JPH1140883A - 可変波長半導体レーザ光源 - Google Patents
可変波長半導体レーザ光源Info
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- JPH1140883A JPH1140883A JP9195861A JP19586197A JPH1140883A JP H1140883 A JPH1140883 A JP H1140883A JP 9195861 A JP9195861 A JP 9195861A JP 19586197 A JP19586197 A JP 19586197A JP H1140883 A JPH1140883 A JP H1140883A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
- H01S5/146—External cavity lasers using a fiber as external cavity
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- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1206—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers having a non constant or multiplicity of periods
- H01S5/1215—Multiplicity of periods
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- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 可変波長ＬＤ光源において、簡単な構成で、
安定、且つスペクトル幅の狭いレーザ発振を得るととも
に、生産性に優れ、高信頼性を具備するものにする。 【解決手段】 ＬＤ１の一端面に無反射膜１Ａを施し、
この無反射膜１Ａを施した端面からの出射光２をレンズ
３Ａで平行光にし、光可変バンドパスフィルタ４によ
り、その波長成分のうち特定の波長λa の光を選択、透
過し、レンズ３Ｂにより複合ファイバグレーティング５
に結合する。また、ＬＤ１の他端面からの出射光２はレ
ンズ３Ｃにより光ファイバ６に結合し、出力ポート６Ａ
から取り出す。この場合、複合ファイバグレーティング
５は、各々特定の波長λ1 〜λn をそれぞれ反射する回
折格子が直列に配置されて構成されている。
安定、且つスペクトル幅の狭いレーザ発振を得るととも
に、生産性に優れ、高信頼性を具備するものにする。 【解決手段】 ＬＤ１の一端面に無反射膜１Ａを施し、
この無反射膜１Ａを施した端面からの出射光２をレンズ
３Ａで平行光にし、光可変バンドパスフィルタ４によ
り、その波長成分のうち特定の波長λa の光を選択、透
過し、レンズ３Ｂにより複合ファイバグレーティング５
に結合する。また、ＬＤ１の他端面からの出射光２はレ
ンズ３Ｃにより光ファイバ６に結合し、出力ポート６Ａ
から取り出す。この場合、複合ファイバグレーティング
５は、各々特定の波長λ1 〜λn をそれぞれ反射する回
折格子が直列に配置されて構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信分野、特に
ＷＤＭ伝送等で用いられる特定の基準波長を得るための
可変波長半導体レーザ光源（以下では、半導体レーザを
ＬＤと略称する）に関し、波長選択手段としてファイバ
グレーティングを用いた可変波長ＬＤ光源に関するもの
である。
ＷＤＭ伝送等で用いられる特定の基準波長を得るための
可変波長半導体レーザ光源（以下では、半導体レーザを
ＬＤと略称する）に関し、波長選択手段としてファイバ
グレーティングを用いた可変波長ＬＤ光源に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】ファブリペロー共振器を構成するＬＤの
片端面に無反射膜を施し、波長選択性のある素子を使用
してＬＤに帰還をかけることにより、もう一方の端面と
の間で外部共振器を構成し、利得条件と位相条件が反射
損失、散乱損失等の損失にうち勝った場合に、レーザ発
振をすることが知られている。このように、レーザ発振
をするＬＤから出射された出射光のうちの任意の波長の
レーザ光を選択してＬＤに帰還されることにより可変波
長ＬＤ光源になる。近年、こうした可変波長ＬＤ光源
は、マルチメディア化に伴う光通信網の大容量伝送技術
として注目されるＷＤＭ伝送方式において必要不可欠な
光源となっている。
片端面に無反射膜を施し、波長選択性のある素子を使用
してＬＤに帰還をかけることにより、もう一方の端面と
の間で外部共振器を構成し、利得条件と位相条件が反射
損失、散乱損失等の損失にうち勝った場合に、レーザ発
振をすることが知られている。このように、レーザ発振
をするＬＤから出射された出射光のうちの任意の波長の
レーザ光を選択してＬＤに帰還されることにより可変波
長ＬＤ光源になる。近年、こうした可変波長ＬＤ光源
は、マルチメディア化に伴う光通信網の大容量伝送技術
として注目されるＷＤＭ伝送方式において必要不可欠な
光源となっている。
【０００３】ここで、従来の可変波長ＬＤ光源について
図５を基に説明する。図５は従来の可変波長ＬＤ光源の
構成の一例を示した構成図である。この図５の従来例で
は、ＬＤ８ａの片端面は劈開面８ｂであり、ＬＤ８ａの
他方の端面には無反射膜８ｃが施されている。このＬＤ
８ａの無反射膜８ｃ側から出射した光は、レンズ９ｂに
より平行光に変換される。このレンズ９ｂの前方には、
光可変バンドパスフィルタ１２を介して全反射ミラー１
３が配置されている。この全反射ミラー１３と低反射膜
による前記劈開面８ｂにより外部共振器を構成してい
る。また、ＬＤ８ａの劈開面８ｂの前方にはレンズ９ａ
が配置され、このレンズ９ａを透過したレーザ光は光フ
ァイバ１０を伝達して出力ポート１１から出力される構
成となっている。
図５を基に説明する。図５は従来の可変波長ＬＤ光源の
構成の一例を示した構成図である。この図５の従来例で
は、ＬＤ８ａの片端面は劈開面８ｂであり、ＬＤ８ａの
他方の端面には無反射膜８ｃが施されている。このＬＤ
８ａの無反射膜８ｃ側から出射した光は、レンズ９ｂに
より平行光に変換される。このレンズ９ｂの前方には、
光可変バンドパスフィルタ１２を介して全反射ミラー１
３が配置されている。この全反射ミラー１３と低反射膜
による前記劈開面８ｂにより外部共振器を構成してい
る。また、ＬＤ８ａの劈開面８ｂの前方にはレンズ９ａ
が配置され、このレンズ９ａを透過したレーザ光は光フ
ァイバ１０を伝達して出力ポート１１から出力される構
成となっている。
【０００４】次に、図５の可変波長ＬＤ光源の動作につ
