JP2004273749A - 半導体パワーモジュール - Google Patents

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真治 内田
Kenji Okamoto
健次 岡本
Yasuhiro Okuma
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Abstract

【課題】小形で、低コスト、特性のよい半導体パワーモジュールを提供する。
【解決手段】半導体パワーモジュールにおいて、モジュール内部で上アーム部分1と下アーム部分2の半導体素子T1〜T6、D1〜D6を形成する回路導体(リードフレーム)である3−1と3−2〜3−4とを並列に配置する。上アーム部分1と下アーム部分2の回路導体3−1と3−2〜3−4の配線の間に、N入力端子と電気的な接続がなされているNラインを構成する回路導体3−5を配置する。これにより、モジュールの小形化を図れると共に、ワイヤーボンディング工程の簡略化、ワイヤーの工程不良の改善ができ、更に配線抵抗や配線インダクタンスによる悪影響から電気特性を改善できる。また、制御用端子と電気的接続がなされているフレーム3−6を、対向する素子の上部電極に対して同一方向の延長上に配列することで、ワイヤー配線を短距離で架けることができる。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体スイッチング素子を用いて、整流回路、インバータ回路により電力制御を行うインバータや電源装置に用いられる半導体パワーモジュールに関し、特にその部品配置の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3はこの種の電力制御を行う三相インバータの主回路の代表的な回路構成を示す回路図であり、図4、図5は、特許文献1に示されているもので、図3に対応する主回路を含む従来の半導体パワーモジュールの部品配置を示す平面図である。
【0003】
図3において、それぞれ並列接続されたT1〜T3は、絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ(IGBT:Insulated Gate Bipolar Transistor)からなるスイッチング素子である。更に、スイッチング素子T1〜T3の素子にそれぞれ逆並列にD1〜D3のフライホイールダイオード(FWD: Fly Wheel Diode)が接続されている。これら、スイッチング素子T1〜T3およびダイオードD1〜D3により上アーム1が構成されている。
【0004】
スイッチング素子T1〜T3にそれぞれ直列接続されたT4〜T6は、IGBTからなるスイッチング素子である。更に、スイッチング素子T4〜T6にそれぞれ逆並列にD4〜D6のFWDが接続されている。これら、スイッチング素子T4〜T6およびダイオードD4〜D6により下アーム2が構成されている。
【0005】
外部の制御装置(図示しない)からの制御信号を、制御端子T1G〜T6G、およびT1E〜T6Eから入力し、これら制御信号の入力によりスイッチング素子T1〜T6が、ON/OFFすることにより、電力入力端子P,Nから入力された主電流がスイッチング素子T1とスイッチング素子T4、スイッチング素子T2とスイッチング素子T5、スイッチング素子T3とスイッチング素子T6の接続点に接続されている出力端子U,V,Wを介して制御対象の三相モータ(図示しない)に任意の周波数の交流出力を供給する。
【0006】
このように、主電力は、外部電源(図示しない)から、入力端子P、Nを通じて、パワーモジュール内へ入力し、パワーモジュール内のスイッチング素子T4〜T6、ダイオードD4〜D6により変換され、変換された任意の交流が出力端子U,V,Wへ出力される。
【0007】
図4、図5はそれぞれ図3の三相インバータの主回路部分と、その他に制御半導体素子(IC1〜IC4)部分を含むパワーモジュールの従来の部品配置の代表例を示す平面図である。ここで、IC1〜IC3はそれぞれスイッチング素子T1〜T3を駆動制御するハイサイドの制御ICからなる第1の制御半導体素子、IC4はスイッチングT4〜T6を駆動制御するローサイドの制御ICからなる第2の制御半導体素子である。図4は、対向する2側面から端子が出ているデュアル・イン・ライン・パッケージ(DIP: Dual In−line Package)であり、図5は、図4の端子を1側面にまとめたシングル・イン・ライン・パッケージ(SIL: Single In−Line package)のものである。
【0008】
