JPWO2015068196A1 - 半導体モジュール - Google Patents

半導体モジュール Download PDF

Info

Publication number
JPWO2015068196A1
JPWO2015068196A1 JP2015546166A JP2015546166A JPWO2015068196A1 JP WO2015068196 A1 JPWO2015068196 A1 JP WO2015068196A1 JP 2015546166 A JP2015546166 A JP 2015546166A JP 2015546166 A JP2015546166 A JP 2015546166A JP WO2015068196 A1 JPWO2015068196 A1 JP WO2015068196A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
common connection
semiconductor module
connection portion
mold
module according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015546166A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6026009B2 (ja
Inventor
佑 川野
佑 川野
昭彦 森
昭彦 森
浅尾 淑人
淑人 浅尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Application granted granted Critical
Publication of JP6026009B2 publication Critical patent/JP6026009B2/ja
Publication of JPWO2015068196A1 publication Critical patent/JPWO2015068196A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49575Assemblies of semiconductor devices on lead frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49503Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49517Additional leads
    • H01L23/49524Additional leads the additional leads being a tape carrier or flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49537Plurality of lead frames mounted in one device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • H01L23/49548Cross section geometry
    • H01L23/49551Cross section geometry characterised by bent parts
    • H01L23/49555Cross section geometry characterised by bent parts the bent parts being the outer leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • H01L23/49562Geometry of the lead-frame for devices being provided for in H01L29/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/50Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L24/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L24/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L24/41Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of a plurality of strap connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04034Bonding areas specifically adapted for strap connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04042Bonding areas specifically adapted for wire connectors, e.g. wirebond pads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/0601Structure
    • H01L2224/0603Bonding areas having different sizes, e.g. different heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/37001Core members of the connector
    • H01L2224/3701Shape
    • H01L2224/37012Cross-sectional shape
    • H01L2224/37013Cross-sectional shape being non uniform along the connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/37001Core members of the connector
    • H01L2224/37099Material
    • H01L2224/371Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/37138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/37147Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/36Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/37Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/37001Core members of the connector
    • H01L2224/37099Material
    • H01L2224/371Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/37138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/3716Iron [Fe] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L2224/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/401Disposition
    • H01L2224/40135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/40137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • H01L2224/40139Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate with an intermediate bond, e.g. continuous strap daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L2224/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/401Disposition
    • H01L2224/40151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/40221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/40225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/34Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/39Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process
    • H01L2224/40Structure, shape, material or disposition of the strap connectors after the connecting process of an individual strap connector
    • H01L2224/401Disposition
    • H01L2224/40151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/40221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/40245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73221Strap and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

各回路における同電位のターミナルと接続される共通接続部26を、モールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1を小型化することが可能となる。共通接続部26は、従来の半導体モジュールにおいてモールド部の内部に配置されていたリードフレーム25の一部であるため、従来よりもモールド部が小型化され、モールド樹脂の量の低減および材料コストの低減が図られる。