いて説明する。ＬＤ８ａの無反射膜８ｃ側から出射した
光は、レンズ９ｂにより平行光に変換され、さらに、光
可変バンドパスフィルタ１２を通して特定の波長の光を
透過し、全反射ミラー１３により反射する。すると、光
は向きを１８０°変えて進行し、再度、光可変バンドパ
スフィルタ１２、レンズ９ｂを通過し、ＬＤ８ａに入射
（帰還）される。このＬＤ８ａに入射した光は、数１０
％の反射率を持つ劈開面８ｂで反射し、再度、ＬＤ８ａ
に戻される。そして、劈開面８ｂと全反射ミラー１３に
より構成される外部共振器において、レーザ発振をおこ
す。なお、光可変バンドパスフィルタ１２の透過域半値
幅は０．５ｎｍ程度の狭帯域なものを用いる。こうして
レーザ発振した光は、レンズ９ａを介し光ファイバ１０
に結合され、出力ポート１１に出力される。この構成の
中で光可変バンドパスフィルタ１２の透過波長を可変と
することにより、可変波長ＬＤ光源となる。
いて説明する。ＬＤ８ａの無反射膜８ｃ側から出射した
光は、レンズ９ｂにより平行光に変換され、さらに、光
可変バンドパスフィルタ１２を通して特定の波長の光を
透過し、全反射ミラー１３により反射する。すると、光
は向きを１８０°変えて進行し、再度、光可変バンドパ
スフィルタ１２、レンズ９ｂを通過し、ＬＤ８ａに入射
（帰還）される。このＬＤ８ａに入射した光は、数１０
％の反射率を持つ劈開面８ｂで反射し、再度、ＬＤ８ａ
に戻される。そして、劈開面８ｂと全反射ミラー１３に
より構成される外部共振器において、レーザ発振をおこ
す。なお、光可変バンドパスフィルタ１２の透過域半値
幅は０．５ｎｍ程度の狭帯域なものを用いる。こうして
レーザ発振した光は、レンズ９ａを介し光ファイバ１０
に結合され、出力ポート１１に出力される。この構成の
中で光可変バンドパスフィルタ１２の透過波長を可変と
することにより、可変波長ＬＤ光源となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のような
図５に示した従来の可変波長ＬＤ光源では、波長選択手
段として光可変バンドパスフィルタ１２だけを用いてお
り、そのフィルタの透過域半値幅が狭い必要があるた
め、光可変バンドパスフィルタ１２の価格が非常に高価
となり、同時に光可変バンドパスフィルタ１２では透過
域半値幅０．５ｎｍ程度が限界となっていた。このた
め、スペクトル幅の狭いレーザ発振を得ることが困難だ
った。また、選択波長の再現性を高めるためには、光可
変バンドパスフィルタ１２の入射角度や温度を高精度に
制御する必要があり、構造の複雑化、高度な光軸調整技
術及び固定技術が必要となる、など生産面での大きな障
害となっていた。
図５に示した従来の可変波長ＬＤ光源では、波長選択手
段として光可変バンドパスフィルタ１２だけを用いてお
り、そのフィルタの透過域半値幅が狭い必要があるた
め、光可変バンドパスフィルタ１２の価格が非常に高価
となり、同時に光可変バンドパスフィルタ１２では透過
域半値幅０．５ｎｍ程度が限界となっていた。このた
め、スペクトル幅の狭いレーザ発振を得ることが困難だ
った。また、選択波長の再現性を高めるためには、光可
変バンドパスフィルタ１２の入射角度や温度を高精度に
制御する必要があり、構造の複雑化、高度な光軸調整技
術及び固定技術が必要となる、など生産面での大きな障
害となっていた。
【０００６】そこで、本発明の目的は、簡単な構成で、
安定、且つスペクトル幅の狭いレーザ発振を得るととも
に、生産性に優れ、高信頼性を具備する可変波長ＬＤ光
源を提供することにある。
安定、且つスペクトル幅の狭いレーザ発振を得るととも
に、生産性に優れ、高信頼性を具備する可変波長ＬＤ光
源を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、一端面に無反射膜を施したＬＤ
と、このＬＤの前記無反射膜を施した前記一端面からの
出射光の波長成分のうち特定の波長の光を透過する光可
変バンドパスフィルタと、この光可変バンドパスフィル
タからの透過光を入射する複合ファイバグレーティング
と、を備えた可変波長ＬＤ光源であって、前記複合ファ
イバグレーティングは、各々個別の波長のみをそれぞれ
反射する回折格子が直列に配置されて形成されている構
成、を特徴としている。
請求項１記載の発明は、一端面に無反射膜を施したＬＤ
と、このＬＤの前記無反射膜を施した前記一端面からの
出射光の波長成分のうち特定の波長の光を透過する光可
変バンドパスフィルタと、この光可変バンドパスフィル
タからの透過光を入射する複合ファイバグレーティング
と、を備えた可変波長ＬＤ光源であって、前記複合ファ
イバグレーティングは、各々個別の波長のみをそれぞれ
反射する回折格子が直列に配置されて形成されている構
成、を特徴としている。
【０００８】以上のように、請求項１記載の発明によれ
ば、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光の波長
成分のうち特定の波長の光を透過する光可変バンドパス
フィルタと、その透過光を入射し、各々個別の波長のみ
をそれぞれ反射する回折格子の直列配置により構成され
た複合ファイバグレーティングと、を備えた可変波長Ｌ
Ｄ光源なので、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出
射光のうち、特定の波長の光を光可変バンドパスフィル
タで選択した後、複合ファイバグレーティングにより更
に狭帯域化した光を帰還し、レーザ発振させられる。従
って、波長選択性に優れ、スペクトル幅の狭いレーザ発
振が得られる。また、２つの波長選択素子のうち、より
狭帯域な波長選択特性を持つファイバグレーティング
は、温度変化に対する波長安定性が高く、光可変バンド
パスフィルタの入射角度や温度に対する制御精度が緩和
されることから、特に複雑な構造を必要とせず、高度な
光軸調整技術及び固定技術も不要となる。
ば、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光の波長
成分のうち特定の波長の光を透過する光可変バンドパス
フィルタと、その透過光を入射し、各々個別の波長のみ
をそれぞれ反射する回折格子の直列配置により構成され
た複合ファイバグレーティングと、を備えた可変波長Ｌ
Ｄ光源なので、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出
射光のうち、特定の波長の光を光可変バンドパスフィル
タで選択した後、複合ファイバグレーティングにより更
に狭帯域化した光を帰還し、レーザ発振させられる。従
って、波長選択性に優れ、スペクトル幅の狭いレーザ発
振が得られる。また、２つの波長選択素子のうち、より
狭帯域な波長選択特性を持つファイバグレーティング
は、温度変化に対する波長安定性が高く、光可変バンド
