JPWO2015125865A1 - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明の目的は、吐出孔に供給される液体の圧力損失のばらつきを小さくする。【解決手段】 本発明の液体吐出ヘッド２は、複数の吐出孔８、複数の加圧室１０、複数の第１共通供給流路２０および複数の第１共通回収流路２４を有しており、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４が第１方向Ｄ１に長く、かつ第２方向Ｄ２に複数設けられた第１流路部材４と、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６を有する第２流路部材６と、複数の加圧室１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部１０とを備え、第１流路部材４上に、第２流路部材６が設けられており、第１流路部材４および第２流路部材６は第２方向Ｄ２に長く、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６も第２方向Ｄ２に長いことにより、液体吐出ヘッド２の平面方向の大きさを大きくすることなく、複数の加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。【選択図】 図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の加圧室に共通に接続され、複数の加圧室に液体を供給する複数の第１共通供給流路、および、複数の加圧室に共通に接続され、複数の加圧室から液体を回収する複数の第１共通回収流路、を有した第１流路部材と、複数の第１共通供給流路に共通に接続され、複数の第１共通供給流路に液体を供給する第２共通供給流路、および、複数の第１共通回収流路に共通に接続され、複数の第１共通回収流路から液体を回収する第２共通回収流路を有する第２流路部材と、複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えたものが知られている。また、第１共通供給流路、第１共通回収流路、第２共通供給流路、第２共通回収流路、および、加圧室内の液体が滞留することで流路のつまり等が生じ難いように、吐出を行なわないときにも、外部も含めて液体を循環させることが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００９−１４３１６８号公報

特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドでは、複数の第１共通供給流路が、第２共通供給流路に接続された接続位置の差により、第１共通供給流路に接続された各加圧室に供給される液体の圧力損失の差が大きくなるという問題があった。これと同様に、複数の第１共通回収流路が、第２共通回収流路に接続された接続位置の差により、第１共通回収流路に接続された各加圧室に供給される液体の圧力損失の差が大きくなるという問題があった。なお、ここでいう接続位置の差とは、液体の流れる方向において上流側で接続されているのかあるいは下流側で接続されているのかによる位置の差のことである。

上記のような問題に対し、例えば、第２共通供給流路および第２共通回収流路の断面積を大きくして、第２共通供給流路および第２共通回収流路の流路抵抗を小さくすることが考えられる。しかしながら、第２共通供給流路および第２共通回収流路の断面積を大きくすると、液体吐出ヘッドの平面方向の大きさが大きくなるという問題があった。

本発明の液体吐出ヘッドにおける一態様は、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の前記加圧室に共通に接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１共通供給流路、および、複数の前記加圧室に共通に接続され、複数の前記加圧室から液体を回収する複数の第１共通回収流路、を有しており、前記第１共通供給流路および前記第１共通回収流路が第１方向に長く、かつ前記第１方向と交差する方向である第２方向に複数設けられた第１流路部材と、複数の前記第１共通供給流路に共通に接続され、複数の前記第１共通供給流路に液体を供給する第２共通供給流路、および、複数の前記第１共通回収流路に共通に接続され、複数の前記第１共通回収流路から液体を回収する第２共通回収流路を有する第２流路部材と、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを備えている。また、前記第１流路部材上に、前記第２流路部材が設けられている。また、前記第１流路部材および前記第２流路部材は前記第２方向に長く、前記第２共通供給流路および前記第２共通回収流路も前記第２方向に長い。

本発明の記録装置における一態様は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えている。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、液体吐出ヘッドの平面方向の大きさを大きくすることなく、複数の加圧室に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を示しており、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図２の液体吐出ヘッドを示しており、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の分解斜視図である。 ヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は要部を拡大して示す平面図、（ｂ）は図７（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。 （ａ）は液体吐出ヘッドを簡略化して示す等価回路図、（ｂ）は各加圧室の圧力損失を示すグラフである。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は平面図である。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体の平面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体の平面図である。

＜第１の実施形態＞
図１（ａ）は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むプリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行になるように平板状のフレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成している。プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、すなわち図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることにより、印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。

記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

次に、図２〜８を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，７では図面を分かりやすくするために、他のものの下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図８（ａ）では、液体吐出ヘッド２の等価回路図を簡略化して示している。

ここで、第１方向Ｄ１は、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４が延びる方向である。また、第２方向Ｄ２は、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６が延びる方向である。また、第３方向Ｄ３は、第２方向Ｄ２に直交する方向である。

図２に示すように、液体吐出ヘッド２は、放熱板９０と、筐体９１と、ヘッド本体２ａと、信号伝達部９２と、ドライバＩＣ９３と、配線基板９４と、押圧部材９５と、弾性部材９８とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、放熱板９０と、筐体９１と、信号伝達部９２と、ドライバＩＣ９３と、配線基板９４と、押圧部材９５と、弾性部材９８とは必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部９２が引き出されており、信号伝達部９２は、配線基板９４に電気的に接続されている。信号伝達部９２には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ９３が設けられている。ドライバＩＣ９３は、弾性部材９８を介して押圧部材９５により放熱板９０に押圧されている。なお、配線基板９４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板９０は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ９３の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板９０は、螺子あるいは接着剤により筐体９１に接合されている。

筐体９１は、２つの第１開口９１ａと、第２開口９１ｂと、第３開口９１ｃと、断熱部９１ｄとを備えている。２つの第１開口９１ａは、第３方向Ｄ３に互いに対向するように設けられている。２つの第１開口９１ａには２つの放熱板９０が配置される。第２開口９１ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口９１ｂを介して配線基板９４および押圧部材９５が筐体９１内に配置される。第３開口９１ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板９４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。断熱部９１ｄは、第２方向Ｄ２に延びるように設けられており、放熱板９０とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板９０に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝熱する可能性を低減することができる。筐体９１は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図４に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２に長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４上に、圧電アクチュエータ基板４０と第２流路部材６とが設けられている。圧電アクチュエータ基板４０には、信号伝達部９２が接続されており、信号伝達部９２は、第２流路部材６の開口６ｃを介して上方へ引き出されている。

圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４の中央部に位置する載置領域３２に配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図４（ａ）参照）を加圧するために設けられている。

第１流路部材４は、内部に流路を形成しており、第１主面４ａ―１に、第１供給開口２０ａと、第１回収開口２４ａとを有している（図４，図７（ｂ）参照）。第１供給開口２０ａは、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、第３方向Ｄ３における一方の端部に配置されている。第１回収開口２４ａは、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、第３方向Ｄ３における他方の端部に配置されている。第１供給開口２０ａおよび第１回収開口２４ａは、載置領域３２の第３方向Ｄ３における両側に配置されている。

第２流路部材６は、第１流路部材４における第１主面４ａ−１の外周部上に設けられており、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域は、図４（ａ）において、斑点で描いている。第２流路部材６は、第１部材６ａと第２部材６ｂとを有している。第１部材６ａは、第２部材６ｂ上に設けられており、接着剤（不図示）にて第２部材６ｂと接合されている。

第１部材６ａは、貫通孔６ｃと、開口６ｄと、開口６ｅと、溝６ｆと、溝６ｇとを有している。貫通孔６ｃは、第１部材６ａを貫通するように設けられており、信号伝達部９２が挿通されている。開口６ｄは第１部材６ａの上面に設けられており、外部から第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｅは、第１部材６ａの上面に設けられており、第２流路部材６から外部へ液体を回収している。

溝６ｆは、第１部材６ａの下面に設けられており、開口６ｄと連通している。溝６ｇは、第１部材６ａの下面に設けられており、開口６ｅと連通している。溝６ｆは第２部材６ｂにより覆われており、溝６ｆと第２部材６ｂとにより第２共通供給流路本体２２ａを形成している。溝６ｇは第２部材６ｂにより覆われており、溝６ｇと第２部材６ｂとにより第２共通回収流路本体２６ａを形成している。

第２部材６ｂは、第２供給開口２５と第２回収開口２７とを有している。第２供給開口２５は、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、第３方向Ｄ３における一方の端部に配置されている。第２回収開口２７は、第２方向Ｄ２に沿って配列されており、第３方向Ｄ３における他方の端部に配置されている。第２供給開口２５は、第１部材６ａの溝６ｆと連通しており、供給接続流路２２ｂを形成している。第２回収開口２７は、第１部材６ａの溝６ｇと連通しており、回収接続流路２６ｂを形成している。なお、第１部材６ａの貫通孔６ｃに対応する貫通孔が設けられているが、図３（ｂ）では貫通孔の図示を省略している。

第２流路部材６は、第２方向Ｄ２に長く形成されており、内部に第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６を有している。第２共通供給流路２２は、第２共通供給流路本体２２ａと、供給接続流路２２ｂとを有している。第２共通供給流路本体２２ａは、第２方向Ｄ２に長く形成されており、供給接続流路２２ｂは、第２共通供給流路本体２２ａと、第２供給開口２５とを接続している。

供給接続流路２２ｂは、第２方向Ｄ２に複数設けられている。第２部材６ｂは、仕切り部材２９を含んでおり、隣り合う供給接続流路２２ｂは、仕切り部材２９により仕切られている。そして、仕切り部材２９は、第１流路部材４との接合領域に配置されており、仕切り部材２９を介して第１流路部材４と第２流路部材６とが接合されている。

第２共通回収流路２６は、第２共通回収流路本体２６ａと、回収接続流路２６ｂとを有している。第２共通回収流路本体２６ａは、第２方向Ｄ２に長く形成されており、回収接続流路２６ｂは、第２共通回収流路本体２６ａと、第２回収開口２７とを接続している。

回収接続流路２６ｂは、第２方向Ｄ２に複数設けられている。第２部材６ｂは、仕切り部材３１を含んでおり、隣り合う回収接続流路２６ｂは、仕切り部材３１により仕切られている。そして、仕切り部材３１は、第１流路部材４との接合領域に配置されており、仕切り部材３１を介して第１流路部材４と第２流路部材６とが接合されている。

以上のような構成により、第２流路部材６においては、外部から開口６ｄに供給された液体は、第２共通供給流路２２に供給され、第２供給開口２５を介して第１共通供給流路２０に流れ込み第１流路部材４に液体が供給される。そして、第１共通回収流路２４により回収された液体は、第２回収開口２７を介して第２共通回収流路２６に流れ込み、開口６ｅを介して外部へ液体が回収される。

図５〜７に示すように、第１流路部材４は、流路部材本体４ａとノズルプレート４ｂとを有している。第１流路部材４は、圧電アクチュエータ基板４０が載置される加圧室面４−１と、吐出孔８が開口している吐出孔面４−２を有している。ノズルプレート４ｂには、複数の吐出孔８がマトリクス状に形成されている。流路部材本体４ａは、加圧室１０、第１流路１２、第２流路１４、第１共通供給流路２０、および第１共通回収流路２４が設けられている。

第１流路部材本体４ａは、第１主面４ａ―１と、第１主面４ａ―１の反対側に位置する第２主面４ａ―２とを有している。第１主面４ａ―１には圧電アクチュエータ基板４０が接合されている。なお、第１主面４ａ−１は、加圧室面４−１と同じ面である。第２主面４ａ―２にはノズルプレート４ｂが接合されている。ノズルプレート４ｂは、吐出孔８が流路部材本体４ａの加圧室１０と連通するように設けられている。なお、第１流路部材４は、複数の金属あるいは樹脂製のプレートを積層して形成してもよい。

