JPWO2015046144A1 - 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 - Google Patents
半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015046144A1 JPWO2015046144A1 JP2015539204A JP2015539204A JPWO2015046144A1 JP WO2015046144 A1 JPWO2015046144 A1 JP WO2015046144A1 JP 2015539204 A JP2015539204 A JP 2015539204A JP 2015539204 A JP2015539204 A JP 2015539204A JP WO2015046144 A1 JPWO2015046144 A1 JP WO2015046144A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode film
- semiconductor element
- aluminum
- cycles
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
- C23C14/185—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53214—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being aluminium
- H01L23/53219—Aluminium alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/4847—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
- H01L2224/48472—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
Abstract
Description
また、本発明の一観点によれば、このような半導体素子を備える半導体装置が提供される。
本発明の上記及び他の目的、特徴及び利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。
[第1の実施の形態]
半導体素子が搭載された半導体装置について、図1を用いて説明する。
なお、図1(A)は半導体装置10の側面図、図1(B)は半導体装置10が備える半導体素子20の要部を拡大した側面図をそれぞれ示している。
電極膜21の主成分とするアルミニウムと、このアルミニウムに添加する添加金属との組成比を調整したスパッタリングターゲット材を作成する。
アルミニウムとシリコンウェハとのコンタクト部での相互拡散を防止するために、アルミニウムに珪素を添加する。この添加量が少なすぎるとその効果が発現しないために、少なくとも0.1wt%以上の珪素を添加する必要がある。一方、珪素の添加量が多過ぎてもコンタクト部での電気伝導が悪化してしまうおそれがある。そこで、珪素の添加量は、5wt%以下とする必要がある。このような珪素を実際添加する場合には、0.5wt%以上、2wt%以下であることが望ましい。
スパッタリングターゲット材には不純物が含まれていることから、当該スパッタリングターゲット材を用いた成膜中には、チャンバ内全体に不純物が飛散し、チャンバ内部が汚染されるおそれがある。このような不純物による汚染を抑制するために、添加元素を除くアルミニウム中の不純物の合計は、100ppm以下であることが望ましく、さらには、10ppm以下であることがより望ましい。
例えば、1wt%の珪素を含むアルミニウムに対して添加するニッケルの組成比を、0.2wt%、1wt%、5wt%、10wt%とする。このような組成比で構成される4種のスパッタリングターゲット材を予め用意しておく。酸化処理が行われたシリコンウェハを加熱し、各ターゲット材を用いたスパッタ法により、加熱されたシリコンウェハの表面上に膜厚が5μmの電極膜を成膜する。
このようにして形成された半導体素子20の電極膜21,22を解析する解析装置について図2を用いて説明する。
解析装置100は、制御部110と、表示部120と、入力部130と、電子顕微鏡部140とを含む。
RAM110bは、CPU110aに実行させるプログラムの少なくとも一部、並びにこのプログラムによる処理に必要な各種データを一時的に記憶する。
グラフィック処理部110dには、後述する表示部120が接続されている。このグラフィック処理部110dは、CPU110aからの命令に従って、表示部120の表示画面上に画像を表示させる。
図3は、第1の実施の形態に係る半導体素子に形成された電極膜の透過型電子顕微鏡により撮像された像の一例を示す図である。
なお、像30によれば、図3(A)に示すように、電極膜21上に堆積膜23が配置されている。半導体素子20をTEMで観察するにあたり、半導体素子20の電極膜21上に堆積膜23を配置して、半導体素子20を加工して、半導体素子20の断面を得る。この堆積膜23は、加工される半導体素子20の断面の過剰な削りを防止するものである。
図4(A)は、第二相粒子の粒子数、図4(B)は径、図4(C)は面積率のグラフをそれぞれ示している。
第二相粒子21aの径は、図4(B)に示されるように、ニッケルの添加量が増加するに連れて、増加しており、1個当たりの第二相粒子21aの面積が増加していると言える。
熱サイクル試験では、上記の各電極膜21(膜厚5μm)を成膜した、シリコンで構成されたダミーチップ(縦9mm×横9mm×厚さ0.5mm)に対し、10分間かけて、−55℃から250℃に加熱し、さらに10分間かけて、250℃から−55℃に冷却する。熱サイクル試験では、これを1サイクルとして、100サイクルまでは10サイクルごとに、100サイクルから500サイクルまでは100サイクルごとに、それ以降は800サイクル、1000サイクルに、解析装置100が、電極膜21の表面の劣化形態を電子顕微鏡部140としてSEMを用いて観察する。
図5は、第1の実施の形態に係る熱サイクル試験が実行されたサイクル数ごとの電極膜の表面のSEM像の一例を示す図である。
まず、熱サイクル試験を行う前の初期状態の電極膜21の表面は、図5(A)に示されるように、アルミニウム、珪素、ニッケルのそれぞれの結晶により多結晶体が構成されている。
さらに、300サイクル時には、各結晶は、受ける応力を緩和するために応力が最も小さい箇所に逃げようとするために、結晶粒界の結合が弱まる。最終的に、図5(D)に示されるように結晶粒界に亀裂が入り、結晶同士が離れてしまい、電極膜21の粒界における膜劣化が発生する。この際、結晶粒界及び結晶粒内に存在する析出物が凝集して、結晶粒界の移動を止めるものがなくなり、結晶が飛び出て、ストレスマイグレーションが発生する。