パスフィルタの入射角度や温度に対する制御精度が緩和
されることから、特に複雑な構造を必要とせず、高度な
光軸調整技術及び固定技術も不要となる。
【０００９】そして、請求項２記載の発明は、請求項１
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記他端
面からの出射光を入射する光ファイバと、この光ファイ
バに入射した光を取り出す出力ポートと、を備えている
構成、を特徴としている。
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記他端
面からの出射光を入射する光ファイバと、この光ファイ
バに入射した光を取り出す出力ポートと、を備えている
構成、を特徴としている。
【００１０】このように、請求項２記載の発明によれ
ば、請求項１記載のＬＤの他端面からの出射光を入射す
る光ファイバと、この光ファイバに入射した光を取り出
す出力ポートと、を備える可変波長ＬＤ光源なので、Ｌ
Ｄの他端面からの出射光を光ファイバに入射して、その
光ファイバに入射した光を出力ポートから取り出せる。
ば、請求項１記載のＬＤの他端面からの出射光を入射す
る光ファイバと、この光ファイバに入射した光を取り出
す出力ポートと、を備える可変波長ＬＤ光源なので、Ｌ
Ｄの他端面からの出射光を光ファイバに入射して、その
光ファイバに入射した光を出力ポートから取り出せる。
【００１１】さらに、請求項３記載の発明は、請求項２
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記無反
射膜を施した前記一端面からの出射光を平行光にするレ
ンズと、前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を
前記複合ファイバグレーティングに結合するレンズと、
前記ＬＤの前記他端面からの出射光を前記光ファイバに
結合するレンズと、を備えている構成、を特徴としてい
る。
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記無反
射膜を施した前記一端面からの出射光を平行光にするレ
ンズと、前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を
前記複合ファイバグレーティングに結合するレンズと、
前記ＬＤの前記他端面からの出射光を前記光ファイバに
結合するレンズと、を備えている構成、を特徴としてい
る。
【００１２】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光
を平行光にするレンズと、光可変バンドパスフィルタか
らの透過光を複合ファイバグレーティングに結合するレ
ンズと、を備える可変波長ＬＤ光源なので、ＬＤの無反
射膜を施した一端面からの出射光をレンズにより平行光
にしてから光可変バンドパスフィルタに入射でき、さら
に、その光可変バンドパスフィルタからの透過光をレン
ズにより収束させて複合ファイバグレーティングに確実
に結合できる。また、ＬＤの他端面からの出射光を請求
項２記載の光ファイバに結合するレンズも備えるので、
ＬＤの他端部からの出射光をレンズにより収束させて光
ファイバに確実に結合できる。
ば、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光
を平行光にするレンズと、光可変バンドパスフィルタか
らの透過光を複合ファイバグレーティングに結合するレ
ンズと、を備える可変波長ＬＤ光源なので、ＬＤの無反
射膜を施した一端面からの出射光をレンズにより平行光
にしてから光可変バンドパスフィルタに入射でき、さら
に、その光可変バンドパスフィルタからの透過光をレン
ズにより収束させて複合ファイバグレーティングに確実
に結合できる。また、ＬＤの他端面からの出射光を請求
項２記載の光ファイバに結合するレンズも備えるので、
ＬＤの他端部からの出射光をレンズにより収束させて光
ファイバに確実に結合できる。
【００１３】また、請求項４記載の発明は、請求項１記
載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤは前記他端面
に高反射膜を施したもので、前記ＬＤの前記無反射膜を
施した前記一端面からの出射光を分岐し、その分岐され
た一方の光を前記光可変バンドパスフィルタに入射する
ビームスプリッタと、このビームスプリッタで分岐され
た他方の光を入射する光ファイバと、この光ファイバに
入射した光を取り出す出力ポートと、を備えている構
成、を特徴としている。
載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤは前記他端面
に高反射膜を施したもので、前記ＬＤの前記無反射膜を
施した前記一端面からの出射光を分岐し、その分岐され
た一方の光を前記光可変バンドパスフィルタに入射する
ビームスプリッタと、このビームスプリッタで分岐され
た他方の光を入射する光ファイバと、この光ファイバに
入射した光を取り出す出力ポートと、を備えている構
成、を特徴としている。
【００１４】このように、請求項４記載の発明によれ
ば、先ず、請求項１記載のＬＤは他端面に高反射膜を施
したもので、無反射膜を施した一端面からの出射光を分
岐し、その分岐された一方の光を光可変バンドパスフィ
ルタに入射するビームスプリッタを備える可変波長ＬＤ
光源なので、ＬＤの無反射膜を施した一端面側からの光
の一部を利用して外部共振器が構成され、ＬＤの高反射
膜を施した他端面側の光学系が不要となる。この結果、
更に構造を簡素化でき、ＬＤチップをキャンパッケージ
に入れることも容易にでき、信頼性が高められる。ま
た、ビームスプリッタで分岐された他方の光を入射する
光ファイバと、この光ファイバに入射した光を取り出す
出力ポートと、を備えるので、ビームスプリッタで分岐
された他方の光を光ファイバに入射して、その光ファイ
バに入射した光を出力ポートから取り出せる。
ば、先ず、請求項１記載のＬＤは他端面に高反射膜を施
したもので、無反射膜を施した一端面からの出射光を分
岐し、その分岐された一方の光を光可変バンドパスフィ
ルタに入射するビームスプリッタを備える可変波長ＬＤ
光源なので、ＬＤの無反射膜を施した一端面側からの光
の一部を利用して外部共振器が構成され、ＬＤの高反射
膜を施した他端面側の光学系が不要となる。この結果、
更に構造を簡素化でき、ＬＤチップをキャンパッケージ
に入れることも容易にでき、信頼性が高められる。ま
た、ビームスプリッタで分岐された他方の光を入射する
光ファイバと、この光ファイバに入射した光を取り出す
出力ポートと、を備えるので、ビームスプリッタで分岐
された他方の光を光ファイバに入射して、その光ファイ
バに入射した光を出力ポートから取り出せる。