加圧室１０は、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａの中心から下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子５０からの圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体に圧力を加えるようになっている。

加圧室本体１０ａは、直円柱形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい直円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に納まる位置に配置されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐形状あるいは台形円錐形状であってもよい。それにより、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

第１流路部材４には、複数の第１共通供給流路２０および複数の第１共通回収流路２４が、第１方向Ｄ１に長く配置されている。すなわち、複数の第１共通供給流路２０および複数の第１共通回収流路２４は、第１方向Ｄ１に沿って延びるように配置されている。また、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４は、第２方向Ｄ２に複数設けられている。具体的には、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４は、第２方向Ｄ２に交互に並んで配置されている。

加圧室１０は、第１共通供給流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第１共通供給流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１流路１２を介して接続されている。第１共通供給流路２０の一方の端部には第１供給開口２０ａが接続されている。

また、加圧室１０は、第１共通回収流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第１共通回収流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第２流路１４を介して接続されている。第２共通回収流路２４の一方の端部には第１回収開口２４ａが接続されている。

複数ある加圧室１０は、第１方向Ｄ１に沿った複数の加圧室列１１Ａを構成しているとともに、第２方向Ｄ２に沿った複数の加圧室行１１Ｂを構成している。各吐出孔８は、対応する加圧室１０の中心に位置している。複数ある吐出孔８も、加圧室１０と同様に、第１方向Ｄ１に沿った複数の吐出孔列９Ａを構成しているとともに、第２方向Ｄ２に沿った複数の吐出孔行９Ｂを構成している。

第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列９Ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列９Ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列９Ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に印刷用紙Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

以上のような構成により、第１流路部材４においては、第１供給開口２０ａを介して第１共通供給流路２０に供給された液体は、第１流路１２を介して第１共通供給流路２０に沿って並んでいる加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０に対して、第２流路１４を介して第１共通回収流路２４に流れ込み、第１回収開口２４ａを介して、第１流路部材４から外部に排出される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極４２およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極４４を有している。個別電極４４は上述のように圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体４４ａと、そこから引き出された引出電極４４ｂとを含んでいる。引出電極４４ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極４６が形成されている。接続電極４６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極４２は、圧電アクチュエータ基板４０に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極４２の厚さは２μｍ程度である。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極に、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極は、多数の個別電極４４と同様に、制御部８８と直接的あるいは間接的に接続されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子５０となっている。

第１流路部材４の上面には、変位素子５０を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子５０が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。圧電アクチュエータ基板４０は、ヘッド本体２ａと同様、第２方向Ｄ２に長い長方形状である。

圧電アクチュエータ基板４０には、各変位素子５０に信号を供給するためのＦＰＣなどの信号伝達部９２が接続されている。第２流路部材６には、中央で、上下に貫通している貫通孔６ｃがあり、信号伝達部９２は貫通孔６ｃを通して制御部８８と電気的に繋がれている。

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、変位素子５０が変位する。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

図８（ａ）は、液体吐出ヘッド２の等価回路を簡略化して示している。Ｃ１〜Ｃ８は、加圧室１０（図７参照）を示しており、Ｒ１は第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の流路抵抗を示しており、Ｒ２は第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の流路抵抗を示している。図８（ｂ）は、加圧室Ｃ１〜Ｃ８に供給される液体の圧力損失を示しており、波線が従来の液体吐出ヘッドを示しており、実線が第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を示している。

複数の第１共通供給流路２０は、第２共通供給流路２２に並列に接続されている。また、複数の第１共通回収流路２４は、第２共通回収流路２６に並列に接続されている。同じ第１共通供給流路２０および同じ第１共通回収流路２４に接続された複数の加圧室Ｃ１，Ｃ２は直列に接続されている。

加圧室Ｃ１に供給される液体の圧力損失はＲ２となっており、加圧室Ｃ２に供給される液体の圧力損失は２×Ｒ２となっている。また、加圧室Ｃ３に供給される液体の圧力損失はＲ１＋Ｒ２となっており、加圧室Ｃ４に供給される液体の圧力損失はＲ１＋２×Ｒ２となっている。また、加圧室Ｃ５に供給される液体の圧力損失は２×Ｒ１＋Ｒ２となっており、加圧室Ｃ６に供給される液体の圧力損失は２×Ｒ１＋２×Ｒ２となっている。また、加圧室Ｃ７に供給される液体の圧力損失は３×Ｒ１＋Ｒ２となっており、加圧室Ｃ８に供給される液体の圧力損失は３×Ｒ１＋２×Ｒ２となっている。

このように、液体の流れ方向の最も上流側に位置する加圧室Ｃ１に供給される液体の圧力損失はＲ２となっており、液体の流れ方向の最も下流側に位置する加圧室Ｃ８に供給される液体の圧力損失は３×Ｒ１＋２×Ｒ２となっている。そのため、図８（ｂ）に示すように、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４は、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６に接続される接続位置により、加圧室１０に供給される液体の圧力損失にばらつきが生じてしまう。

吐出しない状態では、吐出孔８には液体のメニスカスが保持されている。吐出孔８において液体の圧力が負圧になっていることで、液体の表面張力とつり合ってメニスカスが保持されている。正圧が大きくなれば、液体はあふれ出し、負圧が大きくなれば、液体が第１流路部材４内に引き込まれてしまい、液体が吐出可能な状態を維持できない。そのため、第１共通供給流路２０から第１共通回収流路２４に液体を流した際における、吐出孔８での液体の圧力の差が大きくなり過ぎないようにする必要がある。