図4、図5において、10、10Aは絶縁金属基板であり、金属板(図示しない)と金属板の一主面上に設けられた絶縁層(図示しない)で構成され、絶縁層上には導体領域を形成するリードフレーム13、13Aが固着されている。このリードフレーム13、13Aは、スイッチング素子T1〜T3およびフライホイールダイオードD1〜D3が載置されて半田付けされた第1の導体領域13a、13Aaと、スイッチング素子T4〜T6とスイッチング素子T4〜T6のそれぞれと対を成すフライホイールダイオードD4〜D6とがそれぞれ載置されて半田付けされた第2の導体領域13b、13Abと、スイッチング素子T1〜T6の第2の電源端子領域13c、13Acと、第1制御半導体素子IC1〜IC3が載置されて半田付けされた第3の導体領域13d、13Adと、第2制御半導体素子IC4が載置されて半田付けされた第4の導体領域13e、13Aeと、第1制御半導体素子IC1〜IC3の第1の制御端子領域13f、13Afと、第1制御半導体素子IC1〜IC3の正側の電源端子領域13g、13Agと、第1制御半導体素子IC1〜IC3の負側の電源端子領域13h、13Ahと、第2制御半導体素子IC4の第2の制御端子領域13i、13Aiやその他の端子領域と、スイッチング素子T1〜T6と第1制御半導体素子IC1〜IC3や第2制御半導体素子IC4との中継導体領域13j、13Ajとを有している。
【0009】
図4では、スイッチング素子T1〜T6の第1の電源端子領域を第1の導体領域13aが兼ね、出力端子領域を第2の導体領域13bが兼ね、それぞれ一体に形成されている。そして、外部と接続を要する各端子領域は、その一端部が絶縁金属基板10の図面左右の辺に並列に配置され、絶縁金属基板10の端縁から突出して、図面左側の一辺に電力用の外部リード端子列P,U,V,W、Nを、また右側の一辺に制御用の外部リード端子列UP,VP,WP,UN,WN、VUFS〜VWFS、VUFB〜VWFBを形成している。VUFS〜VWFSは第1制御半導体素子IC1〜IC3の負側の電源電極端子、VUFB〜VWFBはその正側の電源電極端子、UP,VP,WP,UN,WNは外部のコントラーからそれぞれ制御信号が入力される制御端子である。図5では、それら端子を図の右側の側面にまとめている。
【0010】
図4、図5のいずれにおいも、主回路部分のスイッチング素子T1〜T6とダイオード素子D1〜D6は、1列に配置されている。
【0011】
図3の回路パターンを形成するために、図4、図5に示すそれぞれの素子は外部端子まで電気的に接続されている回路配線に裏面電極と電気的な接続を取りながら搭載されている。また、素子の上面電極からは、アルミワイヤーなど立体的な構造の導体線で、回路配線へ電気的に接続されている。それぞれの回路配線は、パワーモジュールの外部端子まで繋がっている。
【0012】
【特許文献1】
特開2000−196009号公報 図1、図5、図6
【0013】
【特許文献2】
特開平07−226480号公報(特許第3212791号) 図1、図2
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
従来のパワーモジュールでは、図4、図5に示すように、主回路部分のスイッチング素子T1〜T6とダイオード素子D1〜D6は、1列に配置されていた。そのため、回路配線が複雑で、大電流の流れる回路や高電圧がかかる回路においては、電流密度や絶縁距離から、回路配線を太くしたり、配線間隔を大きく取ったりする必要があり、モジュールが大型になってしまうという点があった。また、回路配線がリードフレームで形成されていた場合、複雑な形状では、複雑な加工または高価な打ち抜き金型が必要となっていた。更に、取扱いおよびモールド時の変形に対する管理が厳しく、コストアップの要因となっていた。
【0015】
また、従来では、立体的な構造の導体線の方向が揃っていないために、トランスファー成形などで周囲を樹脂成形する場合に、成形樹脂のフロー方向と導体線方向を揃えることが困難で、導体線の断線や素子との接合部の破壊などが発生しやすい。特に、導体線をアルミワイヤーで形成した場合は、フローした成形樹脂によりワイヤーが倒され、隣のワイヤーとの接触、素子や回路配線の導体部への接触により不良が発生しやすい。
【0016】
また、従来では、立体的な構造の導体線が複雑なので、導体線をリードフレームや加工端子で形成するのが困難である。導体線をアルミワイヤーで形成する場合は、ワイヤー方向が揃っていないため、ワイヤーボンディング時のワイヤーの捻れから不良となる可能性がある。また、ワイヤーボンディング装置のヘッドの回転時間によりタクトタイムが長くなってしまう。
【0017】
更に、従来では、回路配線が長くなり、モジュールの内部における導体抵抗、インダクタンスが大きくなり、パワーモジュール特性に悪影響を及ぼしていた。
【0018】
本発明の目的は、上記の様な課題を解決し、小形で、低コスト、特性のよい半導体パワーモジュールを提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第1の形態は、整流回路、インバータ回路により電力制御を行う半導体素子と回路配線を備えた半導体パワーモジュールにおいて、モジュール内部で上アーム部分の半導体素子を形成する回路導体と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体とが互いに並列に配置されていることを特徴とする。
【0020】