Description

本発明は、リードフレーム上に複数の半導体素子が搭載された半導体モジュールに関するものである。
従来、スイッチング素子等の半導体素子を含む複数の電子部品をリードフレーム上に搭載し、それらをモールド樹脂で封止した半導体モジュールが知られている。リードフレームは、1枚の金属板材をプレス加工、エッチング加工、またはカット加工することにより製造される。
このため、リードフレームの各部位、すなわち半導体チップを搭載する座面や外部部品と接続するための端子は、互い重なることなく張り巡らされている。また、リードフレームの外周部の不要部分は、モールド部を成型した後、切除される。
このような半導体モジュールにおいては、リードフレームの有効利用やモジュールサイズの小型化が求められており、そのための工夫がなされている。例えば特許文献1に提示された半導体モジュールでは、複数の端子を一体化して端子の数を削減することにより装置の小型化を図っている。
また、この特許文献1では、インバータ入力端子同士の接続、あるいは、インバータグランド端子同士の接続をパワー配線基板にて行っている。このように、端子同士の接続を半導体モジュールの外部で行うようにすると、端子同士を接続するための配線を半導体モジュールに内蔵する必要がなくなり、モジュールを小型化することができる。
また、特許文献2では、リードフレームの切除される部分であるガイドフレームを適切に配置することにより、その一部を切除せずに配線部として利用するようにしたパワーモジュールが提示されている。これにより、リードフレームの材料歩留まりを向上させ、さらに各リードフレームの歪みを抑制している。
特開2011−250491号公報 特開2013−12525号公報
しかしながら、特許文献1に提示された半導体モジュールでは、複数の端子を一体化して端子の数を削減しているが、未だ同電位レベルの端子が複数存在しており、さらなる小型化の余地があると考えられる。また、半導体モジュールから延出された端子同士をパワー基板で接続するためには、それらの端子をパワー基板まで延ばす必要がある。
パワー基板は、通常、複数の端子間の接続に用いられたり、他の半導体モジュールと共用されたりする。このため、パワー基板に接続される端子は、比較的長く形成する必要があり、結果的にリードフレームの大型化や廃棄部分の増加を招くことになる。
また、特許文献2では、従来切除されていたガイドフレームの一部を有効利用し、廃棄部分を削減しているが、半導体モジュールの小型化が可能なものではない。むしろ、ガイドフレームを有効利用した配線部をモールド部の内部に収容しているため、モールド部の大型化が懸念される。
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、リードフレームの有効利用を図るとともに、モジュールサイズを小型化することが可能な半導体モジュールを提供することを目的とする。
本発明に係る半導体モジュールは、電気的に独立した複数の座面を有するリードフレームと、座面上に搭載された複数の半導体素子を含む複数の電子部品と、リードフレームおよび電子部品をモールド樹脂により一体化したモールド部とを備え、複数の電子部品により複数の回路が構成され、モールド部の外部へ延出されたリードフレームの一部により各回路と外部部品とを接続する複数の端子が構成される半導体モジュールであって、各回路における同電位の端子の少なくとも一組をモールド部の外部で接続する共通接続部を有し、共通接続部は、各回線の電源線、またはグランド線、またはその他の配線の共通配線であり、且つ該共通配線の端子である。
本発明に係る半導体モジュールは、各回路における同電位の端子をモールド部の外部で接続する共通接続部を備えたことにより、リードフレームの有効利用が図られるとともに、モジュールサイズを小型化することが可能である。
この発明の上記以外の目的、特徴、観点および効果は、図面を参照する以下のこの発明の詳細な説明から、さらに明らかになるであろう。
本発明の実施の形態1に係る半導体モジュールを用いたパワーステアリング装置の全体回路図である。 本発明の実施の形態1に係る半導体モジュールの半完成品を示す平面透視図である。 本発明の実施の形態2に係る半導体モジュールの半完成品を示す平面透視図である。 本発明の実施の形態3に係る半導体モジュールの半完成品を示す平面透視図である。 本発明の実施の形態3に係る半導体モジュールを示す斜視図である。 本発明の実施の形態4に係る半導体モジュールを用いたパワーステアリング装置の全体回路図である。 本発明の実施の形態4に係る半導体モジュールの半完成品を示す平面透視図である。 本発明の実施の形態5に係る半導体モジュールを示す斜視図である。 比較例である従来の半導体モジュールを示す斜視図である。
実施の形態1.
以下、本発明の実施の形態1に係る半導体モジュールについて、図面に基づいて説明する。図1は、本実施の形態1に係る半導体モジュールを用いたパワーステアリング装置の全体回路図、図2は、本実施の形態1に係る半導体モジュールの半完成品を透視した平面図である。なお、図2中、図1と同一または相当部分には同一符号を付している。
図1に示すように、パワーステアリング装置は、三相の永久磁石モータであるモータ100と制御ユニット200から構成され、これらは一体化されている。制御ユニット200は、モータ巻線に電力を供給するインバータ回路2と、インバータ回路2へ電源を供給する電源部と、CPU31およびその周辺回路を含む制御基板3を備えている。インバータ回路2は、本実施の形態1に係る半導体モジュール1として単一部品で構成される。
パワーステアリング装置の制御ユニット200について、図1を用いて説明する。電源部は、電源線を接続または遮断するリレー4、ノイズ抑制のためのコイル5、およびコンデンサ6、7から構成されている。電源部の電力は、蓄電装置であるバッテリ8から供給される。