複数の加圧室１０に供給される液体は、吐出孔８（図７参照）のメニスカスを保持するために、複数の加圧室１０に供給される液体の圧力損失のばらつきを小さくする必要がある。そのため、流路抵抗Ｒ１あるいは流路抵抗Ｒ２の値を小さくすることにより、複数の加圧室１０に供給される液体の圧力損失のばらつきを小さくすることが考えられる。

複数の加圧室１０に供給される液体の圧力損失のばらつきを小さくするためには、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の流路抵抗Ｒ２を小さくすることが考えられる。第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の流路抵抗Ｒ２を小さくしようとする場合、例えば、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の断面積を大きくすることが考えられる。第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の断面積を大きくすると、第１流路部材４が平面方向に大きくなってしまう。第１流路部材４が平面方向に大型化すると、第１流路部材４の剛性が低くなり、さらに、大型化することで吐出孔８間の距離が大きくなり、液体の吐出精度に悪影響が出る可能性がある。

そこで、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の流路抵抗Ｒ１を小さくすることが考えられる。第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の流路抵抗Ｒ１を小さくしようとする場合、例えば、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の断面積を大きくすることが考えられる。しかしながら、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の断面積を大きくするために、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の平面視における幅を大きくすると、液体吐出ヘッド２の平面方向の大きさが大きくなってしまう。また、複数の液体吐出ヘッド２を用いてプリンタを構成した場合における、液体吐出ヘッド２間の距離を小さくすることが難しくなり、印刷精度に悪影響を与えることになる。

これに対して、液体吐出ヘッド２は、第１流路部材４上に、第２流路部材６が設けられており、第１流路部材４および第２流路部材６は第２方向Ｄ２に長く、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６も第２方向Ｄ２に長いことから、液体吐出ヘッド２の平面方向の大きさを大きくすることなく、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の断面積を大きくすることができる。このため、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の流路抵抗Ｒ１を小さくすることができる。その結果、複数の加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくしつつ、液体吐出ヘッド２が平面方向に大型化する可能性を低減することができる。

また、液体吐出ヘッド２は、第２共通供給流路２２の断面積が、第１共通供給流路２０の断面積よりも大きく、第２共通回収流路２６の断面積が、第１共通回収流路２４の断面積よりも大きい構成を有している。そのため、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６により生じる圧力損失を小さくすることにより、第１共通供給流路２２および第１共通回収流路２６に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。その結果、加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。

また、液体吐出ヘッド２は、第２共通供給流路２２の流路抵抗Ｒ１が、第１共通供給流路２０の流路抵抗Ｒ２の１／１００以下であり、第２共通回収流路２６の流路抵抗Ｒ１が、第１共通回収流路２４の流路抵抗Ｒ２の１／１００以下である。そのため、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６により生じる圧力損失を小さくすることにより、第１共通供給流路２２および第１共通回収流路２６に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。その結果、加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくすることができる。

また、液体吐出ヘッド２は、第２流路部材６側から平面視したときに、圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４上の中央部に設けられており、第２流路部材６は、第１流路部材４上の外周部に設けられた構成を有している。それにより、第１流路部材４が、変位素子５０の変形により振動した場合においても、第２流路部材６が、圧電アクチュエータ基板４０よりも外側の外周部で第１流路部材４を固定しているため、第１流路部材４の振動を低減することができる。

また、液体吐出ヘッド２は、圧電アクチュエータ基板４０を駆動する信号を伝達する信号伝達部９２をさらに備えている。それにより、信号伝達部９２と圧電アクチュエータ基板４０との電気的な接続を、第２流路部材６により保護することができる。

また、第２流路部材６には、貫通孔６ｃが上下に貫通しており、貫通孔６ｃを信号伝達部９２が挿通している。そのため、貫通孔６ｃの各開口の角部には、Ｒ形状やＣ形状に面取りしてあることが好ましい。それにより、信号伝達部９２を傷つける可能性を低減することができる。

また、液体吐出ヘッド２は、第２流路部材６側から平面視したときに、第２共通供給流路２２は、第１流路部材４における、第３方向Ｄ３の一方の端部上に配置されており、第２共通回収流路２６は、第１流路部材４における、第３方向Ｄ３の他方の端部上に配置された構成を有している。

それにより、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の断面積を大きくできるともに、第２流路部材６が、第１流路部材４の外周部を固定して剛性を高くすることができる。

また、液体吐出ヘッド２は、第２流路部材６が第１流路部材４と接合されている。第２共通供給流路２２は、第２方向Ｄ２に長い第２共通供給流路本体２２ａ、および、第２共通供給流路本体２２ａと第１共通供給流路２０とを接続する複数の供給接続流路２２ｂを含んでいる。複数の供給接続流路２２ｂは仕切り部材２９を有しており、仕切り部材２９は、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域を含むように構成されている。すなわち、仕切り部材２９が、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域上に配置されることとなる。このため、接合領域の上方に位置する第２流路部材６の剛性を高めることができる。その結果、第１流路部材４と第２流路部材６との接合を強固なものとすることができる。

上記と同様に、第２共通回収流路２６が、第２方向Ｄ２に長い第２共通回収流路本体２６ａ、および、第２共通回収流路本体２６ａと第１共通回収流路２４とを接続する複数の回収接続流路２６ｂを含んでいる。複数の回収接続流路２６ｂは仕切り部材３１を有しており、仕切り部材３１は、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域を含むように構成されている。すなわち、仕切り部材３１が、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域上に配置されることとなる。このため、接合領域の上方に位置する第２流路部材６の剛性を高めることができる。その結果、第１流路部材４と第２流路部材６との接合を強固なものとすることができる。

また、第１共通供給流路２０の両側に第１共通回収流路２４が、第１共通回収流路２４の両側に第１共通供給流路２０が配置されていることにより、１つの加圧室列１１Ａに対して、１つの第１共通供給流路２０および１つの第１共通回収流路２４が接続されている。そのため、別の加圧室列１１Ａに対して、別の第１共通供給流路２０および別の第１共通回収流路２４が接続されている場合と比較して、第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４の数を約半分とすることができる。それゆえ、面積効率よく第１共通供給流路２０および第１共通回収流路２４を配置することができる。

