JP6045708B2 - レーザー走査装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態にかかるレーザー走査装置の横断面図である。図1においては3つのレーザー光源101、102、及び103が設けられている。また、レーザー光源102から出射されたレーザー光を集束光軸方向に変換するプリズム301とレーザー光源103から出射されたレーザー光を集束光軸方向に変換するプリズム302とが設けられている。ここで、図1では集束光軸Lは、X軸に平行な軸をとるように示している。図2は、本実施の形態にかかるレーザー走査装置をX−Z面で切断したときの縦断面図である。
301,302 プリズム
51 アパーチャー調整ホルダ
53 アパーチャー
500 走査ミラー
Claims (5)
- 光強度分布が楕円形状のレーザー光を出射する複数のレーザー光源と、
前記複数のレーザー光源から出射された前記レーザー光を通過させるアパーチャーと、
前記アパーチャーからの前記レーザー光を走査位置に反射する走査ミラーと
を備え、
前記アパーチャーの位置は、第1の調整方向に調整可能であり、
前記複数のレーザー光源は、それぞれが出射した前記レーザー光の前記アパーチャーに入射する位置での光強度分布の長軸方向が前記第1の調整方向と平行になる向きで設けられた
ことを特徴とするレーザー走査装置。 - 前記アパーチャーからの前記レーザー光を、前記走査ミラーに入射する反射光に変換する反射ミラーを備え、
前記反射ミラーの位置は、第2の調整方向に調整可能であり、
前記第2の調整方向は、前記反射ミラーに入射する際の前記レーザー光の集束光軸に対して平行であり、
前記第1の調整方向は、前記第2の調整方向に対して垂直である
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー走査装置。 - 前記アパーチャーは、前記第1の調整方向である一方向のみに可動域を有し、
前記反射ミラーは、前記第2の調整方向である一方向のみに可動域を有する
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザー走査装置。 - 反射面を有し、それぞれの前記レーザー光源から入射された前記レーザー光を前記集束光軸方向のレーザー光に変換するミラー又はプリズムである光学素子を備え、
前記複数のレーザー光源は、前記複数のレーザー光源から出射したレーザー光が、前記光学素子を介して前記集束光軸方向に合うように調整して設けられ、
前記光学素子は、前記集束光軸方向に合うように調整されたそれぞれの前記レーザー光が前記光学素子を介して前記アパーチャーに入射し、前記入射したレーザー光のうち、不要な光がアパーチャーにより遮られ、必要な光だけがアパーチャーを通過するように調整して設けられる
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載のレーザー走査装置。 - 前記集束光軸と平行な回転軸から偏芯した位置で前記アパーチャーを保持し、前記回転軸を中心軸として回転することにより前記アパーチャーの位置を調整するアパーチャー調整ホルダを備える
ことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のレーザー走査装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013186423 | 2013-09-09 | ||
JP2013186423 | 2013-09-09 | ||
PCT/JP2014/002989 WO2015033494A1 (ja) | 2013-09-09 | 2014-06-05 | レーザー走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6045708B2 true JP6045708B2 (ja) | 2016-12-14 |
JPWO2015033494A1 JPWO2015033494A1 (ja) | 2017-03-02 |
Family
ID=52627998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015535290A Active JP6045708B2 (ja) | 2013-09-09 | 2014-06-05 | レーザー走査装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9470889B2 (ja) |
JP (1) | JP6045708B2 (ja) |
CN (1) | CN105518512B (ja) |
DE (1) | DE112014004124B4 (ja) |
WO (1) | WO2015033494A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3249465B1 (en) * | 2015-01-23 | 2019-10-23 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser light source device and video display device |
WO2017104565A1 (ja) * | 2015-12-16 | 2017-06-22 | 日本精機株式会社 | 光源装置および投影装置 |
CN106707525B (zh) * | 2017-01-09 | 2020-12-15 | 上海柚子激光科技有限公司 | 一种双光束重合装置 |
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CN108873369B (zh) * | 2018-08-01 | 2023-12-26 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 一种调节光学器件的多轴机构 |
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-
2014
- 2014-06-05 WO PCT/JP2014/002989 patent/WO2015033494A1/ja active Application Filing
- 2014-06-05 DE DE112014004124.6T patent/DE112014004124B4/de active Active
- 2014-06-05 JP JP2015535290A patent/JP6045708B2/ja active Active
- 2014-06-05 US US14/917,403 patent/US9470889B2/en active Active
- 2014-06-05 CN CN201480048855.XA patent/CN105518512B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112014004124T5 (de) | 2016-07-14 |
DE112014004124B4 (de) | 2022-03-03 |
CN105518512A (zh) | 2016-04-20 |
US20160223810A1 (en) | 2016-08-04 |
US9470889B2 (en) | 2016-10-18 |
WO2015033494A1 (ja) | 2015-03-12 |
JPWO2015033494A1 (ja) | 2017-03-02 |
CN105518512B (zh) | 2018-03-20 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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