JP2711662B2 - 回折パターン消去装置 - Google Patents
回折パターン消去装置Info
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- JP2711662B2 JP2711662B2 JP26135586A JP26135586A JP2711662B2 JP 2711662 B2 JP2711662 B2 JP 2711662B2 JP 26135586 A JP26135586 A JP 26135586A JP 26135586 A JP26135586 A JP 26135586A JP 2711662 B2 JP2711662 B2 JP 2711662B2
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、光学機器等に用いられるアパーチャーに
コヒーレンスの良い光を入射させることにより生ずる回
折パターンを消去することができる回折パターン消去装
置に関する。 （従来の技術） 光束を制限するアパーチャーを備えた光学機器等にお
いて、前記アパーチャーにレーザ光のようなコヒーレン
スの良い光を入射させると回折パターンを生ずることが
知られている。 第４図は、前記光学機器の一例として、二光束干渉法
を利用した回折格子露光装置の従来例を示す。第４図に
おいて、レーザ発振器１から射出されたレーザ光はミラ
ー２、３で反射され光学系４を介してミラー５で反射さ
れる。この反射光はビームスプリッター６で光束を２分
され、一部は透過光Ｔとなってミラー７、８で反射され
る。この反射光はレンズ９、及び11から成るビームエキ
スパンダーにより光束を拡げられ平行光束となってミラ
ー12で反射され感光材料18に入射する。一方、ビームス
プリッター６により反射された反射光Ｒは、ミラー13で
反射されレンズ14及び16から成るビームエキスパンダー
で拡大されて平行光束となる。この平行光束は、ミラー
17で反射されて感光材料18に入射する。前記透過光Ｔと
反射光Ｒは、感光材料18上で干渉して干渉縞を形成し、
感光材料18を露光する。 （発明が解決しようとする問題点） ところで、第４図において、レンズ９とレンズ11との
間、及びレンズ14とレンズ16との間にレーザ光束を制限
する円形のアパーチャー10及び15をそれぞれ配置する
と、感光材料18上には干渉縞と一緒に第５図に示すよう
な回折パターンが生ずる。この回折パターンは干渉縞の
雑音となり感光材料を均等に露光することができないと
いう問題点を生じていた。 前記問題点を解決する方法として、例えば次に示す手
段が考えられる。 （イ）アパーチャーの開口を大きくする手段。 （ロ）回折パターンを消去するようなフィルターを用い
る手段。 しかしながら、（イ）の手段では大口径の光学素子
（レンズ）が必要とされ、（ロ）の手段はフィルターの
作製が困難であり、前記いずれの手段も現実的ではな
い。 本発明の目的は、新たな手段を用いることにより、回
折パターンを消去することが可能な回折パターン消去装
置を提供するものである。 （問題点を解決するための手段） 本発明の回折パターン消去装置は、その装置に備えら
れたアパーチャーの開口の中心と、その装置の光軸また
は機械軸とを偏心させて設け、前記アパーチャーを回転
させるようにしたものである。 （作用） 前記アパーチャーは、それが備えられた装置の光軸ま
たは機械軸と偏心させて設けられ回転される。しかる後
にコヒーレンスの良い光束をアパーチャーに入射させ
る。すると、アパーチャーの開口により生ずる感光材料
上の回折パターンは、ミソすり状に移動して回折パター
ンの露光が平均化され回折パターンが消滅する。 （実施例） 以下、本発明の回折パターン消去装置を添付図面に示
した一実施例に従って詳細に説明する。第１図、第２
図、第３図は、それぞれ本発明に係る回折パターン消去
装置を示す斜視図、右側面図、左側面図である。第１図
から第３図において、21はモータであり、モータ21はモ
ータ本体部21aと回転軸21bとから構成されている。20は
Ｌ字形をしたモータ取付板であり、モータ取付板20は壁
板20aと底板20bとから形成されている。壁板20aには、
モータ21の回転軸21bを挿通させる回転軸挿通穴22aが形
成され、その回転軸挿通穴22aの周囲には、モータ取付
用ネジ穴22b（図示せず）が４ケ所に形成されている。
前記モータ21は、その回転軸21bを回転軸挿通穴22aに挿
通され、モータ取付用ネジ穴22bにボルト23をネジ込ん
でナット24で壁板20aに取付けられている。25は円筒形
のプーリーである。プーリー25の中心部には、回転軸嵌
合穴25aが形成され、プーリー25の外周面にはＶ字形の
溝26が形成されている。プーリー25は、回転軸21bを回
転軸嵌合穴25aに嵌合させて止ネジ（図示せず）により
回転軸に固定されている。27は大径のプーリーである。
プーリー27の断面形状はコ字形を成し、プーリー27の中
心部には大径の穴28と小径の穴29が形成されている。こ
の小径穴29の中心O2を通る機械軸は、光学機器の光軸と
一致するようになっている。プーリー27の外周面には、
Ｖ字形の溝27bが２本形成されている。小径穴29の上方
でプーリー27の外壁27aには、後述するアパーチャーを
