KR101839717B1

KR101839717B1 - 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR101839717B1
Application number: KR1020167019781A
Authority: KR
Inventors: 츠토무 히야마; 히로유키 이노우에; ?스케 기모토; 스케 기모토; 도모타케 가가야
Original assignee: 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤
Priority date: 2013-12-25
Filing date: 2013-12-25
Publication date: 2018-03-16
Also published as: WO2015097796A1; EP3088116A1; CN105848814B; KR20160102031A; TWI617387B; US20160339531A1; JP5601436B1; EP3088116A4; EP3088116B1; TW201529218A; US9676048B2; JPWO2015097796A1; CN105848814A

Abstract

본 발명의 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법은, 챔버를 목표의 진공도로 진공화함으로써 용융 상태의 땜납으로부터 보이드를 탈포·탈기할 때, 플럭스 비말이나, 땜납 비산을 방지하면서, 단시간에 진공화할 수 있도록 하기 위해, 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도(압력 P)에 대한 진공화 시간(시간 t)을 플롯한 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 미리 복수(#1∼#4) 준비해 두고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 펌프의 진공화 제어를 실행한다.

Description

진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법 {VACUUM SOLDERING APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREFOR}

본 발명은, 표면 실장용 부품 등을 기판 상의 소정의 위치에 탑재하여 당해 부품과 기판을 땜납 처리할 때, 진공 용융 상태의 땜납으로부터 보이드를 탈포·탈기하는 기능을 구비한 진공 리플로우로에 적용 가능한 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

종래부터, 파워 디바이스나 파워 모듈 실장 등의 대전류 소자의 리플로우 실장 공정에 의하면, 통상의 대기압에서의 열풍 리플로우 처리에서 발생하는 보이드가 문제시되어, 보이드 발생을 더욱 적게 하는 공법이 요구되고 있다.

도 19a 및 도 19b는, 종래예에 관한 열풍 리플로우예를 도시하는 공정도이다. 도 19a에 도시하는 크림 땜납(8)은, 기판(5)의 패드 전극(4) 상에 도포된 것이다. 크림 땜납(8)은, 땜납의 분말에 플럭스를 첨가하여, 적당한 점도로 한 것이며, 마스크를 개재하여 스크린 인쇄기(Screen Printer)에 의해 기판(5)의 패드 전극(4) 상에 도포되는 것이다.

이 종래의 열풍 리플로우에서는, 크림 땜납(8)이 열풍 리플로우 처리되어, 땜납이 용융 상태로 되었을 때, 그 내부에 보이드(2)가 발생한다. 이 보이드(2)는, 용융된 땜납(용융 땜납(7))이 냉각되어 고화될 때에도 그 내부에 그대로 잔류해 버린다고 하는 문제가 있었다.

보이드 발생에 대해, 크림 땜납(8)을 기판(5)의 패드 전극(4) 상에 도포하고, 전자 부품을 탑재하지 않는 상태에서, 대기압에서의 열풍 리플로우 처리한 상태를 도 19a 및 도 19b를 사용하여 모식적으로 설명한다. 도 19b에 도시하는 땜납(3)은, 도 19a에 도시한 크림 땜납(8)을 열풍 리플로우 처리한 후에, 그 용융 땜납(7)이 표면 장력에 의해 구상으로 냉각되어 굳어진 상태이다. 도면 중의 백색 원 형상은 보이드(2)의 부분이며, 용융 땜납(7) 내에 의도치 않게 생성되고, 냉각되어 굳어진 후에도 땜납(3) 내에 잔류한 것이다. 보이드(2)는 파워 디바이스 등에 있어서 열전도 효과를 손상시켜, 배열의 악화를 초래하는 원인이 된다.

상술한 보이드 발생의 저감에 관하여, 특허문헌 1에는 진공 배기 기능을 구비한 땜납 처리 장치(진공 리플로우 장치)가 개시되어 있다. 이 땜납 처리 장치에 의하면, 배기 밸브, 진공 펌프 및 처리조를 구비하고, 처리조 내에 기판이 반입되고, 당해 기판의 패드 전극 상의 땜납이 용융 상태이고, 배기 밸브를 개방하여 진공화 펌프를 구동하여 처리조의 내부를 일단, 진공 배기하도록 이루어진다. 이러한 진공 상태로 하면, 땜납 용융 중에 땜납 내에 잔존하는 보이드가 탈포·탈기 효과에 의해 제거된다고 하는 것이다.

일본 특허 공개 평09-314322호 공보

그런데, 종래예에 관한 진공 리플로우 장치에 의하면, 다음과 같은 문제가 있다.

i. 특허문헌 1에 보이는 바와 같은 땜납 처리를 행할 때, 챔버(처리조) 내를 진공 상태로 하고 있다. 이때, 진공화 펌프를 가동시켜 진공 상태를 만들어내지만, 종래 방식에서는 진공 처리 시간을 설정하고, 그 설정된 진공 처리 시간만큼 단지 진공화 펌프를 계속해서 가동하는 방법이 채용되어 있다.

이로 인해, 진공화에 의해, 보이드가 탈포·탈기되지만 연속적으로 진공도를 변화시키고 있으므로, 탈포·탈기가 급격하게 행해진다. 그 결과, 용융 땜납(7) 중의 보이드(2)가 탈포·탈기되는 과정에 있어서 보이드(2)가 터져(폭열하여), 플럭스의 비산이나, 부품의 비산, 땜납의 비산이 일어나는 원인이 된다.

ii. 한편, 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하여 얻어지는, 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 진공화 제어 특성에 있어서, 단위 시간당 진공도의 감소량이 변화되면, 보이드(2)에 가해지는 스트레스가 변동되어, 보이드(2)의 터짐 발생의 원인이 된다고 하는 사실이 확인되어 있다. 또한, 진공화 제어 특성의 그래프의 기울기가 완만할수록, 보이드(2)의 터짐이 발생하기 어려운 것도 확인되어 있지만, 그래프의 기울기가 완만한 진공화 제어 특성을 일의적으로 채용하면, 챔버 내를 지정된 목표의 진공도에 도달시키기 위해 많은 시간을 필요로 한다고 하는 문제가 있다.

상술한 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 진공 땜납 처리 장치는, 워크를 진공 환경 하에서 땜납 처리 가능한 챔버와, 상기 챔버의 진공화 조건을 설정하는 조작부와, 상기 진공화 조건에 기초하여 상기 챔버를 진공화하는 펌프와, 상기 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 진공화 제어 특성을, 펌프 출력을 바꿈으로써 미리 복수 준비하고, 상기 진공화 제어 특성에 있어서, 단위 시간당 진공도의 감소량을 기울기로서 나타내었을 때, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 전환하도록 상기 펌프의 진공화 제어를 실행하는 제어부를 구비하는 것이다.

청구항 1에 관한 진공 땜납 처리 장치에 의하면, 진공화 조건의 선택도를 확대할 수 있음과 함께, 챔버 내를 지정된 목표의 진공도로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 한편, 보이드의 발생을 억제하여, 플럭스, 부품 등의 비산을 방지할 수 있게 된다.

청구항 2에 기재된 땜납 처리 장치는 청구항 1에 있어서, 상기 제어부는 상기 미리 복수 준비된 진공화 제어 특성 중, 현재의 펌프 출력보다 큰 펌프 출력을 전환처로서 설정하고, 당해 전환처의 상기 진공화 제어 특성의 기울기가 상기 초기 설정된 기울기 θ와 일치하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는 것이다.

청구항 3에 기재된 진공 땜납 처리 장치는 청구항 1에 있어서, 상기 챔버의 진공압을 검출하여 압력 검출 정보를 출력하는 검출부와, 상기 진공화 제어 특성을 테이블화한 데이터를 기억하는 메모리부를 구비하고, 상기 제어부가, 상기 압력 검출 정보에 기초하여 진공화 제어 특성을 참조하고, 상기 챔버 내의 진공압이 상기 진공화 제어 특성의 진공도의 전환 포인트에 도달하였을 때, 상기 기울기 θ가 큰 상기 진공화 제어 특성으로부터 상기 기울기 θ가 작은 상기 진공화 제어 특성으로 상기 펌프 출력을 전환하는 것이다.

청구항 4에 기재된 진공 땜납 처리 장치는 청구항 1에 있어서, 상기 제어부는, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환 판별 기준으로 되는 역치 기울기 θth를 진공화 중, 항상 비교하여, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ가 상기 역치 기울기 θth를 초과하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는 것이다.

청구항 5에 기재된 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법은, 워크를 진공 환경 하에서 땜납 처리하는 진공 땜납 처리 장치의 제어부가, 상기 땜납 처리하는 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하여 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 진공화 제어 특성을, 펌프 출력을 바꿈으로써 복수 취득하여 기억하는 스텝과, 상기 진공화 제어 특성의 단위 시간당 진공도의 감소량을 기울기로서 나타내었을 때, 기울기 θ를 설정하는 스텝과, 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 전환하도록 상기 펌프 출력을 제어하는 스텝을 실행하는 것이다.

청구항 6에 기재된 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법은, 청구항 5에 있어서, 상기 제어부는, 예비 진공화 시, 상기 진공화 제어 특성을 취득하여 테이블을 작성하는 스텝을 실행하고, 본 진공화 시, 상기 복수 취득된 진공화 제어 특성 중, 현재의 펌프 출력보다 큰 펌프 출력이 큰 전환처의 상기 진공화 제어 특성의 기울기가 초기 설정된 기울기 θ와 일치하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는 스텝을 실행하는 것이다.

청구항 7에 기재된 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법은, 청구항 5에 있어서, 상기 제어부는, 예비 진공화 시, 상기 진공화 제어 특성을 취득하여 테이블을 작성하는 스텝과, 초기 설정된 기울기 θ의 상기 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트를 찾아내는 스텝을 실행하고, 본 진공화 시, 상기 챔버의 진공압을 검출함과 함께, 상기 압력 검출 정보에 기초하여, 테이블화된 상기 진공화 제어 특성을 참조하는 스텝과, 상기 챔버 내의 진공압이 상기 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트에 도달하였을 때, 상기 기울기 θ가 큰 상기 진공화 제어 특성으로부터 상기 기울기 θ가 작은 상기 진공화 제어 특성으로 상기 펌프 출력을 전환하는 스텝을 실행하는 것이다.

청구항 8에 기재된 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법은, 청구항 5에 있어서, 상기 제어부는, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환 판별 기준으로 되는 역치 기울기 θth를 진공화 중, 항상 비교하여, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ가 상기 역치 기울기 θth 이상의 기울기가 된 경우에, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는 것이다.