また、本発明の第2の形態は、整流回路、インバータ回路により電力制御を行う半導体素子と回路配線を備えた半導体パワーモジュールにおいて、モジュール内部で上アーム部分の半導体素子を形成する回路導体と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体との間に、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成する回路導体が配置されていることを特徴とする。
【0021】
ここで、好ましくは、前記回路導体の中で制御用の端子と電気的な接続がなされている回路導体が、前記半導体素子の上部電極に対して同一方向の延長上に配列されている。
【0022】
また、好ましくは、前記インバータ回路が三相インバータ回路または単相インバータ回路である。
【0023】
また、好ましくは、前記回路導体からの端子が、半導体パワーモジュールの1側面にまとめて配置されている。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態のパワーモジュールの部品の配置構成を示す平面図である。本発明の第1の実施形態のパワーモジュールの回路構成は、前述の図3の従来例と同様なので、その説明は省略する。
【0025】
以下、図1を参照して、本発明の部品構成例および部品配置例について説明する。
[全体の部品構成]
図3で既述したように、図1において、1は上アーム、2は下アーム、T1〜T6は絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタを用いたスイッチング素子、D1〜D6はフライホイールダイオード、T1G〜T6G、T1E〜T6Eは制御端子、P,Nは入力端子、U,V,Wは出力端子である。また、図3に示すように、制御端子T1G〜T6Gは対応するスイッチング素子T1〜T6のゲート電極に接続し、T1E〜T6Eは対応するスイッチング素子T1〜T6のエミッタ電極に接続する。
【0026】
図1に示す回路導体(回路配線)であるリードフレーム3は、素子搭載用の大きな平面部を有するフレーム3−1、3−2、3−3、3−4と、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成するフレーム3−5と、制御端子と電気的な接続がなされているフレーム3−6とからなる。また、フレーム3−1は、入力端子の1つであるP端子と電気的な接続がなされているPラインを構成し、フレーム3−2、3−3、3−4は、それぞれ出力端子U、V、Wと電気的な接続がなされているUライン、Vライン、Wラインを構成している。
【0027】
スイッチング素子であるIGBT(絶縁ゲート・バイポーラ・トランジスタ)素子T1〜T3およびFWD(フライホイールダイオード)素子D1〜D3は、半田付けによりフレーム3−1の所定位置に搭載され、上アーム1が構成されている。IGBT素子T4、FWD素子D4はフレーム3−2、IGBT素子T5、FWD素子5はフレーム3−3、IGBT素子T6、FWD素子D6はフレーム3−5の所定位置にそれぞれ搭載され、下アーム2が構成されている。
【0028】
[リードフレームの並列配置]
上アーム1を構成するフレーム3−1と、下アーム2を構成するフレーム3−2、3−3、3−4は、図1に示すように、並列に配置されている。また、上アーム1を構成するフレーム3−1と、下アーム2を構成するフレーム3−2、3−3、3−4の間に、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成するフレーム3−5が配置されている。
【0029】
更に、制御用の端子T1G〜T6G、T1E〜T6Eと電気的な接続がなされているフレーム3−6が、対向する各素子T1〜T6、D1〜D6の上部電極に対して同一方向の延長上に配列されている。
【0030】
上記各素子の表面電極からリードフレーム3−1〜3−6の所定位置に、ワイヤーボンディング4によりアルミワイヤーがボンディングされて電気的な接続が行われている。上アーム1のIGBT素子T1およびFWD素子D1の表面電極から、下アーム2のフレーム3−2へワイヤーがボンディングされる。同様に、上アーム1のIGBT素子T2およびFWD素子D2の表面電極から下アーム2のフレーム3−2へ、上アーム1のIGBT素子T3およびFWD素子D3の表面電極から下アーム2のフレーム3−3へワイヤーがボンディングされる。
【0031】
この時、上アーム1を構成する単一のフレーム3−1と、下アーム2を構成する複数のフレーム3−2、3−3、3−4とを並列に配置することで、上アーム1の素子T1〜T3、D1〜D3の直下に下アーム2のフレーム3−2、3−3、3−4を置くことができ、複雑なフレーム形状にすることなく、上アーム1の素子T1〜T3、D1〜D3から下アーム2のフレーム3−2、3−3、3−4へのワイヤー配線を短距離で、かつ一方向に揃えて架けることができる。
【0032】