取付けるネジ穴51が小径穴29の中心を対象として形成さ
れている。30はプーリー27を３ケ所で支持するトックベ
アリングである。トックベアリング30は、その上部に円
筒形の頭部30aをその下部に雄ネジ部30bを備えている。
モータ取付板20の壁板20aには、トックベアリング取付
用ネジ穴33（図示せず）がプーリー27の外径に対応して
３ケ所に形成されている。この３ケ所に形成されたネジ
穴33は、それぞれプーリー27の外径より大きな径の円周
上にほぼ等間隔を隔てて形成されている。前記３つのト
ックベアリング30はそれぞれ、その頭部30aをプーリー2
7の溝27bに押しつけ、プーリー27を空中に浮かして支持
する。トックベアリング30の雄ネジ部30bはトックベア
リング取付用ネジ穴33にネジ込まれナット32で固着され
る。この時プーリー27は、壁板20aと非接触に隔てられ
ている。小径のプーリー25と大径のプーリー27は、各々
の溝26及び27bにゴム製のベルト60を巻きつけて連結さ
れている。40はアパーチャーである。アパーチャー40
は、光を透過しない円形の薄板41と光を透過させかつ光
束を制限する円形の開口42から成る。アパーチャーの薄
板41には、前記プーリー27の外壁27aに形成されたネジ
穴51に対応した位置に、アパーチャー取付用ネジ穴52
（図示せず）が２ケ所に形成されている。アパーチャー
40の中心部には円形の開口42が形成され、この開口42の
中心O1は、アパーチャー40の中心から僅かな距離Δ（例
えば1mm程度）だけ隔てられている。アパーチャー40は
前記ネジ穴51とネジ穴52とを一致させて止メネジ50によ
りプーリー27の外壁27aに取付けられている。この時、
開口42の中心O1と前記プーリー27の小径穴29の中心O2と
は、前記距離Δだけ偏心して離れていることになる。 次に本発明回折パターン消去装置の作用について説明
する。この発明の回折パターン消去装置を、例えば第４
図に示した回折格子露光装置中のレンズ９とレンズ11と
の間（例えばアパーチャー10の位置）、及びレンズ14と
レンズ16との間（例えばアパーチャー15の位置）に設置
する。この時、本発明の回折パターン消去装置のプーリ
ー27に形成された小径穴29の中心は、この回折格子露光
装置の光軸と一致させる。モータ21を毎分数回転の割合
で回転させる。その動力はプーリー25、ベルト60、プー
リー27、の順に伝達されてプーリー27に取付けられたア
パーチャー40を回転させる。しかる後、レーザ光をアパ
ーチャー40の開口42に入射させる。すると感光材料18上
には、前述したように干渉縞が形成される。一方、回転
するアパーチャー40の開口42によって回折光を生ずる。
その回折パターンは、アパーチャー40の開口42の中心が
光軸または機械軸と偏心して回転するため、感光材料18
上でミソスリ状に移動する。従って、回折パターンの露
光量が平均化され、感光材料上には回折パターンが記録
されなくなる。なお開口42の回転による光束のケラレは
微量であり問題とならない。 以上説明したアパーチャーの開口は、一例として円形
の開口について述べたが、アパーチャーの開口を多角形
（例えば６角形）に形成し、その多角形の開口の中心と
そのアパーチャーを備えた装置の光軸または機械軸とを
偏心させてそのアパーチャーを回転させれば、前記円形
の開口と同様に回折パターンを消滅させることが可能で
ある。 なお、この発明の利用分野の一例として回折格子露光
装置について述べたが、可干渉光を利用する干渉計やホ
ログラム作製装置にも利用できることは言うまでもな
い。 （発明の効果） 本発明の回折パターン消去装置は、その装置に備えら
れたアパーチャーの開口と、その装置の光軸または機械
軸とを偏心させて設け、アパーチャーを回転させるよう
にしたから、アパーチャーの開口により生ずる回折パタ
ーンを消滅させることができるという効果を奏するもの
である。
コヒーレンスの良い光を入射させることにより生ずる回
折パターンを消去することができる回折パターン消去装
置に関する。 （従来の技術） 光束を制限するアパーチャーを備えた光学機器等にお
いて、前記アパーチャーにレーザ光のようなコヒーレン
スの良い光を入射させると回折パターンを生ずることが
知られている。 第４図は、前記光学機器の一例として、二光束干渉法
を利用した回折格子露光装置の従来例を示す。第４図に
おいて、レーザ発振器１から射出されたレーザ光はミラ
ー２、３で反射され光学系４を介してミラー５で反射さ
れる。この反射光はビームスプリッター６で光束を２分
され、一部は透過光Ｔとなってミラー７、８で反射され
る。この反射光はレンズ９、及び11から成るビームエキ
スパンダーにより光束を拡げられ平行光束となってミラ
ー12で反射され感光材料18に入射する。一方、ビームス
プリッター６により反射された反射光Ｒは、ミラー13で
反射されレンズ14及び16から成るビームエキスパンダー
で拡大されて平行光束となる。この平行光束は、ミラー
17で反射されて感光材料18に入射する。前記透過光Ｔと
反射光Ｒは、感光材料18上で干渉して干渉縞を形成し、
感光材料18を露光する。 （発明が解決しようとする問題点） ところで、第４図において、レンズ９とレンズ11との
間、及びレンズ14とレンズ16との間にレーザ光束を制限