본 발명에 관한 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법에 의하면, 복수의 진공화 제어 특성이 미리 준비되고, 펌프의 진공화 제어를 실행하는 제어부를 구비하고, 제어부는, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 이루어진다.

이 제어에 의해, 진공화 조건의 선택도를 확대할 수 있음과 함께, 챔버 내를 지정된 목표의 진공도로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이에 의해, 챔버의 스루풋을 조정할 수 있게 된다. 한편, 목표압에 도달한 용융 상태의 땜납의 보이드는 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 기울기 θ의 진공화 제어 특성의 진공화에 의해 서서히 탈포·탈기된다. 이에 의해, 플럭스 비말이나, 땜납 비산 등을 방지할 수 있게 되어, 설정된 진공도 하에서 보이드가 적은 고품질의 진공 땜납 처리를 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 실시 형태로서의 진공 리플로우로(100)의 구성예를 도시하는 단면도이다.
도 2는 챔버(40)의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 3a는 땜납(3)의 진공 탈포·탈기 처리예 1을 도시하는 단면의 공정도이다.
도 3b는 땜납(3)의 진공 탈포·탈기 처리예 2를 도시하는 단면의 공정도이다.
도 4는 진공 리플로우로(100)의 제어계의 구성예를 도시하는 블록도이다.
도 5는 반송부(13)의 구성예를 도시하는 단면도이다.
도 6은 진공화 제어 특성 #1∼#4의 취득예를 나타내는 그래프 도이다.
도 7은 챔버(40)의 제어예(20㎐→30㎐→40㎐→60㎐)를 나타내는 그래프 도이다.
도 8은 챔버(40)의 제어예(30㎐→40㎐→60㎐)를 나타내는 그래프 도이다.
도 9는 챔버(40)의 제어예(30㎐→40㎐)를 나타내는 그래프 도이다.
도 10은 챔버(40)의 제어예(30㎐→60㎐)를 나타내는 그래프 도이다.
도 11은 챔버(40)의 제어예(40㎐→60㎐)를 나타내는 그래프 도이다.
도 12는 진공 리플로우로(100)의 온도 프로파일을 나타내는 그래프 도이다.
도 13은 진공 리플로우로(100)의 제어예(메인 루틴)를 나타내는 흐름도이다.
도 14는 진공 리플로우로(100)의 제어예(서브루틴)를 나타내는 흐름도이다.
도 15는 진공 리플로우로(100)의 제어예(기울기 θ4 진공화 제어)를 나타내는 흐름도이다.
도 16은 진공 리플로우로(100)의 제어예(기울기 θ3 진공화 제어)를 나타내는 흐름도이다.
도 17은 진공 리플로우로(100)의 제어예(기울기 θ2 진공화 제어)를 나타내는 흐름도이다.
도 18은 전환 포인트의 제어 데이터 D62의 저장예를 나타내는 표 도이다.
도 19a는 종래예에 관한 열풍 리플로우예 1을 도시하는 공정도이다.
도 19b는 종래예에 관한 열풍 리플로우예 2를 도시하는 공정도이다.

본 발명은, 챔버 내를 지정된 목표의 진공도로 단시간에 진공화할 수 있도록 함과 함께 보이드의 발생을 억제하여, 플럭스, 부품 등의 비산을 방지할 수 있도록 한 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명에 관한 실시 형태로서의 진공 땜납 처리 장치 및 그 제어 방법에 대해 설명한다. 도 1에 도시하는 진공 리플로우로(100)는, 진공 땜납 처리 장치의 일례를 구성하는 것이며, 예를 들어 파워 디바이스나 파워 모듈 실장 등의 표면 실장용 부품을 프린트 기판 상의 소정의 위치에 탑재하여 당해 부품과 프린트 기판을 땜납 처리할 때, 진공 중에서 탈포·탈기 처리하도록 이루어진다. 땜납 처리 대상은 프린트 기판이나, 땜납 코팅 부품, 그 밖에 반도체 웨이퍼 등이며, 이하 총칭하여 워크(1)라고 한다.

진공 리플로우로(100)는 본체부(10)를 갖고 있다. 본체부(10)는 머플로를 구성하고, 예를 들어 본체부(10)는 중간층에 반송로(16)를 갖고, 이 반송로(16)를 기준으로 하여, 본체부(10)는 도시하지 않은 머플 상부 및 머플 하부로 분할되고, 안쪽에 힌지 기구를 가져, 머플 상부가 덮개 개방되어, 반송로(16)를 양방향 점검할 수 있도록 되어 있다.

본체부(10)의 한쪽 측에는 반입구(11)가 설치되고, 그 다른 쪽 측에는 반출구(12)가 설치되어 있다. 반입구(11)와 반출구(12) 사이의 반송로(16)에는 반송부(13)가 설치되고, 반송부(13)에는, 본 예의 경우, 워킹 빔식 반송 기구(70)(도 5 참조)가 사용된다. 이 반송 기구(70)에 의하면, 워크(1)를 소정의 반송 속도로 택트 이송 가능한 것이다. 본체부(10) 내에는, 반입구(11)로부터 차례로 예비 가열부(20), 본 가열부(30), 챔버(40) 및 냉각부(50)가 배치되고, 워크(1)는 이들을 통과하여 반출구(12)에 도달하도록 택트 반송된다.

예비 가열부(20) 및 본 가열부(30)는 가열부의 일례를 구성하고, 가열부는 열풍 순환 가열 방식을 채용하고 있다. 예비 가열부(20)는 4개의 예비 가열 존 I∼IV를 갖고 있고, 워크(1)를 소정 온도(예를 들어, 180℃)에 도달시키기 위해 서서히 가열(예를 들어, 150-160-170-180℃ 정도)하도록 이루어진다. 예비 가열 존 I∼IV는 반송로(16)의 상하에 배치되어 있다. 예비 가열부(20)에 인접한 위치에는 본 가열 존 V를 갖는 본 가열부(30)가 배치되고, 워크(1)가 챔버(40) 내에 투입되기 전에 본 가열 존 V에서 당해 워크(1)를 250℃ 정도로 가열하도록 이루어진다.

본 가열부(30)에 인접한 위치에는 진공 탈포·탈기 처리 존 VI를 갖는 챔버(40)가 배치되고, 챔버(40)는 워크(1)에의 땜납 처리 시, 진공 환경 하에서 탈포·탈기 처리를 행하는 것이다. 도 2에 도시하는 챔버(40)는, 용기(41), 베이스(42) 및 승강 기구(43)를 갖고 있고, 용기(41)가 베이스(42)로부터 이격되어 상방의 소정의 위치에서 정지하고 있는 상태를 나타내고 있다. 이하에서 이 용기(41)의 정지 위치를 홈 포지션 Hp라고 한다. 홈 포지션 Hp는, 용기(41)가 베이스(42)에서 기준이 되는 위치로부터 높이 h만큼 상방의 위치이다. 높이 h는, 본 가열부(30)로부터 베이스(42) 상으로 워크(1)를 반입할 때에 지장을 초래하지 않는 높이이면 된다.

용기(41)는 저면 개방형 하우징 구조를 갖고 있고, 예를 들어 스테인리스제의 상자 형상체를 거꾸로 하여 덮개 형상으로 배치한 것이다. 용기(41)의 내부는 공동(공간)이다. 용기(41)는 승강 기구(43)에 의해 상하 이동하도록 이루어진다. 여기서, 워크(1)의 반송 방향을 x 방향으로 하고, 이 반송 방향에 직교하는 방향을 y 방향으로 하고, x, y 방향과 직교하는 방향을 z 방향으로 하였을 때, 진공 처리 시, 용기(41)는 z 방향에서 상하 이동하게 된다.

용기(41)의 하방에는 베이스(42)가 배치되고, 이 베이스(42)의 하방에는 승강 기구(43)가 배치되어 있다. 승강 기구(43)에는 전동식 실린더나, 에어 구동식 실린더 등이 사용된다. 베이스(42)는, 용기(41)의 저면의 크기보다 넓은 평면 및 소정의 두께를 갖고 있다. 베이스(42)는, 용기(41)의 저면 단부가 접촉하는 위치에 기밀용 시일 부재(48)를 갖고 있다. 시일 부재(48)에는 내열성이 요구되므로, 예를 들어 불소계의 패킹이 사용된다.

베이스(42)의 하면의 소정의 위치에는 배기구(201)가 설치되어 있다. 배기구(201)는, 도 4에 도시하는 전자 밸브(22)에 접속된다. 또한, 베이스(42)의 하면의 소정의 위치에는 가스 공급구(203)가 설치된다. 가스 공급구(203)는, 도 4에 도시하는 개방 밸브(25)에 접속된다.

또한, 베이스(42)의 소정의 위치에는 패널 히터(44)가 설치된다. 패널 히터(44)는 가열부의 일례를 구성하고, 워크(1)를 소정 온도(240℃ 부근)로 가열하여 유지하도록 이루어진다. 이 가열은, 워크(1)가 챔버(40) 내에 투입된 후에도, 당해 챔버(40) 내에의 투입 전의 본 가열부(30)에 의한 소정 온도를 유지하기 위함이다. 패널 히터(44)의 가열 방식은, 일례로서 원적외선 복사 패널 방식이다. 패널 히터(44)는, 베이스(42)에 한정되는 것은 아니며, 용기(41) 측의 소정의 위치에 설치해도 된다.

베이스(42)의 상면의 양측의 소정의 위치에는 한 쌍의 고정 빔(45, 46)이 설치되어 있다. 고정 빔(45, 46)은, 반송부(13)의 일례를 구성하고, 예를 들어 고정 빔(45)은 베이스(42)의 상면의 좌측 단부에, 고정 빔(46)은 그 우측 단부에 배치되어 있고, 챔버(40) 내에서 워크(1)의 양측을 지지하도록 이루어진다.

고정 빔(45, 46)은 판상 블록체로 이루어지고, 판상 블록체의 상면에는 원뿔 헤드부 형상의 복수의 핀(47)이 설치된다. 이 예에서, 핀(47)은 4개씩 그룹을 이루고, 소정의 배치 피치로 배열되어 있다. 소정의 배치 피치로 배열한 것은, 복수의 길이의 워크(1)에 대응하여, 당해 워크(1)를 지장 없이 지지할 수 있도록 하기 위함이다. 이들에 의해 진공 리플로우로(100)를 구성한다.

챔버(40)에 인접한 위치에는, 냉각부 존 VII를 갖는 냉각부(50)가 설치되어 있다. 진공 탈포·탈기 처리(이하 「진공 탈기 처리」라고 칭함)되고, 진공 파괴 후의 워크(1)를 냉각하는 존이다. 냉각된 워크(1)는 반출구(12)를 통해 장치로부터 반출된다.