これに対し、例えば、従来例の図4や図5に示したように、上アーム1を構成するフレームと、下アーム2を構成するフレームとが並列に配置されていないと、フレーム3−2、3−3、3−4に相当する配線をT1素子、T2素子、T3素子の近くまで這い回してくる必要がある。また、その場合は、絶縁距離や電流容量から、配線間隔が大きく必要であったり、太い配線が必要であったりするなど、配線の引き回しが困難な場合は、ワイヤーを遠くのフレームまでかける必要があり、ワイヤーが長く、方向が揃っていなくなる。
【0033】
ここで、T1〜T6のスイッチング素子は、IGBT素子に限るものでなく、例えばMOS−FETでもよい。また、上記のワイヤー配線は、立体配線できるものであればよく、例えばリードフレーム、ジャンパーフレームでもよい。
【0034】
[Nライン構成用リードフレーム3−5]
ワイヤーボンディング4は、下アーム2の各素子T4〜T6、D4〜D6から、Nラインにかけても配線されており、下アーム2のIGBT素子T4およびFWD素子D4の表面電極から、Nラインのフレーム3−5へワイヤーボンディングされる。同様に、下アーム2のIGBT素子T5およびFWD素子D5の表面電極から、下アーム2のIGBT素子T6およびFWD素子D6の表面電極からNラインのフレーム3−5へワイヤーボンディングされる。
【0035】
この時、上アーム1を構成するフレーム3−1と、下アーム2を構成するフレーム3−2、3−3、3−4との間に、Nラインを構成するフレーム3−5を配置することで、複雑なフレーム形状にすることなく、下アーム2の素子T4〜T6、D4〜D6からNラインへのワイヤー配線を短距離で、一方向に架けることができる。
【0036】
これに対し、例えば、従来例の図4や図5に示したように、上アーム1を構成するフレームと、下アーム2を構成するフレーム間に、Nラインを構成するフレームが配置されていないと、Nラインを構成するフレームを素子T4〜T6と素子D4〜D6の近くまで引き伸ばす必要があり、U、V、W端子を構成するフレームはNラインを構成するフレームを避けるために、別の部分に這い回す必要がある。また、配線の引き回しが困難な場合は、ワイヤーを遠くのフレームまでかける必要があり、ワイヤーが長く、方向が揃っていなくなる。
【0037】
[制御端子用リードフレーム3−6]
ワイヤーボンディング4は、各IGBT素子T1〜T6の表面電極から、制御端子のT1G〜T6GとT1E〜T6Eにかけても配線され、IGBT素子T1のゲート電極からT1G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T1のエミッタ電極からT1E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされる。同様に、IGBT素子T2のゲート電極からT2G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T2のエミッタ電極からT2E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされ、IGBT素子T3のゲート電極からT3G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T3のエミッタ電極からT3E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされ、IGBT素子T4のゲート電極からT4G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T4のエミッタ電極からT4E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされ、IGBT素子T5のゲート電極からT5G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T5のエミッタ電極からT5E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされ、IGBT素子T6のゲート電極からT6G端子を構成するフレームへ、IGBT素子T6のエミッタ電極からT6E端子を構成するフレームへワイヤーボンディングされる。
【0038】
この時、制御用の端子T1G〜T6GとT1E〜T6Eと電気的な接続がなされているフレーム3−6が、対向する各IGBT素子T1〜T6の上部電極に対して同一方向の延長上に配列されていることで、複雑なフレーム形状にすることなく、ワイヤー配線を短距離で、一方向に架けることができる。
【0039】
[製造工程]
次に、図1の部品構成および部品配置の半導体パワーモジュールの基本的な製造工程の具体例を説明する。
【0040】
先ず、最初のステップ1で、所定形状に厚さ0.8mmの銅製の板をプレス装置を用いて金型で打ち抜いて所定形状のリードフレーム3(3−1〜3−6)を作成する。その際、バラバラにならないように図示されていない部分に樹脂成形後に切り落とす共通切断片を設けておく。
【0041】
次のステップ2で、樹脂成形後に切り落とす共通切断片を付けたままのリードフレーム3上の所定位置に、6.5mm×5.0mmのIGBT素子T1〜T6および3.0mm×5.0mmのFWD素子D1〜D6を、半田ダイボンダー装置を用いて順次半田付けする。