する円形のアパーチャー10及び15をそれぞれ配置する
と、感光材料18上には干渉縞と一緒に第５図に示すよう
な回折パターンが生ずる。この回折パターンは干渉縞の
雑音となり感光材料を均等に露光することができないと
いう問題点を生じていた。 前記問題点を解決する方法として、例えば次に示す手
段が考えられる。 （イ）アパーチャーの開口を大きくする手段。 （ロ）回折パターンを消去するようなフィルターを用い
る手段。 しかしながら、（イ）の手段では大口径の光学素子
（レンズ）が必要とされ、（ロ）の手段はフィルターの
作製が困難であり、前記いずれの手段も現実的ではな
い。 本発明の目的は、新たな手段を用いることにより、回
折パターンを消去することが可能な回折パターン消去装
置を提供するものである。 （問題点を解決するための手段） 本発明の回折パターン消去装置は、その装置に備えら
れたアパーチャーの開口の中心と、その装置の光軸また
は機械軸とを偏心させて設け、前記アパーチャーを回転
させるようにしたものである。 （作用） 前記アパーチャーは、それが備えられた装置の光軸ま
たは機械軸と偏心させて設けられ回転される。しかる後
にコヒーレンスの良い光束をアパーチャーに入射させ
る。すると、アパーチャーの開口により生ずる感光材料
上の回折パターンは、ミソすり状に移動して回折パター
ンの露光が平均化され回折パターンが消滅する。 （実施例） 以下、本発明の回折パターン消去装置を添付図面に示
した一実施例に従って詳細に説明する。第１図、第２
図、第３図は、それぞれ本発明に係る回折パターン消去
装置を示す斜視図、右側面図、左側面図である。第１図
から第３図において、21はモータであり、モータ21はモ
ータ本体部21aと回転軸21bとから構成されている。20は
Ｌ字形をしたモータ取付板であり、モータ取付板20は壁
板20aと底板20bとから形成されている。壁板20aには、
モータ21の回転軸21bを挿通させる回転軸挿通穴22aが形
成され、その回転軸挿通穴22aの周囲には、モータ取付
用ネジ穴22b（図示せず）が４ケ所に形成されている。
前記モータ21は、その回転軸21bを回転軸挿通穴22aに挿
通され、モータ取付用ネジ穴22bにボルト23をネジ込ん
でナット24で壁板20aに取付けられている。25は円筒形
のプーリーである。プーリー25の中心部には、回転軸嵌
合穴25aが形成され、プーリー25の外周面にはＶ字形の
溝26が形成されている。プーリー25は、回転軸21bを回
転軸嵌合穴25aに嵌合させて止ネジ（図示せず）により
回転軸に固定されている。27は大径のプーリーである。
プーリー27の断面形状はコ字形を成し、プーリー27の中
心部には大径の穴28と小径の穴29が形成されている。こ
の小径穴29の中心O2を通る機械軸は、光学機器の光軸と
一致するようになっている。プーリー27の外周面には、
Ｖ字形の溝27bが２本形成されている。小径穴29の上方
でプーリー27の外壁27aには、後述するアパーチャーを
取付けるネジ穴51が小径穴29の中心を対象として形成さ
れている。30はプーリー27を３ケ所で支持するトックベ
アリングである。トックベアリング30は、その上部に円
筒形の頭部30aをその下部に雄ネジ部30bを備えている。
モータ取付板20の壁板20aには、トックベアリング取付
用ネジ穴33（図示せず）がプーリー27の外径に対応して
３ケ所に形成されている。この３ケ所に形成されたネジ
穴33は、それぞれプーリー27の外径より大きな径の円周
上にほぼ等間隔を隔てて形成されている。前記３つのト
ックベアリング30はそれぞれ、その頭部30aをプーリー2
7の溝27bに押しつけ、プーリー27を空中に浮かして支持
する。トックベアリング30の雄ネジ部30bはトックベア
リング取付用ネジ穴33にネジ込まれナット32で固着され
る。この時プーリー27は、壁板20aと非接触に隔てられ
ている。小径のプーリー25と大径のプーリー27は、各々
の溝26及び27bにゴム製のベルト60を巻きつけて連結さ
れている。40はアパーチャーである。アパーチャー40
は、光を透過しない円形の薄板41と光を透過させかつ光
束を制限する円形の開口42から成る。アパーチャーの薄
板41には、前記プーリー27の外壁27aに形成されたネジ
穴51に対応した位置に、アパーチャー取付用ネジ穴52
（図示せず）が２ケ所に形成されている。アパーチャー
40の中心部には円形の開口42が形成され、この開口42の
中心O1は、アパーチャー40の中心から僅かな距離Δ（例
えば1mm程度）だけ隔てられている。アパーチャー40は
前記ネジ穴51とネジ穴52とを一致させて止メネジ50によ
りプーリー27の外壁27aに取付けられている。この時、
開口42の中心O1と前記プーリー27の小径穴29の中心O2と
は、前記距離Δだけ偏心して離れていることになる。 次に本発明回折パターン消去装置の作用について説明
する。この発明の回折パターン消去装置を、例えば第４
図に示した回折格子露光装置中のレンズ９とレンズ11と
の間（例えばアパーチャー10の位置）、及びレンズ14と
レンズ16との間（例えばアパーチャー15の位置）に設置
する。この時、本発明の回折パターン消去装置のプーリ
ー27に形成された小径穴29の中心は、この回折格子露光