第２流路部材６は、第１流路部材４よりも厚く形成されることが好ましく、５〜３０ｍｍ低程度の厚さであることが好ましい。その場合、第２共通供給流路２２および第２共通回収流路２６の断面積を大きくすることができる。なお、第１流路部材本体４ａの厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度であることが好ましい。それにより、剛性が高くなりすぎず、吐出に悪影響が生じる可能性を低減することができる。

＜第２の実施形態＞
図９を用いて第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１０２について説明する。液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材１０６の構成が液体吐出ヘッド２と異なっており、その他の構成は同一であるため、同一である構成については詳細な説明は省略する。なお、同一の部材には同一の符号を付しており、以下同様とする。

第２流路部材１０６は、第１部材６ａのみから形成されている。すなわち、第２部材６ｂ（図４参照）が設けられていない構成となっている。

第１部材６ａは、上面に開口６ｄおよび開口６ｅが形成されている。また、第１部材６ａは、下面に第２供給溝１２５および第２回収溝１２７が形成されている。第１部材６ａの下面には、第１流路部材４が配置されており、第２供給溝１２５および第１流路部材４により、第２共通供給流路２２が形成されている。また、第２回収溝１２７および第１流路部材４により、第２共通回収流路２６が形成されている。

第２供給溝１２５は第２方向Ｄ２に長く形成されており、第１供給開口２０ａは第２方向Ｄ２に複数配列されている。そして、第１流路部材４と第２流路部材６とが接合されることにより、第１供給開口２０ａと第２供給溝１２５とは連通している。第２供給溝１２５は、複数の第１供給開口２０ａにわたって設けられている。また、第２回収溝１２７は第２方向Ｄ２に長く形成されており、第１回収開口２４ａは第２方向Ｄ２に複数配列されている。そして、第１流路部材４と第２流路部材６とが接合されることにより、第１回収開口２４ａと第２回収溝１２７とは連通している。第２回収溝１２７は、複数の第１回収開口２４ａにわたって設けられている。

第１流路部材４と第２流路部材６とは接続領域において接合されている。具体的には、第２共通供給流路２２の下方に位置する第１接合領域Ｅ１と、第２共通回収流路２６の下方に位置する第２接合領域Ｅ２とにより接合されている。図９において、第１接合領域Ｅ１と、第２接合領域Ｅ２とを斑点で描いている。

そして、第１共通供給流路２０は、第１接合領域Ｅ１まで延びて第２共通供給流路２２と接続されており、第２接合領域Ｅ２までは延びていない構成となっている。これと同様に、第１共通回収流路２４は、第２接合領域Ｅ２まで延びて第２共通回収流路２６と接続されており、第２接合領域Ｅ２までは延びていない構成となっている。

第１流路部材４は、第２流路部材６と接合される第１主面４ａ―１（図７参照）に、複数の第１供給開口２０ａと、複数の第１回収開口２４ａとを有している。複数の第１供給開口２０ａは、第２方向Ｄ２に等間隔で配列されており、隣り合う第１供給開口２０ａの間に隔壁３３が設けられている。また、複数の第１回収開口２４ａは、第２方向Ｄ２に等間隔で配列されており、隣り合う第１回収開口２４ａの間に隔壁３５が設けられている。

液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材６が第１流路部材４と接合されており、第１流路部材４と第２流路部材６との接合領域が、第２共通供給流路２２の下方に配置された第１接合領域Ｅ１と、第２共通回収流路２６の下方に配置された第２接合領域Ｅ２とを有している。そして、第２流路部材６側から平面視したときに、第１共通供給流路２０は、第１接合領域Ｅ１まで延びて第２共通供給流路２２と接続され、かつ第２接合領域Ｅ２まで延びていない。これと同様に、第１共通回収流路２４は、第２接合領域Ｅ２まで延びて第２共通回収流路２６と接続され、かつ第１接合領域Ｅ１まで延びていない構成を有している。

すなわち、第１接合領域Ｅ１の下方に第１共通回収流路２４が設けられておらず、第２接合領域Ｅ２の下方に第１共通供給流路２０が設けられていない。つまり、第１接合領域Ｅ１の下方に第１共通回収流路２４となる空洞が設けられておらず中実となっているとともに、第２接合領域Ｅ２の下方に第１共通供給流路２０となる空洞が設けられておらず中実となっている。このため、第１接合領域Ｅ１の下方に第１共通回収流路２４が設けられておりかつ第２接合領域Ｅ２の下方に第１共通供給流路２０が設けられている態様と比べて、第１接合領域Ｅ１および第２接合領域Ｅ２の下方に位置する第１流路部材４の剛性を高めることができる。その結果、第１流路部材４と第２流路部材６との接合を強固なものとすることができる。

また、液体吐出ヘッド１０２は、第１流路部材４が、複数の第１共通供給流路２０に接続され、第２流路部材１０６側に開口し、第２方向Ｄ２に配列された複数の第１供給開口２０ａを有し、第２流路部材１０６が、第２共通供給流路２２に接続され、第１流路部材４側に開口し、第２方向Ｄ２に長い第２供給溝１２５を有し、第１供給開口２０ａと第２供給溝１２５とが連通している。

そのため、第２流路部材１０６が、第２供給溝１２５を塞ぐように第２部材６ｂ（図４参照）を形成する必要がなくなり、第２部材６ｂを形成しない分、第２共通供給流路２２の断面積を大きくすることができ、第２共通供給流路２２の流路抵抗を小さくすることができる。その結果、加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくしつつ、液体吐出ヘッド１０２が大型化することを抑えることができる。