インバータ回路2は、上アームのスイッチング素子21と下アームのスイッチング素子22を、モータ100の三相(U相、V相、W相)の巻線に対応してそれぞれ3組、計6個備えている。さらに、モータ100への電力供給を接続、遮断するリレーの役目をするスイッチング素子23が、各相にそれぞれ配置されている。
制御基板3のCPU31には、車速センサ9およびトルクセンサ10から信号が入力され、また、回転センサインターフェース33を介して回転センサ11から信号が入力される。さらに、電流モニタインターフェース34を介して電流モニタ(図示省略)から信号が入力される。
また、CPU31は、ハンドルアシスト量を演算し、プリドライバ32を介してインバータ回路2へ出力する。インバータ回路2の各スイッチング素子の端子であるターミナルは、プリドライバ32を介してCPU31と接続され、各スイッチング素子はCPU31により制御される。図1において、Gh、Gl、Gmはそれぞれ、スイッチング素子21u、22u、23wの制御信号用ターミナルを示している。
上下アームのスイッチング素子21、22の間には、電圧モニタ用ターミナルMmを3個有している。また、電流検出用のシャント抵抗24の上流には、モニタ用ターミナルShを有している。これらのターミナルは、例えば電流モニタインターフェース34を介してCPU31と接続される。また、各相巻線に対応するモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwは、モータ100と接続される。
次に、本実施の形態1に係る半導体モジュール1の構成について、図2を用いて説明する。銅または鉄を含む合金材料からなるリードフレーム25は、電気的に独立した複数の座面(以下、ダイパッド)を有している。ダイパッド上には、導電性接合材を介して複数の半導体素子およびその他の電子部品が搭載される。例えば、図2では、ダイパッド25a上にスイッチング素子21wが搭載されている。
ダイパッド上に搭載されるスイッチング素子21、22、23として、例えばFET(Field Effect Transistor)が用いられる。なお、図2において、リードフレーム25は複数のダイパッドおよびターミナルを有しており、また、複数の電子部品が存在するが、煩雑化を避けるため一部にのみ符号を付している。
リードフレーム25は、1枚の金属板材をプレス加工、エッチング加工、またはカット加工することにより製造され、それぞれの部位が互い重なることなく張り巡らされている。なお、プレス加工は量産性が高く、エッチング加工は納期が短く、カット加工は低コストであるという利点を有する。
リードフレーム25の上方を橋渡しするように配置されるビーム28a、28b、28c(総称してビーム28)は、銅または鉄系材料からなり、半導体素子間、リードフレーム間、または半導体素子とリードフレーム間を接続する。
また、外部部品と接続されるターミナル(Mv、Mu、Mw、Mm、Gh、Gm、Gl)は、図2において、下方向へ延出されている。これらのターミナルは、ワイヤボンド27によりリードフレーム25または半導体素子と接続される。
これらのリードフレーム25、スイッチング素子21、22、23およびその他の電子部品、ワイヤボンド27およびビーム28は、エポキシ系樹脂からなるモールド樹脂により封止され一体化される。図2において破線Aは、本実施の形態1における半導体モジュール1のモールド部の領域を示している。
破線Aで示す領域にモールド部を成型した後、図2中斜線で示す不要なリードフレーム25cをカットすることにより、半導体モジュール1が完成する。なお、エポキシ系樹脂からなるモールド樹脂で各部位を覆う方法の他に、モールド樹脂で形成した外枠の中をシリコン樹脂で埋める方法もあり、どちらを採用してもよい。
このように、半導体モジュール1は、複数の半導体素子およびその他の電子部品により構成される複数のサーキット回路をモールド部に内蔵している。また、リードフレーム25の一部はモールド部の外部へ延出され、各回路と外部部品を接続する複数のターミナルを構成している。
さらに、半導体モジュール1は、これら複数のターミナルのうち、各回路における同電位のターミナルの少なくとも一組をモールド部の外部で接続する共通接続部26を有している。共通接続部26は、各回線の電源線、またはグランド線、またはその他の配線の共通配線であり、且つ、その共通配線のターミナルである。なお、共通接続部26の効果をより大きくするためには、各回路における同電位の全てのターミナルを共通接続部26で接続することが望ましい。
図1に示すインバータ回路2において、どのターミナルを共通接続部26に接続するかは、種々の構成が考えられる。本実施の形態1では、シャント抵抗24の上流である、下アームのスイッチング素子22u、22v、22wのソースのターミナルを選定している。
共通接続部26は、図2に示すように、外枠のリードフレーム25bからなり、前述の加工方法によりリードフレーム25の一部として製造される。モールド部は、図2中、破線Aで示されるように、平面視において矩形に成型されており、共通接続部26は、モールド部の一つの辺に沿って配置される。モールド部が平面視において長方形に成型されている場合には、共通接続部26をモールド部の長辺に沿って配置することが望ましい。
また、本実施の形態1では、共通接続部26は、その他のターミナル(Mv、Mu、Mw、Mm、Gh、Gm、Gl)と異なる辺から延出されているが、同じ辺から延出しても良い。また、共通接続部26は、ダイパッドの半導体素子が搭載される面と直交する方向に曲げることもできる。その場合、半導体素子が搭載される面の側に曲げるか、半導体素子が搭載される面の反対側に曲げるかは、適宜決定すれば良い。
本実施の形態1における共通接続部26について、w相系統のスイッチング素子21w、22w、23wを例に挙げて説明する。図2に示すように、スイッチング素子21wのドレインには、ビーム28b、ダイパッド25aを介して、電源ターミナルVdから電源線が接続されている。