【００１５】そして、請求項５記載の発明は、請求項４
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記無反
射膜を施した前記一端面からの出射光を平行光にするレ
ンズと、前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を
前記複合ファイバグレーティングに結合するレンズと、
前記ビームスプリッタで分岐された前記他方の光を前記
光ファイバに結合するレンズと、備えている構成、を特
徴としている。
記載の可変波長ＬＤ光源であって、前記ＬＤの前記無反
射膜を施した前記一端面からの出射光を平行光にするレ
ンズと、前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を
前記複合ファイバグレーティングに結合するレンズと、
前記ビームスプリッタで分岐された前記他方の光を前記
光ファイバに結合するレンズと、備えている構成、を特
徴としている。
【００１６】このように、請求項５記載の発明によれ
ば、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光
を平行光にするレンズと、光可変バンドパスフィルタか
らの透過光を複合ファイバグレーティングに結合するレ
ンズと、備える可変波長ＬＤ光源なので、ＬＤの無反射
膜を施した一端面からの出射光をレンズにより平行光に
してから光可変バンドパスフィルタに入射でき、さら
に、その光可変バンドパスフィルタからの透過光をレン
ズにより収束させて複合ファイバグレーティングに確実
に結合できる。また、請求項４記載のビームスプリッタ
で分岐された他方の光を光ファイバに結合するレンズも
備えるので、ビームスプリッタで分岐された他方の光を
レンズにより収束させて光ファイバに確実に結合でき
る。
ば、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面からの出射光
を平行光にするレンズと、光可変バンドパスフィルタか
らの透過光を複合ファイバグレーティングに結合するレ
ンズと、備える可変波長ＬＤ光源なので、ＬＤの無反射
膜を施した一端面からの出射光をレンズにより平行光に
してから光可変バンドパスフィルタに入射でき、さら
に、その光可変バンドパスフィルタからの透過光をレン
ズにより収束させて複合ファイバグレーティングに確実
に結合できる。また、請求項４記載のビームスプリッタ
で分岐された他方の光を光ファイバに結合するレンズも
備えるので、ビームスプリッタで分岐された他方の光を
レンズにより収束させて光ファイバに確実に結合でき
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る可変波長Ｌ
Ｄ光源の実施の各形態例を図１から図４に基づいて説明
する。
Ｄ光源の実施の各形態例を図１から図４に基づいて説明
する。
【００１８】＜第１の実施の形態例＞先ず、図１は本発
明を適用した可変波長ＬＤ光源の第１の実施の形態例を
示す構成図である。この図１において、ＬＤ１の後端面
には反射率０．１％以下の無反射膜１Ａが施されてい
る。また、ＬＤ１の前端面は、従来同様、劈開面（反射
率は３０％前後）である。ＬＤ１の後端面（無反射膜１
Ａ）から出射した光２を、レンズ３Ａで平行光にしてか
ら、光可変バンドパスフィルタ４に入射する。この光可
変バンドパスフィルタ４の透過域半値幅は１〜２ｎｍ程
度でよい。この光可変バンドパスフィルタ４に入射した
光は、全波長成分のうち特定の波長λａの光だけが透過
され、レンズ３Ｂによって複合ファイバグレーティング
５に結合される。この複合ファイバグレーティング５に
入射した光は、そのファイバ内に形成された回折格子に
より更に狭帯域化されて反射され、再びレンズ３Ｂ、光
可変バンドパスフィルタ４、レンズ３Ａと元の光路をた
どり、ＬＤ１に帰還される。こうして、ＬＤ１の前端面
（劈開面）と複合ファイバグレーティング５内の回折格
子とで外部共振器を構成し、レーザ発振する。
明を適用した可変波長ＬＤ光源の第１の実施の形態例を
示す構成図である。この図１において、ＬＤ１の後端面
には反射率０．１％以下の無反射膜１Ａが施されてい
る。また、ＬＤ１の前端面は、従来同様、劈開面（反射
率は３０％前後）である。ＬＤ１の後端面（無反射膜１
Ａ）から出射した光２を、レンズ３Ａで平行光にしてか
ら、光可変バンドパスフィルタ４に入射する。この光可
変バンドパスフィルタ４の透過域半値幅は１〜２ｎｍ程
度でよい。この光可変バンドパスフィルタ４に入射した
光は、全波長成分のうち特定の波長λａの光だけが透過
され、レンズ３Ｂによって複合ファイバグレーティング
５に結合される。この複合ファイバグレーティング５に
入射した光は、そのファイバ内に形成された回折格子に
より更に狭帯域化されて反射され、再びレンズ３Ｂ、光
可変バンドパスフィルタ４、レンズ３Ａと元の光路をた
どり、ＬＤ１に帰還される。こうして、ＬＤ１の前端面
（劈開面）と複合ファイバグレーティング５内の回折格
子とで外部共振器を構成し、レーザ発振する。
【００１９】ここで、複合ファイバグレーティング５に
ついて、図３及び図４により更に詳しく説明する。先
ず、図３は複合ファイバグレーティング５の構造を詳細
に示したものである。この図３において、５は複数の回
折格子が形成されたファイバグレーティング本体、５Ａ
はファイバグレーティングの入射端面、５Ｂはファイバ
グレーティングと熱膨張係数が整合された合成石英製の
保護チューブである。即ち、ファイバグレーティング本
体５内に形成された複数の回折格子は、それぞれ特定の
波長（λ1 、λ2 、λ3 …λn ）のみ反射し、それ以外
の波長は全て透過する。各波長は、ＷＤＭ伝送で用いら
れる基準波長等に設定する。なお、ＷＤＭ伝送では連続
的な波長の可変である必要はなく、個々の基準波長を個
別に選択できればよい。
ついて、図３及び図４により更に詳しく説明する。先
ず、図３は複合ファイバグレーティング５の構造を詳細
に示したものである。この図３において、５は複数の回
折格子が形成されたファイバグレーティング本体、５Ａ
はファイバグレーティングの入射端面、５Ｂはファイバ
グレーティングと熱膨張係数が整合された合成石英製の
保護チューブである。即ち、ファイバグレーティング本
体５内に形成された複数の回折格子は、それぞれ特定の
波長（λ1 、λ2 、λ3 …λn ）のみ反射し、それ以外
の波長は全て透過する。各波長は、ＷＤＭ伝送で用いら
れる基準波長等に設定する。なお、ＷＤＭ伝送では連続
的な波長の可変である必要はなく、個々の基準波長を個
別に選択できればよい。
【００２０】次に、光可変バンドパスフィルタ４によっ
て、λ1の波長を選択した場合について作用を説明す
る。光可変バンドパスフィルタ４によって選択された光
は、レンズ３Ｂによって集光され、ファイバグレーティ
