザ発振し、出力13mWが得られた。
次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、高温側では温度70℃にて発振波長800nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。また、低温側では5℃にて発振波長787nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。しかし、これ以下の温度では、結露してしまい、測定することができなかった。
このとき、パワー安定化のために制御した電流値の差は25mAであり、非常に大きい電流制御が必要となり、10個中2個は過剰電流によってレーザが破損した。
次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、高温側では温度70℃にて発振波長800nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。また、低温側では5℃にて発振波長787nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が0.5%以内であった。しかし、これ以下の温度では、結露してしまい、測定することができなかった。
このとき、パワー安定化のために制御した電流値の差は25mAであり、非常に大きい電流制御が必要となり、10個中2個は過剰電流によってレーザが破損した。
(比較例2)
実施例1と同様な発光装置を作製した。ただし、グレーティング素子については、ピッチ間隔Λ192.5nm、長さLb25μmの一つのブラッググレーティングRGを形成した(図4参照)。グレーティングの溝深さtdは125nmとした。
実施例1と同様な発光装置を作製した。ただし、グレーティング素子については、ピッチ間隔Λ192.5nm、長さLb25μmの一つのブラッググレーティングRGを形成した(図4参照)。グレーティングの溝深さtdは125nmとした。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は791nmであり、最大反射率Rmaxは18%であり、半値全幅△λ50は5nm、△λ70は4nmであった。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は791nmであり、最大反射率Rmaxは18%であり、半値全幅△λ50は5nm、△λ70は4nmであった。
次に、このグレーティング素子を使用した外部共振器型レーザの特性評価のために、図4に示すようにレーザモジュールを実装した。光源素子としてGaAs系レーザ構造を有し、片端面には高反射膜、もう一方の出射端面の反射率は8%であった。
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
光源素子仕様:
中心波長: 790nm
出力 20mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 10μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度25℃にて中心波長791nmでレーザ発振し、出力15mWが得られた。次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、高温側では温度45℃にて発振波長795nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が1%以内であった。しかし、この温度を超えると波長変動が起こり、パワー出力変動も3%となった。また、低温側では15℃にて発振波長789nmとなり、この温度領域までパワー出力変動が1%以内であった。しかし、これ以下の温度では、波長変動が起こり、パワー出力変動も3%となった。
Claims (8)
- 半導体レーザ光を発振する光源、およびこの光源と外部共振器を構成するグレーティング素子を備える外部共振器型発光装置であって、
前記光源が、前記半導体レーザ光を発振する活性層を備えており、
前記グレーティング素子が、前記半導体レーザ光が入射する入射面と所望波長の出射光を出射する出射部を有する光導波路、およびこの光導波路内に形成された三個以上の周期の異なるブラッググレーティングを備えており、前記ブラッググレーティングの合成反射率の波長依存性を示すグラフにおいて前記合成反射率が二個以上のピークを有しており、前記ピークの反射率の中で最も長波長のピークの反射率が最も高く、前記各ピークの反射率が各ピークに対して短波長側に隣接するピークの反射率以上であることを特徴とする、外部共振器型発光装置。 - 前記光源が単独で前記半導体レーザ光を発振することを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記ブラッググレーティングにおいて、最も短周期の前記ブラッググレーティングの周期と二番目に周期の短いブラッググレーティングの周期との周期差が、最も長周期の前記ブラッググレーティングの周期と二番目に周期の長いブラッググレーティングの周期との周期差よりも大きいことを特徴とする、請求項1または2記載の装置。
- 複数の前記ブラッググレーティングにおいて、最も長周期の前記ブラッググレーティングが、最も短周期の前記ブラッググレーティングよりも長いことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光源の出射端の反対側の反射端と、前記複数のブラッググレーティングの出射側終点との間隔が1mm以下であり、下記式(1)および式(2)の関係が満足されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の装置。
Lbtotal ≦300μm ・・・(1)
La ≦500μm ・・・(2)
(式(1)において、Lbtotalは、前記三個以上のブラッググレーティングの開始点から前記出射側終点までの長さである。
式(2)において、Laは、前記活性層の長さである。)
- 隣り合う前記ブラッググレーティングが連続していることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記ブラッググレーティングを構成する材質の屈折率nbが1.7以上であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光導波路が、前記複数のブラッググレーティングの開始点と前記入射面との間に入射側伝搬部を有しており、前記入射側伝搬部が、前記光導波路の幅が変化するテーパ部を有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の装置。
Priority Applications (1)
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JP2016004154A JP2017126625A (ja) | 2016-01-13 | 2016-01-13 | 外部共振器型発光装置 |
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Cited By (1)
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CN113624324A (zh) * | 2021-08-09 | 2021-11-09 | 西安石油大学 | 空心三角梁式光纤光栅振动传感器 |
-
2016
- 2016-01-13 JP JP2016004154A patent/JP2017126625A/ja active Pending
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CN113624324A (zh) * | 2021-08-09 | 2021-11-09 | 西安石油大学 | 空心三角梁式光纤光栅振动传感器 |
CN113624324B (zh) * | 2021-08-09 | 2023-10-13 | 西安石油大学 | 空心三角梁式光纤光栅振动传感器 |
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