スイッチング素子21wのゲートは、ターミナルGhへワイヤボンドで接続され、ソースはスイッチング素子22wのドレインへビーム28aで接続されている。スイッチング素子22wのソースは、ビーム28cを介して外枠のリードフレーム25bすなわち共通接続部26へ接続されている。また、グランドターミナルGndも、シャント抵抗24およびビームを介して共通接続部26に接続されている。
このように、シャント抵抗24の上流の回路部は、各モータ相巻線に対応するインバータ回路からモールド部の外へ延出され、リードフレーム25bからなる共通接続部26で一体化されている。また、シャント抵抗24の下流の配線に接続されるターミナルは、モールド部の外部に櫛状に延出されている。
本実施の形態1の比較例として、従来の半導体モジュールのモールド部の領域を、図2中、一点鎖線Bで示している。従来の半導体モジュールは、破線Aで示す領域に加えて、一点鎖線Bに示す領域まで、すなわち、図2中下方向へ延出されているターミナル以外の全部位が、モールド部で覆われていた。
以上のように、本実施の形態1によれば、各回路における同電位のターミナルを接続する共通接続部26を、モールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1を小型化することが可能となる。共通接続部26は、従来の半導体モジュールにおいてモールド部の内部に配置されていたリードフレーム25の一部であるため、従来よりもモールド部が小型化され、モールド樹脂の量の低減および材料コストの低減が図られる。
さらに、共通接続部26は、従来と同様のリードフレーム25の加工方法によって形成することができるため、製造コストの上昇や作業工程の煩雑化を招くことなく、リードフレーム25の金属材料の有効利用が図られる。
また、共通接続部26を外枠のリードフレーム25bの一部から構成することにより、リードフレーム25に半導体素子を搭載し、ビーム28、ワイヤボンド27を接続した後、モールド成形する際のワークの位置決め、あるいは移動の保持部として利用することができる。さらに、共通接続部26はターミナルを兼ねているため、半導体モジュール1が完成し、装置に組み付ける際の電気的および機械的接続部として利用することができる。
また、モールド部が平面視において長方形に成型されている場合、共通接続部26をモールド部の長辺に沿って配置することにより、半導体モジュール1の剛性が向上し、反りを抑制する効果を奏する。さらに、共通接続部26は、他のターミナルと異なる辺から延出されているので、他のターミナルを外部部品と接続する際の妨げにならない。
さらに、本実施の形態1では、グランド線を共通接続部26に接続しモールド部の外部に配置しているため、事故等により共通接続部26が制御ユニット200の筐体とショートした際に、異常な電流が流れるのを防止することができる。また、共通接続部26を採用することにより、グランド線上の接続箇所を減らすことができるため、インピーダンスが低減されノイズが低減する。
実施の形態2.
図3は、本発明の実施の形態2に係る半導体モジュールの半完成状態を示す平面透視図である。なお、図3中、図1と同一または相当部分には同一符号を付している。本実施の形態2に係る半導体モジュール1Aは、図1に示すパワーステアリング装置の全体回路図におけるインバータ回路2を構成するものである。
本実施の形態2に係るパワーステアリング装置の回路構成については、上記実施の形態1と同様であるので説明を省略する。また、図3において、破線Aは、本実施の形態2における半導体モジュール1Aのモールド部の領域を示し、一点鎖線Bは、比較例である従来の半導体モジュールのモールド部の領域を示している。
本実施の形態2に係る半導体モジュール1Aは、図1の回路図における電源線および電源ターミナルVdを外枠のリードフレーム25bで接続した共通接続部26aを備えている。図3に示すように、スイッチング素子21uのドレインは、電源ターミナルVdおよび共通接続部26aに接続される。同様に、スイッチング素子21v、21wのドレインも、電源ターミナルVdおよび共通接続部26aに接続される。
モールド部の外部に配置された共通接続部26aは、電源線を一本化した共通配線であるとともに、電源ターミナルVdとして利用することができる。共通接続部26aは、平面視において矩形に成型されたモールド部の一辺に沿って配置される。また、共通接続部26aは、その他のターミナル(Mv、Mu、Mw、Mm、Gh、Gm、Gl)と異なる辺から延出される。
本実施の形態2によれば、スイッチング素子21u、21v、21wのドレインを電源線および電源ターミナルVdと接続する共通接続部26aをモールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1Aを小型化することが可能となり、上記実施の形態1と同様の効果が得られる。また、共通接続部26aを採用することにより、電源線上の接続箇所を減らすことができるため、インピーダンスが低減され損失が低減する。
さらに、共通接続部26aは、チップ部品であるスイッチング素子21u、21v、21wが接続されたターミナルをモールド部の外部で接続し、共通配線をなすように構成されているので、放熱性能が向上し、チップ部品からの発熱の均一化が図られる。
実施の形態3.
図4は、本発明の実施の形態3に係る半導体モジュールの半完成状態を示す平面透視図、図5は、本実施の形態3に係る半導体モジュールを示す斜視図である。なお、図4中、図1と同一または相当部分には同一符号を付している。本実施の形態3に係る半導体モジュール1Bは、図1に示すパワーステアリング装置の全体回路図におけるインバータ回路2を構成するものである。
本実施の形態3に係るパワーステアリング装置の回路構成については、上記実施の形態1と同様であるので説明を省略する。また、図4において、破線Aは、本実施の形態3における半導体モジュール1Bのモールド部の領域を示している。