여기서, 도 3a 및 도 3b를 참조하여, 땜납(3)의 진공 탈기 처리예에 대해 설명한다. 이 예에서는, 워크(1)로서, 프린트 배선판이나 반도체 웨이퍼 등, 특히 파워 디바이스 용도의 기판(5)에 패드 전극(4)을 형성하고, 이 패드 전극(4)에 땜납(3)을 형성하는 경우이다. 기판(5)의 사이즈는, 예를 들어 폭×길이＝250㎜×300㎜ 정도이다. 또한, 본 예의 패드 전극(4)의 사이즈는 5㎜×5㎜ 정도이다.

도 3a는, 땜납(3)이 굳어져 있지 않아 용융 땜납(7)의 상태이다. 도면 중의 백색 형상(원형이나 타원형 등)은 보이드(2)의 부분이며, 보이드(2)는 챔버(40) 내의 진공압이 낮아짐(진공도가 높아짐)에 따라, 그 형상이 크게 성장해 간다. 보이드(2)는, 진공화 처리에 있어서, 외부로 인장되어, 당해 보이드(2)와 땜납 경계면에 진공압 차가 발생하는 상태로 된다. 용융 땜납(7) 내의 보이드(2)는 외부로 빠지게(탈포·탈기되게) 된다.

도 3b에 도시하는 땜납(3)은, 용기(41) 내의 진공압이 목표압(이하, 목표 설정압 Pf라고 함)에 도달한 용융 상태이다. 본 발명에서는, 도 6에서 설명하는 기울기 θ의 진공화 제어에 의해, 진공화 제어 특성을 이어 타서, 챔버(40) 내가 지정된 목표 설정압 Pf(진공도)로 진공화되고, 후술하는 바와 같이 미리 설정된 목표 설정압 Pf에 도달 후, 이 목표 설정압 Pf를 소정 시간 유지하는 제어를 행하도록 한 것이다.

이와 같이 목표 설정압 Pf에 도달할 때까지 기울기 θ의 진공화 제어에 의해 용융 상태의 땜납의 보이드(2)는 서서히 탈포·탈기되므로, 종래 발생하고 있던 보이드(2)가 터져(폭열하여), 플럭스의 비산이나 땜납 비산이 일어나는 것을 피할 수 있다. 진공 파괴 후에는 외면 부근에서는 작은 형상의 보이드만이 잔류한다. 이 상태에서 워크(1)를 냉각하도록 이루어진다. 이에 의해, 패드 전극(4) 상에 보이드(2)가 저감된 땜납(3)을 형성할 수 있게 된다.

계속해서, 도 4를 참조하여, 진공 리플로우로(100)의 제어계의 구성예에 대해 설명한다. 도 4에 도시하는 진공 리플로우로(100)의 제어계에 의하면, 예비 가열부(20), 본 가열부(30), 챔버(40), 냉각부(50) 및 반송 기구(70)를 제어하기 위해, 조작부(21), 전자 밸브(22), 펌프(23), 진공압 센서(24), 개방 밸브(25), 반입 센서(26), 승강 기구(43), 패널 히터(44) 및 제어 유닛(60)을 구비하고 있다. 제어 유닛(60)은, 제어부(61)나, 메모리부(62) 및 타이밍 발생부(63) 등을 갖고 있다.

조작부(21)는 제어 유닛(60)에 접속되고, 진공 탈기 처리 시의 챔버(40)에서 목표 설정압 Pf(예를 들어, Pf＝10000[Pa])나, 기울기 θx(예를 들어, x＝1∼4)의 진공화 제어 특성 #1∼#4 등의 진공화 조건을 입력하여 제어부(61)에 설정하는 것이다. 진공화 제어 특성 #1∼#4 등은, 본 진공화 이외의 예비 진공화 시에 취득된다. 유저는 진공화 제어 특성 #1∼#4 등 중에서 원하는 진공화 제어 특성을 번호가 높은 순(펌프 출력의 주파수가 작은 순)으로 선택하여, 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 초기 설정하도록 이루어진다.

조작부(21)는, 액정 표시 패널이나 텐키 등이 사용된다. 기울기 θ의 진공화 제어 특성 등의 진공화 조건을 나타내는 설정 정보는 조작 데이터 D21로 되어 제어부(61)에 출력된다. 물론, 조작부(21)에는 도시하지 않은 "스타트 버튼"이 설치되어, 제어부(61)에 "스타트"의 지시가 이루어진다. 또한, 진공화 제어 특성 #1∼#4 등을 취득할 때에는, 조작부(21)로부터 제어부(61)로 예비 진공화를 실행하는 지시가 이루어진다.

반송 기구(70)는, 반송부(13)에 설치됨과 함께 제어 유닛(60)에 접속된다. 반송 기구(70)에는 워킹 빔식의 반송 장치가 사용된다. 제어 유닛(60)으로부터 반송 기구(70)에는 반송 제어 신호 S13이 출력된다. 반송 제어 신호 S13은 이동 빔(18, 28)을 동작시켜, 워크(1)를 택트 이송하는 신호이다.

예비 가열부(20)는 제어 유닛(60)에 접속된다. 제어 유닛(60)으로부터 예비 가열부(20)에는 예비 가열 제어 신호 S20이 출력된다. 예비 가열 제어 신호 S20은 예비 가열부(20)의 히터나, 팬 등을 동작시켜, 워크(1)를 소정 온도(예를 들어, 180℃)에 도달시키기 위해 4개의 예비 가열 존 I∼IV를 제어하는 신호이다.

본 가열부(30)는 제어 유닛(60)에 접속된다. 제어 유닛(60)으로부터 본 가열부(30)에는 본 가열 제어 신호 S30이 출력된다. 본 가열 제어 신호 S30은 본 가열부(30)의 히터나, 팬 등을 동작시켜, 워크(1)를 250℃로 가열하는 신호이다. 승강 기구(43)는, 제어 유닛(60)에 접속된다. 제어 유닛(60)으로부터 승강 기구(43)에는 승강 제어 신호 S43이 출력된다. 승강 제어 신호 S43은, 용기(41)를 승강시키기 위한 신호이다.

패널 히터(44)는 제어 유닛(60)에 접속된다. 제어 유닛(60)으로부터 패널 히터(44)에는 히터 제어 신호 S44가 출력된다. 히터 제어 신호 S44는 밀폐 상태의 용기(41) 내를 소정의 온도로 유지하기 위한 신호이다. 전자 밸브(22)는 제어 유닛(60)에 접속된다. 전자 밸브(22)에는 진공 제어용 스로틀 밸브가 사용된다. 제어 유닛(60)으로부터 전자 밸브(22)에는 전자 밸브 제어 신호 S22가 출력된다. 전자 밸브 제어 신호 S22는 전자 밸브(22)의 밸브 개방도를 제어하기 위한 신호이다.

펌프(23)는 진공화 조건에 기초하여 챔버(40) 내를 진공화한다. 펌프(23)는, 제어 유닛(60)에 접속된다. 펌프(23)에는, 로터리식(블로워)이나, 왕복식(피스톤) 등의 진공 펌프가 사용된다. 제어 유닛(60)으로부터 펌프(23)에는 펌프 구동 전압 V23이 출력된다. 예를 들어, 펌프(23)의 구동원에 도시하지 않은 교류 모터가 사용되는 경우, 가변 전압 가변 주파수(VVVF) 인버터 제어 방식이 채용된다. 이 제어 방식에 의하면, 교류 모터의 회전수 및 주파수 f, 예를 들어 f＝20㎐∼60㎐에 거의 비례한 전압이 가해진다. 펌프 구동 전압 V23은 당해 교류 모터의 출력을 제어하기 위한 전압이다.

제어 유닛(60)에는 반입 센서(26)가 접속된다. 반입 센서(26)는, 워크(1)가 로(100)에 반입된 것을 검지하는 것이며, 워크(1)가 로(100)에 반입된 것을 나타내는 반입 검출 신호 S26 신호가 반입 센서(26)로부터 제어 유닛(60)에 출력된다. 반입 센서(26)에는 반사형 또는 투과형의 광학 센서가 사용된다. 본 예의 경우, 워크(1)가 로(100)에 반입된 것을 검지하면, 반입 검출 신호 S26이 제어 유닛(60)에 출력되고, 타이머가 스타트된다. 이 타이머를 기초로 하여, 워크(1)의 반송 속도 등으로부터, 로(100) 내의 워크(1)의 위치가 산출된다. 또한, 워크(1)를 택트 이송하는 본 예에서는, 택트 이송 시간이 미리 설정되어 있으므로, 이 택트 이송 시간으로 워크(1)의 위치를 산출하도록 해도 된다.

제어 유닛(60)에는 진공압 센서(24)가 접속된다. 진공압 센서(24)는, 검출부의 일례를 구성하고, 탈포·탈기 처리 시, 챔버(40)의 진공압을 검출하여 진공압 검출 신호 S24(압력 검출 정보)를 발생한다. 진공압 검출 신호 S24는 챔버(40) 내의 진공압을 나타내는 신호이며, 진공압 센서(24)로부터 제어 유닛(60)에 출력된다. 진공압 센서(24)에는 격막 진공계나, 열전대 진공계, 피라니 진공계, 베닝 진공계 등이 사용된다.

개방 밸브(25)의 한쪽은, 도 2에 도시한 베이스(42)의 가스 공급구(203)에 접속되고, 다른 쪽은 도시하지 않은 N₂(질소) 봄베나, H₂(수소) 봄베 등의 가스 공급부(29)에 접속된다. 가스 공급부(29)는 도시하지 않은 비례 전자 밸브를 갖고 있다. 가스 공급부(29)는 챔버(40) 내에 N₂ 가스(불활성 가스) 및 H₂ 가스(환원용의 활성 가스) 중 적어도 어느 한쪽의 가스를 공급할 수 있는 것이면 된다. 비례 전자 밸브는 N₂ 가스나 H₂ 가스 등의 유입량을 조정하도록 이루어진다. 제어 유닛(60)으로부터 개방 밸브(25)에는 개방 밸브 제어 신호 S25가 출력된다. 개방 밸브 제어 신호 S25는 개방 밸브(25)를 제어하기 위한 신호이다.

개방 밸브(25)는, 예를 들어 초기 개방 밸브 및 주 개방 밸브를 가진 것이 사용된다. 초기 개방 밸브는 소정의 구경을 갖고 있고, 그 구경은 주 개방 밸브보다 작다. 초기 개방 밸브는 챔버(40)에의 가스의 유입량을 적게 억제하는 경우나 주 개방 밸브의 전단(프리) 동작에서 사용된다. 주 개방 밸브는 초기 개방 밸브의 구경에 비해 커, 초기 개방 밸브에 비해 가스의 유입량을 많이 통과시킨다. 개방 밸브(25)를 제어함으로써, 챔버(40) 내를 진공 감압 중에 다단계의 원하는 진공압(Pa)으로 조정할 수 있게 된다.