なお、図6は、横軸はニッケルの添加量(wt%)を表し、縦軸は膜劣化が生じたサイクル数を示す耐熱サイクル数(サイクル)をそれぞれ表す。また、丸印(〇)は電極膜21の表面における膜劣化が生じたサイクル数を表し、実線は丸印から得られるグラフを表している。四角印(□)は電極膜21の結晶粒界における膜劣化が生じたサイクル数を表し、一点鎖線は四角印から得られるグラフを表している。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態の半導体装置10の電極膜21,22の添加金属としてマンガンを用いた場合について説明する。
アルミニウムとシリコンウェハとのコンタクト部での相互拡散を防止するために、アルミニウムに珪素を添加する。この添加量が少なすぎるとその効果が発現しないために、少なくとも0.1wt%以上の珪素を添加する必要がある。一方、珪素の添加量が多過ぎてもコンタクト部での電気伝導が悪化してしまうおそれがある。そこで、珪素の添加量は、5wt%以下とする必要がある。このような珪素を実際添加する場合には、0.5wt%以上、2wt%以下であることが望ましい。
スパッタリングターゲット材には不純物が含まれていることから、当該スパッタリングターゲット材を用いた成膜中には、チャンバ内全体に不純物が飛散し、チャンバ内部が汚染されるおそれがある。このような不純物による汚染を抑制するために、添加元素を除くアルミニウム中の不純物の合計は、100ppm以下であることが望ましく、さらには、10ppm以下であることがより望ましい。
第2の実施の形態の電極膜21,22は、1wt%の珪素を含むアルミニウムに対して添加するマンガンの組成比を、1wt%、4wt%、9wt%で構成される3種のスパッタリングターゲット材を用いたスパッタ法により、酸化処理されたシリコンウェハの表面上に成膜(膜厚が5μm)されたものである。このようにして、マンガンが添加された電極膜21,22を備える半導体素子20が作成される(図1参照)。
図7(A)は、第二相粒子の粒子数、図7(B)は径、図7(C)は面積率のグラフをそれぞれ示している。
また、第二相粒子の面積率は、図7(C)のグラフに示されるように、電極膜21のマンガンの添加量が増加するに連れて増加しており、第二相粒子が占める面積が増加している。
第2の実施の形態の熱サイクル試験も、第1の実施の形態と同様の熱サイクル試験の条件、方法で行って、サイクルごとに、電極膜21の表面の劣化形態をSEMで観察した。但し、第2の実施の形態における熱サイクル試験では、0サイクルから3000サイクルの間で、100サイクルごとの電極膜21をSEMにより観察した。
図8は、第2の実施の形態に係る熱サイクル試験が実行されたサイクル数ごとの電極膜の表面のSEM像の一例を示す図である。
熱サイクル試験を行う前の初期状態の電極膜21の表面は、図8(A)に示されるように、アルミニウム、珪素、マンガンのそれぞれの結晶により多結晶体が構成されている。
その後、3000サイクルまで熱サイクル試験を行い、3000サイクル時では、電極膜21の粒界における膜劣化の発生は認められなかった。
図9でも、横軸はマンガンの添加量(wt%)を表し、縦軸は膜劣化が生じたサイクル数を示す耐熱サイクル数(サイクル)をそれぞれ表す。また、丸印(○)は電極膜21の表面における膜劣化が生じたサイクル数を表し、実線は丸印から得られるグラフを表している。四角印(□)は電極膜21の結晶粒界における膜劣化が生じたサイクル数を表し、一点鎖線は四角印から得られるグラフを表している。なお、マンガンの添加量が9wt%の場合の電極膜21の粒界の膜劣化は、3000サイクルでは観察されなかったが、図9中の3000サイクルに対応する箇所に破線の四角印をプロットしている。
11 絶縁基板
12,13 金属箔
14 半田層
15 ボンディングワイヤ
20 半導体素子
21,22 電極膜
21a 第二相粒子
23 堆積膜
30,30a 像
本発明の一観点によれば、アルミニウムを主成分とし、前記アルミニウムと前記アルミニウムに添加された1wt%以上、40wt%以下のマンガンとを含む第二相粒子が分散析出され、前記第二相粒子の面積率が9%以上である電極膜を有する半導体素子が提供される。
本発明の一観点によれば、アルミニウムを主成分とし、前記アルミニウムと前記アルミニウムに添加された9wt%以上、40wt%以下のマンガンとを含む第二相粒子が分散析出され、前記第二相粒子の面積率が9%以上である電極膜を有する半導体素子が提供される。
Claims (17)
- アルミニウムを主成分とし、前記アルミニウムと前記アルミニウムに添加された添加金属とを含む第二相粒子が分散析出され、前記第二相粒子の面積率が9%以上である電極膜を有する半導体素子。
- 前記添加金属はニッケルである請求項1に記載の半導体素子。
- 前記面積率が15%以上である請求項2に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、5wt%以上、40wt%以下である請求項2に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、18wt%以上である請求項4に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、ニッケルよりも拡散係数が小さい請求項1に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、パラジウム、鉄、または、ジルコニウムである請求項6記載の半導体素子。
- 前記添加金属はマンガンである請求項1に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、1wt%以上、40wt%以下である請求項8に記載の半導体素子。
- 前記添加金属は、1.8wt%以上である請求項9に記載の半導体素子。
- 請求項1〜10いずれか一項に記載の半導体素子に電極膜をスパッタ法により形成するためのアルミニウムを主成分とすることを特徴とするスパッタリングターゲット材。
- 0.1wt%以上、5wt%以下の珪素を含み、前記添加金属としてニッケル、パラジウム、鉄、ジルコニウムのいずれか一種以上を、5wt%以上、40wt%以下含む請求項11記載のスパッタリングターゲット材。
- 0.1wt%以上、5wt%以下の珪素を含み、前記添加金属が1wt%以上、40wt%以下のマンガンである請求項11に記載のスパッタリングターゲット材。
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に配置された、アルミニウムを主成分とし、前記アルミニウムと前記アルミニウムに添加された添加金属とを含む第二相粒子が分散析出され、前記第二相粒子の面積率が9%以上である電極膜と、を有する半導体素子と、