本実施の形態3に係る半導体モジュール1Bの共通接続部26bは、上記実施の形態2と同様に、図1の回路図における電源線および電源ターミナルVdを外枠のリードフレーム25bで接続したものである。
ただし、本実施の形態3では、モータ100に接続されるモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwと電源ターミナルVdである共通接続部26bを、平面視において矩形に成型されたモールド部の同じ辺から延出したものである。
u相系統を例に挙げて説明すると、u相のスイッチング素子21u、22u、23uは、図4に示すように配置されている。スイッチング素子21uのドレインは、電源ターミナルVdおよび電源線である共通接続部26bに接続され、スイッチング素子23uのソースは、ビーム28dを介してモータ出力用ターミナルMuに接続される。
v相、w相のスイッチング素子も同様に配置され、図4中上方向にモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwが延出される。ただし、スイッチング素子21vのドレインは、ビーム28eを介して電源ターミナルVdおよび共通接続部26bに接続される。
モールド部の外部に延出された各ターミナルのうち、モータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwは比較的短く、電源ターミナルVdは比較的長い。さらに、電源ターミナルVdは、各相の先端部を共通接続部26bで接続されている。
このような状態で、図4中斜線で示す不要なリードフレーム25cをカットし、さらに図5に示すように、モータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwを図中下方へ曲げ、電源ターミナルVdである共通接続部26bを上方へ曲げている。これにより、モータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwと電源ターミナルVdの近接を防止している。
このように、モールド部の一つの辺から共通接続部26bと共通接続部26bに接続されない他のターミナル(図4ではモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mw)とが延出された場合、それらの少なくとも一方は、ダイパッドの半導体素子が搭載される面と直交する方向に曲げられる。
なお、図5に示す例では、共通接続部26bおよびモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwの両方を、ダイパッドの半導体素子が搭載される面と直交する方向に、それぞれ逆方向に曲げているが、いずれか一方のみを曲げるようにしても良い。
共通接続部26bおよびモータ出力用ターミナルMu、Mv、Mwのいずれか一方のみを曲げる場合、どちらを曲げるかは、適宜決定することができる。また、いずれか一方のみを曲げる場合、ダイパッドの半導体素子が搭載される面の側に曲げるか、半導体素子が搭載される面の反対側に曲げるかは、適宜決定することができる。
例えば、共通接続部26bをダイパッドの半導体素子が搭載される面の側へ曲げた場合、半導体モジュール1Bの放熱面をヒートシンクに搭載する際に、共通接続部26bがヒートシンクと干渉するのを防止することができる。
また、共通接続部26bをダイパッドの半導体素子が搭載される面の反対側に曲げた場合は、半導体モジュール1Bの上面方向のサイズを小さくすることができる。これにより、例えば半導体モジュール1Bに搭載された各スイッチング素子の制御信号用ターミナルGh、Gl、Gmをモジュール上面方向へ延出して制御基板3と接続する場合に、制御信号用ターミナルを短くすることができ、ノイズ耐性を向上させることができる。
さらに、共通接続部26bの形状は、図5に示す形状に限定されるものではなく、様々な変形が考えられる。例えば、半導体モジュール1Bを装置に装着する際、装置側の電源線との接続が容易なように、共通接続部26bの一端を端子状に形成しても良い。また、図1の回路図におけるコンデンサ7と接続するために、共通接続部26bの一端に切り欠きを設けても良い。これにより、位置決めおよび接続が容易となる。
本実施の形態3によれば、スイッチング素子21u、21v、21wのドレインを電源線のターミナルVdと接続した共通接続部26bをモールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1Bを小型化することが可能となり、上記実施の形態2と同様の効果が得られる。
実施の形態4.
図6は、本発明の実施の形態4に係る半導体モジュールを用いたパワーステアリング装置の全体回路図、図7は、本実施の形態4に係る半導体モジュールの半完成品を透視した平面図である。なお、図6中、図1と同一または相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。図6に示す制御ユニット200aに含まれるインバータ回路2aは、本実施の形態4に係る半導体モジュール1Cとして単一部品で構成される。
図6に示すように、本実施の形態4に係るパワーステアリング装置の回路構成は、インバータ回路2aにおいて電流検出用のシャント抵抗24u、24v、24wを、各相にそれぞれ配置したものである。それ以外の構成は、図1と同様であるので説明を省略する。
本実施の形態4におけるインバータ回路2aは、各相に流れる電流を単独に検出するため、モニタの構成が簡素化されるとともに、より正確な電流の検出が可能となる利点がある。ただし、本実施の形態4では、半導体モジュール1Cに3個のシャント抵抗24u、24v、24wを内蔵するため、部品点数が多くなり、そのための配線も考慮しなければならない。
本実施の形態4に係る半導体モジュール1Cは、図7に示すように、図6の回路図におけるシャント抵抗24u、24v、24wの下流の配線、すなわちグランド線を外枠のリードフレーム25bで接続した共通接続部26cを備えている。なお、図7において、破線Aは、本実施の形態4における半導体モジュール1Cのモールド部の領域を示している。