【0042】
続いて、ステップ3で、回路配線通りの電気的接続を行うために、各素子T1〜T6、D1〜D6の表面電極からリードフレーム3−1〜3−6に対して、ワイヤーボンディング装置を用いて順次φ0.25mmのアルミワイヤー4を架ける。この時、図1の右上のFWD素子D3の表面電極から下向きにワイヤー4を架け始め、フレーム3−4へ架ける。次に、同一のフレーム3−4内で若干左に移動してフレーム3−4からFWD素子D3へワイヤー4を架ける。このようにして、順次、右側から左側に一筆書きの要領でワイヤー接続することが可能となり、接続作業の簡略化を図ることができる。
【0043】
次のステップ4で、以上の工程を経たワークのモールド成型を行う。トランスファー成形機を用いて、175℃の金型にワークをセッティングし、金型を閉じる。次に、樹脂ゲートからプレヒートした粘土状の成形用樹脂を2.5tonの圧力で注入する。そして、175℃の金型中で120秒キュアさせ、金型からワークを取り出す。こうして、図1の符号20で示す一点鎖線部分の内側部分を成形樹脂でモールドする。
【0044】
その後、ステップ5で、端子加工を行う。すなわち、モールドされていないリードフレームの不要部分、すなわち図示されていない部分の共通切断片を、金型を用いてプレスで切り落とす。ここで、モールドされていない部分が端子となる。更に、紙面裏向きにムカデのような形状にそれら端子を金型を用いてプレスで曲げる。
【0045】
本発明の別の実施形態である後述の図2のSILタイプのモジュールも、上記のステップ4までは同様の手順で作製する。しかし、図2の場合は、ステップ5で、共通切断片を、金型を用いてプレスで切り落とした後、特に端子を金型を用いてプレスで曲げる必要がない。
【0046】
以上説明した、図1および図2の部品構成および部品配置を用いた半導体パワーモジュールの製造方法における利点についてまとめると次のようになる。
【0047】
a. 利点1:レイアウトの簡略化によりモジュールの小型化を図ることができる。すなわち、リードフレームやワイヤーを大きく這いまわす必要がなく、単純な形状の配線にすることができ、リードフレームとワイヤーを密に配置することができ、半導体モジュールの小型化を図ることができる。特に、相間の電圧が600Vなど高いものでは、リードフレーム配線間の絶縁距離を取る必要があり、また、電流が10Aなど大きいものでは、太いリードフレーム配線が必要になったり、ワイヤー線径の太いものおよびワイヤーの本数を増やす必要になったりするため、従来の複雑な形状の配線では大型になってしまう。
【0048】
b. 利点2:レイアウトの簡略化によりワイヤーボンディング工程の簡略化を図ることができる。すなわち、ワイヤー4を一方向に配置することができ、一筆書きの要領でワイヤーボンディングヘッドの無駄な移動時間を低減させることができ、ワイヤーボンディング作業の速度を向上させることができる。
【0049】
c. 利点3:ワイヤー方向の統一化により、ワイヤーの工程不良を改善することができる。すなわち、ワイヤー4を一方向に配置することができ、一定間隔を持って平行に配列されていることから、ワイヤー配線ミスや混線によるショートを発生する割合を少なくすることができる。更に、トランスファー成形時の成形樹脂の注入方向と容易に揃えることができ、注入樹脂によるワイヤーの倒れ込みをなくすことができ、ワイヤーの切断、素子やフレームからの剥離、隣のワイヤーとの接触、必要外の素子やフレームとの接触による不良をなくすことができる。
【0050】
d. 利点4:主電流部分のワイヤー長さの短縮により電気特性を改善できる。すなわち、リードフレームに比べ主電流が比較的細いワイヤーに流れた時に、ワイヤー長に応じて、電気抵抗も生じ、配線ロスを発生させ、モジュールの電気特性の悪化原因となる。また、ワイヤー長に応じて、配線インダクタンスが生じる。配線インダクタンスは、電圧の跳ね上がりなどのノイズを発生させ、モジュールの電気特性の悪化原因となる。これに対し、本発明による図1、図2に示すような回路配線では、主電流が流れるワイヤーを短くでき、これらの電気特性の悪化を少なくすることができる。
【0051】
(第2の実施形態)
上述の本発明の第1の実施形態では、図1を用いて説明したようにモジュールの対向する2側面から端子が出ているDIPタイプのモジュールについての部品構成例および部品配置例について説明した。しかし、本発明は、この配置構成だけでなく、図2に示すように、端子をモジュールの1側面にまとめたSILタイプのものでも、同様の部品構成および部品配置をすることが可能である。
【0052】
(他の実施形態)
本発明は、上述した本発明の実施形態に限定されるものではなく、これら実施形態は本発明の好適な適用例を示したものであり、特許請求の範囲の各請求項に記載の範囲内であれば、上記実施形態の数値や形状の変更、代替物への置換等は全て本発明の実施形態に含まれる。例えば、上述した本発明の実施形態では、図1、図2を用いて3相インバータ回路を含む半導体パワーモジュールの部品の配置構成を説明したが、本発明は、単相インバータ回路を含む半導体パワーモジュールに対しても同様に適用できることは明白である。