を備える半導体装置。 - 前記添加金属がニッケルである請求項14に記載の半導体装置。
- 前記面積率が15%以上である請求項15に記載の半導体装置。
- 前記添加金属がマンガンである請求項14に記載の半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013202892 | 2013-09-30 | ||
JP2013202892 | 2013-09-30 | ||
PCT/JP2014/075084 WO2015046144A1 (ja) | 2013-09-30 | 2014-09-22 | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017076389A Division JP2017157842A (ja) | 2013-09-30 | 2017-04-07 | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015046144A1 true JPWO2015046144A1 (ja) | 2017-03-09 |
JP6151367B2 JP6151367B2 (ja) | 2017-06-21 |
Family
ID=52743280
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015539204A Active JP6151367B2 (ja) | 2013-09-30 | 2014-09-22 | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 |
JP2017076389A Pending JP2017157842A (ja) | 2013-09-30 | 2017-04-07 | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017076389A Pending JP2017157842A (ja) | 2013-09-30 | 2017-04-07 | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6151367B2 (ja) |
TW (1) | TWI629726B (ja) |
WO (1) | WO2015046144A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7447530B2 (ja) | 2020-02-17 | 2024-03-12 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH021126A (ja) * | 1988-01-20 | 1990-01-05 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH0790552A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-04-04 | Kobe Steel Ltd | Al合金薄膜及びその製造方法並びにAl合金薄膜形成用スパッタリングターゲット |
JP2005228656A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 高耐熱性アルミニウム合金配線材料及びターゲット材 |
JP2007142356A (ja) * | 2005-04-26 | 2007-06-07 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Al−Ni−B合金配線材料及びそれを用いた素子構造 |
JP2011094216A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Kobe Steel Ltd | Al基合金スパッタリングターゲット |
JP2012151382A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ、アクティブマトリクス基板、およびそれらの製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0724267B2 (ja) * | 1987-01-16 | 1995-03-15 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JPH01233737A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Hitachi Ltd | 集積回路装置及びその製造方法並びに該装置における配線膜を製造するためのターゲット |
JPH0239535A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JP3061654B2 (ja) * | 1991-04-23 | 2000-07-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 液晶ディスプレイ用半導体装置材料及び液晶ディスプレイ用半導体装置材料製造用溶製スパッタリングターゲット材料 |
JP3014887B2 (ja) * | 1993-02-24 | 2000-02-28 | 松下電子工業株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH0878412A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-22 | Toshiba Corp | Al合金薄膜配線の形成方法 |
WO1999034028A1 (en) * | 1997-12-24 | 1999-07-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | SPUTTERING TARGET, Al INTERCONNECTION FILM, AND ELECTRONIC COMPONENT |
JP4733371B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2011-07-27 | 三菱化学株式会社 | n型窒化物半導体用のオーミック電極およびその製造方法 |
-
2014
- 2014-09-22 JP JP2015539204A patent/JP6151367B2/ja active Active
- 2014-09-22 WO PCT/JP2014/075084 patent/WO2015046144A1/ja active Application Filing
- 2014-09-24 TW TW103133003A patent/TWI629726B/zh not_active IP Right Cessation