냉각부(50)는 제어 유닛(60)에 접속된다. 제어 유닛(60)으로부터 냉각부(50)에는 냉각 제어 신호 S50이 출력된다. 냉각 제어 신호 S50은 열교환기나, 팬 등을 제어하기 위한 신호이다. 냉각부(50)의 냉각 방식은 터보 팬(질소 분위기)이다.

제어 유닛(60)은, 제어부(61), 메모리부(62) 및 타이밍 발생부(63)를 갖고 있다. 제어 유닛(60)은 도시하지 않은 아날로그·디지털 변환기나 발진기 등도 구비하고 있다. 제어부(61)에는 메모리부(62)가 접속되고, 제어 데이터 D62가 기억된다. 제어 데이터 D62는, 챔버(40)를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 기울기 θ(예를 들어, θ1∼θ4)의 진공화 제어 특성을 구성하는 정보이다(도 6 참조).

이 예에서, 4개의 기울기 θ1∼θ4의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 테이블화되어 참조된다. 제어 데이터 D62에는, 진공화 제어 특성 #1∼#4에 관한 데이터 외에 예비 가열부(20), 전자 밸브(22), 개방 밸브(25), 본 가열부(30), 승강 기구(43), 패널 히터(44), 냉각부(50) 및 반송 기구(70)를 제어하기 위한 데이터도 포함된다. 메모리부(62)에는 판독 전용 메모리(Read Only Memory: ROM), 수시 기입 판독 메모리(Random Access Memory: RAM)나 고정 디스크 메모리(Hard Disk Drive: HDD) 등이 사용된다.

제어부(61)에는 중앙 처리 장치(Central Processing Unit: CPU)가 사용된다. 진공화 제어 특성 #1∼#4에 관한 제어 데이터 D62는 RAM에 전개된다. 제어부(61)는, 미리 복수 준비된 기울기 θ의 진공화 제어 특성 #1∼#4로부터 선택되고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 펌프(23)의 진공화 제어를 실행한다.

예를 들어, 제어부(61)는 메모리부(62)에 포인터를 설정하여, 전환처의 진공화 제어 특성의 기울기 θ를 감시하고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환처의 진공화 제어 특성의 기울기 θ 등을 항상 비교하여, 진공화 중, 양쪽의 제어 특성의 기울기 θ가 일치하였을 때, 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하도록 이루어진다.

물론, 제어부(61)는, 진공압 검출 신호 S24에 기초하여 진공도를 조정함과 함께 진공도를 소정 시간 유지하도록 펌프(23) 외에 전자 밸브(22) 및 개방 밸브(25)를 제어한다. 이에 의해, 진공화 조건의 선택도를 확대할 수 있음과 함께, 챔버 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 또한, 용융 땜납(7) 내의 보이드(2)를 서서히 탈포·탈기할 수 있다. 따라서, 보이드(2)가 터져(폭열하여), 플럭스 비말이나, 땜납 비산 등을 방지할 수 있게 된다.

제어부(61)에는 메모리부(62) 외에 타이밍 발생부(63)가 접속된다. 타이밍 발생부(63)는 도시하지 않은 발진기로부터 얻어지는 기준 클록 신호 및 제어부(61)로부터 제어 명령을 입력하여, 상술한 예비 가열 제어 신호 S20, 전자 밸브 제어 신호 S22, 개방 밸브 제어 신호 S25, 본 가열 제어 신호 S30, 승강 제어 신호 S43, 히터 제어 신호 S44, 냉각 제어 신호 S50 및 반송 제어 신호 S70을 발생한다. 이들에 의해, 진공 리플로우로(100)의 제어계를 구성한다.

계속해서, 도 5를 참조하여, 반송 기구(70)의 구성예에 대해 설명한다. 도 5에 있어서, 워킹 빔식의 반송 기구(70)는, 고정 빔(17, 27) 및 이동 빔(18, 28)을 갖고 있다. 이동 빔(18, 28)의 이송 피치는, 예를 들어 400㎜ 정도이다. 여기서, 챔버(40)를 기준으로 하여, 워크(1)가 반입되어 오는 측을 반입측으로 하고, 워크(1)가 반출되어 가는 측을 반출측으로 한다. 반입측의 고정 빔(17)은, 도 1에 도시한 예비 가열부(20) 및 본 가열부(30)에 설치되고, 반출측의 고정 빔(27)은 냉각부(50)에 설치된다.

고정 빔(17, 27)은 워크(1)의 반송로(16)의 양측에 한 쌍씩 설치되어 있다. 이동 빔(18, 28)은 양측의 고정 빔(17, 27)에 대해 각각 상하 및 좌우로 이동하도록 동작(도면 중의 (1)∼(4) 참조: 워킹)한다. 도면 중, 부호 a는 이동 빔(18, 28)의 각각의 홈 포지션 Hp이다. 이동 빔(18, 28)은 반입측 및 반출측에서 각각 독립적으로 구동하도록 이루어진다.

예를 들어, 반입측의 이동 빔(18)은 궤적 (1)로 수직 방향(a→b)으로 상승하여, 고정 빔(17)(고정 빔(45))으로부터 워크(1)를 수취한다. 다음으로, 워크(1)를 적재한 상태에서 궤적 (2)로 수평 방향(b→c)으로 이동하고, 궤적 (3)으로 수직 방향(c→d)으로 강하하여, 워크(1)를 고정 빔(17)(고정 빔(45)) 상에 적재시킨 후에 이동 빔(18)은 궤적 (4)로 수평 방향(d→a)으로 이동하여 홈 포지션 Hp로 되돌아온다. 이와 같이 하여, 워크(1)를 순차 택트 이송한다.

또한, 반출측의 이동 빔(28)은 궤적 (1)로 수평 방향(a→b)으로 이동한다. 다음으로, 궤적 (2)로 수직 방향(b→c)으로 상승한다. 이에 의해, 이동 빔(28)은 고정 빔(45)(고정 빔(27))으로부터 워크(1)를 수취한다. 그리고, 워크(1)를 적재한 상태에서 궤적 (3)으로 수평 방향(c→d)으로 이동한다. 그 후, 궤적 (4)로 수직 방향(d→a)으로 강하하여, 워크(1)를 고정 빔(27)에 적재시킨 후, 홈 포지션 Hp로 되돌아온다. 이와 같이 하여, 소정의 반송 속도로 워크(1)를 순차 택트 이송(지면 상에서는 좌측으로부터 우측으로 차례로 워크(1)를 반송함)하게 된다. 이들에 의해, 워킹 빔식의 반송 기구(70)를 구성한다.

계속해서, 도 6을 참조하여, 진공화 제어 특성 #1∼#4의 취득예에 대해 설명한다. 이 예에서, 진공화 제어 특성 #1∼#4는 예비 진공화 시에 취득된다. 예비 진공화 시라 함은, 본 진공화 시 이외의 시간을 말한다. 도 6에 있어서, 종축은 챔버 내의 압력 P[Pa](진공도)이다. 횡축은, 진공화에 필요로 하는 시간 t[초]이다. Pf는 목표 설정압이며, 이 예에서는 10000[Pa]이다. 또한, 도 6의 시간축에 있어서, 챔버(40)를 폐쇄하기 위해 용기(41)가 승강 기구(43)에 의해 베이스(42) 측으로 이동 개시하는 시점을 t＝0으로 하고, 챔버(40)가 폐쇄된 시점을 t＝k로 한다. 실제로 진공화가 개시되는 것은 t＝k부터이다. 이하의 경과 시각은, t＝k를 기준으로 한 것이다.

이 예에서, 실선은 주파수 f＝60㎐에서 교류 모터를 구동하고, 펌프(23)를 동작시켜 챔버(40) 내를 진공화한 경우의 진공화 제어 특성 #1이다. 당해 제어 특성 #1은, 목표 설정압 Pf에 약 6[초]를 필요로 하여 챔버(40)를 진공화 가능한 특성이다. 파선은, f＝40㎐에서 마찬가지로 펌프(23)를 동작시켜 챔버(40) 내를 진공화한 경우의 진공화 제어 특성 #2이다. 당해 제어 특성 #2는, 목표 설정압 Pf에 약 9[초]를 필요로 하여 챔버(40)를 진공화 가능한 특성이다.

일점 쇄선은, 주파수 f＝30㎐에서 마찬가지로 펌프(23)를 동작시켜 챔버(40) 내를 진공화한 경우의 진공화 제어 특성 #3이다. 당해 제어 특성 #3은, 목표 설정압 Pf에 약 11[초]를 필요로 하여 챔버(40)를 진공화 가능한 특성이다. 이점 쇄선은, f＝20㎐에서 마찬가지로 펌프(23)를 동작시켜 챔버(40) 내를 진공화한 경우의 진공화 제어 특성 #4이다. 당해 제어 특성 #4는, 목표 설정압 Pf에 약 16[초]를 필요로 하여 챔버(40)를 진공화 가능한 특성이다.

펌프 출력 Po1을 얻는 주파수 f는 60㎐이고, 펌프 출력 Po2를 얻는 주파수 f는 40㎐이고, 펌프 출력 Po3을 얻는 주파수 f는 30㎐이고, 펌프 출력 Po4를 얻는 주파수 f는 20㎐이다. 이들 펌프 출력 Po1∼Po4의 대소 관계는, 펌프 출력 Po로 말하면, Po1＞Po2＞Po3＞Po4이고, 주파수 f로 말하면 60㎐＞40㎐＞30㎐＞20㎐이다.

도면 중의 θ1은 진공화 제어 특성 #1의 기울기이다. 기울기 θ1은 종축과 평행한 선분 j-k(파선)와 진공화 제어 특성 #1의 그래프 접선(파선 q-r1)이 이루는 각도이다. 접선 q-r1의 원점은 진공화 개시 시(100000[Pa])의 그래프의 시점 q이다. θ2는 θ1과 마찬가지로 접선 q-r2로 정의되는 진공화 제어 특성 #2의 기울기이다. θ3도 마찬가지로 접선 q-r3으로 정의되는 진공화 제어 특성 #3의 기울기이다. θ4도 마찬가지로 접선 q-r4로 정의되는 진공화 제어 특성 #4의 기울기이다. 진공화 제어 특성 #1∼#4의 기울기 θ1, θ2, θ3, θ4의 사이에는 θ1＜θ2＜θ3＜θ4인 관계가 있다. 기울기 θ＝θ1, θ2, θ3, θ4는 단위 시간당 진공도의 감소량이며, tan(90°-θ)＝진공도/소요 시간으로 부여된다. 또한, 선분 j-k를 기준으로 하는 것은, 상술한 바와 같이 실제로 진공화가 개시되는 t＝k를 경과 시각의 기점으로 한 것에 기초하는 것이다.