上記と同様に、液体吐出ヘッド１０２は、第１流路部材４が、複数の第１共通回収流路２４に接続され、第２流路部材１０６側に開口し、第２方向Ｄ２に配列された複数の第１回収開口２４ａを有し、第２流路部材１０６が、第２共通回収流路２６に接続され、第１流路部材４側に開口し、第２方向Ｄ２に長い第２回収溝１２７を有し、第１回収開口２４ａと第２回収溝１２７とが連通している。

そのため、第２流路部材１０６が、第２回収溝１２７を塞ぐように第２部材６ｂ（図４参照）を形成する必要がなくなり、第２部材６ｂを形成しない分、第２共通回収流路２６の断面積を大きくすることができ、第２共通回収流路２６の流路抵抗を小さくすることができる。その結果、加圧室１０に生じる圧力損失のばらつきを小さくしつつ、液体吐出ヘッド１０２が大型化することを抑えることができる。

また、液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材６側から平面視したときに、第２供給溝１２５内に、複数の第１供給開口２０ａが配置されている。それにより、隣り合う第１供給開口２０ａの間に位置する隔壁３３と、第２供給溝１２５とが対向する領域上にも第２共通供給流路２２が形成されることとなる。その結果、第２共通供給流路２２の断面積をさらに大きくすることができ、第２共通供給流路２２の流路抵抗をさらに小さくすることができる。

また、第１流路部材４と第２流路部材１０６とを積層した際に、第１方向Ｄ１に積層ずれが生じた場合においても、第２供給溝１２５が積層ずれを吸収するように機能し、第１供給開口２０ａと第２供給溝１２５との接続を確保することができる。

上記と同様に、液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材６側から平面視したときに、第２回収溝１２７内に、複数の第１回収開口２４ａが配置されている。それにより、隣り合う第１回収開口２４ａの間に位置する隔壁３５と、第２回収溝１２７とが対向する領域上にも第２共通回収流路２６が形成されることとなる。その結果、第２共通回収流路２６の断面積をさらに大きくすることができ、第２共通回収流路２６の流路抵抗をさらに小さくすることができる。

また、第１流路部材４と第２流路部材１０６とを積層した際に、第１方向Ｄ１に積層ずれが生じた場合においても、第２回収溝１２７が積層ずれを吸収するように機能し、第１回収開口２４ａと第２回収溝１２７との接続を確保することができる。

また、液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材１０６側から平面視したときに、第３方向Ｄ３における第１供給開口２０ａの長さが、第３方向Ｄ３における第２供給溝１２５の長さよりも短い構成を有している。それにより、第１流路部材４と第２流路部材１０６とを積層した際に、第３方向Ｄ３に積層ずれが生じた場合においても、第１供給開口２０ａと第２供給溝１２５との接続を確保することができる。

上記と同様に、液体吐出ヘッド１０２は、第２流路部材１０６側から平面視したときに、第３方向Ｄ３における第１回収開口２４ａの長さが、第３方向Ｄ３における第２回収溝１２７の長さよりも短い構成を有している。それにより、第１流路部材４と第２流路部材１０６とを積層した際に、第３方向Ｄ３に積層ずれが生じた場合においても、第１回収開口２４ａと第２回収溝１２７との接続を確保することができる。

また、液体吐出ヘッド１０２は、第１流路部材４が、複数のプレートが積層されて構成されている。また、第１流路部材４が、第２方向Ｄ２に隣り合う第１供給開口２０ａの間に位置する隔壁３３を有している。そして、第２方向Ｄ２における隔壁３３の長さが、第２方向Ｄ２における第１供給開口１２５の長さよりも長い構成を有している。

そのため、第１接合領域Ｅ１において、第１供給開口２０ａが設けられた領域よりも、隔壁３３が設けられた領域を多くすることができる。それにより、第１接合領域Ｅ１における第１流路部材４の剛性を高めることができ、第１流路部材４と第２流路部材１０６との接合を強固なものとすることができる。

上記と同様に、液体吐出ヘッド１０２は、第１流路部材４が、複数のプレートが積層されて構成されている。また、第１流路部材４が、第２方向Ｄ２に隣り合う第１回収開口２４ａの間に位置する隔壁３５を有している。そして、第２方向Ｄ２における隔壁３５の長さが、第２方向Ｄ２における第１回収開口１２７の長さよりも長い構成を有している。

そのため、第２接合領域Ｅ２において、第１回収開口２４ａが設けられた領域よりも、隔壁３５が設けられた領域を多くすることができる。それにより、第２接合領域Ｅ２における第１流路部材４の剛性を高めることができ、第１流路部材４と第２流路部材１０６との接合を強固なものとすることができる。

＜第３の実施形態＞
図１０を用いて第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２について説明する。液体吐出ヘッド２０２は、第２供給溝２２５および第２回収溝２２７の形状が液体吐出ヘッド１０２と異なっている。

第１流路部材４と第２流路部材２０６とは、接合領域（不図示）において、接着剤（不図示）により接合されている。第２供給溝２２５は、第２方向Ｄ２に長く形成されており、第２方向Ｄ２における第２供給溝２２５の縁が、複数の第１供給開口２０ａのうち、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１供給開口２０ａの縁上に配置されている。

それにより、接着剤の塗布量が多く、過剰の接着剤が、第２方向Ｄ２おける端部に位置する第１供給開口２０ａに流れ込んだ場合においても、第２方向Ｄ２おける端部に位置する第１供給開口２０ａと第２供給溝２２５との対向する面積が大きいことにより、接着剤が第１供給開口２０ａを塞ぐ可能性を低減することができる。