ング本体５に結合される。なお、ファイバグレーティン
グ本体５の入射端面５Ａは、ＬＤ１への不要な戻り光を
避けるため斜め研磨している。そして、ファイバグレー
ティング本体５に入射した光は、そのファイバ内に形成
された複数の回折格子のうち、λ1 を選択する回折格子
によって更に狭帯域に波長選択され、反射される。その
反射された光は、ファイバ内を逆方向に進行し、レンズ
３Ｂ、光可変バンドパスフィルタ４、ＬＤ１へと帰還さ
れ、外部共振器を構成し、レーザ発振する。
て、λ1の波長を選択した場合について作用を説明す
る。光可変バンドパスフィルタ４によって選択された光
は、レンズ３Ｂによって集光され、ファイバグレーティ
ング本体５に結合される。なお、ファイバグレーティン
グ本体５の入射端面５Ａは、ＬＤ１への不要な戻り光を
避けるため斜め研磨している。そして、ファイバグレー
ティング本体５に入射した光は、そのファイバ内に形成
された複数の回折格子のうち、λ1 を選択する回折格子
によって更に狭帯域に波長選択され、反射される。その
反射された光は、ファイバ内を逆方向に進行し、レンズ
３Ｂ、光可変バンドパスフィルタ４、ＬＤ１へと帰還さ
れ、外部共振器を構成し、レーザ発振する。
【００２１】同様に、光可変バンドパスフィルタ４の入
射角を変え、λn の波長を選択した場合では、ファイバ
グレーティング本体５に入射した光は、λ1 、λ2 、λ
3 を選択する回折格子をそのまま通過し、λn を選択す
る回折格子によって狭帯域に波長選択され、反射され
る。こうして反射された光は、再び他の波長を選択する
回折格子を逆方向に通過し、λ1 選択時と同様に、ＬＤ
１に帰還される。また、光可変バンドパスフィルタ４で
の選択波長が、各回折格子の選択波長のどれとも一致し
ない場合は、全ての回折格子をそのまま通過し、ファイ
バグレーティング本体５から抜けてしまう。こうした波
長の戻りが不要な場合は、ファイバグレーティング本体
５の後端面も斜め研磨処理を施す必要がある。なお、フ
ァイバグレーティングは、一般に温度変化に対する波長
変動はおよそ０．０１ｎｍ／℃以下と小さいが、曲げな
どによる歪みに対する波長変動が大きいため、細いファ
イバグレーティング本体５を熱膨張係数の近い合成石英
などを用いた保護チューブに入れている。
射角を変え、λn の波長を選択した場合では、ファイバ
グレーティング本体５に入射した光は、λ1 、λ2 、λ
3 を選択する回折格子をそのまま通過し、λn を選択す
る回折格子によって狭帯域に波長選択され、反射され
る。こうして反射された光は、再び他の波長を選択する
回折格子を逆方向に通過し、λ1 選択時と同様に、ＬＤ
１に帰還される。また、光可変バンドパスフィルタ４で
の選択波長が、各回折格子の選択波長のどれとも一致し
ない場合は、全ての回折格子をそのまま通過し、ファイ
バグレーティング本体５から抜けてしまう。こうした波
長の戻りが不要な場合は、ファイバグレーティング本体
５の後端面も斜め研磨処理を施す必要がある。なお、フ
ァイバグレーティングは、一般に温度変化に対する波長
変動はおよそ０．０１ｎｍ／℃以下と小さいが、曲げな
どによる歪みに対する波長変動が大きいため、細いファ
イバグレーティング本体５を熱膨張係数の近い合成石英
などを用いた保護チューブに入れている。
【００２２】次に、図４は本発明による可変波長ＬＤ光
源の帰還光の波長特性を示すもので、図４（Ａ）は光可
変バンドパスフィルタ４でλ2 の波長を選択した場合の
光可変バンドパスフィルタ４透過後の波長特性、図４
（Ｂ）は複合ファイバグレーティング５のフィルタ特
性、図４（Ｃ）は複合ファイバグレーティング５により
狭帯域に波長選択された後のＬＤ１への帰還光の波長特
性、をそれぞれ示す。こうしてレーザ発振した光は、再
び、図１において、ＬＤ１の前端面（劈開面）からレン
ズ３Ｃにより光ファイバ６に結合され出力ポート６Ａか
ら取り出される。
源の帰還光の波長特性を示すもので、図４（Ａ）は光可
変バンドパスフィルタ４でλ2 の波長を選択した場合の
光可変バンドパスフィルタ４透過後の波長特性、図４
（Ｂ）は複合ファイバグレーティング５のフィルタ特
性、図４（Ｃ）は複合ファイバグレーティング５により
狭帯域に波長選択された後のＬＤ１への帰還光の波長特
性、をそれぞれ示す。こうしてレーザ発振した光は、再
び、図１において、ＬＤ１の前端面（劈開面）からレン
ズ３Ｃにより光ファイバ６に結合され出力ポート６Ａか
ら取り出される。
【００２３】＜第２の実施の形態例＞図２は本発明を適
用した可変波長ＬＤ光源の第２の実施の形態例を示す構
成図である。この図２においては、ＬＤ１の後端面に高
反射膜１Ｂを施し、前端面に無反射膜１Ａを施してい
る。ＬＤ１の前端面から出射した光２は、レンズ３Ａで
平行光にされ、ビームスプリッタ７により５０：５０に
分岐される。ここで、ビームスプリッタ７の分岐比率
は、光出力を高めたいときは光ファイバ６側の比率を高
め、波長可変幅を広げたいときには光可変バンドパスフ
ィルタ４側への比率を高くすればよい。
用した可変波長ＬＤ光源の第２の実施の形態例を示す構
成図である。この図２においては、ＬＤ１の後端面に高
反射膜１Ｂを施し、前端面に無反射膜１Ａを施してい
る。ＬＤ１の前端面から出射した光２は、レンズ３Ａで
平行光にされ、ビームスプリッタ７により５０：５０に
分岐される。ここで、ビームスプリッタ７の分岐比率
は、光出力を高めたいときは光ファイバ６側の比率を高
め、波長可変幅を広げたいときには光可変バンドパスフ
ィルタ４側への比率を高くすればよい。
【００２４】こうしてビームスプリッタ７で反射された
片方の光は、光可変バンドパスフィルタ４、レンズ３Ｂ
を介し複合ファイバグレーティング５に結合される。そ
して、光可変バンドパスフィルタ４と複合ファイバグレ
ーティング５によって波長選択された光は、図１に示し
た第１の実施の形態例と同様に、元の光路をたどり、Ｌ
Ｄ１に帰還され、ＬＤ１の後端面に施された高反射膜１
Ｂと回折格子とで外部共振器を構成し、レーザ発振す
る。一方、出力光は、ビームスプリッタ７を透過したも
う片方の光をレンズ３Ｃにより光ファイバ６に結合する
ことで、出力ポート６Ａから取り出す。
片方の光は、光可変バンドパスフィルタ４、レンズ３Ｂ
を介し複合ファイバグレーティング５に結合される。そ
して、光可変バンドパスフィルタ４と複合ファイバグレ
ーティング５によって波長選択された光は、図１に示し
た第１の実施の形態例と同様に、元の光路をたどり、Ｌ
Ｄ１に帰還され、ＬＤ１の後端面に施された高反射膜１
Ｂと回折格子とで外部共振器を構成し、レーザ発振す
る。一方、出力光は、ビームスプリッタ７を透過したも
う片方の光をレンズ３Ｃにより光ファイバ６に結合する
ことで、出力ポート６Ａから取り出す。
【００２５】なお、以上の実施の各形態例において、本