이 예에서는, 예비 진공화 시에 취득된 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가, 메모리부(62)(RAM 등)에 전개된다. 진공화 제어 특성 #1∼#4는 상술한 시점 q를 겹쳐 동일 메모리 영역에 전개된다. 도면 중의 굵은 파선 n-m은 커서이며, 다음 주파수 f의 포인트(제어 특성의 전환 포인트)를 찾도록 이루어진다. 예를 들어, 진공화 개시와 함께 백색 화살표의 방향(하측 방향)으로 커서 n-m을 스크롤하도록 이루어진다. 스크롤은, 제어부(61) 내의 CPU 등이 포인터를 RAM 등에 설정함으로써 실현된다. 이 스크롤은 기울기 θ가 초기 설정되면, 포인터를 빠르게 움직이게 하여, 초기 설정 시의 진공화 제어 특성의 기울기 θ와 동일한 기울기 θ가 검출된 다음 진공화 제어 특성으로 제어를 이어받는 형태로 전환하여, 진공 땜납 처리를 행하기 위함이다(실시예 1∼5).

＜실시예 1＞

도 7에 나타내는 챔버(40)의 제어예 1에 의하면, 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 선택된 경우이다. 챔버(40)의 진공화에 있어서는, 펌프 구동계의 주파수를 20㎐→30㎐→40㎐→60㎐로 서서히 높이는 제어를 행하므로, 진공화 제어 특성이 #4∼#1의 순으로 전환하여 펌프 출력 제어가 실행된다.

제어 개시 시와 함께 기울기 θ4의 진공화 제어 특성 #4(20㎐)를 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 약 3.5초간, 주파수 f＝20㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 진공화 개시와 함께 도 6에 나타낸 포인터를 설정하여 커서 n-m을 스크롤하여, 다음 진공화 제어 특성 #3에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #3의 그래프의 기울기가 θ4로 되는 전환 포인트가 압력 P1＝57000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ4 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #4로부터 진공화 제어 특성 #3으로 제어를 이어받는 형태로 전환된다(제1회째). 진공화 제어 특성 #3에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지된다.

제1회째의 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝20㎐에 이어서 약 1.5초간, f＝30㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 제1회째의 제어 전환 후에도 도 6에 나타낸 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 이번에는, 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #2의 그래프의 기울기가 θ4로 되는 전환 포인트가 압력 P2＝43000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ4 검출 시의 압력 P2의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #2로 제어가 전환된다(제2회째). 진공화 제어 특성 #2에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지된다.

제2회째의 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝30㎐에 이어서 약 1.5초간, f＝40㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 제2회째의 제어 전환 후에도 도 6에 나타낸 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 다시 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #1의 그래프의 기울기가 θ4로 되는 전환 포인트가 압력 P3＝27000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ4 검출 시의 압력 P3의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어가 전환된다(제3회째). 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지된다. 펌프(23)는, 주파수 f＝40㎐에 이어서 남은 시간, f＝60㎐로 구동된다.

이에 의해, 초기 설정 시의 기울기 θ4를 유지, 즉, 단위 시간당 진공도의 감소량을 일정하게 유지하면서, 진공화 제어 특성 #4→#3→#2→#1을 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이 예에서 챔버(40)는 진공화 개시로부터 목표 설정압 Pf로 약 9[초]를 소요하여 도달하고 있다. 여기서, 제어 특성을 이어 탄다고 하는 것은, 예를 들어 상술한 기울기 θ4 검출 시, 도 6에 나타낸 진공화 제어 특성 #4의 압력 P1 이하의 그래프를 커트하고, 또한 진공화 제어 특성 #3의 압력 P1 이상의 그래프를 커트하고, 커트한 진공화 제어 특성 #3을 우측으로 시프트하여 진공화 제어 특성 #4의 그래프와 진공화 제어 특성 #3의 그래프를 접속하는 것을 말한다. 다른 것도 마찬가지로 해석하면 된다.

＜실시예 2＞

도 8에 나타내는 챔버(40)의 제어예 2에 의하면, 3개의 진공화 제어 특성 #1∼#3이 선택된 경우이다. 챔버(40)의 진공화에 있어서는, 펌프 구동계의 주파수를 30㎐→40㎐→60㎐로 서서히 높이는 제어를 행하므로, 진공화 제어 특성이 #3∼#1의 순으로 전환되어 펌프 출력 제어가 실행된다.

제어 개시 시와 함께 기울기 θ3의 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는 약 3.5초간, 주파수 f＝30㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 실시예 1과 마찬가지로 하여 커서 n-m을 스크롤하여, 다음 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #2의 그래프의 기울기가 θ3으로 되는 전환 포인트가 압력 P1＝50000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ3 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #2로 제어를 이어받는 형태로 전환된다(제1회째). 진공화 제어 특성 #2에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지된다.

제1회째의 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝30㎐에 이어서 약 1.5초간, f＝40㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 제1회째의 제어 전환 후에도 마찬가지로 하여, 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 이번에는, 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #1의 그래프의 기울기가 θ3으로 되는 전환 포인트가 압력 P2＝27000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ3 검출 시의 압력 P2의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어가 전환된다(제2회째). 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지된다. 펌프(23)는, 주파수 f＝40㎐에 이어서 남은 시간, f＝60㎐로 구동된다.

이에 의해, 초기 설정 시의 기울기 θ3을 유지하면서, 진공화 제어 특성 #3→#2→#1을 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이 예에서 챔버(40)는 진공화 개시로부터 목표 설정압 Pf로 약 8[초]를 소요하여 도달하고 있다.

＜실시예 3＞

도 9에 나타내는 챔버(40)의 제어예 3에 의하면, 2개의 진공화 제어 특성 #2 및 #3이 선택된 경우이다. 챔버(40)의 진공화에 있어서는, 펌프 구동계의 주파수를 30㎐→40㎐로 2단계로 제어를 행하기 위해, 진공화 제어 특성을 #3으로부터 #2로 전환하여 펌프 출력 제어를 실행하는 경우이다.

제어 개시 시와 함께 실시예 2와 마찬가지로 하여, 기울기 θ3의 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 약 3.5초간, 주파수 f＝30㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는, 실시예 2와 마찬가지로 하여 커서 n-m을 스크롤하여, 다음 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #2의 그래프의 기울기가 θ3으로 되는 전환 포인트가 압력 P1＝50000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ3 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #2로 제어를 이어받는 형태로 전환된다. 진공화 제어 특성 #2에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지된다.

이 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝30㎐에 이어서 남은 시간, f＝40㎐로 구동된다. 이에 의해, 초기 설정 시의 기울기 θ3을 유지하면서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 #2로 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이 예에서 챔버(40)는 진공화 개시로부터 목표 설정압 Pf로 약 9[초]를 소요하여 도달하고 있다.

＜실시예 4＞

도 10에 나타내는 챔버(40)의 제어예 4에 의하면, 2개의 진공화 제어 특성 #1 및 #3이 선택된 경우이다. 챔버(40)의 진공화에 있어서는, 펌프 구동계의 주파수를 30㎐→60㎐로 2단계로 제어를 행하기 위해, 진공화 제어 특성을 #3으로부터 #1로 전환하여 펌프 출력 제어를 실행하는 경우이다.

제어 개시 시와 함께 실시예 2, 3과 마찬가지로 하여, 기울기 θ3의 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 약 5.5초간, 주파수 f＝30㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 실시예 2, 3과 마찬가지로 하여 커서 n-m을 스크롤하여, 다음 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #1의 그래프의 기울기가 θ3으로 되는 전환 포인트가 압력 P1＝30000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ3 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어를 이어받는 형태로 전환된다. 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지된다.

이 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #1(60㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝30㎐에 이어서 남은 시간, f＝60㎐로 구동된다. 이에 의해, 초기 설정 시의 기울기 θ3을 유지하면서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 #1로 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이 예에서 챔버(40)는 진공화 개시로부터 목표 설정압 Pf로 약 8[초]를 소요하여 도달하고 있다.

＜실시예 5＞

도 11에 나타내는 챔버(40)의 제어예 5에 의하면, 2개의 진공화 제어 특성 #1 및 #2가 선택된 경우이다. 챔버(40)의 진공화에 있어서는, 펌프 구동계의 주파수를 40㎐→60㎐로 2단계로 제어를 행하기 위해, 진공화 제어 특성을 #2로부터 #1로 전환하여 펌프 출력 제어를 실행하는 경우이다.

제어 개시 시와 함께 기울기 θ2의 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는 약 3초간, 주파수 f＝40㎐로 구동된다. 한편, 제어부(61)는 실시예 2∼4와 마찬가지로 하여 커서 n-m을 스크롤하여, 다음 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ2를 검출한다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성 #1의 그래프 기울기가 θ2로 되는 전환 포인트가 압력 P1＝40000[Pa]에서 검출된 경우이다. 이 기울기 θ2 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어를 이어받는 형태로 전환된다. 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ2가 유지된다.

이 제어 전환과 함께 진공화 제어 특성 #1(60㎐)을 따라 펌프(23)가 구동된다. 펌프(23)는, 앞의 주파수 f＝40㎐에 이어서 남은 시간, f＝60㎐로 구동된다. 이에 의해, 초기 설정 시의 기울기 θ2를 유지하면서, 진공화 제어 특성 #2로부터 #1로 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이 예에서 챔버(40)는, 진공화 개시로부터 목표 설정압 Pf로 약 6.5[초]를 소요하여 도달하고 있다.

계속해서, 본 발명에 관한 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법에 관하여, 도 12∼도 17을 참조하여, 진공 리플로우로(100)의 제어예에 대해 설명한다. 도 12는 진공 리플로우로(100)의 온도 프로파일이다. 도 12에 있어서, 종축은 예비 가열 존 I∼IV, 본 가열 존 V, 진공 탈포·탈기 처리 존 VI 및 냉각 존 VII에서의 워크 온도 T[℃]이고, 횡축은 경과 시각 t1∼t7[초]를 나타내고 있다. 도면 중의 굵은 선의 곡선은 진공 리플로우로(100)에서의 워크 온도 특성이다.

도 13∼도 17에 나타내는 흐름도는, 워크(1)를 기준으로 한 제어예이며, 챔버(40)의 반입측과 반출측에서 다른 워크(1)의 처리도 동시에 진행하고 있지만, 설명을 이해하기 쉽게 하기 위해, 당해 챔버(40)의 전후의 1개의 워크(1)의 움직임을 주목하여 설명한다.