【0053】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、モジュール内部で上アーム部分と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体を並列に配置することで、上アームの素子から下アームのフレームに架けるワイヤー方向を統一化することができ、更に、短縮化することができる。これにより、本発明によれば、ワイヤーボンディング工程の簡略化を図ることができると同時に、ワイヤーの工程不良を改善することができ、配線抵抗や配線インダクタンスによる悪影響から電気特性を改善できる。
【0054】
また、本発明によれば、モジュール内部で上アーム部分と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体の配線の間に、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成する回路導体が配置することで、リードフレームやワイヤーを大きく這いまわす必要がなく、単純な形状の配線にすることができ、モジュールの小型化を図ることができる。更に、その下アームの素子からNラインを構成する回路導体に架けるワイヤー方向を統一化することができ、短縮化することができるので、ワイヤーボンディング工程の簡略化を図ることができると同時に、ワイヤー工程不良を改善することができ、配線抵抗や配線インダクタンスによる悪影響から電気特性を改善できる。
【0055】
また、本発明によれば、制御用の端子と電気的な接続がなされている回路導体が、素子の上部電極に対して同一方向の延長上に配列されているため、リードフレームやワイヤーを大きく這いまわす必要がなく、単純な形状の配線にすることができ、モジュールの小型化を図ることができる。更に、各スイッチング素子から制御用の端子と電気的な接続がなされている回路導体に架けるワイヤー方向を統一化することができ、短縮化することができるので、ワイヤーボンディング工程の簡略化を図ることができると同時に、ワイヤー取り付け工程での工程不良を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態におけるDIPタイプのモジュール用部品の配置構成を示す平面図である。
【図2】本発明の他の実施形態におけるSILタイプのモジュール用部品の配置構成を示す平面図である。
【図3】一般的なパワーモジュールにおける3相インバータ回路の回路構成を示す回路図である。
【図4】従来のパワーモジュールのDIPタイプのモジュール用部品の配置構成を示す平面図である。
【図5】従来のパワーモジュールの部品配置を示すSILタイプのモジュール用部品の配置構成を示す平面図である。
【符号の説明】
1 上アーム
2 下アーム
3−1〜3−6 リードフレーム
4 ワイヤー
20 成形樹脂でモールドする範囲
T1〜T6 スイッチング素子
D1〜D6 ダイオード
IC1〜IC4 制御IC

Claims (6)

  1. 整流回路、インバータ回路により電力制御を行う半導体素子と回路配線を備えた半導体パワーモジュールにおいて、
    モジュール内部で上アーム部分の半導体素子を形成する回路導体と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体とが互いに並列に配置されていることを特徴とする半導体パワーモジュール。
  2. 前記モジュール内部で前記上アーム部分の半導体素子を形成する前記回路導体と前記下アーム部分の半導体素子を形成する前記回路導体との間に、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成する回路導体が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パワーモジュール。
  3. 整流回路、インバータ回路により電力制御を行う半導体素子と回路配線を備えた半導体パワーモジュールにおいて、
    モジュール内部で上アーム部分の半導体素子を形成する回路導体と下アーム部分の半導体素子を形成する回路導体との間に、入力端子の1つであるN端子と電気的な接続がなされているNラインを構成する回路導体が配置されていることを特徴とする半導体パワーモジュール。
  4. 前記回路導体の中で制御用の端子と電気的な接続がなされている回路導体が、前記半導体素子の上部電極に対して同一方向の延長上に配列されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体パワーモジュール。
  5. 前記インバータ回路が三相インバータ回路または単相インバータ回路であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体パワーモジュール。