また、第２共通供給流路２２が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１供給開口２０ａよりも開口６ｅ側に配置されない構成となる。それにより、第１供給開口２０ａをこえて配置された第２供給溝２２５により止水域が形成される可能性を低減することができ、第２共通供給流路２２に液体の滞留が生じる可能性を低減することができる。

第２回収溝２２７は、第２方向Ｄ２に長く形成されており、第２方向Ｄ２における第２回収溝２２７の縁が、複数の第１回収開口２４ａのうち、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１回収開口２４ａの縁上に配置されている。

それにより、接着剤の塗布量が多く、過剰の接着剤が、第２方向Ｄ２おける端部に位置する第１回収開口２４ａに流れ込んだ場合においても、第２方向Ｄ２おける端部に位置する第１回収開口２４ａと第２回収溝２２５との対向する面積が大きいことにより、接着剤が第１回収開口２４ａを塞ぐ可能性を低減することができる。

また、第２共通回収流路２６が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１回収開口２４ａよりも開口６ｄ側に配置されない構成となる。それにより、第１回収開口２４ａをこえて配置された第２回収溝３２７により止水域が形成される可能性を低減することができ、第２共通回収流路２６に液体の滞留が生じる可能性を低減することができる。

なお、第２方向Ｄ２における第２供給溝２２５の縁が、複数の第１供給開口２０ａのうち、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１供給開口２０ａの縁上に配置されているとは、第１供給開口２０ａの縁から、第１供給開口２０ａの第２方向における長さの±１０％の領域上に、第２方向Ｄ２における第２供給溝２２５の縁があることを意味し、製造誤差を含む概念である。

＜第４の実施形態＞
図１１を用いて第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド３０２について説明する。液体吐出ヘッド３０２は、第２供給溝３２５および第２回収溝３２７の形状が液体吐出ヘッド１０２と異なっている。

第２供給溝３２５は、第２方向Ｄ２に長く形成されており、第２方向Ｄ２における第２供給溝３２５の縁が、複数の第１供給開口２０ａのうち、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１供給開口２０ａ上に配置されている。言い換えると、第２方向Ｄ２における第２供給溝３２５の縁が、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１供給開口２０ａの、第２方向Ｄ２における縁よりも、開口６ｄ側に配置されている。

それにより、第１流路部材４と第２流路部材３０６とを積層した際に、第２方向Ｄ２における開口６ｅ側に積層ずれが生じた場合においても、第２供給溝３２５の第２方向Ｄ２における縁が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１供給開口２０ａをこえて配置される可能性を低減することができる。

すなわち、第２共通供給流路２２が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１供給開口２０ａよりも開口６ｅ側に配置されない構成となる。それにより、第１供給開口２０ａをこえて配置された第２供給溝３２５により止水域が形成される可能性を低減することができ、第２共通供給流路２２に液体の滞留が生じる可能性を低減することができる。

第２供給溝３２５は、第２方向Ｄ２に長く形成されており、第２方向Ｄ２における第２回収溝３２７の縁が、複数の第１回収開口２４ａのうち、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１回収開口２４ａ上に配置されている。言い換えると、第２方向Ｄ２における第２回収溝３２７の縁が、第２方向Ｄ２の端部に位置する第１回収開口２４ａの、第２方向Ｄ２における縁よりも、開口６ｅ側に配置されている。

それにより、第１流路部材４と第２流路部材３０６とを積層した際に、第２方向Ｄ２における開口６ｅ側に積層ずれが生じた場合においても、第２回収溝３２７の第２方向Ｄ２における縁が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１回収開口２４ａをこえて配置される可能性を低減することができる。

すなわち、第２共通回収流路２６が、第２方向Ｄ２における端部に位置する第１回収開口２４ａよりも開口６ｄ側に配置されない構成となる。それにより、第１回収開口２４ａをこえて配置された第２回収溝３２７により止水域が形成される可能性を低減することができ、第２共通回収流路２６に液体の滞留が生じる可能性を低減することができる。

以上、第１〜４実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

例えば、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形によりを加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。

また、第２流路部材６の開口６ｄに液体を供給し、開口６ｅから液体を回収する例を示したが、第２流路部材６の開口６ｅに液体を供給し、開口６ｄから液体を回収してもよい。その場合、開口６ｅに供給された液体は、第２共通回収流路２６を第２方向Ｄ２に沿って流れながら、各第１共通回収流路２４に液体が供給される。第１共通回収流路２４に供給された液体は、第１共通回収流路２４を第１方向Ｄ１に沿って流れながら、第２流路１４を介して、各加圧室１０に供給される。そして、加圧室１０に供給された液体は、第１流路１２を介して、第１共通供給流路２０に回収されながら、第１方向Ｄ１に沿って流れることとなる。第１共通供給流路２０に回収された液体は、第２共通供給流路２２に回収されながら、第２方向Ｄ２に沿って流れることとなる。そして、開口６ｄから外部に液体が回収されることとなる。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１２・・・第１流路
１４・・・第２流路
２０・・・第１共通供給流路
２０ａ・・・第１供給開口
２２・・・第２共通供給流路
２２ａ・・・第２共通供給流路本体
２２ｂ・・・供給接続流路
２４・・・第１共通回収流路
２４ａ・・・第１回収開口
２６・・・第２共通回収流路
２６ａ・・・第２共通回収流路本体
２６ｂ・・・回収接続流路
４０・・・圧電アクチュエータ基板
５０・・・変位素子（加圧部）
７０・・・（フレーム
７２・・・ヘッド群
８８・・・制御部
９２・・・信号伝達部
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｅ１・・・第１接続領域
Ｅ１・・・第２接続領域
Ｐ・・・印刷用紙

Claims (22)