이 예의 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법에 의하면, 워크(1)를 진공 환경 하에서 땜납 처리하는 경우이며, 예비 진공화 처리에서, 도 6에 나타낸 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 미리 준비되고, 제어 데이터 D62가 테이블화되어 메모리부(62)에 기억된다.

다음의 진공화 조건이 제어부(61)에 설정된다.

i. 조작부(21)에서 기울기 θ 진공화 제어의 설정을 접수한다. 예를 들어, 도 7에 나타낸 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 선택되고, 기울기 θ4 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우, 3개의 진공화 제어 특성 #1∼#3이 선택되고, 기울기 θ3 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우, 및 2개의 진공화 제어 특성 #1, #2가 선택되고, 기울기 θ2 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우를 예로 든다.

ii. 워크(1)가 챔버(40) 내에 투입되기 전에, 워크(1)를 소정 온도까지 가열한다.

iii. 워크(1)가 챔버(40) 내에 투입되었을 때, 챔버(40) 내에의 투입 전의 워크(1)의 소정 온도를 유지한다.

iv. 제어부(61)가 실시간으로 전환처의 진공화 제어 특성의 기울기 θ를 감시하고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환처의 진공화 제어 특성의 기울기 θ를 항상 비교하여, 진공화 중, 양쪽의 제어 특성의 기울기 θ, θ가 일치하였을 때, 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 제어를 전환한다.

이들을 진공 땜납 처리의 제어 조건으로 하여, 도 13에 나타내는 스텝 ST1(공정)에서 제어부(61)는 초기 설정을 접수한다. 이 초기 설정에서는, 조작부(21)를 사용하여, 제어부(61)에 대해 4개의 기울기 θ1∼θ4의 진공화 제어 특성 #1∼#4 중에서 원하는 기울기 θ의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 선택된다. 유저는 진공화 제어 특성 #1∼#4 등 중에서 원하는 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 번호가 높은 순(펌프 출력의 주파수가 작은 순)으로 선택하여, 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 초기 설정한다. 여기서 얻어지는 설정 정보는 조작 데이터 D21로 되어 제어부(61)에 출력된다.

스텝 ST2에서 제어부(61)는 워크(1)를 반입한다. 워크(1)의 반입은, 유저가 조작부(21)에 설치된 스타트 버튼을 누르거나 함으로써 행해진다. 제어부(61)는 스타트가 지시되면, 제어부(61)는 반송 기구(70)의 구동 제어를 실행한다. 이때, 반송 기구(70)는 제어 유닛(60)으로부터 반송 제어 신호 S13을 입력하고, 당해 반송 제어 신호 S13에 기초하여 이동 빔(18, 28)을 동작시켜, 워크(1)를 택트 이송한다. 택트 이송 동작에 대해서는 본 발명의 본질은 아니므로, 그 설명을 생략한다. 또한, 워크(1)가 로(100)에 반입된 것을 검지하면, 반입 검출 신호 S26이 제어 유닛(60)에 출력되고, 타이머가 스타트한다. 이 타이머를 기초로 하여, 택트 이송 시간으로 워크(1)의 위치를 산출할 수 있다.

스텝 ST3에서 제어부(61)는 워크(1)에 대해 예비 가열 처리를 실행한다. 이때, 예비 가열부(20)는 제어 유닛(60)으로부터 예비 가열 제어 신호 S20을 입력하고, 당해 예비 가열 제어 신호 S20에 기초하여 4개의 예비 가열 존 I∼IV를 동작시켜, 워크(1)를 소정 온도(예를 들어, 180℃)에 도달시키기 위해 서서히 가열(130℃→160℃→170℃→180℃ 정도)한다.

예를 들어, 예비 가열 존 I에서는 도 12에 나타낸 온도 프로파일에 있어서 로 내를 시각 t0으로부터 t1에서 상온으로부터 온도 130℃ 부근으로 가열한다. 예비 가열 존 II는 로 내를 시각 t1로부터 t2에서 온도 130℃로부터 온도 160℃ 부근으로 가열한다. 예비 가열 존 III은, 로 내를 시각 t2로부터 t3에서 온도 160℃∼170℃ 부근으로 가열한다. 예비 가열 존 VI는 로 내를 시각 t3으로부터 t4에서 온도 170℃∼180℃ 부근으로 가열한다.

스텝 ST4에서 제어부(61)는 워크(1)에 대해 본 가열 처리를 실행한다. 이때, 본 가열부(30)는, 제어 유닛(60)으로부터 본 가열 제어 신호 S30을 입력하고, 당해 본 가열 제어 신호 S30에 기초하여 본 가열부(30)의 히터나, 팬 등을 동작시켜, 워크(1)를 250℃로 가열한다. 도 12에 나타낸 온도 프로파일에 의하면, 본 가열 존 V는, 로 내를 시각 t4로부터 t5에서 온도 230℃∼260℃ 부근으로 가열한다.

스텝 ST5에서 제어부(61)는 워크(1)에 대해 진공 탈기 처리를 실행한다. 이 예의 진공 탈기 처리에 의하면, 도 14에 나타내는 서브루틴으로 이행한다.

스텝 ST61로 이행하여 제어부(61)는 용기(41)의 강하 제어를 실행한다(챔버 강하). 승강 기구(43)는 제어 유닛(60)으로부터 승강 제어 신호 S43을 입력하고, 도시하지 않은 실린더 등을 동작시켜 용기(41)를 밀폐 상태로 한다.

또한, 패널 히터(44)는 제어 유닛(60)으로부터 히터 제어 신호 S44를 입력하고, 당해 히터 제어 신호 S44에 기초하여 워크(1)의 온도를 240℃로 유지하도록 이루어진다. 이 예에서는 도 12에 나타낸 진공 탈포·탈기 처리 존 VI에 있어서, 용기(41) 내를 시각 t5로부터 t6에서 온도 230℃∼250℃ 부근으로 유지한다.

그 후, 스텝 ST62에서 제어부(61)는 기울기 θ4 진공화 제어가 초기 설정되어 있는지, 그 이외의 기울기 θ3 진공화 제어 또는 기울기 θ2 진공화 제어가 초기 설정되어 있는지에 대응하여 제어를 분기한다. 예를 들어, 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 선택되고, 기울기 θ4 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우는, 스텝 ST63으로 이행하여, 제어부(61)는 θ4 진공화 제어를 실행한다.

이 예에서는, 도 15에 나타내는 서브루틴으로 이행하여, 제어부(61)는 스텝 ST401에서 도 7에 나타낸 바와 같이 기울기 θ4의 진공화 제어 특성 #4로 펌프 출력을 제어한다. 펌프(23)는, 제어 개시 시와 함께 기울기 θ4의 진공화 제어 특성 #4(20㎐)를 따라 구동되어, 챔버(40) 내가 진공화 처리된다.

이 진공화 처리에서는, 개방 밸브(25)가 제어 유닛(60)으로부터 개방 밸브 제어 신호 S25를 입력하고, 초기 개방 밸브 및 주 개방 밸브도 「완전 폐쇄」로 이루어진다. 또한, 전자 밸브(22)가 제어 유닛(60)으로부터 전자 밸브 제어 신호 S22를 입력하고, 당해 전자 밸브 제어 신호 S22에 기초하여 밸브 개방도＝「완전 개방」으로 되도록 밸브를 구동한다.

그리고, 제어부(61)는 전자 밸브(22) 및 펌프(23)를 제어하여 챔버(40) 내의 진공화 처리한다. 펌프(23)는, 밸브 개방도＝「완전 개방」과 전후하여, 제어 유닛(60)으로부터 펌프 구동 전압 V23을 입력하고, 당해 펌프 구동 전압 V23에 기초하여 챔버(40) 내를 진공화한다. 예를 들어, 펌프(23)는 기울기 θ4의 진공화 제어 특성 #4(20㎐)를 따른 흡입량으로 용기(41) 내의 에어를 빼내도록 동작한다.

다음으로, 스텝 ST402에서 제어부(61)는 다음 진공화 제어 특성 #3에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 진공화 개시와 함께 도 6에 나타낸 포인터를 설정하여 커서 n-m을 스크롤하여, 진공화 제어 특성 #3에서, 그 그래프의 기울기 θ4로 되는 전환 포인트인 압력 P1＝57000[Pa]를 검출한다(도 7 참조).

이 압력 P1을 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST403으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #4에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST402에서 진공화 제어 특성 #3에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한 경우는, 스텝 ST404로 이행하여, 제어부(61)는 기울기 θ4 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #4로부터 진공화 제어 특성 #3으로 제어를 이어받는 형태로 전환한다(제1회째). 진공화 제어 특성 #3에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST405에서 제어부(61)는, 다음 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 제1회째의 제어 전환 후에도, 도 6에 나타낸 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다. 이 예에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #2의 그래프의 기울기가 θ4로 되는 전환 포인트인 압력 P2＝43000[Pa]을 검출한다(도 7 참조).

이 압력 P2를 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST406으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #3에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST405에서 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한 경우는, 스텝 ST407로 이행하여, 제어부(61)는 기울기 θ4 검출 시의 압력 P2의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #2로 제어를 이어받는 형태로 전환한다(제2회째). 진공화 제어 특성 #2에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST408에서 제어부(61)는, 다음 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 제2회째의 제어 전환 후에도, 도 6에 나타낸 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한다. 이 예에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #1의 그래프 기울기가 θ4로 되는 전환 포인트인 압력 P3＝27000[Pa]를 검출한다(도 7 참조).

이 압력 P3을 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST409로 되돌아가 진공화 제어 특성 #2에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST408에서 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ4를 검출한 경우는, 스텝 ST410로 이행하여, 제어부(61)는 기울기 θ4 검출 시의 압력 P3의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어를 이어받는 형태로 전환한다(제3회째). 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ4가 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #1(60㎐)을 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST411에서 제어부(61)는 챔버(40)가 목표 설정압 Pf(예를 들어, Pf＝10000[Pa])에 도달하였는지 여부에 대응하여 제어를 분기한다. 챔버(40)가 목표 설정압 Pf에 도달하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST412로 되돌아가 진공화 제어 특성 #1에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST411에서 목표 설정압 Pf에 도달한 경우는, 서브루틴의 스텝 ST63으로 되돌아간다. 이 θ4 진공화 제어에 의해, 진공화 제어 특성 #4→#3→#2→#1을 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다.

