JPWO2015033494A1 - レーザー走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施の形態にかかるレーザー走査装置の横断面図である。図1においては3つのレーザー光源101、102、及び103が設けられている。また、レーザー光源102から出射されたレーザー光を集束光軸方向に変換するプリズム301とレーザー光源103から出射されたレーザー光を集束光軸方向に変換するプリズム302とが設けられている。ここで、図1では集束光軸Lは、X軸に平行な軸をとるように示している。図2は、本実施の形態にかかるレーザー走査装置をX−Z面で切断したときの縦断面図である。
301,302 プリズム
51 アパーチャー調整ホルダ
53 アパーチャー
500 走査ミラー
Claims (4)
- 光強度分布が楕円形状のレーザー光を出射する複数のレーザー光源と、
反射面を有し、それぞれの前記レーザー光源から入射された前記レーザー光を集束光軸方向に変換するプリズムと、
前記プリズムから出射された前記レーザー光を通過させる開口位置が所定の調整方向に調整可能に設けられたアパーチャーと、
前記アパーチャーを介して入射された前記プリズムからの前記レーザー光を走査位置に反射する走査ミラーと
を備え、
前記複数のレーザー光源は、それぞれが出射した前記レーザー光が前記アパーチャーに入射する位置での光強度分布の長軸方向が前記所定の調整方向になる向きで設けられた
ことを特徴とするレーザー走査装置。
- 前記走査ミラーと前記プリズムと前記アパーチャーとはそれぞれ一方向のみに可動域を有し、
前記プリズムの可動方向は、前記走査ミラーの可動方向に対して平行であり、
前記アパーチャーの可動方向は、前記走査ミラーの可動方向に対して垂直である
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー走査装置。
- 前記複数のレーザー光源は、それぞれが出射した前記レーザー光が前記アパーチャーに入射する位置での光強度分布の長軸方向が、前記アパーチャーの可動方向と平行になる向きで設けられるものであって、
前記複数のレーザー光源のうちの第1のレーザー光源は、前記第1のレーザー光源から出射した第1のレーザー光が、前記プリズムを介して前記集束光軸方向に合うように調整して設けられるものであり、
前記アパーチャーは、前記集束光軸方向に合うように調整された前記第1のレーザー光を通過したレーザー光が、所定の出射角度及び光束径になるように調整して設けられるものであり、
前記複数のレーザー光源のうち前記第1のレーザー光源と異なるレーザー光源は、出射したレーザー光が、プリズムを介して前記集束光軸方向に合うように調整して設けられるものであり、
前記プリズムは、前記集束光軸方向に合うように調整されたそれぞれの前記レーザー光が前記プリズムを介して前記アパーチャーを通過したときに、前記所定の出射角度及び光束径を満たして入射されるように調整して設けられるものである
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザー走査装置。
- 前記集束光軸と平行な回転軸から偏芯した位置で前記アパーチャーを保持し、前記回転軸を中心軸として前記アパーチャーを回転調整するアパーチャー調整ホルダを備える
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のレーザー走査装置。
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