  6. 前記回路導体からの端子が、半導体パワーモジュールの1側面にまとめて配置されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体パワーモジュール。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7692285B2 (en) 2005-06-30 2010-04-06 Renesas Technology Corp. Semiconductor device
JP2012069764A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 On Semiconductor Trading Ltd 回路装置およびその製造方法
JP2012099842A (ja) * 2011-12-29 2012-05-24 Mitsubishi Electric Corp 半導体モジュール
WO2014002625A1 (ja) * 2012-06-28 2014-01-03 住友電気工業株式会社 半導体装置
WO2014041722A1 (ja) * 2012-09-12 2014-03-20 カルソニックカンセイ株式会社 半導体装置
WO2015068196A1 (ja) * 2013-11-05 2015-05-14 三菱電機株式会社 半導体モジュール
WO2015104914A1 (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体装置並びにそれを用いた電力変換装置
US9116532B2 (en) 2012-08-03 2015-08-25 Mitsubishi Electric Corporation Power semiconductor device module
US9325257B2 (en) 2012-06-01 2016-04-26 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Power semiconductor device to reduce voltage variation between terminals
JP6502576B1 (ja) * 2017-10-10 2019-04-17 新電元工業株式会社 半導体装置、及び、電力変換装置
CN109729741A (zh) * 2016-09-12 2019-05-07 日立汽车系统株式会社 半导体装置
DE102007013186B4 (de) 2007-03-15 2020-07-02 Infineon Technologies Ag Halbleitermodul mit Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung desselben
WO2022039276A1 (ja) * 2020-08-20 2022-02-24 株式会社Flosfia 半導体装置

Cited By (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7969000B2 (en) 2005-06-30 2011-06-28 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
US7692285B2 (en) 2005-06-30 2010-04-06 Renesas Technology Corp. Semiconductor device
DE102007013186B4 (de) 2007-03-15 2020-07-02 Infineon Technologies Ag Halbleitermodul mit Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung desselben
US9793826B2 (en) 2010-09-24 2017-10-17 Semiconductor Components Industries, Llc Method of manufacturing a circuit device
JP2012069764A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 On Semiconductor Trading Ltd 回路装置およびその製造方法
US9722509B2 (en) 2010-09-24 2017-08-01 Semiconductor Components Industries, Llc Hybrid circuit device
US9998032B2 (en) 2010-09-24 2018-06-12 Semiconductor Components Industries, Llc Method of manufacturing a circuit device
US9275930B2 (en) 2010-09-24 2016-03-01 Semiconductor Components Industries, Llc Circuit device and method of manufacturing the same