또한, 상술한 스텝 ST62에서 기울기 θ4 진공화 제어 이외의 θx(x＝2 또는 3) 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우는, 스텝 ST64로 이행하여 제어부(61)는 기울기 θ3 진공화 제어가 초기 설정되어 있는지, 그 이외의 기울기 θ2 진공화 제어가 초기 설정되어 있는지에 대응하여 제어를 분기한다. 예를 들어, 3개의 진공화 제어 특성 #1∼#3이 선택되고, 기울기 θ3 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우는, 스텝 ST65로 이행하여, 제어부(61)는 θ3 진공화 제어를 실행한다.

이 예에서는, 도 16에 나타내는 서브루틴으로 이행하여, 제어부(61)가 스텝 ST601에서 도 8에 나타낸 바와 같이 기울기 θ3의 진공화 제어 특성 #3으로 펌프 출력을 제어한다. 펌프(23)는, 제어 개시 시와 함께 기울기 θ3의 진공화 제어 특성 #3(30㎐)을 따라 구동된다.

다음으로, 스텝 ST602에서 제어부(61)는 다음 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 진공화 개시와 함께 도 6에 나타낸 포인터를 설정하여 커서 n-m을 스크롤하여, 진공화 제어 특성 #2에서, 그 그래프의 기울기 θ3으로 되는 전환 포인트인 압력 P1＝50000[Pa]을 검출한다(도 8 참조).

이 압력 P1을 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST603으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #3에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST602에서 진공화 제어 특성 #2에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한 경우는, 스텝 ST604로 이행하여, 제어부(61)는, 기울기 θ3 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #3으로부터 진공화 제어 특성 #2로 제어를 이어받는 형태로 전환한다(제1회째). 진공화 제어 특성 #2에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #2(40㎐)를 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST605에서 제어부(61)는, 다음 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 제1회째의 제어 전환 후에도, 도 6에 나타낸 커서 n-m의 스크롤을 계속하여, 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한다. 이 예에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #1의 그래프의 기울기가 θ3으로 되는 전환 포인트인 압력 P2＝27000[Pa]을 검출한다(도 8 참조).

이 압력 P2를 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST606으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #2에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST605에서 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ3을 검출한 경우는, 스텝 ST607로 이행하여, 제어부(61)는 기울기 θ3 검출 시의 압력 P2의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어를 이어받는 형태로 전환한다(제2회째). 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ3이 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #1(60㎐)을 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST608에서 제어부(61)는 챔버(40)가 목표 설정압 Pf에 도달하였는지 여부에 대응하여 제어를 분기한다. 챔버(40)가 목표 설정압 Pf에 도달하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST609로 되돌아가 진공화 제어 특성 #1에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST608에서 목표 설정압 Pf에 도달한 경우는, 서브루틴의 스텝 ST65로 되돌아간다. 이 θ3 진공화 제어에 의해, 진공화 제어 특성 #3→#2→#1을 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다.

또한, 상술한 스텝 ST64에서 기울기 θ2 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우는, 스텝 ST66으로 이행하여 제어부(61)는 기울기 θ2 진공화 제어를 실행한다. 예를 들어, 2개의 진공화 제어 특성 #1 및 #2가 선택되고, 기울기 θ2 진공화 제어가 초기 설정되어 있는 경우는, 스텝 ST66으로 이행한다. 이 예에서는, 도 17에 나타내는 서브루틴으로 이행하여, 제어부(61)는 스텝 ST701에서 도 11에 나타낸 바와 같이, 기울기 θ2의 진공화 제어 특성 #2로 펌프 출력을 제어한다. 펌프(23)는, 제어 개시 시와 함께 기울기 θ2의 진공화 제어 특성 #2(40㎐)을 따라 구동된다.

다음으로, 스텝 ST702에서 제어부(61)는 다음 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ2를 검출한다. 이 예에서는 제어부(61)가 진공화 개시와 함께 도 6에 나타낸 포인터를 설정하여 커서 n-m을 스크롤하여, 진공화 제어 특성 #1에서, 그 그래프의 기울기 θ2로 되는 전환 포인트인 압력 P1＝40000[Pa]을 검출한다(도 11 참조).

이 압력 P1을 검출하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST703으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #2에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST702에서 진공화 제어 특성 #1에 있어서의 그래프의 기울기 θ2를 검출한 경우는, 스텝 ST704로 이행하여, 제어부(61)는 기울기 θ2 검출 시의 압력 P1의 점에서, 진공화 제어 특성 #2로부터 진공화 제어 특성 #1로 제어를 이어받는 형태로 전환한다. 진공화 제어 특성 #1에서도, 초기 설정 시의 기울기 θ2가 유지되고, 펌프(23)가 진공화 제어 특성 #1(60㎐)을 따라 구동된다.

그리고, 스텝 ST705에서 제어부(61)는 챔버(40)가 목표 설정압 Pf에 도달하였는지 여부에 대응하여 제어를 분기한다. 챔버(40)가 목표 설정압 Pf에 도달하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST706으로 되돌아가 진공화 제어 특성 #1에서의 진공화를 계속한다. 스텝 ST705에서 목표 설정압 Pf에 도달한 경우는, 서브루틴의 스텝 ST66으로 되돌아간다. 이 θ2 진공화 제어에 의해, 진공화 제어 특성 #2→#1을 이어 타서, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다.

또한, 스텝 ST67에서 제어부(61)는, 목표 설정압 Pf를 소정의 시간(진공도 유지 시간 등) 유지한다. 여기서 제어부(61)는, 전자 밸브(22) 및 개방 밸브(25)를 조정하여 진공도 유지 시간, 또한 목표 설정압 Pf로 챔버(40) 내의 진공압을 유지한다. 진공도 유지 시간은, 진공 처리 시간＝워크·단위 택트 대기 시간이라고 하는 설정에 있어서, 택트 반송에 지장 없이 진공 처리 시간 내에서 목표 설정압 Pf를 유지할 수 있는 최대한 설정 가능한 시간이다. 워크·단위 택트 대기 시간이 짧으면, 당해 진공 리플로우로의 스루풋이 향상된다.

그리고, 스텝 ST68에서 제어부(61)는 진공 탈기 처리가 종료되었는지 여부를 판별한다. 그때, 예를 들어 본 예의 경우, 워크(1)는 택트 이송되므로, 설정된 택트 이송 시간을 기준으로 판별된다. 이에 의해, 챔버(40) 내의 진공압을 지정 시간 내 및 일정 기압으로 유지한 땜납(보이드 제거) 처리할 수 있다(진공 탈기 처리).

택트 이송 시간을 만료한 경우는 감시를 종료하고 스텝 ST69에서 제어부(61)는 챔버(40) 내의 진공 파괴를 개시한다. 이 진공 파괴에서는, 예를 들어 펌프(23)를 정지하여 개방 밸브(25)를 동작시키고, N₂ 가스를 챔버(40) 내에 공급하여 용기(41) 내의 진공압을 일정 비율(1차 함수적)로 올려 간다(도 7의 직선 특성 참조).

챔버(40) 내의 진공압이 대기압으로 되면, 스텝 ST70으로 이행하여 제어부(61)가 용기(41)를 상승시키도록 승강 기구(43)를 제어한다. 승강 기구(43)에서는, 제어 유닛(60)으로부터 승강 제어 신호 S43을 입력하고, 당해 승강 제어 신호 S43에 기초하여 도시하지 않은 실린더 등을 동작시켜 용기(41)를 개방 상태로 한다.

그리고, 스텝 ST71에서 제어부(61)는 워크 반출 처리를 실행한다. 반송 기구(70)는 제어 유닛(60)으로부터 반송 제어 신호 S70을 입력하고, 당해 반송 제어 신호 S70에 기초하여 이동 빔(28)을 동작시켜, 워크(1)를 택트 이송(도 5 참조)한다. 반송 기구(70)는, 워크(1)가 베이스(42) 상으로부터 반출되면, 다음 워크(1)를 베이스(42) 상으로 반입하도록 이루어진다.

워크(1)를 냉각부(50)로 전달한 경우는, 메인 루틴의 스텝 ST5로 되돌아가, 스텝 ST6으로 이행한다. 스텝 ST6에서 제어부(61)는 워크(1)의 냉각 처리를 실행한다. 이때, 냉각부(50)는 제어 유닛(60)으로부터 냉각 제어 신호 S50을 입력하고, 당해 냉각 제어 신호 S50에 기초하여 열교환기나, 팬 등을 동작시켜 워크(1)를 냉각한다. 이에 의해, 워크(1)를 원하는 온도, 이 예에서는 60℃에서 냉각할 수 있다.

그리고, 스텝 ST7에서 제어부(61)는 워크(1)를 냉각부(50)로부터 외부로 반출하도록 반송 기구(70)를 제어한다. 그 후, 스텝 ST8에서 제어부(61)는 모든 워크(1)의 진공 땜납 처리를 종료하였는지 여부의 판단을 실행한다. 모든 워크(1)의 진공 땜납 처리를 종료하고 있지 않은 경우는, 스텝 ST2로 되돌아가 워크(1)의 반입 처리, 그 가열 처리, 그 진공 탈기 처리 및 그 냉각 처리를 계속한다. 모든 워크(1)의 진공 땜납 처리를 종료한 경우는 제어를 종료한다.

이와 같이 실시 형태로서의 진공 리플로우로(100) 및 그 제어 방법에 의하면, 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4가 미리 준비되고, 펌프(23)의 진공화 제어를 실행하는 제어부(61)를 구비하고, 제어부(61)는 기울기 θ의 진공화 제어 특성으로 펌프 출력 제어를 실행하고, 실시간으로 전환처의 기울기 θ의 진공화 제어 특성으로 기울기 θ를 감시하고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 이루어진다.

이 제어에 의해, 진공화 조건의 선택도를 확대할 수 있음과 함께, 챔버 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 이에 의해, 챔버의 스루풋을 조정할 수 있게 된다. 한편, 보이드의 발생을 억제하여, 플럭스, 부품 등의 비산을 방지할 수 있게 된다. 상술한 예에서는, 목표 설정압 Pf에 도달한 용융 상태의 땜납의 보이드는 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 기울기 θ의 진공화 제어 특성의 진공화에 의해 서서히 탈포·탈기된다. 이에 의해, 플럭스 비말이나, 땜납 비산 등을 방지할 수 있게 되어, 설정된 진공도 하에서 보이드가 적은 고품질의 진공 땜납 처리를 행할 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태에서는, 실시간으로 전환처의 진공화 제어 특성의 기울기 θ를 감시하고, 이 감시에 기초하여 진공화 제어 특성을 전환하는 방법에 대해 설명하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 제어부(61)가, 진공압 검출 신호 S24에 기초하여 진공화 제어 특성을 참조하고, 챔버 내의 진공압이 진공화 제어 특성의 진공도의 전환 포인트에 도달하였을 때, 기울기 θ가 큰 진공화 제어 특성으로부터 기울기 θ가 작은 진공화 제어 특성으로 펌프 출력을 전환하도록 해도 된다.