u相系統を例に挙げて説明すると、上アームのスイッチング素子21u、下アームのスイッチング素子22u、およびモータ用のスイッチング素子23uは、図7に示すように配置されている。下アームのスイッチング素子22uのソースは、ビーム28fを介してシャント抵抗24uに接続されている。
シャント抵抗24uの下流は、外枠のリードフレーム25bすなわち共通接続部26cに接続され、半導体モジュール1Cのモールド部の外部に配置される。v相、w相も同様に、シャント抵抗24v、24wの下流をリードフレーム25bまで伸ばし、各相のグランド線を共通接続部26cで接続している。共通接続部26cはグランドターミナルGndに接続されている。
さらに、半導体モジュール1Cは、図7に示すように、電源線を接続または遮断するリレー4を構成するスイッチング素子4a、4b(図6参照)を内蔵している。スイッチング素子4a、4bは、例えばFETで構成されるため、半導体モジュール1Cと一体化することが容易である。
また、共通接続部26cは、平面視において矩形に成型されているモールド部の長辺に沿って配置され、短辺側にはターミナル(Bt、Vd、Gnd)、および制御ライン12の計4本が延出されている。
本実施の形態3によれば、シャント抵抗24u、24v、24wの下流のグランド線を1本にまとめた共通配線である共通接続部26cをモールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1Cを小型化することが可能となり、上記実施の形態1と同様の効果が得られる。
実施の形態5.
上記実施の形態1から実施の形態4では、リードフレーム25の一部から構成される共通接続部について説明したが、本発明の実施の形態5では、リードフレームとは別の板状部材からなる共通接続部について説明する。
図8は、本実施の形態5に係る半導体モジュールを示す斜視図である。半導体モジュール1Dは、リードフレームからなるターミナル25d、25eを、リードフレームとは別の板状部材からなる共通接続部13と接続している。共通接続部13は、リードフレームからなる共通接続部と同様に、各回路における同電位の少なくとも一組のターミナルをモールド部の外部で接続するものである。
なお、図8では、二つのターミナル25d、25eを共通接続部13で接続しているが、共通接続部13で接続されるターミナルは二つ以上であっても良い。共通接続部13とターミナル25d、25eは、溶接、ロウ付け、またはかしめによって接続することができる。溶接、ロウ付けにより接続した後、かしめを行うことにより、接続部の強度をさらに向上させることができる。
共通接続部13は、図8に示すように、平面視において矩形に成型されたモールド部の異なる二辺から延出されたターミナルを接続することができる。このように、同電位のターミナルが異なる二辺から延出されている場合、共通接続部13は、リードフレームからなる共通接続部よりもインピーダンスを低減する効果が大きい。
本実施の形態5の参考例として、従来の半導体モジュールを図9に示す。従来の半導体モジュール1Eにおいて、ターミナル25fを外部部品と接続する際に、パワー配線基板14のような別部材を用いることがあった。パワー配線基板14は、例えば電源ターミナルVdとグランドターミナルGndの配線と共用されることもある。半導体モジュール1Eのターミナル25fをパワー配線基板14まで延ばす場合、ターミナル25fが長くなるという問題があった。
これに対し、本実施の形態5における共通接続部13は、半導体モジュール1Dで完結して同電位のターミナル25d、25eを接続しているため、図9に示すようなパワー配線基板14やバスバー等までターミナルを延ばす必要がない。従って、ターミナル25d、25eを比較的短くすることができ、半導体モジュール1Dの小型化が図られると共にインピーダンスを低減する効果が得られる。
また、共通接続部13に接続されるターミナル25d、25eは比較的短くて良いことから、もとになるリードフレームの小型化または廃棄部分の削減が可能となり、リードフレームの有効利用が図られる。なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
本発明は、リードフレーム上に複数のスイッチング素子が搭載された半導体モジュールとして、インバータ回路等に利用することができる。
本発明に係る半導体モジュールは、電気的に独立した複数の座面を有するリードフレームと、座面上に搭載された複数の半導体素子を含む複数の電子部品と、リードフレームおよび電子部品を一体化したモールド部とを備え、複数の電子部品により複数の回路が構成され、モールド部の外部へ延出されたリードフレームの一部により各回路と外部部品とを接続する複数の端子が構成される半導体モジュールであって、各回路における同電位の端子の少なくとも一組をモールド部の外部で接続する共通接続部を有し、共通接続部は、各回路の電源線、またはグランド線、またはその他の配線の共通配線であり、且つ該共通配線の端子である。
さらに、半導体モジュール1は、これら複数のターミナルのうち、各回路における同電位のターミナルの少なくとも一組をモールド部の外部で接続する共通接続部26を有している。共通接続部26は、各回路の電源線、またはグランド線、またはその他の配線の共通配線であり、且つ、その共通配線のターミナルである。なお、共通接続部26の効果をより大きくするためには、各回路における同電位の全てのターミナルを共通接続部26で接続することが望ましい。
本実施の形態によれば、シャント抵抗24u、24v、24wの下流のグランド線を1本にまとめた共通配線である共通接続部26cをモールド部の外部に配置することにより、半導体モジュール1Cを小型化することが可能となり、上記実施の形態1と同様の効果が得られる。

Claims (15)

  1. 電気的に独立した複数の座面を有するリードフレームと、前記座面上に搭載された複数の半導体素子を含む複数の電子部品と、前記リードフレームおよび前記電子部品をモールド樹脂により一体化したモールド部とを備え、前記複数の電子部品により複数の回路が構成され、前記モールド部の外部へ延出された前記リードフレームの一部により前記各回路と外部部品とを接続する複数の端子が構成される半導体モジュールであって、
    前記各回路における同電位の前記端子の少なくとも一組を前記モールド部の外部で接続する共通接続部を有し、前記共通接続部は、前記各回線の電源線、またはグランド線、またはその他の配線の共通配線であり、且つ該共通配線の端子であることを特徴とする半導体モジュール。
  2. 前記共通接続部は、前記モールド部の外部へ延出された前記リードフレームからなることを特徴とする請求項1記載の半導体モジュール。
  3. 前記共通接続部は、前記リードフレームの外枠の一部をなしていることを特徴とする請求項2記載の半導体モジュール。
  4. 前記モールド部は、平面視において矩形に成型されており、前記共通接続部は、前記モールド部の一つの辺に沿って配置されることを特徴とする請求項2記載の半導体モジュール。
  5. 前記モールド部は、平面視において長方形に成型されており、前記共通接続部は、前記モールド樹脂の長辺に沿って配置されることを特徴とする請求項4記載の半導体モジュール。
  6. 前記共通接続部は、前記座面の前記半導体素子が搭載される面と直交する方向に曲げられることを特徴とする請求項2記載の半導体モジュール。
  7. 前記共通接続部は、前記座面の前記半導体素子が搭載される面の側に曲げられることを特徴とする請求項6記載の半導体モジュール。
  8. 前記共通接続部は、前記座面の前記半導体素子が搭載される面の反対側に曲げられることを特徴とする請求項6記載の半導体モジュール。
  9. 前記モールド部は、平面視において矩形に成型されており、前記モールド部の一つの辺の側から、前記共通接続部と前記共通接続部に接続されない前記端子とが延出された場合、それらの少なくとも一方は、前記座面の前記半導体素子が搭載される面と直交する方向に曲げられることを特徴とする請求項2記載の半導体モジュール。
  10. 前記共通接続部は、前記リードフレームとは別の板状部材からなることを特徴とする請求項1記載の半導体モジュール。
  11. 前記モールド部は、平面視において矩形に成型されており、前記共通接続部は、前記モールド部の異なる二辺から延出された少なくとも一組の前記端子を接続することを特徴とする請求項10記載の半導体モジュール。
  12. 前記共通接続部は、前記端子と溶接によって接続されることを特徴とする請求項10記載の半導体モジュール。
  13. 前記共通接続部は、前記端子とロウ付けによって接続されることを特徴とする請求項10記載の半導体モジュール。
  14. 前記共通接続部は、前記端子とかしめによって接続されることを特徴とする請求項10記載の半導体モジュール。
  15. 前記共通接続部は、前記電子部品が接続された前記端子が前記共通配線をなすように構成されたことを特徴とする請求項1記載の半導体モジュール。
JP2015546166A 2013-11-05 2013-11-05 半導体モジュール Active JP6026009B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2013/079831 WO2015068196A1 (ja) 2013-11-05 2013-11-05 半導体モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP6026009B2 JP6026009B2 (ja) 2016-11-16
JPWO2015068196A1 true JPWO2015068196A1 (ja) 2017-03-09

Family

ID=53041004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015546166A Active JP6026009B2 (ja) 2013-11-05 2013-11-05 半導体モジュール

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9640470B2 (ja)
EP (2) EP3067925B1 (ja)
JP (1) JP6026009B2 (ja)
CN (1) CN105706233B (ja)
WO (1) WO2015068196A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017045875A (ja) * 2015-08-27 2017-03-02 日本精工株式会社 半導体モジュールおよびその製造方法
CN108140631B (zh) * 2015-09-28 2021-02-05 三菱电机株式会社 半导体装置
JP6599564B1 (ja) * 2018-01-26 2019-10-30 新電元工業株式会社 電子モジュール
CN110859055B (zh) * 2018-06-08 2022-08-02 新电元工业株式会社 半导体模块
WO2020026397A1 (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 三菱電機株式会社 半導体モジュール
CN110010577A (zh) * 2019-04-08 2019-07-12 深圳市鹏源电子有限公司 直插式功率器件、半导体组件、轮毂电机驱动器或汽车驱动器和新能源汽车
JP7137516B2 (ja) * 2019-04-12 2022-09-14 株式会社日立製作所 半導体装置および電力変換装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6457742A (en) * 1987-08-28 1989-03-06 Nec Corp Hybrid integrated circuit device
JPH03190269A (ja) * 1989-12-20 1991-08-20 Hitachi Ltd 半導体装置
US6703703B2 (en) * 2000-01-12 2004-03-09 International Rectifier Corporation Low cost power semiconductor module without substrate
JP2002359349A (ja) * 2001-03-30 2002-12-13 Yazaki Corp 車載用電装ユニット、半導体リレーモジュール及びそれに用いられるリードフレーム
KR100442847B1 (ko) * 2001-09-17 2004-08-02 페어차일드코리아반도체 주식회사 3차원 구조를 갖는 전력 반도체 모듈 및 그 제조방법
JP4110513B2 (ja) * 2002-05-01 2008-07-02 富士電機ホールディングス株式会社 半導体パワーモジュールの製造方法
JP2004273749A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd 半導体パワーモジュール
JP4459883B2 (ja) * 2005-04-28 2010-04-28 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2009182230A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Nippon Inter Electronics Corp 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
JP5051183B2 (ja) * 2009-06-11 2012-10-17 三菱電機株式会社 パワーモジュール
JP5201171B2 (ja) * 2010-05-21 2013-06-05 株式会社デンソー 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置
JP5067679B2 (ja) 2010-05-21 2012-11-07 株式会社デンソー 半導体モジュール、および、それを用いた駆動装置
JP5793995B2 (ja) 2011-06-28 2015-10-14 トヨタ自動車株式会社 リードフレーム、及び、パワーモジュール
JP5908294B2 (ja) * 2012-02-03 2016-04-26 株式会社東芝 半導体装置およびその製造方法
US9576932B2 (en) * 2013-03-09 2017-02-21 Adventive Ipbank Universal surface-mount semiconductor package
US8981539B2 (en) * 2013-06-10 2015-03-17 Alpha & Omega Semiconductor, Inc. Packaged power semiconductor with interconnection of dies and metal clips on lead frame

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015068196A1 (ja) 2015-05-14
EP3067925A1 (en) 2016-09-14
EP3726575A1 (en) 2020-10-21
US9640470B2 (en) 2017-05-02
CN105706233B (zh) 2018-11-09
EP3067925A4 (en) 2017-06-28
CN105706233A (zh) 2016-06-22
US20160148862A1 (en) 2016-05-26
EP3067925B1 (en) 2020-12-23
JP6026009B2 (ja) 2016-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6026009B2 (ja) 半導体モジュール
TWI769202B (zh) 半導體裝置
KR102378192B1 (ko) 반도체 장치
US10468338B2 (en) Semiconductor device
JP4829690B2 (ja) 半導体装置
WO2015068565A1 (ja) 半導体装置
JP2018133520A (ja) 電子装置
JP4820233B2 (ja) 半導体装置
JP6192809B2 (ja) 半導体モジュールおよび半導体モジュールを搭載した駆動装置
JP5381251B2 (ja) 半導体装置
JP6504585B1 (ja) 半導体モジュール
JP7395010B2 (ja) 半導体モジュール
JP6389515B2 (ja) 半導体モジュール
US20230134000A1 (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP2017045875A (ja) 半導体モジュールおよびその製造方法
JP2017038053A (ja) 半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両
JPWO2017029745A1 (ja) 電力用半導体装置
JP2023069756A (ja) 半導体装置
JP2018037514A (ja) 半導体モジュールと、これを備えた駆動装置、電動パワーステアリング装置および車両

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160913

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161011

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6026009

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250