1. 複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の前記加圧室に共通に接続され、複数の前記加圧室に液体を供給する複数の第１共通供給流路、および、複数の前記加圧室に共通に接続され、複数の前記加圧室から液体を回収する複数の第１共通回収流路、を有しており、前記第１共通供給流路および前記第１共通回収流路が第１方向に長く、かつ前記第１方向と交差する方向である第２方向に複数設けられた第１流路部材と、
   複数の前記第１共通供給流路に共通に接続され、複数の前記第１共通供給流路に液体を供給する第２共通供給流路、および、複数の前記第１共通回収流路に共通に接続され、複数の前記第１共通回収流路から液体を回収する第２共通回収流路を有する第２流路部材と、
   複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、
   前記第１流路部材上に、前記第２流路部材が設けられており、
   前記第１流路部材および前記第２流路部材は前記第２方向に長く、前記第２共通供給流路および前記第２共通回収流路も前記第２方向に長い、液体吐出ヘッド。
2. 前記第２共通供給流路の断面積が、前記第１共通供給流路の断面積よりも大きく、
   前記第２共通回収流路の断面積が、前記第１共通回収流路の断面積よりも大きい、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第２共通供給流路の流路抵抗が、前記第１共通供給流路の流路抵抗の１／１００以下であり、
   前記第２共通回収流路の流路抵抗が、前記第１共通回収流路の流路抵抗の１／１００以下である、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２流路部材側から平面視したときに、複数の前記加圧部は、前記第１流路部材の中央部に設けられており、
   前記第２流路部材は、前記第１流路部材の外周部に設けられている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 複数の前記加圧部を駆動する信号を伝達する信号伝達部をさらに備えている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第２共通供給流路は、前記第１流路部材における、前記第２方向に直交する第３方向の一方の端部上に配置されており、
   前記第２共通回収流路は、前記第１流路部材における、前記第３方向の他方の端部上に配置されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２流路部材が前記第１流路部材と接合されており、
   前記第１流路部材と前記第２流路部材との接合領域は、前記第２共通供給流路の下方に配置された第１接合領域と、前記第２共通回収流路の下方に配置された第２接合領域とを有し、
   前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第１共通供給流路は、前記第１接合領域まで延びて前記第２共通供給流路と接続され、かつ前記第２接合領域まで延びておらず、
   前記第１共通回収流路は、前記第２接合領域まで延びて前記第２共通回収流路と接続され、かつ前記第１接合領域まで延びていない、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第２流路部材が前記第１流路部材と接合されており、
   前記第２共通供給流路は、前記第２方向に長い第２共通供給流路本体、および、該第２共通供給流路本体と前記第１共通供給流路とを接続する複数の供給接続流路を含んでおり、
   前記第２流路部材は、複数の前記供給接続流路の間に仕切り部材を有しており、
   該仕切り部材は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との接合領域を含んでいる、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第２共通回収流路は、前記第２方向に長い第２共通回収流路本体、および、該第２共通回収流路本体と前記第１共通回収流路とを接続する複数の回収接続流路を含んでおり、
   前記第２流路部材は、複数の前記回収接続流路の間に仕切り部材を有しており、
   該仕切り部材は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との接合領域を含んでいる、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１流路部材は、複数の前記第１共通供給流路に接続され、前記第２流路部材側に開口し、前記第２方向に配列された複数の第１供給開口を有し、
    前記第２流路部材は、前記第２共通供給流路に接続され、前記第１流路部材側に開口し、前記第２方向に長い第２供給溝を有し、
    前記第１供給開口と前記第２供給溝とが連通している、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第２供給溝内に、複数の前記第１供給開口が配置されている、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第２方向に直交する第３方向における前記第１供給開口の長さが、前記第３方向における前記第２供給溝の長さよりも短い、請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第２流路部材が前記第１流路部材と接着材にて接合されており、
    前記第２方向における前記第２供給溝の縁が、複数の前記第１供給開口のうち前記第２方向の端部に位置する前記第１供給開口の縁上に配置されている、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第２方向における前記第２供給溝の縁が、複数の前記第１供給開口のうち前記第２方向の端部に位置する前記第１供給開口上に配置されている、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記第１流路部材は、複数のプレートが積層されて構成されてなり、
    前記第１流路部材は、前記第２方向に隣り合う前記第１供給開口の間に位置する隔壁を有しており、
    前記第２方向における前記隔壁の長さが、前記第２方向における前記第１供給開口の長さよりも長い、請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記第１流路部材は、複数の前記第１共通回収流路に接続され、前記第２流路部材側に開口し、前記第２方向に配列された複数の第１回収開口を有し、
    前記第２流路部材は、前記第２共通回収流路に接続され、前記第１流路部材側に開口し、前記第２方向に長い第２回収溝を有し、
    前記第１回収開口と前記第２回収溝とが連通している、請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第２回収溝内に、複数の前記第１回収開口が配置されている、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記第２流路部材側から平面視したときに、前記第２方向に直交する第３方向における前記第１回収開口の長さが、前記第３方向における前記第２回収溝の長さよりも短い、請求項１６または１７に記載の液体吐出ヘッド。
19. 前記第２流路部材が前記第１流路部材と接着材にて接合されており、
    前記第２方向における前記第２回収溝の縁が、複数の前記第１回収開口のうち前記第２方向の端部に位置する前記第１回収開口の縁上に配置されている、請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
20. 前記第２方向における前記第２回収溝の縁が、複数の前記第１回収開口のうち前記第２方向の端部に位置する前記第１回収開口上に配置されている、請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
21. 前記第１流路部材は、複数のプレートが積層されて構成されてなり、
    前記第１流路部材は、前記第２方向に隣り合う前記第１回収開口の間に位置する隔壁を有しており、
    前記第２方向における前記隔壁の長さが、前記第２方向における前記第１回収開口の長さより長い、請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
22. 請求項１〜２１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
    

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