JP2012099842A (ja) * 2011-12-29 2012-05-24 Mitsubishi Electric Corp 半導体モジュール
US9325257B2 (en) 2012-06-01 2016-04-26 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Power semiconductor device to reduce voltage variation between terminals
US9087817B2 (en) 2012-06-28 2015-07-21 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Semiconductor device including a gate wiring connected to at least one semiconductor chip
JP2014011227A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体装置
CN104321867B (zh) * 2012-06-28 2017-05-10 住友电气工业株式会社 半导体器件
WO2014002625A1 (ja) * 2012-06-28 2014-01-03 住友電気工業株式会社 半導体装置
US9116532B2 (en) 2012-08-03 2015-08-25 Mitsubishi Electric Corporation Power semiconductor device module
JP2014056920A (ja) * 2012-09-12 2014-03-27 Calsonic Kansei Corp 半導体装置
WO2014041722A1 (ja) * 2012-09-12 2014-03-20 カルソニックカンセイ株式会社 半導体装置
US9607931B2 (en) 2012-09-12 2017-03-28 Calsonic Kansei Corporation Semiconductor device for suppressing a temperature increase in beam leads
WO2015068196A1 (ja) * 2013-11-05 2015-05-14 三菱電機株式会社 半導体モジュール
JP6026009B2 (ja) * 2013-11-05 2016-11-16 三菱電機株式会社 半導体モジュール
JPWO2015104914A1 (ja) * 2014-01-09 2017-03-23 日立オートモティブシステムズ株式会社 パワー半導体装置の製造方法、パワー半導体装置並びにそれを用いた電力変換装置
US9806009B2 (en) 2014-01-09 2017-10-31 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Semiconductor device and power converter using the same
CN105900323A (zh) * 2014-01-09 2016-08-24 日立汽车系统株式会社 半导体装置以及使用该半导体装置的电力变换装置
CN105900323B (zh) * 2014-01-09 2018-11-13 日立汽车系统株式会社 半导体装置以及使用该半导体装置的电力变换装置
WO2015104914A1 (ja) * 2014-01-09 2015-07-16 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体装置並びにそれを用いた電力変換装置
CN109729741A (zh) * 2016-09-12 2019-05-07 日立汽车系统株式会社 半导体装置
CN109729741B (zh) * 2016-09-12 2022-11-04 日立安斯泰莫株式会社 半导体装置
JP6502576B1 (ja) * 2017-10-10 2019-04-17 新電元工業株式会社 半導体装置、及び、電力変換装置
WO2019073506A1 (ja) * 2017-10-10 2019-04-18 新電元工業株式会社 半導体装置、及び、電力変換装置
CN109923667A (zh) * 2017-10-10 2019-06-21 新电元工业株式会社 半导体装置、以及电力转换装置
US10461659B2 (en) 2017-10-10 2019-10-29 Shindengen Electric Manufacturing Co., Ltd. Semiconductor device and power converting device
CN109923667B (zh) * 2017-10-10 2022-11-25 新电元工业株式会社 半导体装置、以及电力转换装置
WO2022039276A1 (ja) * 2020-08-20 2022-02-24 株式会社Flosfia 半導体装置

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