예를 들어, 제어부(61)가 예비 진공화 시, 상술한 4개의 진공화 제어 특성 #1∼#4를 취득하여, 도 6에 나타낸 테이블을 작성한다. 이 테이블로부터, 초기 설정된 기울기 θ의 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트를 테이블 상에서 미리 찾아낸다(연산한다). 이 연산에 의해 얻어진 전환 포인트의 제어 데이터 D62를 메모리부(62)에 기억시켜 둔다. 그 저장예를 도 18에 나타내고 있다.

이 예에서는, 진공화 제어 특성의 조합예, 진공화 제어 특성 #4→#3→#2→#1, 진공화 제어 특성 #4→#3→#1, 진공화 제어 특성 #4→#2→#1, 진공화 제어 특성 #4→#1, 진공화 제어 특성 #3→#2→#1, 진공화 제어 특성 #3→#2, 진공화 제어 특성 #3→#1, 진공화 제어 특성 #2→#1 ···에 대한 기울기 θ＝θ4, θ3, θ2···의 진공화 제어가 설정 가능하게 되어 있다. 물론, 진공화 제어 특성 #4, #3, #2, #1의 4개에 한정되는 것은 아니다.

본 진공화 시, 제어부(61)가 챔버(40)의 진공압을 검출함과 함께, 압력 검출 정보(진공압 검출 신호 S24)에 기초하여, 테이블화된 진공화 제어 특성 #1∼#4를 참조하는 스텝과, 챔버(40) 내의 진공압(진공도)이 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트에 도달하였을 때, 기울기 θ가 큰 진공화 제어 특성으로부터 기울기 θ가 작은 진공화 제어 특성으로 펌프 출력을 전환하는 스텝을 실행한다.

예를 들어, 도 18에 나타낸 펌프 출력 제어의 항목에 있어서, 괄호 내의 P43은 진공화 제어 특성 #4의 실행 시, 당해 제어 특성 #4로부터 제어 특성 #3으로 전환하는 포인트의 진공압이다. 당해 제어 특성 #4에서 제어를 실행 중, 진공압 P43을 나타내는 진공압 검출 신호 S24가 검출된 시점에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #4로부터 당해 제어 특성 #3으로 제어를 이어받는 형태로 전환하도록 이루어진다.

P32는 진공화 제어 특성 #3의 실행 시, 당해 제어 특성 #3으로부터 제어 특성 #2로 전환하는 포인트의 진공압이다. 이 진공압 P32를 나타내는 진공압 검출 신호 S24가 검출된 시점에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #3으로부터 당해 제어 특성 #2로 제어를 전환하도록 이루어진다.

P21은 진공화 제어 특성 #2의 실행 시, 당해 제어 특성 #2로부터 제어 특성 #1로 전환하는 포인트의 진공압이다. 이 진공압 P21을 나타내는 진공압 검출 신호 S24가 검출된 시점에서, 제어부(61)는 진공화 제어 특성 #2로부터 당해 제어 특성 #1로 제어를 전환하도록 이루어진다. 진공압 P43, P32, P21은 모두 본 진공화 전에 테이블화된 진공화 제어 특성 #1∼#4로부터 미리 구한 것이다.

다른 진공화 제어 특성의 조합예에 대해서도 마찬가지로 정의되어 적용되므로, 그 설명을 생략한다. 이들 프로그램이나, 제어 데이터 D62는 메모리부(62)에 저장된다. 이들 제어에 의해서도, 챔버(40) 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화할 수 있게 된다. 게다가, 실시간으로 기울기 θ를 감시하는 제어로부터, 진공압 검출 신호 S24를 검출하는 제어로 제어부(61)의 부담을 경감시킬 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는, 챔버(40)를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 기울기 θ의 진공화 제어 특성이 미리 복수 준비되고, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 전환하도록 펌프의 진공화 제어를 실행하는 제어부(61)를 구비한 것이다. 이것으로부터, 초기 설정된 기울기 θ의 진공화 제어 특성이 기울기 θ로부터 소정 이상의 기울기(예를 들어, +20∼50％ 정도: 이하 역치 기울기 θth라고 함)로 된 경우에, 다른 진공화 제어 특성으로 전환하도록 한 경우도 적용할 수 있는 것이다.

여기서 역치 기울기 θth라 함은, 전환 판별 기준을 말하고, 진공화 제어 특성의 설정 수에 따라서도, 또한 설정된 복수의 제어 특성으로부터 선택되는 특성에 따라서도 상이하다. 상기 실시예에서 설명한 진공화 특성 #4→#3→#2→#1의 경우에는, 20∼50％의 범위, 바람직하게는 30∼50％, 진공화 제어 특성 #4→#3→#1의 경우에는 30∼40％의 범위에서 선택한다고 하는 것과 같이, 역치 기울기 θth는 보이드의 발생률, 진공화 시간 등의 균형에 의해 적절하게 설정 가능하다.

즉, 진공 리플로우로(100)의 제어 방법에 있어서, 제어부(61)는 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 상술한 역치 기울기 θth를 진공화 중, 항상 비교하여, 초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ가 역치 기울기 θth를 초과하였을 때, 펌프 출력이 작은 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하도록 이루어진다. 이 제어에 의해서도, 상술한 진공화 조건의 선택도를 확대할 수 있음과 함께, 챔버 내를 지정된 목표 설정압 Pf로 단시간에 진공화하거나 할 수 있게 된다.

본 발명은, 표면 실장용 부품 등을 기판 상의 소정의 위치에 탑재하여 당해 부품과 기판을 땜납 처리할 때, 진공 용융 상태의 땜납을 탈포·탈기 처리하는 기능을 구비한 진공 리플로우로에 적용하기에 매우 적합하다.

10 : 본체부
11 : 반입구
12 : 반출구
13 : 반송부
16 : 반송로
17, 27 : 고정 빔
18, 28 : 이동 빔
20 : 예비 가열부(가열부)
21 : 조작부
23 : 펌프
24 : 진공압 센서
25 : 개방 밸브
26 : 반입 센서
29 : 가스 공급부
30 : 본 가열부(가열부)
40 : 챔버
41 : 용기
42 : 베이스
43 : 승강 기구
44 : 패널 히터(가열부)
45, 46 : 고정 빔(지지부)
47 : 핀
48 : 시일 부재
50 : 냉각부
100 : 진공 리플로우로(진공 땜납 처리 장치)

Claims

워크를 진공 환경 하에서 땜납 처리 가능한 챔버와,
상기 챔버의 진공화 조건을 설정하는 조작부와,
상기 진공화 조건에 기초하여 상기 챔버를 진공화하는 펌프와,
상기 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하였을 때의 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 진공화 제어 특성을, 펌프 출력을 바꿈으로써 미리 복수 준비하고,
상기 진공화 제어 특성에 있어서, 단위 시간당 진공도의 감소량을 기울기로서 나타내었을 때,
초기 설정된 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 전환하도록 상기 펌프의 진공화 제어를 실행하는 제어부를 구비하는, 진공 땜납 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 미리 복수 준비된 진공화 제어 특성 중, 현재의 펌프 출력보다 큰 펌프 출력을 전환처로서 설정하고, 당해 전환처의 상기 진공화 제어 특성의 기울기가 상기 초기 설정된 기울기 θ와 일치하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는, 진공 땜납 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 챔버의 진공압을 검출하여 압력 검출 정보를 출력하는 검출부와,
상기 진공화 제어 특성을 테이블화한 데이터를 기억하는 메모리부를 구비하고,
상기 제어부가,
상기 압력 검출 정보에 기초하여 진공화 제어 특성을 참조하고,
상기 챔버 내의 진공압이 상기 진공화 제어 특성의 진공도의 전환 포인트에 도달하였을 때, 상기 기울기 θ가 큰 상기 진공화 제어 특성으로부터 상기 기울기 θ가 작은 상기 진공화 제어 특성으로 상기 펌프 출력을 전환하는, 진공 땜납 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환 판별 기준으로 되는 역치 기울기 θth를 진공화 중, 항상 비교하여, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ가 상기 역치 기울기 θth를 초과하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는, 진공 땜납 처리 장치.
워크를 진공 환경 하에서 땜납 처리하는 진공 땜납 처리 장치의 제어부가,
상기 땜납 처리하는 챔버를 소정의 펌프 출력으로 진공화하여 진공도에 대한 진공화 시간을 플롯한 진공화 제어 특성을, 펌프 출력을 바꿈으로써 복수 취득하여 기억하는 스텝과,
상기 진공화 제어 특성의 단위 시간당 진공도의 감소량을 기울기로서 나타내었을 때, 기울기 θ를 설정하는 스텝과,
설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ에 기초하여 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 전환하도록 상기 펌프 출력을 제어하는 스텝을 실행하는, 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법.
제5항에 있어서,
상기 제어부는,
예비 진공화 시, 상기 진공화 제어 특성을 취득하여 테이블을 작성하는 스텝을 실행하고,
본 진공화 시, 상기 복수 취득된 진공화 제어 특성 중, 현재의 펌프 출력보다 큰 펌프 출력이 큰 전환처의 상기 진공화 제어 특성의 기울기가 초기 설정된 기울기 θ와 일치하였을 때, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는 스텝을 실행하는, 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법.
제5항에 있어서,
상기 제어부는,
예비 진공화 시,
상기 진공화 제어 특성을 취득하여 테이블을 작성하는 스텝과,
초기 설정된 기울기 θ의 상기 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트를 찾아내는 스텝을 실행하고,
본 진공화 시,
상기 챔버의 진공압을 검출함과 함께, 압력 검출 정보에 기초하여, 테이블화된 상기 진공화 제어 특성을 참조하는 스텝과,
상기 챔버 내의 진공압이 상기 진공화 제어 특성을 전환하는 포인트에 도달하였을 때, 상기 기울기 θ가 큰 상기 진공화 제어 특성으로부터 상기 기울기 θ가 작은 상기 진공화 제어 특성으로 상기 펌프 출력을 전환하는 스텝을 실행하는, 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법.
제5항에 있어서,
상기 제어부는,
초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ와, 전환 판별 기준으로 되는 역치 기울기 θth를 진공화 중, 항상 비교하여, 초기 설정된 상기 진공화 제어 특성의 기울기 θ가 상기 역치 기울기 θth 이상의 기울기가 된 경우에, 상기 펌프 출력이 작은 상기 진공화 제어 특성으로부터 펌프 출력이 큰 상기 진공화 제어 특성으로 제어를 전환하는, 진공 땜납 처리 장치의 제어 방법.