装置の光軸と一致させる。モータ21を毎分数回転の割合
で回転させる。その動力はプーリー25、ベルト60、プー
リー27、の順に伝達されてプーリー27に取付けられたア
パーチャー40を回転させる。しかる後、レーザ光をアパ
ーチャー40の開口42に入射させる。すると感光材料18上
には、前述したように干渉縞が形成される。一方、回転
するアパーチャー40の開口42によって回折光を生ずる。
その回折パターンは、アパーチャー40の開口42の中心が
光軸または機械軸と偏心して回転するため、感光材料18
上でミソスリ状に移動する。従って、回折パターンの露
光量が平均化され、感光材料上には回折パターンが記録
されなくなる。なお開口42の回転による光束のケラレは
微量であり問題とならない。 以上説明したアパーチャーの開口は、一例として円形
の開口について述べたが、アパーチャーの開口を多角形
（例えば６角形）に形成し、その多角形の開口の中心と
そのアパーチャーを備えた装置の光軸または機械軸とを
偏心させてそのアパーチャーを回転させれば、前記円形
の開口と同様に回折パターンを消滅させることが可能で
ある。 なお、この発明の利用分野の一例として回折格子露光
装置について述べたが、可干渉光を利用する干渉計やホ
ログラム作製装置にも利用できることは言うまでもな
い。 （発明の効果） 本発明の回折パターン消去装置は、その装置に備えら
れたアパーチャーの開口と、その装置の光軸または機械
軸とを偏心させて設け、アパーチャーを回転させるよう
にしたから、アパーチャーの開口により生ずる回折パタ
ーンを消滅させることができるという効果を奏するもの
である。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図はそれぞれ本発明に係る回折パ
ターン消去装置の一実施例を示す斜視図、右側面図、左
側面図である。第４図は回折露光装置の従来例を示す図
である。第５図は第４図の回折露光装置により生ずる干
渉パターンを示す図である。 20……モータ取付板、21……モータ 25,27……プーリー、30……トックベアリング、40……
アパーチャー、42……開口 Δ……偏心量。
ターン消去装置の一実施例を示す斜視図、右側面図、左
側面図である。第４図は回折露光装置の従来例を示す図
である。第５図は第４図の回折露光装置により生ずる干
渉パターンを示す図である。 20……モータ取付板、21……モータ 25,27……プーリー、30……トックベアリング、40……
アパーチャー、42……開口 Δ……偏心量。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．光路中に開口のあるアパーチャーを備えた装置にお
いて、前記装置の光軸または機械軸と、前記アパーチャ
ーの開口の中心とを偏心させて設け、 前記アパーチャーを回転させるようにしたことを特徴と
する回折パターン消去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26135586A JP2711662B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 回折パターン消去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26135586A JP2711662B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 回折パターン消去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115125A JPS63115125A (ja) | 1988-05-19 |
| JP2711662B2 true JP2711662B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=17360695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26135586A Expired - Lifetime JP2711662B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 回折パターン消去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2711662B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112014004124B4 (de) | 2013-09-09 | 2022-03-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Laserabtastvorrichtung |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP26135586A patent/JP2711662B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63115125A (ja) | 1988-05-19 |
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