発明はこれらのみに限定されるものではなく、他の部品
配置構成であってもよい。また、その他、具体的な細部
構造等についても適宜に変更可能であることは勿論であ
る。
発明はこれらのみに限定されるものではなく、他の部品
配置構成であってもよい。また、その他、具体的な細部
構造等についても適宜に変更可能であることは勿論であ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る可変波長ＬＤ光源によれば、ＬＤの無反射膜を施した
一端面からの出射光のうち、特定の波長の光を光可変バ
ンドパスフィルタで選択した後、複合ファイバグレーテ
ィングにより更に狭帯域化した光を帰還し、レーザ発振
させているので、波長選択性に優れ、スペクトル幅の狭
いレーザ発振を得ることができる。また、２つの波長選
択素子のうち、より狭帯域な波長選択特性を持つファイ
バグレーティングは、温度変化に対する波長安定性が高
いため、光可変バンドパスフィルタの入射角度や温度に
対する制御精度が緩和される。この結果、特に複雑な構
造を必要とせず、高度な光軸調整技術及び固定技術も不
要となるといった利点が得られる。
る可変波長ＬＤ光源によれば、ＬＤの無反射膜を施した
一端面からの出射光のうち、特定の波長の光を光可変バ
ンドパスフィルタで選択した後、複合ファイバグレーテ
ィングにより更に狭帯域化した光を帰還し、レーザ発振
させているので、波長選択性に優れ、スペクトル幅の狭
いレーザ発振を得ることができる。また、２つの波長選
択素子のうち、より狭帯域な波長選択特性を持つファイ
バグレーティングは、温度変化に対する波長安定性が高
いため、光可変バンドパスフィルタの入射角度や温度に
対する制御精度が緩和される。この結果、特に複雑な構
造を必要とせず、高度な光軸調整技術及び固定技術も不
要となるといった利点が得られる。
【００２７】そして、請求項２記載の発明に係る可変波
長ＬＤ光源によれば、請求項１記載の発明により得られ
る効果に加えて、ＬＤの他端面からの出射光を光ファイ
バに入射して、その光ファイバに入射した光を出力ポー
トから取り出すことができるといった利点が得られる。
長ＬＤ光源によれば、請求項１記載の発明により得られ
る効果に加えて、ＬＤの他端面からの出射光を光ファイ
バに入射して、その光ファイバに入射した光を出力ポー
トから取り出すことができるといった利点が得られる。
【００２８】さらに、請求項３記載の発明に係る可変波
長ＬＤ光源によれば、請求項２記載の発明により得られ
る効果に加えて、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面
からの出射光をレンズにより平行光にしてから光可変バ
ンドパスフィルタに入射させることができ、さらに、そ
の光可変バンドパスフィルタからの透過光をレンズによ
り収束させて複合ファイバグレーティングに確実に結合
させることができるといった利点が得られる。また、Ｌ
Ｄの他端面からの出射光をレンズにより収束させて光フ
ァイバに確実に結合させることができるといった利点も
得られる。
長ＬＤ光源によれば、請求項２記載の発明により得られ
る効果に加えて、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面
からの出射光をレンズにより平行光にしてから光可変バ
ンドパスフィルタに入射させることができ、さらに、そ
の光可変バンドパスフィルタからの透過光をレンズによ
り収束させて複合ファイバグレーティングに確実に結合
させることができるといった利点が得られる。また、Ｌ
Ｄの他端面からの出射光をレンズにより収束させて光フ
ァイバに確実に結合させることができるといった利点も
得られる。
【００２９】また、請求項４記載の発明に係る可変波長
ＬＤ光源によれば、請求項１記載の発明により得られる
効果に加えて、ＬＤの無反射膜を施した一端面側からの
光の一部を利用して外部共振器を構成しているため、Ｌ
Ｄの高反射膜を施した他端面側の光学系が不要となり、
更に構造を簡素化でき、ＬＤチップをキャンパッケージ
に入れることも容易にでき、信頼性を高めることができ
るといった利点が得られる。また、ビームスプリッタで
分岐された他方の光を光ファイバに入射して、その光フ
ァイバに入射した光を出力ポートから取り出すことがで
きるといった利点も得られる。
ＬＤ光源によれば、請求項１記載の発明により得られる
効果に加えて、ＬＤの無反射膜を施した一端面側からの
光の一部を利用して外部共振器を構成しているため、Ｌ
Ｄの高反射膜を施した他端面側の光学系が不要となり、
更に構造を簡素化でき、ＬＤチップをキャンパッケージ
に入れることも容易にでき、信頼性を高めることができ
るといった利点が得られる。また、ビームスプリッタで
分岐された他方の光を光ファイバに入射して、その光フ
ァイバに入射した光を出力ポートから取り出すことがで
きるといった利点も得られる。
【００３０】そして、請求項５記載の発明に係る可変波
長ＬＤ光源によれば、請求項４記載の発明により得られ
る効果に加えて、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面
からの出射光をレンズにより平行光にしてから光可変バ
ンドパスフィルタに入射させることができ、さらに、そ
の光可変バンドパスフィルタからの透過光をレンズによ
り収束させて複合ファイバグレーティングに確実に結合
させることができるといった利点が得られる。さらに、
ビームスプリッタで分岐された他方の光をレンズにより
収束させて光ファイバに確実に結合させることができる
といった利点も得られる。
長ＬＤ光源によれば、請求項４記載の発明により得られ
る効果に加えて、先ず、ＬＤの無反射膜を施した一端面
からの出射光をレンズにより平行光にしてから光可変バ
ンドパスフィルタに入射させることができ、さらに、そ
の光可変バンドパスフィルタからの透過光をレンズによ
り収束させて複合ファイバグレーティングに確実に結合
させることができるといった利点が得られる。さらに、
ビームスプリッタで分岐された他方の光をレンズにより
収束させて光ファイバに確実に結合させることができる
といった利点も得られる。
【図１】本発明を適用した可変波長ＬＤ光源の第１の実
施の形態例を示す構成図である。
施の形態例を示す構成図である。
【図２】本発明を適用した可変波長ＬＤ光源の第２の実
施の形態例を示す構成図である。
施の形態例を示す構成図である。
【図３】本発明の構成部品のひとつである複合ファイバ
グレーティングの構成及び作用を説明する図である。
グレーティングの構成及び作用を説明する図である。
【図４】本発明による可変波長ＬＤ光源の帰還光の波長
特性を示すもので、（Ａ）は光可変バンドパスフィルタ
でλ2 の波長を選択した場合の光可変バンドパスフィル
タ透過後の波長特性図、（Ｂ）は複合ファイバグレーテ
ィングのフィルタ（反射）特性図、（Ｃ）は複合ファイ
バグレーティングにより狭帯域に波長選択された後のＬ
Ｄへの帰還光の波長特性図である。
特性を示すもので、（Ａ）は光可変バンドパスフィルタ
でλ2 の波長を選択した場合の光可変バンドパスフィル
タ透過後の波長特性図、（Ｂ）は複合ファイバグレーテ
ィングのフィルタ（反射）特性図、（Ｃ）は複合ファイ
バグレーティングにより狭帯域に波長選択された後のＬ
Ｄへの帰還光の波長特性図である。
【図５】従来の可変波長ＬＤ光源の構成の一例を示した
構成図である。
構成図である。
１ ＬＤ １Ａ 無反射膜 １Ｂ 高反射膜 ２ 出射光 ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ レンズ ４ 光可変バンドパスフィルタ ５ 複合ファイバグレーティング ６ 光ファイバ ６Ａ 出力ポート ７ ビームスプリッタ
Claims (5)
- 【請求項１】一端面に無反射膜を施した半導体レーザ
と、 この半導体レーザの前記無反射膜を施した前記一端面か
らの出射光の波長成分のうち特定の波長の光を透過する
光可変バンドパスフィルタと、 この光可変バンドパスフィルタからの透過光を入射する
複合ファイバグレーティングと、を備えた可変波長半導
体レーザ光源であって、 前記複合ファイバグレーティングは、各々個別の波長の
みをそれぞれ反射する回折格子が直列に配置されて形成
されていること、を特徴とする可変波長半導体レーザ光
源。 - 【請求項２】前記半導体レーザの前記他端面からの出射
光を入射する光ファイバと、 この光ファイバに入射した光を取り出す出力ポートと、
を備えていること、を特徴とする請求項１記載の可変波
長半導体レーザ光源。 - 【請求項３】前記半導体レーザの前記無反射膜を施した
前記一端面からの出射光を平行光にするレンズと、 前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を前記複合
ファイバグレーティングに結合するレンズと、 前記半導体レーザの前記他端面からの出射光を前記光フ
ァイバに結合するレンズと、を備えていること、を特徴
とする請求項２記載の可変波長半導体レーザ光源。 - 【請求項４】前記半導体レーザは前記他端面に高反射膜
を施したもので、 前記半導体レーザの前記無反射膜を施した前記一端面か
らの出射光を分岐し、その分岐された一方の光を前記光
可変バンドパスフィルタに入射するビームスプリッタ
と、 このビームスプリッタで分岐された他方の光を入射する
光ファイバと、 この光ファイバに入射した光を取り出す出力ポートと、
を備えていること、を特徴とする請求項１記載の可変波
長半導体レーザ光源。 - 【請求項５】前記半導体レーザの前記無反射膜を施した
前記一端面からの出射光を平行光にするレンズと、 前記光可変バンドパスフィルタからの透過光を前記複合
ファイバグレーティングに結合するレンズと、 前記ビームスプリッタで分岐された前記他方の光を前記
光ファイバに結合するレンズと、備えていること、を特
徴とする請求項４記載の可変波長半導体レーザ光源。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9195861A JPH1140883A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 可変波長半導体レーザ光源 |
| US09/119,735 US6295306B1 (en) | 1997-07-22 | 1998-07-21 | Tunable semiconductor laser light source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9195861A JPH1140883A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 可変波長半導体レーザ光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1140883A true JPH1140883A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16348213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9195861A Pending JPH1140883A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | 可変波長半導体レーザ光源 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6295306B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1140883A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1059712A2 (en) * | 1999-06-11 | 2000-12-13 | Nec Corporation | Semiconductor laser module |
| EP1209783A2 (en) * | 2000-11-02 | 2002-05-29 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductive laser module, laser unit, and raman amplifier |
| US6850545B2 (en) | 2000-12-21 | 2005-02-01 | Ando Electric Co., Ltd. | Wavelength tunable light source |
| WO2015190569A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
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|---|---|---|---|---|
| WO2001008277A1 (en) * | 1999-07-27 | 2001-02-01 | New Focus, Inc. | Method and apparatus for filtering an optical beam |
| US6816518B2 (en) * | 2001-03-20 | 2004-11-09 | Cyoptics (Israel) Ltd. | Wavelength tunable high repetition rate optical pulse generator |
| JP3898042B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-03-28 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置および光増幅装置 |
| KR100420950B1 (ko) * | 2001-12-12 | 2004-03-02 | 한국전자통신연구원 | 파장 가변 레이저 광원 |
| US20040071181A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Rong Huang | Retro-reflective etalon and the devices using the same |
| CA2661110C (en) * | 2006-10-25 | 2017-06-20 | Lxdata Inc. | Tilted grating sensor |
| GB0904247D0 (en) * | 2009-03-12 | 2009-04-22 | Cip Technologies Ltd | Hybrid integrated tuneable laser |
| GB2487079A (en) * | 2011-01-07 | 2012-07-11 | Oclaro Technology Ltd | Tunable pumping light source for optical amplifiers |
| KR20140092214A (ko) * | 2013-01-15 | 2014-07-23 | 오므론 가부시키가이샤 | 레이저 발진기 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3907430A (en) * | 1973-08-13 | 1975-09-23 | Northrop Corp | Optical bandpass filter |
| US4063106A (en) * | 1977-04-25 | 1977-12-13 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Optical fiber Raman oscillator |
| US5263037A (en) * | 1990-08-01 | 1993-11-16 | Hewlett-Packard Company | Optical oscillator sweeper |
| US5159601A (en) * | 1991-07-17 | 1992-10-27 | General Instrument Corporation | Method for producing a tunable erbium fiber laser |
| US5323404A (en) * | 1993-11-02 | 1994-06-21 | At&T Bell Laboratories | Optical fiber laser or amplifier including high reflectivity gratings |
| US6091744A (en) * | 1998-01-14 | 2000-07-18 | Hewlett-Packard Company | Wavelength selectable source for wavelength division multiplexed applications |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP9195861A patent/JPH1140883A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-21 US US09/119,735 patent/US6295306B1/en not_active Expired - Fee Related
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| EP1059712A2 (en) * | 1999-06-11 | 2000-12-13 | Nec Corporation | Semiconductor laser module |
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| EP1209783A2 (en) * | 2000-11-02 | 2002-05-29 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductive laser module, laser unit, and raman amplifier |
| EP1209783A3 (en) * | 2000-11-02 | 2004-06-30 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductive laser module, laser unit, and raman amplifier |
| US6850545B2 (en) | 2000-12-21 | 2005-02-01 | Ando Electric Co., Ltd. | Wavelength tunable light source |
| WO2015190569A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
| JPWO2015190570A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2017-04-20 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
| JPWO2015190569A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2017-04-20 | 日本碍子株式会社 | 外部共振器型発光装置 |
| US9979157B2 (en) | 2014-06-13 | 2018-05-22 | Ngk Insulators, Ltd. | External-resonator-type light-emitting device |
| US10003175B2 (en) | 2014-06-13 | 2018-06-19 | Ngk Insulators, Ltd. | External-resonator-type light-emitting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6295306B1 (en) | 2001-09-25 |
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