-
2017
- 2017-04-07 JP JP2017076389A patent/JP2017157842A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH021126A (ja) * | 1988-01-20 | 1990-01-05 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH0790552A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-04-04 | Kobe Steel Ltd | Al合金薄膜及びその製造方法並びにAl合金薄膜形成用スパッタリングターゲット |
JP2005228656A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 高耐熱性アルミニウム合金配線材料及びターゲット材 |
JP2007142356A (ja) * | 2005-04-26 | 2007-06-07 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Al−Ni−B合金配線材料及びそれを用いた素子構造 |
JP2011094216A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Kobe Steel Ltd | Al基合金スパッタリングターゲット |
JP2012151382A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ、アクティブマトリクス基板、およびそれらの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201526108A (zh) | 2015-07-01 |
JP2017157842A (ja) | 2017-09-07 |
TWI629726B (zh) | 2018-07-11 |
WO2015046144A1 (ja) | 2015-04-02 |
JP6151367B2 (ja) | 2017-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4579709B2 (ja) | Al−Ni−希土類元素合金スパッタリングターゲット | |
JP6678757B2 (ja) | 銅板付き絶縁基板用銅板材及びその製造方法 | |
Wang et al. | Effects of Sn grain structure on the electromigration of Sn–Ag solder joints | |
JP6719316B2 (ja) | 放熱部材用銅合金板材およびその製造方法 | |
JP5524905B2 (ja) | パワー半導体素子用Al合金膜 | |
TW201132768A (en) | Cu-mg-p-based copper alloy bar and method for producing same | |
JP5839763B1 (ja) | 半導体装置用ボンディングワイヤ | |
TWI698537B (zh) | 銅合金板材及其製造方法 | |
England et al. | Cu wire bond parameter optimization on various bond pad metallization and barrier layer material schemes | |
JP6640435B1 (ja) | 銅合金板材およびその製造方法ならびに電気電子機器用放熱部品およびシールドケース | |
Liu et al. | Cu-Al interfacial formation and kinetic growth behavior during HTS reliability test | |
JP6191587B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6151367B2 (ja) | 半導体素子、スパッタリングターゲット材及び半導体装置 | |
TWI558829B (zh) | Sputtering titanium target | |
JP2014189817A (ja) | 純銅板及び放熱基板 | |
Chen et al. | Grain growth and twin formation in a Ag-4Pd alloy ribbon after annealing treatments | |
JP6472477B2 (ja) | Cu−Ni−Si系銅合金条 | |
JP6355671B2 (ja) | Cu−Ni−Si系銅合金条及びその製造方法 | |
JP2015203148A (ja) | 銅合金材、セラミック配線基板及びセラミック配線基板の製造方法 | |
WO2019187767A1 (ja) | 絶縁基板及びその製造方法 | |
Demler et al. | Influence of high current-density impulses on the stress-strain response and microstructural evolution of the single crystal superalloy CMSX-4 | |
JP6582159B1 (ja) | 絶縁基板及びその製造方法 | |
WO2015152197A1 (ja) | 半導体装置用ボンディングワイヤ及びその製造方法 | |
JP6651065B1 (ja) | 半導体装置用Cu合金ボンディングワイヤ | |
Chua et al. | XRD analysis of Cu-Al interconnect intermetallic compound in an annealed micro-chip |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161104 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20161104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20161104 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170407 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170502 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6151367 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |