JPWO2015097796A1 - 真空はんだ処理装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
i.特許文献1に見られるようなはんだ付け処理を行う際に、チャンバー(処理槽)内を真空状態としている。このとき、真空引きポンプを稼働させて真空状態を作り出すが、従来方式では真空処理時間を設定し、その設定された真空処理時間だけひたすらに真空引きポンプを稼働し続ける方法が採られている。
図7に示すチャンバー40の制御例(その1)によれば、4つの真空引き制御特性#1〜#4が選択された場合である。チャンバー40の真空引きにおいては、ポンプ駆動系の周波数を20Hz→30Hz→40Hz→60Hzと徐々に高める制御を行うために、真空引き制御特性が#4〜#1の順に切り替えてポンプ出力制御が実行される。
図8に示すチャンバー40の制御例(その2)によれば、3つの真空引き制御特性#1〜#3が選択された場合である。チャンバー40の真空引きにおいては、ポンプ駆動系の周波数を30Hz→40Hz→60Hzと徐々に高める制御を行うために、真空引き制御特性が#3〜#1の順に切り替えてポンプ出力制御が実行される。
図9に示すチャンバー40の制御例(その3)によれば、2つの真空引き制御特性#2及び#3が選択された場合である。チャンバー40の真空引きにおいては、ポンプ駆動系の周波数を30Hz→40Hzと2段階で制御を行うために、真空引き制御特性を#3から#2へ切り替えてポンプ出力制御を実行する場合である。
図10に示すチャンバー40の制御例(その4)によれば、2つの真空引き制御特性#1及び#3が選択された場合である。チャンバー40の真空引きにおいては、ポンプ駆動系の周波数を30Hz→60Hzと2段階で制御を行うために、真空引き制御特性を#3から#1へ切り替えてポンプ出力制御を実行する場合である。
図11に示すチャンバー40の制御例(その5)によれば、2つの真空引き制御特性#1及び#2が選択された場合である。チャンバー40の真空引きにおいては、ポンプ駆動系の周波数を40Hz→60Hzと2段階で制御を行うために、真空引き制御特性を#2から#1へ切り替えてポンプ出力制御を実行する場合である。
i.操作部21で傾きθ真空引き制御の設定を受け付ける。例えば、図7に示した4つの真空引き制御特性#1〜#4が選択され、傾きθ4真空引き制御が初期設定されている場合、3つの真空引き制御特性#1〜#3が選択され、傾きθ3真空引き制御が初期設定されている場合、及び、2つの真空引き制御特性#1,#2が選択され、傾きθ2真空引き制御が初期設定されている場合を例に挙げる。
ii.ワーク1がチャンバー40内に投入される前に、ワーク1を所定温度まで加熱する。
iii.ワーク1がチャンバー40内に投入された際に、チャンバー40内への投入前のワーク1の所定温度を保持する。
iv.制御部61がリアルタイムに切り替え先の真空引き制御特性の傾きθを監視し、初期設定された真空引き制御特性の傾きθと、切り替え先の真空引き制御特性の傾きθとを常に比較し、真空引き中、双方の制御特性の傾きθ,θが一致したとき、ポンプ出力が小さい真空引き制御特性からポンプ出力が大きい真空引き制御特性へ制御を切り替える。
11 搬入口
12 搬出口
13 搬送部
16 搬送路
17,27 固定ビーム
18,28 移動ビーム
20 予備加熱部(加熱部)
21 操作部
23 ポンプ
24 真空圧センサ
25 開放弁
26 搬入センサ
29 ガス供給部
30 本加熱部(加熱部)
40 チャンバー
41 容器
42 基台
43 昇降機構
44 パネルヒーター(加熱部)
45,46 固定ビーム(支持部)
47 ピン
48 シール部材
50 冷却部
100 真空リフロー炉(真空はんだ処理装置)
Claims (8)
- ワークを真空環境下ではんだ処理可能なチャンバーと、
前記チャンバーの真空引き条件を設定する操作部と、
前記真空引き条件に基づいて前記チャンバーを真空引きするポンプと、
前記チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きしたときの前記真空度に対する真空引き時間をプロットした傾きθの真空引き制御特性が予め複数準備され、
初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθに基づいて前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ切り替えるように前記ポンプの真空引き制御を実行する制御部とを備える真空はんだ処理装置。 - 前記制御部は、
切り替え先の前記真空引き制御特性の傾きθを監視し、
初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθと、切り替え先の前記真空引き制御特性の傾きθとを常に比較し、真空引き中、双方の前記制御特性の傾きθが一致したとき、前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ制御を切り替える請求項1に記載の真空はんだ処理装置。 - 前記チャンバーの真空圧を検出して圧力検出情報を出力する検出部と、
前記真空引き制御特性をテーブル化したデータを記憶するメモリ部とを備え、
前記制御部が、
前記圧力検出情報に基づいて真空引き制御特性を参照し、
前記チャンバー内の真空圧が前記真空引き制御特性の真空度の切り替えポイントに到達したとき、前記傾きθが大きい前記真空引き制御特性から前記傾きθが小さい前記真空引き制御特性へ前記ポンプ出力を切り替える請求項1に記載の真空はんだ処理装置。 - 前記制御部は、
初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθと、切り替え判別基準となる閾値傾きθthとを真空引き中、常に比較し、初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθが前記閾値傾きθthを越えたとき、前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ制御を切り替える請求項1に記載の真空はんだ処理装置。 - ワークを真空環境下ではんだ処理する真空はんだ処理装置の制御部が、
前記はんだ付け処理するチャンバーを所定のポンプ出力で真空引きして真空度に対する真空引き時間をプロットした所定の傾きθの真空引き制御特性を複数取得し記憶するステップと、
前記傾きθの真空引き制御特性を設定するステップと、
設定された前記真空引き制御特性の傾きθに基づいて前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ切り替えるように前記ポンプ出力を制御するステップとを実行する真空はんだ処理装置の制御方法。 - 前記制御部は、
予備真空引き時、前記真空引き制御特性を取得してテーブルを作成するステップを実行し、
本真空引き時、切り替え先の前記真空引き制御特性の傾きθを監視するステップと、
初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθと、切り替え先の前記真空引き制御特性の傾きθとを常に比較するステップと、
真空引き中、双方の前記制御特性の傾きθが一致したとき、前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ制御を切り替えるステップとを実行する請求項5に記載の真空はんだ処理装置の制御方法。 - 前記制御部は、
予備真空引き時、
前記真空引き制御特性を取得してテーブルを作成するステップと、
初期設定された傾きθの前記真空引き制御特性を切り替えるポイントを見出すステップとを実行し、
本真空引き時、
前記チャンバーの真空圧を検出すると共に、前記圧力検出情報に基づいて、テーブル化された前記真空引き制御特性を参照するステップと、
前記チャンバー内の真空圧が前記真空引き制御特性を切り替えるポイントに到達したとき、前記傾きθが大きい前記真空引き制御特性から前記傾きθが小さい前記真空引き制御特性へ前記ポンプ出力を切り替えるステップとを実行する請求項5に記載の真空はんだ処理装置の制御方法。 - 前記制御部は、
初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθと、切り替え判別基準となる閾値傾きθthとを真空引き中、常に比較し、初期設定された前記真空引き制御特性の傾きθが前記閾値傾きθthを越えたとき、前記ポンプ出力が小さい前記真空引き制御特性からポンプ出力が大きい前記真空引き制御特性へ制御を切り替える請求項5に記載の真空はんだ処理装置の制御方法。
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